JP5265906B2 - 対流冷却式x線管ターゲット及びその製造方法 - Google Patents
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Description
12 ガントリ
13 熱交換器
14 X線源
16 X線ビーム
18 検出器アレイ
20 検出器
22 患者
24 回転中心
26 制御機構
42 表示装置
48 開口
50 フレーム
52 陽極背板
54 放射線放出通路
56 X線管容積
57 対流冷却システム
58 陽極又はターゲット
60 軸受組立体
62 陰極
64 回転子
66 中心シャフト
68 中心線
70 前部軸受
72 後部軸受
74 中心シャフトの第1の端部
76 中心シャフトの第2の端部
78 ステム
80 固定子
82 取付け板
83 周囲環境
84 固定子ハウジング
86 固定子取付け構造
88 磁性流体シール組立体
90 副室
92 冷却通路
93 冷却剤
94 環状のリング
96 磁極片
98 磁極片
99 内面
100 永久磁石
102 磁性流体
104 空洞
106 室
107 熱伝導材料
108 通路
109 壁
110 分流器
111 ステム
112 戻り流路
113 隙間
114 供給流路
116 冷却剤
118 冷却入口
119 方向
120 半径方向外側領域
121 方向
122 焦点軌道
124 第1のターゲット・キャップ半部
125 中孔
126 第2のターゲット・キャップ半部
129 隙間
130 撹拌素子又はフィン
131 隙間
132 冷却出口
133 熱絶縁材料
135 壁
136 隙間
139 液体シール
140 蓄熱材料
141 円周方向
142 複数の撹拌素子/フィン
144 空隙
146 複数の撹拌素子/フィン
147 半径方向
148 空隙
150 複数の撹拌素子/フィン
152 空隙
154 複数の撹拌素子/フィン
156 空隙
510 荷物/手荷物検査システム
512 回転可能なガントリ
514 開口
516 高周波電磁エネルギ源
518 検出器組立体
520 コンベヤー・システム
522 コンベヤー・ベルト
524 構体
526 荷物又は手荷物
Claims (9)
- X線管用の陽極組立体であって、
中空のステム(78)と、
前記ステム(78)内に配置され、回転軸(68)を持ち且つ貫通する冷却通路(114)が形成されている、前記ステム(78)に対して回転可能なハブ(66)と、
前記ステム(78)と前記回転可能なハブ(66)との間に取り付けられた磁性流体シール(88)であって、ターゲット(58)を収容する第1の容積(56)を該第1の容積(56)よりも高い気圧を持つ第2の容積(90)から流体分離する磁性流体シール(88)と、
第1及び第2の外面を有し、前記回転可能なハブ(66)に取り付けられたターゲット(58)であって、前記回転可能なハブ(66)の回転軸(68)と一致した回転軸(68)を持ち、また内部に形成されていて、前記冷却通路(114)に流体結合された室(106)を持ち、また当該ターゲット(58)の前記第1の外面に取り付けられ、前記室(106)にオーバーラップしていない焦点軌道材料(122)を持つターゲット(58)と、
前記ターゲット(58)の前記第2の外面に取り付けられ且つ前記焦点軌道材料(122)にオーバーラップして前記焦点軌道材料(122)に熱的に接続された蓄熱材料(140)と、
を有する陽極組立体。 - 更に、入口供給流路(114)を持つ分流器(110)であって、当該分流器(110)と前記室(106)の壁(109)との間に隙間(108)が形成されるように前記室(106)内に配置され、且つ当該分流器(110)と前記冷却通路(114)の壁との間に隙間(113)が形成されるように前記冷却通路(114)の中へ延在している分流器(110)を含んでいる請求項1記載の陽極組立体。
- 前記焦点軌道(122)に向けて電子を放出する陰極(62)と、
前記ターゲット(58)の前記外面に配置された放射性被膜を含んでいる請求項1または2に記載の陽極組立体。 - 更に、
前記回転可能なハブ(66)を回転可能に支持する軸受組立体(60)と、
前記ステム(78)と前記回転可能なハブ(66)との間に配置された第2の冷却通路(92)とを有し、
前記磁性流体シール(88)は、前記ターゲット(58)と前記軸受組立体(60)との間に配置され、
前記第2の冷却通路(92)を流れる冷却剤(93)は前記磁性流体シール(88)と前記軸受組立体(60)を冷却する、請求項1乃至3のいずれかに記載の陽極組立体。 - 更に、
前記第2の容積(90)を形成し、前記回転可能なハブ(66)を回転駆動する固定子(80)及び回転子(64)と、
前記第1の容積(56)を密閉するフレーム(50)及び陽極背板(52)と、
を有し、
前記ステム(78)は前記陽極背板(52)によって支持され、
前記第2の冷却通路(92)が前記陽極背板(52)を通って前記ステム(78)の中に前記冷却剤(93)を運ぶ、請求項4に記載の陽極組立体。 - 前記磁性流体シール(88)は、
磁性流体(102)と、
前記ステム(78)の内面99に突合せ接触し且つ前記回転可能なハブ(66)を取り囲
む一対の環状の磁極片(96,98)と、
前記一対の環状の磁極片(96,98)の間に配置される環状の永久磁石(100)と、
を備え、
前記回転可能なハブ(66)はそこから前記一対の環状の磁極片(96,98)へ向かって延在する複数の環状のリング(94)を含み、
前記磁性流体(102)は各々の前記複数の環状のリング(94)とその対応する前記一対の環状の磁極片(96,98)との間に配置されて、複数の空洞(104)を形成する、請求項1乃至5のいずれかに記載の陽極組立体。 - 前記蓄熱材料は黒鉛及び炭素−炭素複合材の内の一方である、請求項1乃至6のいずれかに記載の陽極組立体。
- 更に、前記室(106)内に配置された冷却剤(116)を含んでおり、
前記冷却剤(116)は、誘電体絶縁油、冷却油、水、エチレン・グリコール及びプロピレン・グリコールの内の少なくとも1つを含んでいる請求項1乃至7のいずれかに記載の陽極組立体。 - 更に、前記室(106)内に配置されて前記ターゲット(58)に取り付けられ、且つ前記冷却通路(114)に流体結合されている熱伝導材料(107)を含んでいる請求項1乃至8のいずれかに記載の陽極組立体。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6940723B1 (ja) * | 2020-03-31 | 2021-09-29 | エナジェティック・テクノロジー・インコーポレーテッド | 回転陽極ユニット及びx線発生装置 |
WO2021199561A1 (ja) | 2020-03-31 | 2021-10-07 | エナジェティック・テクノロジー・インコーポレーテッド | 回転陽極ユニット及びx線発生装置 |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB0812864D0 (en) * | 2008-07-15 | 2008-08-20 | Cxr Ltd | Coolign anode |
GB0525593D0 (en) | 2005-12-16 | 2006-01-25 | Cxr Ltd | X-ray tomography inspection systems |
US10483077B2 (en) | 2003-04-25 | 2019-11-19 | Rapiscan Systems, Inc. | X-ray sources having reduced electron scattering |
US8243876B2 (en) | 2003-04-25 | 2012-08-14 | Rapiscan Systems, Inc. | X-ray scanners |
US9046465B2 (en) | 2011-02-24 | 2015-06-02 | Rapiscan Systems, Inc. | Optimization of the source firing pattern for X-ray scanning systems |
US9558980B2 (en) | 2008-04-30 | 2017-01-31 | Axcelis Technologies, Inc. | Vapor compression refrigeration chuck for ion implanters |
US7852988B2 (en) * | 2008-07-31 | 2010-12-14 | General Electric Company | High flux X-ray target and assembly |
US20100128848A1 (en) * | 2008-11-21 | 2010-05-27 | General Electric Company | X-ray tube having liquid lubricated bearings and liquid cooled target |
GB0901338D0 (en) | 2009-01-28 | 2009-03-11 | Cxr Ltd | X-Ray tube electron sources |
US7974384B2 (en) * | 2009-04-14 | 2011-07-05 | General Electric Company | X-ray tube having a ferrofluid seal and method of assembling same |
US7903787B2 (en) * | 2009-04-14 | 2011-03-08 | General Electric Company | Air-cooled ferrofluid seal in an x-ray tube and method of fabricating same |
US8009806B2 (en) * | 2009-07-13 | 2011-08-30 | General Electric Company | Apparatus and method of cooling a liquid metal bearing in an x-ray tube |
KR101817170B1 (ko) * | 2010-05-28 | 2018-01-10 | 액셀리스 테크놀러지스, 인크. | 냉각식 이온 주입 시스템의 가열식 로터리 시일 및 베어링 |
JP5675987B2 (ja) * | 2010-08-27 | 2015-02-25 | ジーイー センシング アンド インスペクション テクノロジーズ ゲ−エムベーハー | 高分解能x線装置用の微小焦点x線管 |
JP2012191040A (ja) * | 2011-03-11 | 2012-10-04 | Ihi Corp | プラズマ光源システム |
DE102012203807A1 (de) * | 2012-03-12 | 2013-09-12 | Siemens Aktiengesellschaft | Röntgenröhre |
US9711324B2 (en) | 2012-05-31 | 2017-07-18 | Axcelis Technologies, Inc. | Inert atmospheric pressure pre-chill and post-heat |
JP6677420B2 (ja) * | 2016-04-01 | 2020-04-08 | キヤノン電子管デバイス株式会社 | X線管装置 |
CN109192644B (zh) * | 2018-07-25 | 2023-09-01 | 思柯拉特医疗科技(苏州)有限公司 | 一种内部冷却滚珠轴承医用x射线管 |
CN111593307B (zh) * | 2019-02-20 | 2023-08-29 | 东君新能源有限公司 | 一种磁流体端头及磁控溅射靶 |
WO2021011209A1 (en) * | 2019-07-15 | 2021-01-21 | Sigray, Inc. | X-ray source with rotating anode at atmospheric pressure |
US11749489B2 (en) * | 2020-12-31 | 2023-09-05 | Varex Imaging Corporation | Anodes, cooling systems, and x-ray sources including the same |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1036406B (de) * | 1955-05-04 | 1958-08-14 | Max Planck Gesellschaft | Roentgenroehre |
JPS5480097A (en) * | 1977-12-09 | 1979-06-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Soft x-ray tube anti-cathode and its manufacture |
US4455504A (en) * | 1981-04-02 | 1984-06-19 | Iversen Arthur H | Liquid cooled anode x-ray tubes |
US4622687A (en) * | 1981-04-02 | 1986-11-11 | Arthur H. Iversen | Liquid cooled anode x-ray tubes |
JP2539193B2 (ja) * | 1984-12-20 | 1996-10-02 | バリアン・アソシエイツ・インコーポレイテッド | 高強度x線源 |
US5018181A (en) | 1987-06-02 | 1991-05-21 | Coriolis Corporation | Liquid cooled rotating anodes |
JPH01109647A (ja) * | 1987-10-22 | 1989-04-26 | Tokyo Tungsten Co Ltd | X線管用回転陽極とその製造方法 |
US4928296A (en) * | 1988-04-04 | 1990-05-22 | General Electric Company | Apparatus for cooling an X-ray device |
US5150398A (en) * | 1988-07-06 | 1992-09-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Bearing and rotary anode X-ray tube employing the bearing |
US4945562A (en) | 1989-04-24 | 1990-07-31 | General Electric Company | X-ray target cooling |
US5384820A (en) * | 1992-01-06 | 1995-01-24 | Picker International, Inc. | Journal bearing and radiation shield for rotating housing and anode/stationary cathode X-ray tubes |
US5541975A (en) * | 1994-01-07 | 1996-07-30 | Anderson; Weston A. | X-ray tube having rotary anode cooled with high thermal conductivity fluid |
JPH07217747A (ja) * | 1994-01-31 | 1995-08-15 | Nok Corp | 磁性流体シール装置 |
US6393901B1 (en) | 1994-10-04 | 2002-05-28 | Johnson & Johnson, Inc. | Pressure cell for subjecting an absorbent article to compressive stress during a liquid-absorbency test |
US5652778A (en) * | 1995-10-13 | 1997-07-29 | General Electric Company | Cooling X-ray tube |
JP2000251810A (ja) * | 1999-03-02 | 2000-09-14 | Rigaku Corp | X線管ターゲット |
US6430260B1 (en) * | 2000-12-29 | 2002-08-06 | General Electric Company | X-ray tube anode cooling device and systems incorporating same |
US6636583B2 (en) * | 2002-03-04 | 2003-10-21 | Ge Medical Systems Global Technology Co., Llc | Grease bearing with gallium shunt |
US6807348B2 (en) | 2002-03-14 | 2004-10-19 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Liquid metal heat pipe structure for x-ray target |
DE10304936B3 (de) * | 2003-02-06 | 2004-10-28 | Siemens Ag | Drehanode für eine Röntgenröhre mit einem Anodenkörper aus Faserwerkstoff sowie Verfahren zu deren Herstellung |
DE10318194A1 (de) | 2003-04-22 | 2004-11-25 | Siemens Ag | Röntgenröhre mit Flüssigmetall-Gleitlager |
DE10320361B3 (de) * | 2003-05-07 | 2004-12-16 | Siemens Ag | Vorrichtung mit einem in einem Fluid eingetauchten Drehkörper, insbesondere Röntgenstrahler |
JP3836855B2 (ja) | 2004-07-15 | 2006-10-25 | 株式会社リガク | 回転対陰極x線管及びx線発生装置 |
US7197115B2 (en) * | 2004-08-10 | 2007-03-27 | General Electric Company | Cantilever and straddle x-ray tube configurations for a rotating anode with vacuum transition chambers |
FR2879810B1 (fr) * | 2004-12-21 | 2007-02-16 | Gen Electric | Tube a rayons x bien refroidi |
JP4210645B2 (ja) * | 2004-12-21 | 2009-01-21 | 株式会社リガク | 回転対陰極x線管およびx線発生装置 |
FR2882886B1 (fr) * | 2005-03-02 | 2007-11-23 | Commissariat Energie Atomique | Source monochromatique de rayons x et microscope a rayons x mettant en oeuvre une telle source |
-
2006
- 2006-12-08 US US11/608,328 patent/US7508916B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2007
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6940723B1 (ja) * | 2020-03-31 | 2021-09-29 | エナジェティック・テクノロジー・インコーポレーテッド | 回転陽極ユニット及びx線発生装置 |
WO2021199561A1 (ja) | 2020-03-31 | 2021-10-07 | エナジェティック・テクノロジー・インコーポレーテッド | 回転陽極ユニット及びx線発生装置 |
US11183356B2 (en) | 2020-03-31 | 2021-11-23 | Energetiq Technology, Inc. | Rotary anode unit and X-ray generation apparatus |
KR20220159350A (ko) | 2020-03-31 | 2022-12-02 | 에너제틱 테크놀로지 아이엔씨. | 회전 양극 유닛 및 x선 발생 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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JP2008147188A (ja) | 2008-06-26 |
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