JP6940723B1 - 回転陽極ユニット及びx線発生装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[X線発生装置]
[回転陽極ユニット]
[磁気レンズの冷却機構]
[変形例]
Claims (9)
- 第1金属材料により形成され、円環状の電子入射面を構成するターゲットと、
第2金属材料により平板状に形成され、回転軸に対して略垂直に延在する第1表面、及び第1表面とは反対側の第2表面を有するターゲット支持体と、を備え、
前記第2金属材料の熱伝導率は、前記第1金属材料の熱伝導率よりも高く、
前記ターゲット支持体は、前記回転軸を含む内側部分と、前記ターゲットが固定された外側部分と、を有し、
前記外側部分における前記第1表面には、第1凹部が形成されており、
前記ターゲットは、前記第1凹部に配置されており、前記ターゲットの前記電子入射面は、前記第1表面と同一平面上に位置しており、
前記内側部分における前記第2表面には、冷媒を流すための流路を画定するように構成された第2凹部が形成されており、
前記外側部分において前記第1凹部が形成された第1領域の厚さは、前記内側部分において前記第2凹部が形成された第2領域の厚さよりも厚い、回転陽極ユニット。 - 前記第2領域の厚さと前記ターゲットの厚さとの差は、前記第1領域の厚さと前記第2領域の厚さとの差よりも小さい、請求項1に記載の回転陽極ユニット。
- 前記第1凹部の底面、及び前記ターゲットにおいて前記底面と接触する表面の少なくとも一方の表面粗さRaは、1.6μm以下である、請求項1に記載の回転陽極ユニット。
- 前記ターゲットの前記電子入射面の表面粗さRaは、0.5μm以下である、請求項1に記載の回転陽極ユニット。
- 前記ターゲットの厚さをtとすると、前記ターゲットと前記第1凹部の底面との間の接触幅は、2t以上8t以下である、請求項1に記載の回転陽極ユニット。
- 前記外側部分には、前記第1凹部の底面と前記第2表面との間を貫通する挿通孔が形成されており、
前記ターゲットは、前記挿通孔に挿通された締結部材によって前記ターゲット支持体に固定されている、請求項1に記載の回転陽極ユニット。 - 前記ターゲット支持体に前記第2表面側から固定され、前記第2凹部と共に前記流路を画定するシャフトを更に備える、請求項1に記載の回転陽極ユニット。
- 前記シャフト内に配置された筒状部と、前記筒状部から外側に突出したフランジ部と、を有し、前記第2凹部及び前記シャフトと共に前記流路を画定する流路形成部材を更に備える、請求項7に記載の回転陽極ユニット。
- 請求項1に記載の回転陽極ユニットを備えるX線発生装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US16/836,137 US11183356B2 (en) | 2020-03-31 | 2020-03-31 | Rotary anode unit and X-ray generation apparatus |
US16/836137 | 2020-03-31 | ||
PCT/JP2021/000682 WO2021199561A1 (ja) | 2020-03-31 | 2021-01-12 | 回転陽極ユニット及びx線発生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6940723B1 true JP6940723B1 (ja) | 2021-09-29 |
JPWO2021199561A1 JPWO2021199561A1 (ja) | 2021-10-07 |
Family
ID=77846974
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021523529A Active JP6940723B1 (ja) | 2020-03-31 | 2021-01-12 | 回転陽極ユニット及びx線発生装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP4131325A1 (ja) |
JP (1) | JP6940723B1 (ja) |
KR (1) | KR20220159350A (ja) |
CN (1) | CN115362524A (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5265906B2 (ja) * | 2006-12-08 | 2013-08-14 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 対流冷却式x線管ターゲット及びその製造方法 |
JP2015506557A (ja) * | 2012-01-09 | 2015-03-02 | プランゼー エスエー | 少なくとも部分的に半径方向に方向性のある研削構造を有するx線回転陽極 |
CN109192643A (zh) * | 2018-09-07 | 2019-01-11 | 国家纳米科学中心 | 一种阳极靶及x射线发生装置 |
-
2021
- 2021-01-12 KR KR1020227025783A patent/KR20220159350A/ko unknown
- 2021-01-12 CN CN202180026118.XA patent/CN115362524A/zh active Pending
- 2021-01-12 JP JP2021523529A patent/JP6940723B1/ja active Active
- 2021-01-12 EP EP21781943.2A patent/EP4131325A1/en active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5265906B2 (ja) * | 2006-12-08 | 2013-08-14 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 対流冷却式x線管ターゲット及びその製造方法 |
JP2015506557A (ja) * | 2012-01-09 | 2015-03-02 | プランゼー エスエー | 少なくとも部分的に半径方向に方向性のある研削構造を有するx線回転陽極 |
CN109192643A (zh) * | 2018-09-07 | 2019-01-11 | 国家纳米科学中心 | 一种阳极靶及x射线发生装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP4131325A1 (en) | 2023-02-08 |
JPWO2021199561A1 (ja) | 2021-10-07 |
KR20220159350A (ko) | 2022-12-02 |
CN115362524A (zh) | 2022-11-18 |
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A621 | Written request for application examination |
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A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
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