JP4667057B2 - 成膜装置および成膜方法 - Google Patents
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Description
冷却水により加圧することで加熱側平面との接触面積を増やし、加熱物体を冷却することができる。
2 ワーク室
3 ターゲット支持板
4 シール手段
5 蓋
6 回転テーブル
7 ベローズ
8 スパッタ駆動源
9 冷却水流路
10 冷却板
12 ドアプレート
Claims (8)
- ターゲットからスパッタリングされた粒子をワークに成膜する成膜装置において、内部に前記ターゲットが配置され、前記ワークに向かって開口する開口部を備えた真空室と、前記真空室内において、前記ターゲットを逐次前記開口部に対応するスパッタ位置に移動させるターゲット移動手段と、前記スパッタ位置における前記ターゲットの裏面に対向するように配設されたスパッタ駆動源と、前記スパッタ駆動源を前記スパッタ位置において前記ターゲットの裏面側に押圧するスパッタ駆動源移動手段と、前記ターゲット移動手段によって前記スパッタ位置に移動させられ、前記スパッタ位置において前記開口部を閉じるように構成された蓋と、を有することを特徴とする成膜装置。
- 前記スパッタ駆動源の移動により、前記蓋は前記開口部に対して押圧させられて前記開口部を閉じることを特徴とする請求項1記載の成膜装置。
- 前記ターゲット移動手段が、複数のターゲットと前記蓋とを、同一平面内において円周方向に所定の間隔で支持していることを特徴とする請求項1記載の成膜装置。
- 前記複数のターゲットと蓋は、板ばねを介して前記ターゲット移動手段に支持されていることを特徴とする請求項3記載の成膜装置。
- 前記スパッタ駆動源が、冷却水を流動させるための冷却水流路を備え、前記ターゲットの裏面側に均一に当接するためのティルト機構を備えていることを特徴とする請求項1ないし4いずれか1項記載の成膜装置。
- 前記スパッタ駆動源が、真空室と大気の圧力差によって変形自在である冷却板を有し、前記冷却板を介してターゲットの裏面側に押圧されるように構成されていることを特徴とする請求項4または5記載の成膜装置。
- 請求項1ないし7いずれか1項記載の成膜装置によってワークにスパッタリング成膜を行う成膜方法であって、
真空室の開口部に対応するスパッタ位置にターゲットを逐次移動させてスパッタ駆動源を押圧し、スパッタリングを行う工程と、
スパッタ位置に圧力分離用の蓋を移動させて真空室の開口部を閉じた状態でワークの交換を行う工程と、を有することを特徴とする成膜方法。
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- 2005-02-08 JP JP2005031229A patent/JP4667057B2/ja not_active Expired - Fee Related
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