JPH07217747A - 磁性流体シール装置 - Google Patents
磁性流体シール装置Info
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- JPH07217747A JPH07217747A JP6028927A JP2892794A JPH07217747A JP H07217747 A JPH07217747 A JP H07217747A JP 6028927 A JP6028927 A JP 6028927A JP 2892794 A JP2892794 A JP 2892794A JP H07217747 A JPH07217747 A JP H07217747A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
- F16J15/40—Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid
- F16J15/43—Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid kept in sealing position by magnetic force
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
- F16C33/06—Sliding surface mainly made of metal
- F16C33/10—Construction relative to lubrication
- F16C33/1025—Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant
- F16C33/103—Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant retained in or near the bearing
- F16C33/1035—Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant retained in or near the bearing by a magnetic field acting on a magnetic liquid
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- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高耐圧化，コンパクト化，低損失トルク化及
び低バースト量化を図る。 【構成】 磁性流体５を保持するための環状突起６，６
０を有する磁性流体シール装置において、前記環状突起
６，６０の軸方向幅ｌt を０．１３mm以上０．２４mm以
下、環状突起６，６０の径方向高さｌh を０．２８mm以
上０．４７mm以下、環状突起６，６０の隣り合う側面間
の軸方向間隔ｌs を０．３８mm以上０．６９mm、の３条
件のうち、少なくとも１条件以上を満足することを特徴
とする。
び低バースト量化を図る。 【構成】 磁性流体５を保持するための環状突起６，６
０を有する磁性流体シール装置において、前記環状突起
６，６０の軸方向幅ｌt を０．１３mm以上０．２４mm以
下、環状突起６，６０の径方向高さｌh を０．２８mm以
上０．４７mm以下、環状突起６，６０の隣り合う側面間
の軸方向間隔ｌs を０．３８mm以上０．６９mm、の３条
件のうち、少なくとも１条件以上を満足することを特徴
とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁性流体を用いて各種
流体（主として気体）をシールする磁性流体シール装置
に関し、特に真空・ガス等の比較的高い圧力を有する流
体をシールする磁性流体シール装置に関する。
流体（主として気体）をシールする磁性流体シール装置
に関し、特に真空・ガス等の比較的高い圧力を有する流
体をシールする磁性流体シール装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の真空・ガス等の比較的高
い圧力を有する流体をシールする多段構造の磁性流体シ
ール装置としては、図２に示すようなものが特公昭５１
−９８５３号公報（米国特許第３６２０５８４号）や特
開平１−２２０７７７号公報に記載されている。即ち、
この磁性流体シール装置は軸方向に着磁された環状磁力
源としての円環状永久磁石１０４と、該円環状永久磁石
１０４の両端面に接して設けた一対の環状磁極片として
の円環状磁極片１０２，１２０と、該一対の円環状磁極
片１０２，１２０を内周面に固着した筒状ハウジングと
しての円筒状ハウジング１０７と、前記一対の円環状磁
極片１０２，１２０の内周面と微小間隙１０３を介して
貫通して設けた軸１０１と、前記一対の円環状磁極片１
０２，１２０の内周面に対向する前記軸１０１の外周面
側に設けられた複数個（図２では片側１０個ずつ）の環
状突起１０６，１６０と、該環状突起１０６，１６０の
外周面と前記一対の円環状磁極片１０２，１２０の内周
面との対向面間の前記微小間隙１０３に介在する磁性流
体１０５とから構成されたものである。
い圧力を有する流体をシールする多段構造の磁性流体シ
ール装置としては、図２に示すようなものが特公昭５１
−９８５３号公報（米国特許第３６２０５８４号）や特
開平１−２２０７７７号公報に記載されている。即ち、
この磁性流体シール装置は軸方向に着磁された環状磁力
源としての円環状永久磁石１０４と、該円環状永久磁石
１０４の両端面に接して設けた一対の環状磁極片として
の円環状磁極片１０２，１２０と、該一対の円環状磁極
片１０２，１２０を内周面に固着した筒状ハウジングと
しての円筒状ハウジング１０７と、前記一対の円環状磁
極片１０２，１２０の内周面と微小間隙１０３を介して
貫通して設けた軸１０１と、前記一対の円環状磁極片１
０２，１２０の内周面に対向する前記軸１０１の外周面
側に設けられた複数個（図２では片側１０個ずつ）の環
状突起１０６，１６０と、該環状突起１０６，１６０の
外周面と前記一対の円環状磁極片１０２，１２０の内周
面との対向面間の前記微小間隙１０３に介在する磁性流
体１０５とから構成されたものである。
【０００３】そして、特開平１−２２０７７７号公報に
は、環状突起１０６，１６０の軸方向幅ｌt を０．２５
mm、環状突起１０６，１６０の径方向高さｌh （環状溝
１０８，１８０の深さ）を０．５mm、環状突起１０６，
１６０の隣り合う側面間の軸方向間隔ｌs （環状溝１０
８，１８０の幅）を０．７５mmとする具体寸法が記載さ
れている。
は、環状突起１０６，１６０の軸方向幅ｌt を０．２５
mm、環状突起１０６，１６０の径方向高さｌh （環状溝
１０８，１８０の深さ）を０．５mm、環状突起１０６，
１６０の隣り合う側面間の軸方向間隔ｌs （環状溝１０
８，１８０の幅）を０．７５mmとする具体寸法が記載さ
れている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の技術による磁性流体シール装置には、以下の如
き問題点がある。
た従来の技術による磁性流体シール装置には、以下の如
き問題点がある。
【０００５】即ち、上記した環状突起１０６，１６０の
軸方向幅ｌt が広すぎ、径方向高さｌh が高すぎ、軸方
向間隔ｌs が広すぎるため、微小間隙１０５の磁場がそ
れほど大きくならず、それ故、シール耐圧があまり大き
くなく環状磁力源としての円環状永久磁石１０４の能力
を最大限活用せずに無駄にしているという問題点。
軸方向幅ｌt が広すぎ、径方向高さｌh が高すぎ、軸方
向間隔ｌs が広すぎるため、微小間隙１０５の磁場がそ
れほど大きくならず、それ故、シール耐圧があまり大き
くなく環状磁力源としての円環状永久磁石１０４の能力
を最大限活用せずに無駄にしているという問題点。
【０００６】そして、環状突起１０６，１６０の軸方向
幅ｌt が広すぎ、軸方向間隔ｌs が広すぎるため、円環
状磁極片１０２，１２０の軸方向長ｌp が長くなり装置
全体が軸方向に大型化（長尺化）するという問題点。
幅ｌt が広すぎ、軸方向間隔ｌs が広すぎるため、円環
状磁極片１０２，１２０の軸方向長ｌp が長くなり装置
全体が軸方向に大型化（長尺化）するという問題点。
【０００７】また、環状突起１０６，１６０の軸方向幅
ｌt が広すぎるため、磁性流体１０５の接触面積が大き
くなり軸１０１の回転時における損失トルクが大きいと
いう問題点。
ｌt が広すぎるため、磁性流体１０５の接触面積が大き
くなり軸１０１の回転時における損失トルクが大きいと
いう問題点。
【０００８】さらに、環状突起１０６，１６０の高さｌ
h が高すぎ、軸方向間隔ｌs が広すぎるため、隣り合う
微小間隙１０３内に介在する磁性流体１０５と隣り合う
環状突起１０６（または１６０）の側面と軸１０１の環
状溝１０８と円環状磁極片１０２（または１２０）の内
周面とで囲まれた空間Ｖの容積が大きくなり、高圧側Ｈ
と低圧側Ｌの圧力差変化や軸１０１振れ等により各空間
Ｖ部の分圧バランスが崩れた時に、最も低圧側Ｌに近い
空間Ｖから低圧側Ｌへ放出されるガスの量（バースト
量）が大きいという問題点が有る。
h が高すぎ、軸方向間隔ｌs が広すぎるため、隣り合う
微小間隙１０３内に介在する磁性流体１０５と隣り合う
環状突起１０６（または１６０）の側面と軸１０１の環
状溝１０８と円環状磁極片１０２（または１２０）の内
周面とで囲まれた空間Ｖの容積が大きくなり、高圧側Ｈ
と低圧側Ｌの圧力差変化や軸１０１振れ等により各空間
Ｖ部の分圧バランスが崩れた時に、最も低圧側Ｌに近い
空間Ｖから低圧側Ｌへ放出されるガスの量（バースト
量）が大きいという問題点が有る。
【０００９】本発明は、上記した従来技術の課題を解決
するためになされたもので、その目的とするところは、
高耐圧化，コンパクト化，低損失トルク化及び低バース
ト量化を図り得る磁性流体シール装置を提供することに
ある。
するためになされたもので、その目的とするところは、
高耐圧化，コンパクト化，低損失トルク化及び低バース
ト量化を図り得る磁性流体シール装置を提供することに
ある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明にあっては、軸方向に磁化可能な環状磁力源
と、該環状磁力源の両端面に接して設けた一対の環状磁
極片と、該一対の環状磁極片の内周面と微小間隙を介し
て貫通する軸と、前記一対の環状磁極片の内周面に対向
する前記軸の外周面側または前記一対の環状磁極片の内
周面側の少なくともいずれか一方に設けられた複数個の
環状突起と、該環状突起と対向面間の微小間隙内に介在
する磁性流体とからなる磁性流体シール装置において、
前記環状突起の軸方向幅を０．１３mm以上０．２４mm以
下、前記環状突起の径方向高さを０．２８mm以上０．４
７mm以下、前記環状突起の隣り合う側面間の軸方向間隔
を０．３８mm以上０．６９mm以下、の３条件のうち、少
なくとも１条件以上を満足することを特徴とする。
に、本発明にあっては、軸方向に磁化可能な環状磁力源
と、該環状磁力源の両端面に接して設けた一対の環状磁
極片と、該一対の環状磁極片の内周面と微小間隙を介し
て貫通する軸と、前記一対の環状磁極片の内周面に対向
する前記軸の外周面側または前記一対の環状磁極片の内
周面側の少なくともいずれか一方に設けられた複数個の
環状突起と、該環状突起と対向面間の微小間隙内に介在
する磁性流体とからなる磁性流体シール装置において、
前記環状突起の軸方向幅を０．１３mm以上０．２４mm以
下、前記環状突起の径方向高さを０．２８mm以上０．４
７mm以下、前記環状突起の隣り合う側面間の軸方向間隔
を０．３８mm以上０．６９mm以下、の３条件のうち、少
なくとも１条件以上を満足することを特徴とする。
【００１１】また、軸方向に磁化可能な環状磁力源と、
該環状磁力源の両端面に接して設けた一対の環状磁極片
と、該一対の環状磁極片の内周面に接して固着された軸
と、前記一対の環状磁極片の外周面と微小間隙を介して
内周面が取り囲む筒状ハウジングと、前記一対の環状磁
極片の外周面または、前記一対の環状磁極片の外周面に
対向する前記筒状ハウジングの内周面側の少なくともい
ずれか一方に設けられた複数個の環状突起と、該環状突
起と対向面間の微小間隙内に介在する磁性流体とからな
る磁性流体シール装置において、前記環状突起の軸方向
幅を０．１３mm以上０．２４mm以下、前記環状突起の径
方向高さを０．２８mm以上０．４７mm以下、前記環状突
起の隣り合う側面間の軸方向間隔を０．３８mm以上０．
６９mm以下、の３条件のうち、少なくとも１条件以上を
満足することを特徴とする。
該環状磁力源の両端面に接して設けた一対の環状磁極片
と、該一対の環状磁極片の内周面に接して固着された軸
と、前記一対の環状磁極片の外周面と微小間隙を介して
内周面が取り囲む筒状ハウジングと、前記一対の環状磁
極片の外周面または、前記一対の環状磁極片の外周面に
対向する前記筒状ハウジングの内周面側の少なくともい
ずれか一方に設けられた複数個の環状突起と、該環状突
起と対向面間の微小間隙内に介在する磁性流体とからな
る磁性流体シール装置において、前記環状突起の軸方向
幅を０．１３mm以上０．２４mm以下、前記環状突起の径
方向高さを０．２８mm以上０．４７mm以下、前記環状突
起の隣り合う側面間の軸方向間隔を０．３８mm以上０．
６９mm以下、の３条件のうち、少なくとも１条件以上を
満足することを特徴とする。
【００１２】
【作用】上記構成の磁性流体シール装置によれば、環状
突起の軸方向幅を０．１３mm以上０．２４mm以下として
場合には、公知寸法０．２５mmとした場合に比べて磁束
の集中効果が高まるように適度に軸方向幅を狭めている
ため、微小間隙の磁場が大きくなってシール耐圧が増加
し、環状磁力源の能力を有効に活用することができる。
また、環状突起の軸方向幅を公知寸法に比べて狭めてい
るため、環状磁極片の軸方向長が短くなり、装置全体が
軸方向にコンパクト化されると共に、軸方向幅を狭めて
いることにより、磁性流体の接触面積が減少し、損失ト
ルクが低減する。但し、環状突起の軸方向幅を狭めし過
ぎると磁気飽和によって磁気抵抗が増大するため、環状
突起部を通る磁束が減少し、周囲への漏れ磁束が増加す
る。そのため、磁束の集中効果が弱まって、却ってシー
ル耐圧が減少する。これらから、上記寸法設定により、
シール耐圧を最大にすることができる。
突起の軸方向幅を０．１３mm以上０．２４mm以下として
場合には、公知寸法０．２５mmとした場合に比べて磁束
の集中効果が高まるように適度に軸方向幅を狭めている
ため、微小間隙の磁場が大きくなってシール耐圧が増加
し、環状磁力源の能力を有効に活用することができる。
また、環状突起の軸方向幅を公知寸法に比べて狭めてい
るため、環状磁極片の軸方向長が短くなり、装置全体が
軸方向にコンパクト化されると共に、軸方向幅を狭めて
いることにより、磁性流体の接触面積が減少し、損失ト
ルクが低減する。但し、環状突起の軸方向幅を狭めし過
ぎると磁気飽和によって磁気抵抗が増大するため、環状
突起部を通る磁束が減少し、周囲への漏れ磁束が増加す
る。そのため、磁束の集中効果が弱まって、却ってシー
ル耐圧が減少する。これらから、上記寸法設定により、
シール耐圧を最大にすることができる。
【００１３】次に、環状突起の径方向高さ（環状溝の径
方向深さ）を０．２８mm以上０．４７mm以下とした場合
には、公知寸法０．５mmとした場合に比べて磁束の集中
効果が高まり環状突起内の磁気抵抗が小さくなるように
適度に径方向高さを低くしているため、微小間隙の磁場
が大きくなって、シール耐圧が増加し、環状磁力源の能
力を有効に活用することができる。また、環状突起の径
方向高さを公知寸法に比べて低くしているため、隣り合
う微小間隙内に介在する磁性流体と隣り合う環状突起の
側面と軸の環状溝と環状磁極片の内周面とで囲まれた空
間の容積が小さくなり、バースト量（各空間部の分圧バ
ランスが崩れた時に低圧側へ放出されるガスの量）が低
減する。但し、環状突起の径方向高さを低くし過ぎる
と、環状突起先端部と環状磁極片間の距離（ギャップ
長）と、環状突起間の溝と環状磁極片間との距離との差
が小さくなり、両者、空間部の磁気抵抗の差が小さくな
るため、環状突起部を通る磁束が減少し、周囲の漏れ磁
束が増加する。そのため、磁束の集中が弱まって、却っ
てシール耐圧が減少する。これらから、上記寸法設定に
より、シール耐圧を最大にすることができる。
方向深さ）を０．２８mm以上０．４７mm以下とした場合
には、公知寸法０．５mmとした場合に比べて磁束の集中
効果が高まり環状突起内の磁気抵抗が小さくなるように
適度に径方向高さを低くしているため、微小間隙の磁場
が大きくなって、シール耐圧が増加し、環状磁力源の能
力を有効に活用することができる。また、環状突起の径
方向高さを公知寸法に比べて低くしているため、隣り合
う微小間隙内に介在する磁性流体と隣り合う環状突起の
側面と軸の環状溝と環状磁極片の内周面とで囲まれた空
間の容積が小さくなり、バースト量（各空間部の分圧バ
ランスが崩れた時に低圧側へ放出されるガスの量）が低
減する。但し、環状突起の径方向高さを低くし過ぎる
と、環状突起先端部と環状磁極片間の距離（ギャップ
長）と、環状突起間の溝と環状磁極片間との距離との差
が小さくなり、両者、空間部の磁気抵抗の差が小さくな
るため、環状突起部を通る磁束が減少し、周囲の漏れ磁
束が増加する。そのため、磁束の集中が弱まって、却っ
てシール耐圧が減少する。これらから、上記寸法設定に
より、シール耐圧を最大にすることができる。
【００１４】次に、環状突起の隣り合う側面間の軸方向
間隔（環状溝の幅）を０．３８mm以上０．６９mm以下と
した場合には、公知寸法０．７５mmとした場合に比べ
て、磁束の集中効果が高まり、軸内の磁気抵抗が小さく
なるように適度に軸方向間隔を狭めているため、微小間
隙の磁場が大きくなってシール耐圧が増加し、環状磁力
源の能力を有効に活用することができる。また、環状突
起の隣り合う側面間の軸方向間隔を公知寸法に比べて狭
めているため、環状磁極片の軸方向長が短くなり装置全
体が軸方向にコンパクト化されると共に、軸方向間隔
（環状幅の幅）を狭めていることにより、隣り合う微小
間隙内に介在する磁性流体と隣り合う環状突起の側面と
軸の環状溝と環状磁極片の内周面とで囲まれた空間の容
積が小さくなり、バースト量が低減する。但し、環状突
起の隣り合う側面間の軸方向間隔を狭めし過ぎると、隣
り合う環状突起間の磁気的干渉により、周囲の漏れ磁束
が増加する。そのため、磁束の集中が弱まって、却って
シール耐圧が減少する。これらから、上記寸法設定によ
り、シール耐圧を最大にすることができる。
間隔（環状溝の幅）を０．３８mm以上０．６９mm以下と
した場合には、公知寸法０．７５mmとした場合に比べ
て、磁束の集中効果が高まり、軸内の磁気抵抗が小さく
なるように適度に軸方向間隔を狭めているため、微小間
隙の磁場が大きくなってシール耐圧が増加し、環状磁力
源の能力を有効に活用することができる。また、環状突
起の隣り合う側面間の軸方向間隔を公知寸法に比べて狭
めているため、環状磁極片の軸方向長が短くなり装置全
体が軸方向にコンパクト化されると共に、軸方向間隔
（環状幅の幅）を狭めていることにより、隣り合う微小
間隙内に介在する磁性流体と隣り合う環状突起の側面と
軸の環状溝と環状磁極片の内周面とで囲まれた空間の容
積が小さくなり、バースト量が低減する。但し、環状突
起の隣り合う側面間の軸方向間隔を狭めし過ぎると、隣
り合う環状突起間の磁気的干渉により、周囲の漏れ磁束
が増加する。そのため、磁束の集中が弱まって、却って
シール耐圧が減少する。これらから、上記寸法設定によ
り、シール耐圧を最大にすることができる。
【００１５】そして、環状突起の軸方向幅，径方向高
さ，軸方向間隔の３条件のうち２条件以上を組み合わせ
た場合には、上記した効果が相乗的に高まり、特に上記
３条件すべてを組み合わせた場合には、高耐圧化，コン
パクト化，低損失トルク化，低バースト量化のすべてに
おいて極めて高い効果が得られる。
さ，軸方向間隔の３条件のうち２条件以上を組み合わせ
た場合には、上記した効果が相乗的に高まり、特に上記
３条件すべてを組み合わせた場合には、高耐圧化，コン
パクト化，低損失トルク化，低バースト量化のすべてに
おいて極めて高い効果が得られる。
【００１６】
【実施例】以下に本発明を具体例に基づいて説明する。
図１に、本発明の一実施例に係る磁性流体シール装置を
示す。この磁性流体シール装置は真空・ガス等の比較的
高い圧力を有する流体をシールする多段構造の磁性流体
シール装置であり、その基本構成は、図２に示した従来
の磁性流体シール装置と同様である。
図１に、本発明の一実施例に係る磁性流体シール装置を
示す。この磁性流体シール装置は真空・ガス等の比較的
高い圧力を有する流体をシールする多段構造の磁性流体
シール装置であり、その基本構成は、図２に示した従来
の磁性流体シール装置と同様である。
【００１７】すなわち、この磁性流体シール装置は、軸
方向に着磁された環状磁力源としての円環状永久磁石４
と、該円環状永久磁石４の両端面に接して設けた一対の
環状磁極片としての円環状磁極片２，２０と、該一対の
円環状磁極片２，２０を内周面に固着した筒状ハウジン
グとしての円筒状ハウジング７と、前記一対の円環状磁
極片２，２０の内周面と微小間隙３を介して貫通して設
けた軸１と、前記一対の円環状磁極片２，２０の内周面
に対向する前記軸１の外周面側に設けられた複数個（図
１では片側１０個ずつ）の環状突起６，６０と、該環状
突起６，６０の外周面と前記一対の円環状磁極片２，２
０の内周面との対向面間の前記微小間隙３に介在する磁
性流体５とから構成される。
方向に着磁された環状磁力源としての円環状永久磁石４
と、該円環状永久磁石４の両端面に接して設けた一対の
環状磁極片としての円環状磁極片２，２０と、該一対の
円環状磁極片２，２０を内周面に固着した筒状ハウジン
グとしての円筒状ハウジング７と、前記一対の円環状磁
極片２，２０の内周面と微小間隙３を介して貫通して設
けた軸１と、前記一対の円環状磁極片２，２０の内周面
に対向する前記軸１の外周面側に設けられた複数個（図
１では片側１０個ずつ）の環状突起６，６０と、該環状
突起６，６０の外周面と前記一対の円環状磁極片２，２
０の内周面との対向面間の前記微小間隙３に介在する磁
性流体５とから構成される。
【００１８】そして、環状突起６，６０の軸方向幅ｌt
を０．１３mm以上０．２４mm以下、環状突起６，６０の
径方向高さｌh （環状溝８，８０の径方向深さ）を０．
２８mm以上０．４７mm以下、環状突起６，６０の隣り合
う側面間の軸方向間隔ｌs （環状溝８，８０の軸方向
幅）を０．３８mm以上０．６９mm以下、の３条件のうち
少なくとも１条件以上を満足するように構成されてい
る。
を０．１３mm以上０．２４mm以下、環状突起６，６０の
径方向高さｌh （環状溝８，８０の径方向深さ）を０．
２８mm以上０．４７mm以下、環状突起６，６０の隣り合
う側面間の軸方向間隔ｌs （環状溝８，８０の軸方向
幅）を０．３８mm以上０．６９mm以下、の３条件のうち
少なくとも１条件以上を満足するように構成されてい
る。
【００１９】次に、具体的な比較例を表１〜４に示す。
円環状永久磁石４の材質は、Ｓm2Ｃo17 プラスチック磁
石（最大エネルギー積７６KJ/m3 ）、Ｓm2Ｃo17 焼結磁
石（最大エネルギー積１７５KJ/m3 ），Ｎｄ2 Ｆe14 Ｂ
焼結磁石（最大エネルギー積３１０KJ/m3 ）の３種類を
用い、軸１および円環状磁極片２，２０の材質はマルテ
ンサイト系ステンレス鋼を用いている。また、微小間隙
３の長さｌg は０．０２mm，０．０６mm，０．１０mmの
３条件としている。尚、表中（ ）内の数値は公知寸法
となっている。
円環状永久磁石４の材質は、Ｓm2Ｃo17 プラスチック磁
石（最大エネルギー積７６KJ/m3 ）、Ｓm2Ｃo17 焼結磁
石（最大エネルギー積１７５KJ/m3 ），Ｎｄ2 Ｆe14 Ｂ
焼結磁石（最大エネルギー積３１０KJ/m3 ）の３種類を
用い、軸１および円環状磁極片２，２０の材質はマルテ
ンサイト系ステンレス鋼を用いている。また、微小間隙
３の長さｌg は０．０２mm，０．０６mm，０．１０mmの
３条件としている。尚、表中（ ）内の数値は公知寸法
となっている。
【００２０】表１は、環状突起６，６０の径方向高さｌ
h および軸方向間隔ｌs を公知寸法（各々、０．５０m
m，０．７５mm）として、軸方向幅ｌt を０．１０mm以
上０．３０mm以下とした場合の公知寸法０．２５mmとの
比較例を示している。尚、表中のシール耐圧増加率、軸
方向長低減率および損失トルク低減率は公知寸法０．２
５mmに対する増加又は低減の比率となっている。
h および軸方向間隔ｌs を公知寸法（各々、０．５０m
m，０．７５mm）として、軸方向幅ｌt を０．１０mm以
上０．３０mm以下とした場合の公知寸法０．２５mmとの
比較例を示している。尚、表中のシール耐圧増加率、軸
方向長低減率および損失トルク低減率は公知寸法０．２
５mmに対する増加又は低減の比率となっている。
【００２１】
【表１】 表１に示されているシール耐圧増加率、軸方向長低減率
および損失トルク低減率の値から明らかなように、環状
突起６，６０の軸方向幅ｌt を０．１３mm以上０．２４
mm以下の場合において、軸方向幅ｌt ，径方向高さｌh
，軸方向間隔ｌs を公知寸法とした従来例に比べてシ
ール耐圧が増加し、軸方向長および損失トルクが低減し
ている。
および損失トルク低減率の値から明らかなように、環状
突起６，６０の軸方向幅ｌt を０．１３mm以上０．２４
mm以下の場合において、軸方向幅ｌt ，径方向高さｌh
，軸方向間隔ｌs を公知寸法とした従来例に比べてシ
ール耐圧が増加し、軸方向長および損失トルクが低減し
ている。
【００２２】そして、図３（ａ）には、表１におけるシ
ール耐圧増加率と軸方向幅ｌt との関係を表すグラフを
示しており、○印は微小間隙ｌg が０．０２mm、△印は
微小間隙ｌg が０．０６mm、□印は微小間隙ｌg が０．
１０mmの関係を表している。このグラフから明らかなよ
うに、軸方向幅ｌt は０．１３mm以上０．２４mm以下に
おいてピーク的効果を有していることがわかる（例え
ば、微小間隙ｌg が０．０２mmの場合、ｌt ≒０．１８
mmがピーク値）。これは、環状突起６，６０の軸方向幅
ｌt を狭めし過ぎると磁気飽和によって磁気抵抗が増大
することにより、環状突起６，６０部を通る磁束が減少
し、周囲への漏れ磁束が増加するため、磁束の集中効果
が弱まり、却ってシール耐圧が減少するからである。従
って、上記寸法設定により、シール耐圧を最大にするこ
とができる。
ール耐圧増加率と軸方向幅ｌt との関係を表すグラフを
示しており、○印は微小間隙ｌg が０．０２mm、△印は
微小間隙ｌg が０．０６mm、□印は微小間隙ｌg が０．
１０mmの関係を表している。このグラフから明らかなよ
うに、軸方向幅ｌt は０．１３mm以上０．２４mm以下に
おいてピーク的効果を有していることがわかる（例え
ば、微小間隙ｌg が０．０２mmの場合、ｌt ≒０．１８
mmがピーク値）。これは、環状突起６，６０の軸方向幅
ｌt を狭めし過ぎると磁気飽和によって磁気抵抗が増大
することにより、環状突起６，６０部を通る磁束が減少
し、周囲への漏れ磁束が増加するため、磁束の集中効果
が弱まり、却ってシール耐圧が減少するからである。従
って、上記寸法設定により、シール耐圧を最大にするこ
とができる。
【００２３】表２は、環状突起６，６０の軸方向幅ｌt
および軸方向間隔ｌs を公知寸法（各々、０．２５mm，
０．７５mm）として、径方向高さｌh を０．２０mm以上
０．６０mm以下とした場合の公知寸法０．５０mmとの比
較例を示している。尚、表中のシール耐圧増加率、バー
スト量低減率は公知寸法０．５０mmに対する増加又は低
減の比率となっている。
および軸方向間隔ｌs を公知寸法（各々、０．２５mm，
０．７５mm）として、径方向高さｌh を０．２０mm以上
０．６０mm以下とした場合の公知寸法０．５０mmとの比
較例を示している。尚、表中のシール耐圧増加率、バー
スト量低減率は公知寸法０．５０mmに対する増加又は低
減の比率となっている。
【００２４】
【表２】 表２に示されているシール耐圧増加率およびバースト量
低減率の値から明らかなように、環状突起６，６０の径
方向高さｌh を０．２８mm以上０．４７mm以下の場合に
おいて、従来例に比べてシール耐圧が増加し、バースト
量が低減している。
低減率の値から明らかなように、環状突起６，６０の径
方向高さｌh を０．２８mm以上０．４７mm以下の場合に
おいて、従来例に比べてシール耐圧が増加し、バースト
量が低減している。
【００２５】そして、図３（ｂ）には、表２におけるシ
ール耐圧増加率と径方向高さｌh との関係を表すグラフ
を示しており、○印は微小間隙ｌg が０．０２mm、△印
は微小間隙ｌg が０．０６mm、□印は微小間隙ｌg が
０．１０mmの関係を表している。このグラフから明らか
なように、軸方向幅ｌh は０．２８mm以上０．４７mm以
下においてピーク的効果を有していることがわかる。こ
れは、環状突起６，６０の径方向高さｌh を低くし過ぎ
ると、環状突起６，６０の先端部と円環状磁極片２，２
０間の距離（ギャップ長）と、環状溝８，８０と円環状
磁極片２，２０間との距離との差が小さくなることによ
り、両者、空間部の磁気抵抗の差が小さくなるため、環
状突起６，６０部を通る磁束が減少し、周囲の漏れ磁束
が増加するため、磁束の集中が弱まって、却ってシール
耐圧が減少するからである。従って、上記寸法設定によ
り、シール耐圧を最大にすることができる。
ール耐圧増加率と径方向高さｌh との関係を表すグラフ
を示しており、○印は微小間隙ｌg が０．０２mm、△印
は微小間隙ｌg が０．０６mm、□印は微小間隙ｌg が
０．１０mmの関係を表している。このグラフから明らか
なように、軸方向幅ｌh は０．２８mm以上０．４７mm以
下においてピーク的効果を有していることがわかる。こ
れは、環状突起６，６０の径方向高さｌh を低くし過ぎ
ると、環状突起６，６０の先端部と円環状磁極片２，２
０間の距離（ギャップ長）と、環状溝８，８０と円環状
磁極片２，２０間との距離との差が小さくなることによ
り、両者、空間部の磁気抵抗の差が小さくなるため、環
状突起６，６０部を通る磁束が減少し、周囲の漏れ磁束
が増加するため、磁束の集中が弱まって、却ってシール
耐圧が減少するからである。従って、上記寸法設定によ
り、シール耐圧を最大にすることができる。
【００２６】表３は、環状突起６，６０の軸方向幅ｌt
および径方向高さｌh を公知寸法（各々、０．２５mm，
０．５０mm）として、軸方向間隔ｌs を０．３０mm以上
０．９０mm以下とした場合の公知寸法０．７５mmとの比
較例を示している。尚、表中のシール耐圧増加率、軸方
向長低減率およびバースト量低減率は公知寸法０．７５
mmに対する増加又は低減の比率となっている。
および径方向高さｌh を公知寸法（各々、０．２５mm，
０．５０mm）として、軸方向間隔ｌs を０．３０mm以上
０．９０mm以下とした場合の公知寸法０．７５mmとの比
較例を示している。尚、表中のシール耐圧増加率、軸方
向長低減率およびバースト量低減率は公知寸法０．７５
mmに対する増加又は低減の比率となっている。
【００２７】
【表３】 表３に示されているシール耐圧増加率、軸方向長低減率
およびバースト量低減率の値から明らかなように、環状
突起６，６０の軸方向間隔ｌs を０．３８mm以上０．６
９mm以下とした場合には、従来例に比べてシール耐圧が
増加し、軸方向長およびバースト量が低減している。
およびバースト量低減率の値から明らかなように、環状
突起６，６０の軸方向間隔ｌs を０．３８mm以上０．６
９mm以下とした場合には、従来例に比べてシール耐圧が
増加し、軸方向長およびバースト量が低減している。
【００２８】そして、図３（ｃ）には、表３におけるシ
ール耐圧増加率と軸方向間隔ｌs との関係を表すグラフ
を示しており、○印は微小間隙ｌg が０．０２mm、△印
は微小間隙ｌg が０．０６mmの関係を表している。この
グラフから軸方向幅ｌs は０．３８mm以上０．６９mm以
下においてピーク的効果を有していることがわかる。こ
れは、環状突起６，６０の隣り合う側面間の軸方向間隔
ｌs を狭めし過ぎると、隣り合う環状突起６，６０間の
磁気的干渉により、周囲の漏れ磁束が増加するため、磁
束の集中が弱まって、却ってシール耐圧が減少するから
である。従って、上記寸法設定により、シール耐圧を最
大にすることができる。
ール耐圧増加率と軸方向間隔ｌs との関係を表すグラフ
を示しており、○印は微小間隙ｌg が０．０２mm、△印
は微小間隙ｌg が０．０６mmの関係を表している。この
グラフから軸方向幅ｌs は０．３８mm以上０．６９mm以
下においてピーク的効果を有していることがわかる。こ
れは、環状突起６，６０の隣り合う側面間の軸方向間隔
ｌs を狭めし過ぎると、隣り合う環状突起６，６０間の
磁気的干渉により、周囲の漏れ磁束が増加するため、磁
束の集中が弱まって、却ってシール耐圧が減少するから
である。従って、上記寸法設定により、シール耐圧を最
大にすることができる。
【００２９】表４は環状突起６，６０の軸方向幅ｌt ，
径方向高さｌh ，軸方向間隔ｌs の３条件のうち２条件
以上が上記した寸法条件（ｌt ＝０．１３〜０．２４m
m、ｌh ＝０．２８〜０．４７mm，ｌs ＝０．３８〜
０．６９mm）を満足するようにした場合の比較例を示し
ている。
径方向高さｌh ，軸方向間隔ｌs の３条件のうち２条件
以上が上記した寸法条件（ｌt ＝０．１３〜０．２４m
m、ｌh ＝０．２８〜０．４７mm，ｌs ＝０．３８〜
０．６９mm）を満足するようにした場合の比較例を示し
ている。
【００３０】
【表４】 表４に示されるように、環状突起６，６０の軸方向幅ｌ
t ，径方向高さｌh ，軸方向間隔ｌs の３条件のうち２
条件以上を組み合わせた場合には、上記した効果が相乗
的に高まり、特に３条件すべてを組み合わせた場合に
は、高耐圧化，コンパクト化（軸方向長の縮小化），低
損失トルク化，低バースト量化のすべてにおいて極めて
高い効果が得られる。
t ，径方向高さｌh ，軸方向間隔ｌs の３条件のうち２
条件以上を組み合わせた場合には、上記した効果が相乗
的に高まり、特に３条件すべてを組み合わせた場合に
は、高耐圧化，コンパクト化（軸方向長の縮小化），低
損失トルク化，低バースト量化のすべてにおいて極めて
高い効果が得られる。
【００３１】以上のように、円環状磁石４の能力が最大
限に引き出せることから経済性に優れている。また、シ
ール耐圧が増加することから、特に真空シールとした場
合に優れた効果が発揮される。
限に引き出せることから経済性に優れている。また、シ
ール耐圧が増加することから、特に真空シールとした場
合に優れた効果が発揮される。
【００３２】以上、本発明の実施例を図面と具体的比較
例に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定される
ものではない。
例に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定される
ものではない。
【００３３】たとえば、環状突起６，６０を軸１の外周
面側に片側１０個ずつ設けた例を示したが、環状突起
６，６０の数は少なくとも片側２個以上であれば良く、
左右両側の個数が各々異なっていても良く、また、環状
突起６，６０を円環状磁極片２，２０の内周面側に設け
ても良く、両方に設けても良い。
面側に片側１０個ずつ設けた例を示したが、環状突起
６，６０の数は少なくとも片側２個以上であれば良く、
左右両側の個数が各々異なっていても良く、また、環状
突起６，６０を円環状磁極片２，２０の内周面側に設け
ても良く、両方に設けても良い。
【００３４】また、環状突起６，６０の外周面と軸１の
外周面とが同じ高さとなるように環状突起６，６０を形
成した例を示したが、環状突起６，６０の外周面が軸１
の外周面よりも高くなるように突出させて環状突起６，
６０を形成しても良い。
外周面とが同じ高さとなるように環状突起６，６０を形
成した例を示したが、環状突起６，６０の外周面が軸１
の外周面よりも高くなるように突出させて環状突起６，
６０を形成しても良い。
【００３５】また、環状突起６，６０を直接軸１上に形
成した例を示したが、軸１の外周面に接して内周面が固
着される円筒状スリーブを設けて、該円筒状スリーブの
外周面側に環状突起６，６０を形成しても良い。
成した例を示したが、軸１の外周面に接して内周面が固
着される円筒状スリーブを設けて、該円筒状スリーブの
外周面側に環状突起６，６０を形成しても良い。
【００３６】また、上記実施例では、円環状磁極片２，
２０を円筒状ハウジング７の内周面に固着して円環状磁
極片２，２０の内周面側と軸１の外周面側との微小間隙
３に磁性流体５を介在させた磁性流体シール装置とした
が、円環状磁極片２，２０を軸１の外周面に固着して、
円環状磁極片２，２０の外周面側と円筒状ハウジング７
の内周面側の少なくともいずれか一方に対向面と微小間
隙３を介するように環状突起６，６０を形成し、該微小
間隙３に磁性流体５を介在させた磁性流体シール装置と
しても良い。
２０を円筒状ハウジング７の内周面に固着して円環状磁
極片２，２０の内周面側と軸１の外周面側との微小間隙
３に磁性流体５を介在させた磁性流体シール装置とした
が、円環状磁極片２，２０を軸１の外周面に固着して、
円環状磁極片２，２０の外周面側と円筒状ハウジング７
の内周面側の少なくともいずれか一方に対向面と微小間
隙３を介するように環状突起６，６０を形成し、該微小
間隙３に磁性流体５を介在させた磁性流体シール装置と
しても良い。
【００３７】さらに、環状磁力源として永久磁石を用い
る例を示したが電磁石であっても良く、永久磁石と電磁
石の両方を組み合わせたものであっても良い。
る例を示したが電磁石であっても良く、永久磁石と電磁
石の両方を組み合わせたものであっても良い。
【００３８】また、永久磁石を用いる場合には、Ｓm Ｃ
o5，Ｓm2Ｃo17 ，Ｎｄ2 Ｆe14 Ｂ，Ｎｄ2 Ｆe14 Ｃ，Ｓ
m Ｔi Ｆe11 ，Ｓm2Ｆe17 Ｎ25，Ｓm2Ｆe17 Ｃ2.2 ，Ｎ
ｄＴi Ｆe11 Ｎ0.8 等の磁性希土類金属間化合物からな
る焼結磁石または、磁性希土類金属間化合物をプラスチ
ック，ゴム，等のバインダーで固めたボンド磁石を用い
ることが好ましい。このような、磁石を用いると磁力が
大きいため、高耐圧かつコンパクト化が図れる。
o5，Ｓm2Ｃo17 ，Ｎｄ2 Ｆe14 Ｂ，Ｎｄ2 Ｆe14 Ｃ，Ｓ
m Ｔi Ｆe11 ，Ｓm2Ｆe17 Ｎ25，Ｓm2Ｆe17 Ｃ2.2 ，Ｎ
ｄＴi Ｆe11 Ｎ0.8 等の磁性希土類金属間化合物からな
る焼結磁石または、磁性希土類金属間化合物をプラスチ
ック，ゴム，等のバインダーで固めたボンド磁石を用い
ることが好ましい。このような、磁石を用いると磁力が
大きいため、高耐圧かつコンパクト化が図れる。
【００３９】そして、円環状磁極片２，２０および軸１
の材質としては、磁性ステンレス鋼（マルテンサイト系
ステンレス，フェライト系ステンレス等）のように耐蝕
性を有する高飽和磁化鉄合金を用いることが好ましい。
このような材質とすることにより、コストや加工性に有
効となる。
の材質としては、磁性ステンレス鋼（マルテンサイト系
ステンレス，フェライト系ステンレス等）のように耐蝕
性を有する高飽和磁化鉄合金を用いることが好ましい。
このような材質とすることにより、コストや加工性に有
効となる。
【００４０】さらに、微小間隙３は上記表１〜４から
０．１mmとすることが好ましい。
０．１mmとすることが好ましい。
【００４１】
【発明の効果】本発明は以上の構成および作用を有する
もので、環状突起の軸方向幅を０．１３mm以上０．２４
mm以下、環状突起の径方向高さ（環状溝の径方向深さ）
を０．２８mm以上０．４７mm以下、環状突起の隣り合う
側面間の軸方向間隔（環状溝の軸方向幅）を０．３８mm
以上０．６９mm以下、の３条件のうち少なくとも１条件
以上を満足することを特徴とする。これにより、上記公
知寸法とした場合に比べて、高耐圧化，コンパクト化，
低損失トルク化，低バースト量化を達成することができ
る。
もので、環状突起の軸方向幅を０．１３mm以上０．２４
mm以下、環状突起の径方向高さ（環状溝の径方向深さ）
を０．２８mm以上０．４７mm以下、環状突起の隣り合う
側面間の軸方向間隔（環状溝の軸方向幅）を０．３８mm
以上０．６９mm以下、の３条件のうち少なくとも１条件
以上を満足することを特徴とする。これにより、上記公
知寸法とした場合に比べて、高耐圧化，コンパクト化，
低損失トルク化，低バースト量化を達成することができ
る。
【図１】図１は本発明の磁性流体シール装置の一実施例
を示す縦断面図である。
を示す縦断面図である。
【図２】図２は従来の磁性流体シール装置を示す縦断面
図である。
図である。
【図３】図３（ａ）はシール耐圧増加率と軸方向幅との
関係を表すグラフで、同図（ｂ）はシール耐圧増加率と
径方向高さとの関係を表すグラフで、同図（ｃ）はシー
ル耐圧増加率と軸方向間隔との関係を表すグラフであ
る。
関係を表すグラフで、同図（ｂ）はシール耐圧増加率と
径方向高さとの関係を表すグラフで、同図（ｃ）はシー
ル耐圧増加率と軸方向間隔との関係を表すグラフであ
る。
１ 軸 ２，２０ 円環状磁極片（環状磁極片） ３ 微小間隙 ４ 円環状永久磁石（環状磁力源） ５ 磁性流体 ６，６０ 環状突起 ７ 円筒状ハウジング（筒状ハウジング） ８，８０ 環状溝 Ｌ 低圧側 Ｈ 高圧側 Ｖ 空間 ｌg 微小間隙の長さ ｌt 環状突起の軸方向幅 ｌh 環状突起の径方向高さ（環状溝の径方向深さ） ｌs 環状突起の隣り合う側面間の軸方向間隔（環状溝
の軸方向幅） ｌp 円環状磁極片の軸方向長
の軸方向幅） ｌp 円環状磁極片の軸方向長
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年６月２８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁性流体を用いて各種
流体（主として気体）をシールする磁性流体シール装置
に関し、特に真空・ガス等の比較的高い圧力差を有する
流体をシールする磁性流体シール装置に関する。
流体（主として気体）をシールする磁性流体シール装置
に関し、特に真空・ガス等の比較的高い圧力差を有する
流体をシールする磁性流体シール装置に関する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の真空・ガス等の比較的高
い圧力差を有する流体をシールする多段構造の磁性流体
シール装置としては、図２に示すようなものが特公昭５
１−９８５３号公報（米国特許第３６２０５８４号）や
特開平１−２２０７７７号公報に記載されている。即
ち、この磁性流体シール装置は軸方向に着磁された環状
磁力源としての円環状永久磁石１０４と、該円環状永久
磁石１０４の両端面に接して設けた一対の環状磁極片と
しての円環状磁極片１０２，１２０と、該一対の円環状
磁極片１０２，１２０を内周面に固着した筒状ハウジン
グとしての円筒状ハウジング１０７と、前記一対の円環
状磁極片１０２，１２０の内周面と微小間隙１０３を介
して貫通して設けた軸１０１と、前記一対の円環状磁極
片１０２，１２０の内周面に対向する前記軸１０１の外
周面側に設けられた複数個（図２では片側１０個ずつ）
の環状突起１０６，１６０と、該環状突起１０６，１６
０の外周面と前記一対の円環状磁極片１０２，１２０の
内周面との対向面間の前記微小間隙１０３に介在する磁
性流体１０５とから構成されたものである。
い圧力差を有する流体をシールする多段構造の磁性流体
シール装置としては、図２に示すようなものが特公昭５
１−９８５３号公報（米国特許第３６２０５８４号）や
特開平１−２２０７７７号公報に記載されている。即
ち、この磁性流体シール装置は軸方向に着磁された環状
磁力源としての円環状永久磁石１０４と、該円環状永久
磁石１０４の両端面に接して設けた一対の環状磁極片と
しての円環状磁極片１０２，１２０と、該一対の円環状
磁極片１０２，１２０を内周面に固着した筒状ハウジン
グとしての円筒状ハウジング１０７と、前記一対の円環
状磁極片１０２，１２０の内周面と微小間隙１０３を介
して貫通して設けた軸１０１と、前記一対の円環状磁極
片１０２，１２０の内周面に対向する前記軸１０１の外
周面側に設けられた複数個（図２では片側１０個ずつ）
の環状突起１０６，１６０と、該環状突起１０６，１６
０の外周面と前記一対の円環状磁極片１０２，１２０の
内周面との対向面間の前記微小間隙１０３に介在する磁
性流体１０５とから構成されたものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】さらに、環状突起１０６，１６０の高さ１
ｈが高すぎ、軸方向間隔１ｓが広すぎるため、隣り合う
微小間隙１０３内に介在する磁性流体１０５と隣り合う
環状突起１０６（または１６０）の側面と軸１０１の環
状溝１０８と円環状磁極片１０２（または１２０）の内
周面とで囲まれた空間Ｖの容積が大きくなり、高圧側Ｈ
と低圧側Ｌの圧力差変化や軸１０１の振れ等により各空
間Ｖ部の分圧バランスが崩れた時に、最も低圧側Ｌに近
い空間Ｖから低圧側Ｌへ放出されるガスの量（バースト
量）が大きいという問題点が有る。
ｈが高すぎ、軸方向間隔１ｓが広すぎるため、隣り合う
微小間隙１０３内に介在する磁性流体１０５と隣り合う
環状突起１０６（または１６０）の側面と軸１０１の環
状溝１０８と円環状磁極片１０２（または１２０）の内
周面とで囲まれた空間Ｖの容積が大きくなり、高圧側Ｈ
と低圧側Ｌの圧力差変化や軸１０１の振れ等により各空
間Ｖ部の分圧バランスが崩れた時に、最も低圧側Ｌに近
い空間Ｖから低圧側Ｌへ放出されるガスの量（バースト
量）が大きいという問題点が有る。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１２】
【作用】上記構成の磁性流体シール装置によれば、環状
突起の軸方向幅を０．１３ｍｍ以上０．２４ｍｍ以下と
した場合には、公知寸法０．２５ｍｍとした場合に比べ
て磁束の集中効果が高まるように適度に軸方向幅を狭め
ているため、微小間隙の磁場が大きくなってシール耐圧
が増加し、環状磁力源の能力を有効に活用することがで
きる。また、環状突起の軸方向幅を公知寸法に比べて狭
めているため、環状磁極片の軸方向長が短くなり、装置
全体が軸方向にコンパクト化されると共に、軸方向幅を
狭めていることにより、磁性流体の接触面積が減少し、
損失トルクが低減する。但し、環状突起の軸方向幅を狭
め過ぎると磁気飽和によって磁気抵抗が増大するため、
環状突起部を通る磁束が減少し、周囲への漏れ磁束が増
加する。そのため、磁束の集中効果が弱まって、却って
シール耐圧が減少する。これらから、上記寸法設定によ
り、シール耐圧を最大にすることができる。
突起の軸方向幅を０．１３ｍｍ以上０．２４ｍｍ以下と
した場合には、公知寸法０．２５ｍｍとした場合に比べ
て磁束の集中効果が高まるように適度に軸方向幅を狭め
ているため、微小間隙の磁場が大きくなってシール耐圧
が増加し、環状磁力源の能力を有効に活用することがで
きる。また、環状突起の軸方向幅を公知寸法に比べて狭
めているため、環状磁極片の軸方向長が短くなり、装置
全体が軸方向にコンパクト化されると共に、軸方向幅を
狭めていることにより、磁性流体の接触面積が減少し、
損失トルクが低減する。但し、環状突起の軸方向幅を狭
め過ぎると磁気飽和によって磁気抵抗が増大するため、
環状突起部を通る磁束が減少し、周囲への漏れ磁束が増
加する。そのため、磁束の集中効果が弱まって、却って
シール耐圧が減少する。これらから、上記寸法設定によ
り、シール耐圧を最大にすることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】次に、環状突起の径方向高さ（環状溝の径
方向深さ）を０．２８ｍｍ以上０．４７ｍｍ以下とした
場合には、公知寸法０．５ｍｍとした場合に比べて磁束
の集中効果が高まり環状突起内の磁気抵抗が小さくなる
ように適度に径方向高さを低くしているため、微小間隙
の磁場が大きくなって、シール耐圧が増加し、環状磁力
源の能力を有効に活用することができる。また、環状突
起の径方向高さを公知寸法に比べて低くしているため、
隣り合う微小間隙内に介在する磁性流体と隣り合う環状
突起の側面と軸の環状溝と環状磁極片の内周面とで囲ま
れた空間の容積が小さくなり、バースト量（各空間部の
分圧バランスが崩れた時に低圧側へ放出されるガスの
量）が低減する。但し、環状突起の径方向高さを低くし
過ぎると、環状突起先端部と環状磁極片間の距離（微小
間隙の長さ）と、環状突起間の溝（環状溝）と環状磁極
片間との距離との差が小さくなり、両者、空間部の磁気
抵抗の差が小さくなるため、環状突起部を通る磁束が減
少し、周囲の漏れ磁束が増加する。そのため、磁束の集
中が弱まって、却ってシール耐圧が減少する。これらか
ら、上記寸法設定により、シール耐圧を最大にすること
ができる。
方向深さ）を０．２８ｍｍ以上０．４７ｍｍ以下とした
場合には、公知寸法０．５ｍｍとした場合に比べて磁束
の集中効果が高まり環状突起内の磁気抵抗が小さくなる
ように適度に径方向高さを低くしているため、微小間隙
の磁場が大きくなって、シール耐圧が増加し、環状磁力
源の能力を有効に活用することができる。また、環状突
起の径方向高さを公知寸法に比べて低くしているため、
隣り合う微小間隙内に介在する磁性流体と隣り合う環状
突起の側面と軸の環状溝と環状磁極片の内周面とで囲ま
れた空間の容積が小さくなり、バースト量（各空間部の
分圧バランスが崩れた時に低圧側へ放出されるガスの
量）が低減する。但し、環状突起の径方向高さを低くし
過ぎると、環状突起先端部と環状磁極片間の距離（微小
間隙の長さ）と、環状突起間の溝（環状溝）と環状磁極
片間との距離との差が小さくなり、両者、空間部の磁気
抵抗の差が小さくなるため、環状突起部を通る磁束が減
少し、周囲の漏れ磁束が増加する。そのため、磁束の集
中が弱まって、却ってシール耐圧が減少する。これらか
ら、上記寸法設定により、シール耐圧を最大にすること
ができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１４】次に、環状突起の隣り合う側面間の軸方向
間隔（環状溝の幅）を０．３８ｍｍ以上０．６９ｍｍ以
下とした場合には、公知寸法０．７５ｍｍとした場合に
比べて、磁束の集中効果が高まり、軸内の磁気抵抗が小
さくなるように適度に軸方向間隔を狭めているため、微
小間隙の磁場が大きくなってシール耐圧が増加し、環状
磁力源の能力を有効に活用することができる。また、環
状突起の隣り合う側面間の軸方向間隔を公知寸法に比べ
て狭めているため、環状磁極片の軸方向長が短くなり装
置全体が軸方向にコンパクト化されると共に、軸方向間
隔（環状溝の幅）を狭めていることにより、隣り合う微
小間隙内に介在する磁性流体と隣り合う環状突起の側面
と軸の環状溝と環状磁極片の内周面とで囲まれた空間の
容積が小さくなり、バースト量が低減する。但し、環状
突起の隣り合う側面間の軸方向間隔を狭め過ぎると、隣
り合う環状突起間の磁気的干渉により、周囲の漏れ磁束
が増加する。そのため、磁束の集中が弱まって、却って
シール耐圧が減少する。これらから、上記寸法設定によ
り、シール耐圧を最大にすることができる。
間隔（環状溝の幅）を０．３８ｍｍ以上０．６９ｍｍ以
下とした場合には、公知寸法０．７５ｍｍとした場合に
比べて、磁束の集中効果が高まり、軸内の磁気抵抗が小
さくなるように適度に軸方向間隔を狭めているため、微
小間隙の磁場が大きくなってシール耐圧が増加し、環状
磁力源の能力を有効に活用することができる。また、環
状突起の隣り合う側面間の軸方向間隔を公知寸法に比べ
て狭めているため、環状磁極片の軸方向長が短くなり装
置全体が軸方向にコンパクト化されると共に、軸方向間
隔（環状溝の幅）を狭めていることにより、隣り合う微
小間隙内に介在する磁性流体と隣り合う環状突起の側面
と軸の環状溝と環状磁極片の内周面とで囲まれた空間の
容積が小さくなり、バースト量が低減する。但し、環状
突起の隣り合う側面間の軸方向間隔を狭め過ぎると、隣
り合う環状突起間の磁気的干渉により、周囲の漏れ磁束
が増加する。そのため、磁束の集中が弱まって、却って
シール耐圧が減少する。これらから、上記寸法設定によ
り、シール耐圧を最大にすることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１６】
【実施例】以下に本発明を具体例に基づいて説明する。
図１に、本発明の一実施例に係る磁性流体シール装置を
示す。この磁性流体シール装置は真空・ガス等の比較的
高い圧力差を有する流体をシールする多段構造の磁性流
体シール装置であり、その基本構成は、図２に示した従
来の磁性流体シール装置と同様である。
図１に、本発明の一実施例に係る磁性流体シール装置を
示す。この磁性流体シール装置は真空・ガス等の比較的
高い圧力差を有する流体をシールする多段構造の磁性流
体シール装置であり、その基本構成は、図２に示した従
来の磁性流体シール装置と同様である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１９】次に、具体的な比較例を表１〜４に示す。
円環状永久磁石４の材質は、Ｓｍ２Ｃｏ１７プラスチッ
ク磁石（最大磁気エネルギー積７６ＫＪ／ｍ３）、Ｓｍ
２Ｃｏ１７焼結磁石（最大磁気エネルギー積１７５ＫＪ
／ｍ３），Ｎｄ２ Ｆｅ１４Ｂ焼結磁石（最大磁気エネ
ルギー積３１０ＫＪ／ｍ３）の３種類を用い、軸１およ
び円環状磁極片２，２０の材質はマルテンサイト系ステ
ンレス鋼を用いている。また、微小間隙３の長さ１ｇは
０．０２ｍｍ，０．０６ｍｍ，０．１０ｍｍの３条件と
している。尚、表中（）内の数値は公知寸法となってい
る。
円環状永久磁石４の材質は、Ｓｍ２Ｃｏ１７プラスチッ
ク磁石（最大磁気エネルギー積７６ＫＪ／ｍ３）、Ｓｍ
２Ｃｏ１７焼結磁石（最大磁気エネルギー積１７５ＫＪ
／ｍ３），Ｎｄ２ Ｆｅ１４Ｂ焼結磁石（最大磁気エネ
ルギー積３１０ＫＪ／ｍ３）の３種類を用い、軸１およ
び円環状磁極片２，２０の材質はマルテンサイト系ステ
ンレス鋼を用いている。また、微小間隙３の長さ１ｇは
０．０２ｍｍ，０．０６ｍｍ，０．１０ｍｍの３条件と
している。尚、表中（）内の数値は公知寸法となってい
る。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２２】そして、図３（ａ）には、表１におけるシ
ール耐圧増加率と軸方向幅１ｔとの関係を表すグラフを
示しており、○印は微小間隙３の長さ１ｇが０．０２ｍ
ｍ、△印は微小間隙３の長さ１ｇが０．０６ｍｍ、□印
は微小間隙３の長さ１ｇが０．１０ｍｍの関係を表して
いる。このグラフから明らかなように、軸方向幅１ｔは
０．１３ｍｍ以上０．２４ｍｍ以下においてピーク的効
果を有していることがわかる（例えば、微小間隙３の長
さ１ｇが０．０２ｍｍの場合、１ｔ≒０．１８ｍｍがピ
ーク値）。これは、環状突起６，６０の軸方向幅１ｔを
狭め過ぎると磁気飽和によって磁気抵抗が増大すること
により、環状突起６，６０部を通る磁束が減少し、周囲
への漏れ磁束が増加するため、磁束の集中効果が弱ま
り、却ってシール耐圧が減少するからである。従って、
上記寸法設定により、シール耐圧を最大にすることがで
きる。
ール耐圧増加率と軸方向幅１ｔとの関係を表すグラフを
示しており、○印は微小間隙３の長さ１ｇが０．０２ｍ
ｍ、△印は微小間隙３の長さ１ｇが０．０６ｍｍ、□印
は微小間隙３の長さ１ｇが０．１０ｍｍの関係を表して
いる。このグラフから明らかなように、軸方向幅１ｔは
０．１３ｍｍ以上０．２４ｍｍ以下においてピーク的効
果を有していることがわかる（例えば、微小間隙３の長
さ１ｇが０．０２ｍｍの場合、１ｔ≒０．１８ｍｍがピ
ーク値）。これは、環状突起６，６０の軸方向幅１ｔを
狭め過ぎると磁気飽和によって磁気抵抗が増大すること
により、環状突起６，６０部を通る磁束が減少し、周囲
への漏れ磁束が増加するため、磁束の集中効果が弱ま
り、却ってシール耐圧が減少するからである。従って、
上記寸法設定により、シール耐圧を最大にすることがで
きる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２５】そして、図３（ｂ）には、表２におけるシ
ール耐圧増加率と径方向高さ１ｈとの関係を表すグラフ
を示しており、○印は微小間隙３の長さ１ｇが０．０２
ｍｍ、△印は微小間隙３の長さ１ｇが０．０６ｍｍ、□
印は微小間隙３の長さ１ｇが０．１０ｍｍの関係を表し
ている。このグラフから明らかなように、軸方向幅１ｈ
は０．２８ｍｍ以上０．４７ｍｍ以下においてピーク的
効果を有していることがわかる。これは、環状突起６，
６０の径方向高さ１ｈを低くし過ぎると、環状突起６，
６０の先端部と円環状磁極片２，２０間の距離（微小間
隙３の長さ１ｇ）と、環状溝８，８０と円環状磁極片
２，２０間との距離との差が小さくなることにより、両
者、空間部の磁気抵抗の差が小さくなるため、環状突起
６，６０部を通る磁束が減少し、周囲の漏れ磁束が増加
するため、磁束の集中が弱まって、却ってシール耐圧が
減少するからである。従って、上記寸法設定により、シ
ール耐圧を最大にすることができる。
ール耐圧増加率と径方向高さ１ｈとの関係を表すグラフ
を示しており、○印は微小間隙３の長さ１ｇが０．０２
ｍｍ、△印は微小間隙３の長さ１ｇが０．０６ｍｍ、□
印は微小間隙３の長さ１ｇが０．１０ｍｍの関係を表し
ている。このグラフから明らかなように、軸方向幅１ｈ
は０．２８ｍｍ以上０．４７ｍｍ以下においてピーク的
効果を有していることがわかる。これは、環状突起６，
６０の径方向高さ１ｈを低くし過ぎると、環状突起６，
６０の先端部と円環状磁極片２，２０間の距離（微小間
隙３の長さ１ｇ）と、環状溝８，８０と円環状磁極片
２，２０間との距離との差が小さくなることにより、両
者、空間部の磁気抵抗の差が小さくなるため、環状突起
６，６０部を通る磁束が減少し、周囲の漏れ磁束が増加
するため、磁束の集中が弱まって、却ってシール耐圧が
減少するからである。従って、上記寸法設定により、シ
ール耐圧を最大にすることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２８】そして、図３（ｃ）には、表３におけるシ
ール耐圧増加率と軸方向間隔１ｓとの関係を表すグラフ
を示しており、○印は微小間隙３の長さ１ｇが０．０２
ｍｍ、△印は微小間隙３の長さ１ｇが０．０６ｍｍの関
係を表している。このグラフから軸方向幅１ｓは０．３
８ｍｍ以上０．６９ｍｍ以下においてピーク的効果を有
していることがわかる。これは、環状突起６，６０の隣
り合う側面間の軸方向間隔１ｓを狭め過ぎると、隣り合
う環状突起６，６０間の磁気的干渉により、周囲の漏れ
磁束が増加するため、磁束の集中が弱まって、却ってシ
ール耐圧が減少するからである。従って、上記寸法設定
により、シール耐圧を最大にすることができる。
ール耐圧増加率と軸方向間隔１ｓとの関係を表すグラフ
を示しており、○印は微小間隙３の長さ１ｇが０．０２
ｍｍ、△印は微小間隙３の長さ１ｇが０．０６ｍｍの関
係を表している。このグラフから軸方向幅１ｓは０．３
８ｍｍ以上０．６９ｍｍ以下においてピーク的効果を有
していることがわかる。これは、環状突起６，６０の隣
り合う側面間の軸方向間隔１ｓを狭め過ぎると、隣り合
う環状突起６，６０間の磁気的干渉により、周囲の漏れ
磁束が増加するため、磁束の集中が弱まって、却ってシ
ール耐圧が減少するからである。従って、上記寸法設定
により、シール耐圧を最大にすることができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３８】また、永久磁石を用いる場合には、Ｓｍ
Ｃｏ１５ Ｓｍ２Ｃｏ１７，Ｎｄ２Ｆｅ１４ Ｂ，Ｎｄ
２ Ｆｅ１４ Ｃ，Ｓｍ Ｔｉ Ｆｅ１１，Ｓｍ２Ｆｅ
１７ Ｎ２．５， Ｓｍ２Ｆｅ１７ Ｃ２．２，ＮｄＴ
ｉ Ｆｅ１１ Ｎ０．８等の磁性希土類金属間化合物か
らなる焼結磁石または、磁性希土類金属間化合物をプラ
スチック，ゴム，等のバインダーで固めたボンド磁石を
用いることが好ましい。このような、磁石を用いると磁
力が大きいため、高耐圧かつコンパクト化が図れる。
Ｃｏ１５ Ｓｍ２Ｃｏ１７，Ｎｄ２Ｆｅ１４ Ｂ，Ｎｄ
２ Ｆｅ１４ Ｃ，Ｓｍ Ｔｉ Ｆｅ１１，Ｓｍ２Ｆｅ
１７ Ｎ２．５， Ｓｍ２Ｆｅ１７ Ｃ２．２，ＮｄＴ
ｉ Ｆｅ１１ Ｎ０．８等の磁性希土類金属間化合物か
らなる焼結磁石または、磁性希土類金属間化合物をプラ
スチック，ゴム，等のバインダーで固めたボンド磁石を
用いることが好ましい。このような、磁石を用いると磁
力が大きいため、高耐圧かつコンパクト化が図れる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３９】そして、円環状磁極片２，２０および軸１
の材質としては、磁性ステンレス鋼（マルテンサイト系
ステンレス，フェライト系ステンレス，析出硬化系ステ
ンレス等）のように耐蝕性を有する高飽和磁化鉄合金を
用いることが好ましい。このような材質とすることによ
り、コストや加工性に有効となる。
の材質としては、磁性ステンレス鋼（マルテンサイト系
ステンレス，フェライト系ステンレス，析出硬化系ステ
ンレス等）のように耐蝕性を有する高飽和磁化鉄合金を
用いることが好ましい。このような材質とすることによ
り、コストや加工性に有効となる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４０】さらに、微小間隙３の長さは上記表１〜４
から０．１ｍｍ以下とすることが好ましい。
から０．１ｍｍ以下とすることが好ましい。
Claims (2)
- 【請求項１】 軸方向に磁化可能な環状磁力源と、該環
状磁力源の両端面に接して設けた一対の環状磁極片と、
該一対の環状磁極片の内周面と微小間隙を介して貫通し
て設けた軸と、前記一対の環状磁極片の内周面に対向す
る前記軸の外周面側または前記一対の環状磁極片の内周
面側の少なくともいずれか一方に設けられた複数個の環
状突起と、該環状突起と対向面間の微小間隙内に介在す
る磁性流体とからなる磁性流体シール装置において、 前記環状突起の軸方向幅を０．１３mm以上０．２４mm以
下、 前記環状突起の径方向高さを０．２８mm以上０．４７mm
以下、 前記環状突起の隣り合う側面間の軸方向間隔を０．３８
mm以上０．６９mm以下、 の３条件のうち、少なくとも１条件以上を満足すること
を特徴とする磁性流体シール装置。 - 【請求項２】 軸方向に磁化可能な環状磁力源と、該環
状磁力源の両端面に接して設けた一対の環状磁極片と、
該一対の環状磁極片の内周面に接して固着された軸と、
前記一対の環状磁極片の外周面と微小間隙を介して内周
面が取り囲む筒状ハウジングと、前記一対の環状磁極片
の外周面または、前記一対の環状磁極片の外周面に対向
する前記筒状ハウジングの内周面側の少なくともいずれ
か一方に設けられた複数個の環状突起と、該環状突起と
対向面間の微小間隙内に介在する磁性流体とからなる磁
性流体シール装置において、 前記環状突起の軸方向幅を０．１３mm以上０．２４mm以
下、 前記環状突起の径方向高さを０．２８mm以上０．４７mm
以下、 前記環状突起の隣り合う側面間の軸方向間隔を０．３８
mm以上０．６９mm以下、 の３条件のうち、少なくとも１条件以上を満足すること
を特徴とする磁性流体シール装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6028927A JPH07217747A (ja) | 1994-01-31 | 1994-01-31 | 磁性流体シール装置 |
| DE1995102243 DE19502243A1 (de) | 1994-01-31 | 1995-01-25 | Mehrstufige Magnetfluid-Dichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6028927A JPH07217747A (ja) | 1994-01-31 | 1994-01-31 | 磁性流体シール装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07217747A true JPH07217747A (ja) | 1995-08-15 |
Family
ID=12262042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6028927A Pending JPH07217747A (ja) | 1994-01-31 | 1994-01-31 | 磁性流体シール装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07217747A (ja) |
| DE (1) | DE19502243A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008147188A (ja) * | 2006-12-08 | 2008-06-26 | General Electric Co <Ge> | 対流冷却式ｘ線管ターゲット及びその製造方法 |
| CN114635925A (zh) * | 2022-02-23 | 2022-06-17 | 清华大学 | 基于表面织构的磁性液体密封装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1213518B1 (en) * | 1999-07-09 | 2007-04-04 | Nok Corporation | Magnetic fluid seal |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3620584A (en) * | 1970-05-25 | 1971-11-16 | Ferrofluidics Corp | Magnetic fluid seals |
| US4293137A (en) * | 1978-12-11 | 1981-10-06 | Ezekiel Frederick D | Magnetic liquid shaft sealing |
| DE3207061C2 (de) * | 1982-02-26 | 1986-09-18 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Abdichtungsvorrichtung mit einer magnetisierbaren Dichtungsflüssigkeit |
| US4440402A (en) * | 1982-03-25 | 1984-04-03 | Mechanical Technology Incorporated | Ferrofin magnetic seal with opposed fin-like projections |
| JPS5950275A (ja) * | 1982-09-16 | 1984-03-23 | Rigaku Keisoku Kk | 磁性流体軸封装置 |
| US4407508A (en) * | 1982-12-16 | 1983-10-04 | Ferrofluidics Corporation | Single-pole-piece ferrofluid seal apparatus and exclusion seal system |
| US4407518A (en) * | 1983-01-05 | 1983-10-04 | Ferrofluidics Corporation | Nonbursting multiple-stage ferrofluid seal and system |
| US4526380A (en) * | 1984-01-27 | 1985-07-02 | Ferrofluidics Corporation | Single pole piece multiple-stage ferrofluid seal apparatus |
| US4478424A (en) * | 1984-01-27 | 1984-10-23 | Ferrofluidics Corporation | Ferrofluid seal apparatus and method |
| US4526382A (en) * | 1984-05-03 | 1985-07-02 | Ferrofluidics Corporation | Radially polarized multiple-stage ferrofluid seal apparatus |
| US4927164A (en) * | 1988-08-08 | 1990-05-22 | Ferrofluidics Corporation | Ferrofluid seal with epoxy pole pieces |
| US4865334A (en) * | 1988-11-04 | 1989-09-12 | Ferrofluidics Corporation | Long-life multi-stage ferrofluid seals incorporating a ferrofluid reservoir |
-
1994
- 1994-01-31 JP JP6028927A patent/JPH07217747A/ja active Pending
-
1995
- 1995-01-25 DE DE1995102243 patent/DE19502243A1/de not_active Ceased
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008147188A (ja) * | 2006-12-08 | 2008-06-26 | General Electric Co <Ge> | 対流冷却式ｘ線管ターゲット及びその製造方法 |
| CN114635925A (zh) * | 2022-02-23 | 2022-06-17 | 清华大学 | 基于表面织构的磁性液体密封装置 |
| CN114635925B (zh) * | 2022-02-23 | 2024-02-13 | 清华大学 | 基于表面织构的磁性液体密封装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19502243A1 (de) | 1995-08-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20011106 |