JPWO2010013288A1 - 走査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
a)各測定点において予め定めた条件が満たされたか否かをそれぞれ判定するn個(nは2以上の任意の整数)の条件判定手段と、
b)各測定点で前記n個の条件判定手段により全ての条件が満たされたと判断した場合に、次の測定点に移行するべく試料若しくは測定系の空間的な移動又は物理条件の変更を行う走査制御手段と、
を備えることを特徴としている。
即ち、上記課題を解決するためになされた第2発明に係る走査装置は、試料上に設定された複数の測定点を順次走査しつつ各測定点における測定を実行する測定装置又は測定の物理条件の上で設定された複数の測定点を順次走査しつつ各測定点における試料に対する測定を実行する測定装置のための走査装置であって、
a)各測定点において測定により取得された信号を積算する信号積算手段と、
b)前記信号積算手段により積算された値が所定値を超えたか否かを判定する条件判定手段と、
c)前記条件判定手段により積算値が所定値を超えたと判断された場合に、次の測定点に移行するべく試料若しくは測定系の空間的な移動又は物理条件の変更を行う走査制御手段と、
を備えることを特徴としている。
2…探針
3…圧電素子
4…加振制御部
5…試料支持台
6…垂直位置走査部
7…水平位置走査部
8…変位検出部
9…周波数検出部
10…垂直位置制御部
11…水平位置制御部
12…主制御部
12a…走査条件判定部
13…操作部
14…表示部
15…画像処理部
S…試料
A、B、C…フィードバック制御ループ
100…2次元領域
101…測定点
101a…測定点始点
101b…測定点終点
20…制御対象
21…検出部
22…誤差演算部
23…補償制御部
30…ロックインアンプ
31…交流電圧源
32…加算器
33…電位制御部
34…直流電圧源
41…電子銃
42…偏向コイル
43…対物レンズ
44…試料ステージ
46…ステージ駆動機構
47…試料ステージ制御部
49…X線検出器
50…X線分析部
51…増幅器
52、57…A/D変換器
53…X線データ処理部
55…電子検出器
56…撮像部
58…画像データ処理部
59…加速源
60…中央制御・処理部
60a…走査条件判定部
61…操作部
62…表示部
Claims (11)
- 試料上に設定された複数の測定点を順次走査しつつ各測定点における測定を実行する測定装置、又は測定の物理条件の上で設定された複数の測定点を順次走査しつつ各測定点における測定を実行する測定装置のための走査装置であって、
a)各測定点において予め定めた条件が満たされたか否かをそれぞれ判定するn個(nは2以上の任意の整数)の条件判定手段と、
b)各測定点で前記n個の条件判定手段により全ての条件が満たされたと判断した場合に、次の測定点に移行するべく試料若しくは測定系の空間的な移動又は物理条件の変更を行う走査制御手段と、
を備えることを特徴とする走査装置。 - 請求項1に記載の走査装置であって、
1つの測定点から次の測定点への移行に際して試料若しくは測定系の空間的な移動又は物理条件の変更を行うために少なくとも2つのフィードバック制御を行うものであり、
前記n個の条件判定手段は、それぞれのフィードバック制御のためのフィードバック制御ループの出力が一定となる又はその出力の変化がそれぞれの許容範囲内に収まるか否かを判定するものであることを特徴とする走査装置。 - 請求項1に記載の走査装置であって、
1つの測定点から次の測定点への移行に際して試料若しくは測定系の空間的な移動又は物理条件の変更を行うために少なくとも2つのフィードバック制御を行うものであり、
前記n個の条件判定手段は、それぞれのフィードバック制御のためのフィードバック制御ループの入力値と目標値との誤差がゼロとなる又は該誤差がそれぞれの許容範囲内に収まるか否かを判定するものであることを特徴とする走査装置。 - 請求項2又は3に記載の走査装置であって、
前記n個の条件判定手段が、出力変化又は誤差がそれぞれの許容範囲内に収まるか否かを判定するものである場合に、その許容範囲をユーザが指定する指定手段を備えることを特徴とする走査装置。 - 請求項2又は3に記載の走査装置であって、
前記n個の条件判定手段が、出力変化又は誤差がそれぞれの許容範囲内に収まるか否かを判定するものである場合に、既に走査が行われた異なる2つ以上の測定点におけるフィードバック制御ループの出力値に基づいて許容範囲を自動的に算出して決定する範囲決定手段を備えることを特徴とする走査装置。 - 請求項1〜5のいずれかに記載の走査装置であって、
前記走査制御手段は、1つの測定点において所定時間内に全ての条件が満たされた状態とならない場合に、強制的に、次の測定点に移行するべく試料若しくは測定系の空間的な移動又は物理条件の変更を行うことを特徴とする走査装置。 - 請求項1〜5のいずれかに記載の走査装置であって、
前記走査制御手段は、1つの測定点において所定時間内に全ての条件が満たされた状態とならない場合に、それ以降の走査を中止することを特徴とする走査装置。 - 請求項2〜5のいずれかに記載の走査装置であって、
試料と探針との相対距離を保持しながら走査を行う周波数変調方式の原子間力顕微鏡に用いられる走査装置であり、
前記フィードバック制御は、探針と試料との間の離間距離の制御と、探針の振動振幅の制御との2つであることを特徴とする走査装置。 - 請求項8に記載の走査装置であって、
試料と探針との相対距離を保持しながら走査を行うケルビンフォース顕微鏡に用いられる走査装置であり、前記2つのフィードバック制御に加えて、探針と試料との間の電位差の補償を行うフィードバックループ制御が行われることを特徴とする走査装置。 - 請求項1に記載の走査装置であって、
各測定点において測定により取得された2種類以上の信号をそれぞれ積算する信号積算手段を備え、
前記n個の条件判定手段は、各測定点で前記信号積算手段により積算された2種類以上の値がそれぞれに設定された所定値を超えるか否かを判定するものであることを特徴とする走査装置。 - 試料上に設定された複数の測定点を順次走査しつつ各測定点における測定を実行する測定装置又は測定の物理条件の上で設定された複数の測定点を順次走査しつつ各測定点における試料に対する測定を実行する測定装置のための走査装置であって、
a)各測定点において測定により取得された信号を積算する信号積算手段と、
b)前記信号積算手段により積算された値が所定値を超えたか否かを判定する条件判定手段と、
c)前記条件判定手段により積算値が所定値を超えたと判断された場合に、次の測定点に移行するべく試料若しくは測定系の空間的な移動又は物理条件の変更を行う走査制御手段と、
を備えることを特徴とする走査装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2008/002057 WO2010013288A1 (ja) | 2008-07-31 | 2008-07-31 | 走査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2010013288A1 true JPWO2010013288A1 (ja) | 2012-01-05 |
JP5024452B2 JP5024452B2 (ja) | 2012-09-12 |
Family
ID=41610018
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010522520A Active JP5024452B2 (ja) | 2008-07-31 | 2008-07-31 | 走査装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8796654B2 (ja) |
JP (1) | JP5024452B2 (ja) |
WO (1) | WO2010013288A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10072927B2 (en) | 2016-01-07 | 2018-09-11 | Rarecyte, Inc. | Detecting a substrate |
US20160123812A1 (en) * | 2013-05-29 | 2016-05-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Spectral microscopy device |
GB2519808A (en) | 2013-10-31 | 2015-05-06 | Ibm | Determation of local contact potential difference by noncontact atomic force microscopy |
JP6696570B2 (ja) * | 2016-06-02 | 2020-05-20 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡 |
CN112198217B (zh) * | 2020-10-13 | 2022-05-20 | 中南大学 | 一种基于原位液体萃取的绝对定量型质谱成像方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4889988A (en) * | 1988-07-06 | 1989-12-26 | Digital Instruments, Inc. | Feedback control for scanning tunnel microscopes |
JPH05164511A (ja) | 1991-12-12 | 1993-06-29 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 走査型トンネル顕微鏡 |
JPH06137811A (ja) * | 1992-10-27 | 1994-05-20 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 走査型探針顕微鏡の測定データ監視方法および測定データ監視装置 |
JPH07159419A (ja) * | 1993-12-03 | 1995-06-23 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP3671591B2 (ja) * | 1997-04-01 | 2005-07-13 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP4024451B2 (ja) * | 1999-03-18 | 2007-12-19 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 走査型ケルビンプローブ顕微鏡 |
US7054040B2 (en) * | 2001-12-14 | 2006-05-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Image processing device and method for controlling the same |
JP2005257420A (ja) * | 2004-03-11 | 2005-09-22 | Sii Nanotechnology Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2006091980A (ja) * | 2004-09-21 | 2006-04-06 | Seiko Epson Corp | 画像処理装置、画像処理方法および画像処理プログラム |
JP4502122B2 (ja) * | 2004-11-26 | 2010-07-14 | セイコーインスツル株式会社 | 走査型プローブ顕微鏡及び走査方法 |
-
2008
- 2008-07-31 JP JP2010522520A patent/JP5024452B2/ja active Active
- 2008-07-31 WO PCT/JP2008/002057 patent/WO2010013288A1/ja active Application Filing
- 2008-07-31 US US13/056,293 patent/US8796654B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8796654B2 (en) | 2014-08-05 |
JP5024452B2 (ja) | 2012-09-12 |
US20110261352A1 (en) | 2011-10-27 |
WO2010013288A1 (ja) | 2010-02-04 |
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