JPWO2009139215A1 - シンチレータパネル及び放射線画像検出器 - Google Patents
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Abstract
Description
2 中間層
3 反射層
4 保護層
5 シンチレータ層
6 耐湿保護層
10 シンチレータパネル
61 蒸着装置
62 真空容器
63 ボート(被充填部材)
64 ホルダ
65 回転機構
66 真空ポンプ
100 放射線画像検出装置
201 出力基板
202 画像信号出力層
203 光電変換素子
204 有機樹脂層
205 シンチレータ層
206 反射層
207 耐湿保護層
本発明は、放射線透過性の基板と、該基板上に設けられた反射層と、該反射層上に設けられた保護層と、該保護層上に設けられたシンチレータ層と、該シンチレータ層を覆う耐湿保護層と、を備えたシンチレータパネルにおいて、該保護層が、ガラス転移温度が5℃以上異なる2種の有機樹脂を少なくとも1組含有することを特徴とする。
本発明のシンチレータパネルは、基板上に設けられた反射層と、反射層上に設けられた保護層を有し、当該保護層にガラス転移温度が5℃以上異なる2種の有機樹脂を少なくとも1組含有することが必要である。
本発明に係る基板は、放射線透過性であり、シンチレータ層を担持可能な板状体であり、各種のガラス、高分子材料、金属等を用いることができる。
本発明に係る反射層は、シンチレータ層のシンチレータから発した光を反射して、光の取り出し効率を高めるためのものである。当該反射層は、Al、Ag、Cr、Cu、Ni、Ti、Mg、Rh、Pt及びAuからなる元素群の中から選ばれるいずれかの元素を含む材料により形成されることが好ましい。特に、上記の元素からなる金属薄膜、例えば、Ag膜、Al膜などを用いることが好ましい。また、このような金属薄膜を2層以上形成するようにしても良い。金属薄膜を2層以上とする場合は、下層をCrを含む層とすることが基板との接着性を向上させる点から好ましい。また、金属薄膜上にSiO2、TiO2等の金属酸化物からなる層をこの順に設けてさらに反射率を向上させても良い。
シンチレータ層(「蛍光体層」ともいう。)は、放射線の照射により、蛍光を発するシンチレータから成る層である。
本発明に係る耐湿性保護層は、シンチレータ層の保護を主眼とするものである。すなわち、ヨウ化セシウム(CsI)などの蛍光体は、吸湿性が高く露出したままにしておくと空気中の水蒸気を吸湿して潮解してしまうため、これを防止することを主眼とする。
本発明は、放射線透過性の基板と、該基板上に設けられた中間層と、該中間層上に設けられた反射層と、該反射層上に設けられた保護層と、該保護層上に設けられたシンチレータ層と、該シンチレータ層を覆う耐湿保護層と、を備えたシンチレータパネルにおいて、該中間層が、ガラス転移温度が5℃以上異なる2種の有機樹脂を少なくとも1組含有することを特徴とする。
本発明に係る中間層は、基板と反射層の間に設けられた層であり、ガラス転移温度が5℃以上異なる2種の有機樹脂を少なくとも1組含有することが必要である。
本発明は、放射線透過性の基板と、該基板上に設けられた反射層と、該反射層上に設けられた保護層と、該保護層上に設けられたシンチレータ層と、該シンチレータ層を覆う耐湿保護層と、を備えたシンチレータパネルにおいて、該耐湿保護層は、ガラス転移温度が5℃以上異なる2種の有機樹脂を少なくとも1組含有し、膜厚が12〜60μmであることを特徴とする。
本発明に係る耐湿性保護層は、シンチレータ層の保護を主眼とするものである。すなわち、ヨウ化セシウム(CsI)などの蛍光体は、吸湿性が高く露出したままにしておくと空気中の水蒸気を吸湿して潮解してしまうため、これを防止することを主眼とする。
本発明は、出力基板上に形成された光電変換素子と、該光電変換素子上に設けられた有機樹脂層と、該有機樹脂層上に設けられたシンチレータ層と、を備えた放射線画像検出器(「放射線検出装置」ともいう。)において、該有機樹脂層が、ガラス転移温度が5℃以上異なる2種の有機樹脂を少なくとも1組含有することを特徴とする。
本発明に係る有機樹脂層は、出力基板とシンチレータ層の間に設けられた層であり、ガラス転移温度が5℃以上異なる2種の有機樹脂を少なくとも1組含有することが必要である。
本発明は、出力基板上に形成された光電変換素子と、該光電変換素子上に設けられたシンチレータ層と、該シンチレータ層上に設けられた反射層と、を備えた放射線画像検出器において、該反射層が、ガラス転移温度が5℃以上異なる2種の有機樹脂を少なくとも1組含有することを特徴とする本発明においては、特に反射層がガラス転移温度が5℃以上異なる2種の有機樹脂を少なくとも1組含有することにより、保存性に優れた放射線画像検出器が提供できる。
本発明に係る反射層は、シンチレータ層上に設けられた層であり、ガラス転移温度が5℃以上異なる2種の有機樹脂を少なくとも1組含有することが必要である。
本発明は、出力基板上に形成された光電変換素子と、該光電変換素子上に設けられたシンチレータ層と、該シンチレータ層上に設けられた耐湿保護層と、を備えた放射線画像検出器において、該耐湿保護層が、ガラス転移温度が5℃以上異なる2種の有機樹脂を少なくとも1組含有し、膜厚が12〜60μmであることを特徴とする。
本発明に係る耐湿性保護層は、シンチレータ層の保護を主眼とするものである。すなわち、ヨウ化セシウム(CsI)などの蛍光体は、吸湿性が高く露出したままにしておくと空気中の水蒸気を吸湿して潮解してしまうため、これを防止することを主眼とする。
本発明のシンチレータパネル及び放射線画像検出器を作製する、作製方法の典型的例について、図を参照しながら説明する。なお、図1は、放射線用シンチレータパネル10の概略構成を示す断面図である。図2は、放射線用シンチレータパネル10の拡大断面図である。図3は、蒸着装置61の概略構成を示す図面である。
図3に示す通り、蒸着装置61は箱状の真空容器62を有しており、真空容器62の内部には真空蒸着用のボート63が配されている。ボート63は蒸着源の被充填部材であり、当該ボート63には電極が接続されている。当該電極を通じてボート63に電流が流れると、ボート63がジュール熱で発熱するようになっている。シンチレータパネル10の製造時においては、ヨウ化セシウムと賦活剤化合物とを含む混合物がボート63に充填され、そのボート63に電流が流れることで、上記混合物を加熱・蒸発させることができるようになっている。
次に、本発明の請求の範囲1〜3に係るシンチレータパネル10の作製方法について説明する。
基板1の一方の表面に中間層2を押し出し塗布により形成することができる。なお中間層の表面性やヤング率を制御するために必要に応じてマット剤やフィラーを添加しても良い。
基板1の中間層2が設けられた面に、反射層3としての金属薄膜(Al膜、Ag膜等)をスパッタ法により形成する。また高分子フィルム上にAl膜をスパッタ蒸着したフィルムは、各種の品種が市場で流通しており、これらを使用することも可能である。
保護層4は、上記の有機溶剤に着色剤及び有機樹脂を分散・溶解した組成物を塗布、乾燥して形成する。
上記のように、中間層2、反射層3、保護層4を設けた基板1をホルダ64に取り付けるとともに、ボート63にヨウ化セシウムとヨウ化タリウムとを含む粉末状の混合物を充填する(準備工程)。この場合、ボート63と基板1との間隔を100〜1500mmに設定し、その設定値の範囲内のままで後述の蒸着工程の処理をおこなうのが好ましい。
耐湿保護層6は、シンチレータ層上に上記の有機溶剤に有機樹脂を分散・溶解した組成物を塗布、乾燥して形成することが好ましい。前記組成物には必要に応じて着色剤やマット剤を添加しても良い。また支持体(PET、PEN、アラミド等)上に有機樹脂を分散・溶解した組成物を塗布、乾燥して形成した封止フィルムでシンチレータ層を封止しても良い。
以下に、上記シンチレータパネル10の一適用例として、図4及び図5を参照しながら、当該シンチレータプレート10を具備した放射線画像検出装置100の構成について説明する。なお、図4は放射線画像検出装置100の概略構成を示す一部破断斜視図である。また、図5は撮像パネル51の拡大断面図である。
(反射層の作製)
厚さ125μmのポリイミドフィルム(宇部興産製UPILEX−125S)にアルミニウムをスパッタして反射層(0.02μm)を形成した。
表1に記載の種類の有機樹脂 添加量は表1に記載
ヘキサメチレンジイソシアナート 3質量部
フタロシアニンブルー 0.1質量部
メチルエチルケトン(MEK) 100質量部
トルエン 100質量部
上記処方を混合し、ビーズミルにて15時間分散し、保護層塗設用の塗布液を得た。
基板の光吸収層側にシンチレータ蛍光体(CsI:0.003モルTl)を、図3に示す蒸着装置を使用して蒸着させシンチレータ(蛍光体)層を形成した。
セルロースアセテートブチレート(ガラス転移温度:161℃) 100質量部
フタロシアニンブルー 0.1質量部
メチルエチルケトン(MEK) 100質量部
トルエン 100質量部
上記処方を混合し、ビーズミルにて15時間分散し、保護層塗設用の塗布液を得た。
(中間層の作製)
表2に記載の種類の有機樹脂 添加量は表2に記載
フタロシアニンブルー 0.1質量部
メチルエチルケトン(MEK) 100質量部
トルエン 100質量部
上記処方を混合し、ビーズミルにて15時間分散し、中間層塗設用の塗布液を得た。
前記中間層を設けた基板上にアルミニウムをスパッタして反射層(0.02μm)を形成した。
バイロン200(東洋紡社製:ポリエステル樹脂 Tg:67℃) 100質量部
フタロシアニンブルー 0.1質量部
メチルエチルケトン(MEK) 100質量部
トルエン 100質量部
上記処方を混合し、ビーズミルにて15時間分散し、保護層塗設用の塗布液を得た。
基板の光吸収層側にシンチレータ蛍光体(CsI:0.003モルTl)を、図3に示す蒸着装置を使用して蒸着させシンチレータ(蛍光体)層を形成した。
セルロースアセテートブチレート(ガラス転移温度:161℃) 100質量部
フタロシアニンブルー 0.1質量部
メチルエチルケトン(MEK) 100質量部
トルエン 100質量部
上記処方を混合し、ビーズミルにて15時間分散し、保護層塗設用の塗布液を得た。
(反射層の作製)
厚さ125μmのポリイミドフィルム(宇部興産製UPILEX−125S)にアルミニウムをスパッタして反射層(0.02μm)を形成した。
バイロン200(東洋紡社製:ポリエステル樹脂 Tg:67℃) 100質量部
フタロシアニンブルー 0.1質量部
メチルエチルケトン(MEK) 100質量部
トルエン 100質量部
上記処方を混合し、ビーズミルにて15時間分散し、保護層塗設用の塗布液を得た。
基板の光吸収層側にシンチレータ蛍光体(CsI:0.003モルTl)を、図3に示す蒸着装置を使用して蒸着させシンチレータ(蛍光体)層を形成した。
表3に記載の種類の有機樹脂 表3に記載の添加量
フタロシアニンブルー 0.1質量部
メチルエチルケトン(MEK) 100質量部
トルエン 100質量部
上記処方を混合し、ビーズミルにて15時間分散し、保護層塗設用の塗布液を得た。
B−1 ポリビニルブチラール Tg:65℃
B−2 ポリエステル(バイロン300) Tg:6℃
B−3 ポリエステル(バイロン200) Tg:67℃
B−4 セルロースアセテートブチレート Tg:161℃
B−5 ポリメチルメタクリレート Tg:105℃
B−6 フェノキシ樹脂(PKHH) Tg:105℃
B−7 ポリエステルポリウレタン(カプロラクトン基含有) Tg:20℃
B−8 ポリエステルポリウレタン(シクロヘキシル基含有) Tg:70℃
B−9 ポリエステルポリウレタン(脂肪族ポリエステル含有) Tg:−20℃
B−10 ポリエステルポリウレタン(芳香族ポリエステル含有) Tg:50℃
B−11 セルロースアセテートプロピオネート Tg:150℃
なお樹脂のガラス転移温度(Tg)の測定についてはDSC法(示差走査熱量計を使用して吸熱曲線を求めることで測定)を用いた。
(耐湿性の評価)
上記で得られた各シンチレータパネルの試料を封止した後、30℃70%の環境下に30日間放置し、放置前と放置後の鮮鋭性と輝度を比較した。評価は各々後述する方法で実施し、シンチレータの面内の20箇所の平均値を求めこれを各試料の値とした。
鉛製のMTFチャートを通して管電圧80kVpのX線をFPDの放射線入射面側に照射し、画像データを検出しハードディスクに記録した。その後、ハードディスク上の記録をコンピュータで分析して当該ハードディスクに記録されたX線像の変調伝達関数MTF(空間周波数1サイクル/mmにおけるMTF値)を鮮鋭性の指標とした。MTFはModulation Transfer Functionの略号を示す。
電圧80kVpのX線を試料の裏面(シンチレータ層が形成されていない面)から照射し、画像データをシンチレータを配置したFPDで検出し、画像の平均シグナル値を発光輝度とした。
ガラス基板上に複数のフォトダイオードと複数のTFT素子を形成し、全体を下記組成の有機樹脂層で被覆した。
表4に記載の種類の有機樹脂 添加量は表4に記載
ヘキサメチレンジイソシアナート 3質量部
フタロシアニンブルー 0.1質量部
メチルエチルケトン(MEK) 100質量部
トルエン 100質量部
上記処方を混合し、ビーズミルにて15時間分散し、保護層塗設用の塗布液を得た。
基板の有機樹脂層が設けられた側にシンチレータ蛍光体(CsI:0.003モルTl)を、図3に示す蒸着装置を使用して蒸着させシンチレータ(蛍光体)層を形成した。
酸化チタン(平均粒径0.20μm) 15質量部
ポリビニルブチラール 2質量部
ヘキサメチレンジイソシアナート 0.2質量部
シクロヘキサノン 100質量部
メチルエチルケトン(MEK) 60質量部
トルエン 40質量部
上記処方を混合し、ビーズミルにて15時間分散し、保護層塗設用の塗布液を得た。
セルロースアセテートブチレート(ガラス転移温度:161℃) 100質量部
フタロシアニンブルー 0.1質量部
メチルエチルケトン(MEK) 100質量部
トルエン 100質量部
上記処方を混合し、ビーズミルにて15時間分散し、保護層塗設用の塗布液を得た。
ガラス基板上に複数のフォトダイオードと複数のTFT素子を形成し、全体を下記組成の有機樹脂層で被覆した。
バイロン200(東洋紡社製:ポリエステル樹脂 Tg:67℃) 100質量部
メチルエチルケトン(MEK) 100質量部
トルエン 100質量部
上記処方を混合し、ビーズミルにて15時間分散し、有機樹脂層塗設用の塗布液を得た。
基板の有機樹脂層が設けられた側にシンチレータ蛍光体(CsI:0.003モルTl)を、図3に示す蒸着装置を使用して蒸着させシンチレータ(蛍光体)層を形成した。
酸化チタン(平均粒径0.20μm) 15質量部
表5に記載の種類の有機樹脂 添加量は表5に記載
ヘキサメチレンジイソシアナート 0.2質量部
シクロヘキサノン 100質量部
メチルエチルケトン(MEK) 60質量部
トルエン 40質量部
上記処方を混合し、ビーズミルにて15時間分散し、保護層塗設用の塗布液を得た。
セルロースアセテートブチレート(ガラス転移温度:161℃) 100質量部
フタロシアニンブルー 0.1質量部
メチルエチルケトン(MEK) 100質量部
トルエン 100質量部
上記処方を混合し、ビーズミルにて15時間分散し、保護層塗設用の塗布液を得た。
ガラス基板上に複数のフォトダイオードと複数のTFT素子を形成し、全体を下記組成の有機樹脂層で被覆した。
バイロン200(東洋紡社製:ポリエステル樹脂 Tg:67℃) 100質量部
メチルエチルケトン(MEK) 100質量部
トルエン 100質量部
上記処方を混合し、ビーズミルにて15時間分散し、有機樹脂層塗設用の塗布液を得た。
基板の有機樹脂層が設けられた側にシンチレータ蛍光体(CsI:0.003モルTl)を、図3に示す蒸着装置を使用して蒸着させシンチレータ(蛍光体)層を形成した。
酸化チタン(平均粒径0.20μm) 15質量部
ポリビニルブチラール 2質量部
ヘキサメチレンジイソシアナート 0.2質量部
シクロヘキサノン 100質量部
メチルエチルケトン(MEK) 60質量部
トルエン 40質量部
上記処方を混合し、ビーズミルにて15時間分散し、保護層塗設用の塗布液を得た。
表6に記載の種類の有機樹脂 表6に記載の添加量
フタロシアニンブルー 0.1質量部
メチルエチルケトン(MEK) 100質量部
トルエン 100質量部
上記処方を混合し、ビーズミルにて15時間分散し、保護層塗設用の塗布液を得た。
(耐湿性の評価)
上記で得られた各放射線画像検出器を、30℃70%の環境下に30日間放置し、放置前と放置後の鮮鋭性と輝度を比較した。評価は各々後述する方法で実施し、シンチレータの面内の20箇所の平均値を求めこれを各試料の値とした。
鉛製のMTFチャートを通して管電圧80kVpのX線をFPDの放射線入射面側に照射し、画像データを検出しハードディスクに記録した。その後、ハードディスク上の記録をコンピュータで分析して当該ハードディスクに記録されたX線像の変調伝達関数MTF(空間周波数1サイクル/mmにおけるMTF値)を鮮鋭性の指標とした。MTFはModulation Transfer Functionの略号を示す。
電圧80kVpのX線を試料の裏面(シンチレータ層が形成されていない面)から照射し、画像データをシンチレータを配置したFPDで検出し、画像の平均シグナル値を発光輝度とした。
Claims (6)
- 放射線透過性の基板と、該基板上に設けられた反射層と、該反射層上に設けられた保護層と、該保護層上に設けられたシンチレータ層と、該シンチレータ層を覆う耐湿保護層と、を備えたシンチレータパネルにおいて、該保護層が、ガラス転移温度が5℃以上異なる2種の有機樹脂を少なくとも1組含有することを特徴とするシンチレータパネル。
- 放射線透過性の基板と、該基板上に設けられた中間層と、該中間層上に設けられた反射層と、該反射層上に設けられた保護層と、該保護層上に設けられたシンチレータ層と、該シンチレータ層を覆う耐湿保護層と、を備えたシンチレータパネルにおいて、該中間層が、ガラス転移温度が5℃以上異なる2種の有機樹脂を少なくとも1組含有することを特徴とするシンチレータパネル。
- 放射線透過性の基板と、該基板上に設けられた反射層と、該反射層上に設けられた保護層と、該保護層上に設けられたシンチレータ層と、該シンチレータ層を覆う耐湿保護層と、を備えたシンチレータパネルにおいて、該耐湿保護層は、ガラス転移温度が5℃以上異なる2種の有機樹脂を少なくとも1組含有し、膜厚が12〜60μmであることを特徴とするシンチレータパネル。
- 基板上に形成された光電変換素子と、該光電変換素子上に設けられた有機樹脂層と、該有機樹脂層上に設けられたシンチレータ層と、を備えた放射線画像検出器において、該有機樹脂層が、ガラス転移温度が5℃以上異なる2種の有機樹脂を少なくとも1組含有することを特徴とする放射線画像検出器。
- 基板上に形成された光電変換素子と、該光電変換素子上に設けられたシンチレータ層と、該シンチレータ層上に設けられた反射層と、を備えた放射線画像検出器において、該反射層が、ガラス転移温度が5℃以上異なる2種の有機樹脂を少なくとも1組含有することを特徴とする放射線画像検出器。
- 基板上に形成された光電変換素子と、該光電変換素子上に設けられたシンチレータ層と、該シンチレータ層上に設けられた耐湿保護層と、を備えた放射線画像検出器において、該耐湿保護層が、ガラス転移温度が5℃以上異なる2種の有機樹脂を少なくとも1組含有し、膜厚が12〜60μmであることを特徴とする放射線画像検出器。
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