JPWO2009136637A1 - 光走査用アクチュエータおよび光走査用アクチュエータの製造方法 - Google Patents

Abstract

走査光を出射するミラーのミラー面の面積を小さくすることができ、狭い空間にも配置することが可能な光走査用アクチュエータおよび光走査用アクチュエータの製造方法を提供する。この目的のため、板バネと、板バネの一端部を固定する固定部材と、板バネの他端部を保持し、板バネの動きに応じて移動可能な可動部材と、可動部材に取り付けられ、外部から投射された光を反射するミラーと、可動部材およびミラーを揺動させる揺動手段と、を備え、ミラーのミラー面は、固定部材によって固定される板バネの固定端と可動部材によって保持される板バネの自由端との間を通過する平面上に位置することとする。

Description

本発明は、外部へ向けて出射した光によって所定の範囲を走査する光走査用アクチュエータおよび光走査用アクチュエータの製造方法に関する。

従来、レーザ光等の走査装置を利用した装置として、走査型レーザレーダ装置、レーザスキャナ、レーザプリンタ、レーザマーカ、物体監視装置等が知られている。これらの装置の中で、車両の衝突防止のための走査型レーザレーダ装置で使用する光走査用アクチュエータとして、１枚の可動ミラーをモータによって揺動または回転運動させ、レーザ光源からの光を可動ミラーに向けて照射し、その反射光を探査光として所定の範囲を走査する技術が知られている（例えば、特許文献１を参照）。

図１０は、従来の光走査用アクチュエータの構成を示す斜視図である。同図に示す光走査用アクチュエータ３１は、ベース部材３２に組み付けられた固定部材３３に、上下に並設される一対の板バネ３４ａ、３４ｂの基端部が固定されている（板バネ３４ｂは図示せず）。板バネ３４ａ、３４ｂの各先端部は、所定の光源から照射された光を反射するミラー３６を保持するミラーホルダ３５に固着されている。ミラーホルダ３５は、板バネ３４ａ、３４ｂの動きに応じて移動可能である。ミラーホルダ３５には、一対のコイル３７ａ、３７ｂが、板バネ３４ａ、３４ｂの原点位置を中心として左右対称な位置に配設されている。

光走査用アクチュエータ３１のベース部材３２には、弧状のヨーク３８が締結されている。このヨーク３８の弧状部分は、互いに平行な下側部分３８ａと上側部分３８ｂとからなり、下側部分３８ａはコイル３７ａ、３７ｂの各開口面を貫通している。また、上側部分３８ｂの表面のうち下側部分３８ａと対向する表面には、磁石３９が固着されている。

以上の構成を有する光走査用アクチュエータ３１は、ヨーク３８および磁石３９が閉じた磁気回路を形成している。このため、コイル３７ａ、３７ｂに流れる電流に応じて発生する電磁力によってコイル３７ａ、３７ｂを保持するミラーホルダ３５が駆動し、ミラー３６とともに揺動する。したがって、ミラー３６が外部へ向けて出射する光によって所定の範囲を走査することが可能となる。

国際公開第０２／００８８１８号

上述した従来の光走査用アクチュエータ３１では、固定部材３３から見たとき、ミラー３６が板バネ３４ａ、３４ｂの先端よりも外周側に位置しているため、ミラーホルダ３５が揺動する際のミラー３６の移動量が大きかった。このため、固定された光源からの光をミラー３６が常に反射できるようにするには、ミラー３６のミラー面の面積をミラー３６の移動量に応じて大きくしなければならず、狭い空間に光走査用アクチュエータ３１を配置することが困難な場合があった。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、走査光を出射するミラーのミラー面の面積を小さくすることができ、幅が狭い空間にも配置することが可能な光走査用アクチュエータおよび光走査用アクチュエータの製造方法を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る光走査用アクチュエータは、外部へ向けて出射した光によって所定の範囲を走査する光走査用アクチュエータであって、板バネと、前記板バネの一端部を固定する固定部材と、前記板バネの他端部を保持し、前記板バネの動きに応じて移動可能な可動部材と、前記可動部材に取り付けられ、外部から投射された光を反射するミラーと、前記可動部材および前記ミラーを揺動させる揺動手段と、を備え、前記ミラーのミラー面は、前記固定部材によって固定される前記板バネの固定端と前記可動部材によって保持される前記板バネの自由端との間を通過する平面上に位置することを特徴とする。

また、本発明に係る光走査用アクチュエータは、上記発明において、前記ミラー面は、前記板バネがたわんでいない初期状態で前記板バネの主面と直交することを特徴とする。

また、本発明に係る光走査用アクチュエータは、上記発明において、前記ミラー面は、前記板バネの所定のたわみ位置における前記自由端の接平面と前記初期状態における前記板バネの主面との交線または該交線の近傍を通過し、前記接平面と直交することを特徴とする。

また、本発明に係る光走査用アクチュエータは、上記発明において、前記揺動手段は、前記初期状態における前記板バネの主面および前記ミラー面とそれぞれ平行な軸を中心軸とする偶力を前記可動部材に加えることを特徴とする。

また、本発明に係る光走査用アクチュエータは、上記発明において、前記揺動手段は、磁石と、前記磁石が固着され、前記磁石とともに閉じた磁気回路を形成するヨークと、前記可動部材に保持され、前記磁気回路の磁束が貫通するコイルと、を備え、前記コイルの開口面は、前記初期状態における前記板バネの主面と平行であり、前記ミラー面を含む平面と交わることを特徴とする。

また、本発明に係る光走査用アクチュエータは、上記発明において、前記板バネを複数有し、前記初期状態において、各板バネの主面が同じ平面上に位置するとともに各板バネの長手方向が互いに略平行な状態で並列に配置され、前記磁石、前記ヨークおよび前記コイルは、隣り合ういずれか二つの前記板バネの間に位置することを特徴とする。

また、本発明に係る光走査用アクチュエータは、上記発明において、前記可動部材および前記ミラーが揺動する揺動方向に沿った前記ミラー面の幅は、前記揺動方向に沿った前記可動部材の幅以下であることを特徴とする。

また、本発明に係る光走査用アクチュエータの製造方法は、上記発明に記載の光走査用アクチュエータを製造する光走査用アクチュエータの製造方法であって、前記ミラーの設置位置の候補として複数の候補位置を設定し、この設定した複数の候補位置の各々に前記ミラーを配置したときの前記板バネのたわみ量に応じた前記ミラーの前記初期状態からの移動量を求め、この移動量が最小となる候補位置を前記ミラーの設置位置とする工程を含むことを特徴とする。

本発明によれば、板バネと、板バネの一端部を固定する固定部材と、板バネの他端部を保持し、板バネの動きに応じて移動可能な可動部材と、可動部材に取り付けられ、外部から投射された光を反射するミラーと、可動部材およびミラーを揺動させる揺動手段と、を備え、ミラーのミラー面が、固定部材によって固定される板バネの固定端と可動部材によって保持される板バネの自由端との間を通過する平面上に位置することとしたため、ミラーが揺動する揺動方向の移動量を小さくすることができる。したがって、ミラーのミラー面の面積を小さくすることができ、幅が狭い空間にも配置することが可能となる。

図１は、本発明の一実施の形態に係る光走査用アクチュエータを備えた物体検出装置の構成を示すブロック図である。 図２は、本発明の一実施の形態に係る光走査用アクチュエータの構成を示す斜視図である。 図３は、図２のＡ−Ａ線部分断面図に物体検出装置の構成の一部を加えた図である。 図４は、本発明の一実施の形態に係る光走査用アクチュエータが備えるミラーの設置位置を説明する図である。 図５は、図３のＣ−Ｃ線断面図である。 図６は、本発明の一実施の形態に係る光走査用アクチュエータの駆動の態様を示す図である。 図７は、本発明の一実施の形態に係る光走査用アクチュエータの製造方法においてミラーの設置位置を決める工程の概要を模式的に示す図である。 図８は、ミラーの回転軸の移動量を示す図である。 図９は、板バネのたわみと移動量との関係を示す図である。 図１０は、従来の光走査用アクチュエータの構成を示す斜視図である。

以下、添付図面を参照して本発明を実施するための形態を説明する。なお、図面は模式的なものであって、同じ物体を異なる図面で示す場合には、寸法や縮尺等が異なる場合もある。

図１は、本発明の一実施の形態に係る光走査用アクチュエータを備え、この光走査用アクチュエータが出射する光を用いて物体を検出する物体検出装置の構成を示すブロック図である。同図に示す物体検出装置１００は、外部へ向けて光を出射し、この出射した光によって所定の範囲を走査する光走査用アクチュエータ１と、光走査用アクチュエータ１に対して光を照射する投光部２と、光走査用アクチュエータ１の所定箇所の位置を検出する位置検出部３と、光走査用アクチュエータ１が出射した光の反射光を受光する受光部４と、物体検出装置１００の制御を行う制御部５と、を備える。投光部２はレーザダイオードを有し、光走査用アクチュエータ１に対してレーザ光を照射する。受光部４はレーザ光を受光するフォトダイオードを有する。

図２は、本実施の形態に係る光走査用アクチュエータ１の構成を示す斜視図である。図３は、光走査用アクチュエータ１の要部の構成を示す図であり、図２のＡ−Ａ線部分断面図に物体検出装置１００の構成の一部を加えた図である。光走査用アクチュエータ１は、薄板状をなす２枚の板バネ１１、１２と、所定の場所に固設され、板バネ１１、１２の一端部を固定する固定部材１３と、板バネ１１、１２の他端部を保持し、板バネ１１、１２の動きに応じて移動可能な可動部材１４と、可動部材１４に取り付けられ、投光部２が照射したレーザ光を反射するミラー１５と、２枚の磁石１６、１７と、磁石１６、１７が固着され、磁石１６、１７とともに閉じた磁気回路を形成するヨーク１８と、可動部材１４に保持され、磁石１６、１７およびヨーク１８の近傍に位置するコイル１９と、を備える。

板バネ１１、１２は同じ形状をなし、各板バネがたわんでいない初期状態（図２に示す状態）で各々の主面が同じ平面上に位置する。また、板バネ１１、１２は、初期状態における各々の長手方向が平行である。図３に示すように、板バネ１１の固定端１１ａは、板バネ１１が固定部材１３に保持されている部分と保持されていない部分との境界である。他方、板バネ１１の自由端１１ｂは、板バネ１１が可動部材１４に保持されている部分と保持されていない部分との境界である。板バネ１２の固定端１２ａおよび自由端１２ｂも、板バネ１１の固定端１１ａおよび自由端１１ｂとそれぞれ同様の位置である。

板バネ１１、１２の端部のうち固定部材１３に保持されている端部には、板バネ１１、１２がそれぞれ延びている方向と反対側へ突出する電極端子部１１１、１２１がそれぞれ設けられている。電極端子部１１１、１２１には、板バネ１１、１２と制御部５とを電気的に接続するリード線がそれぞれ取り付けられている。一方、板バネ１１、１２の端部のうち可動部材１４に固定されている端部付近には、一端がコイル１９の巻き線端部に接続されたリード線の他端が接続されている。このため、制御部５とコイル１９は、板バネ１１、１２を介して電気的に接続されている。このようにして板バネ１１、１２をリード線の代わりとして機能させることにより、コイル通電用の回路を簡略化することができる。

板バネ１１、１２は、ベリリウム銅、リン青銅またはステンレスなどの薄板バネ材からなり、プレス加工による打ち抜き成形やエッチング成形によってそれぞれ形成される。

可動部材１４は、板バネ１１、１２の初期状態において板バネ１１、１２の長手方向と直交する略柱状をなし、板バネ１１、１２の自由端１１ｂ、１２ｂよりもそれぞれ先端側を保持する板バネ保持部１４１と、板バネ保持部１４１の上端から板バネ保持部１４１と直交して固定部材１３側に延びる略柱状をなし、上面にミラー１５が取り付けられるミラー取付部１４２と、板バネ保持部１４１の略中央部から板バネ１１、１２の初期状態における長手方向に沿って固定部材１３側へ互いに平行に延びる二つの柱状部分からなり、この二つの柱状部分によってコイル１９を挟持した状態で保持するコイル保持部１４３と、を有する。

固定部材１３および可動部材１４は、軽量かつ高剛性なガラス繊維などを充填した液晶ポリマー（ＬＣＰ）やポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）などのエンジニアリングプラスチックを射出成形することによって形成されている。なお、固定部材１３および可動部材１４を成形する際に、板バネ１１、１２をインサート材として一体成形してもよい。

ミラー１５は、可動部材１４およびミラー１５が揺動する揺動方向に沿ったミラー面の幅が、可動部材１４の揺動方向に沿った幅と等しい。より一般には、揺動方向のミラー面の幅が揺動方向の可動部材の幅以下であってもよい。ミラー１５は、ガラス、合成樹脂またはアルミニウムなどの軽金属を用いて実現され、アルミニウム蒸着などによって平滑に形成したミラー面を有する。このミラー面に対して二酸化ケイ素などの薄膜からなる保護層を設けてもよい。

図４は、ミラー１５の設置位置を説明する図であり、図２の矢視Ｂ方向から見たときの板バネ１１とミラー１５の位置関係を示す図である。以下、板バネ１１と板バネ１２は、ほぼ同じ態様で揺動するものとする。図４において、板バネ１１、１２は、所定のたわみ角θ₀（０°＜θ₀＜９０°）でそれぞれたわんでいる。ここでいう「たわみ角」とは、板バネ１１、１２の初期状態における主面を通過する平面Ｐ０と、板バネ１１の自由端１１ｂの接平面（図４に示す場合には平面Ｐ１）とのなす角である。本実施の形態では、ミラー１５のミラー面上を通過し、揺動時の回転中心となる回転軸Ｑを、平面Ｐ０とたわみ角θ₀における板バネ１１の自由端１１ｂの接平面Ｐ１との交線と一致する位置とする。ミラー１５の設置位置を定めるたわみ角θ₀の値は任意に設定可能であり、例えば板バネ１１、１２が最もたわんだときの値とすることができる。

図５は、図３のＣ−Ｃ線断面図である。ヨーク１８は、純鉄等の軟磁性材からなり、略Ｅ字状の均一な断面を有するブロックであり、Ｅ字の３本の横線のうち中央の横線に相当する部分がコイル１９の中空部を貫通している。また、Ｅ字の３本の横線のうち上下２本の横線に相当する部分には、内周側に平板状の磁石１６、１７がそれぞれ固着されている。ヨーク１８は、固定部材１３に固定されている。ヨーク１８の固定位置は、可動部材１４が揺動する際、可動部材１４の板バネ保持部１４１とコイル保持部１４３とによって囲まれた凹部１４ａを通り抜けることが可能な位置である。なお、ヨーク１８の略Ｅ字状の断面の開いた部分に平板状の軟磁性材を取り付けることにより、略Ｂ字状の閉じた断面を有するヨークを構成してもよい。

コイル１９は、可動部材１４のコイル保持部１４３によって保持されている。板バネ１１、１２の初期状態において、コイル１９の開口面は板バネ１１、１２の主面と平行である。また、コイル１９の開口面は、ミラー１５のミラー面を含む平面と交わっている。上述したように、ヨーク１８のうちＥ字の中央の横線に相当する部分はコイル１９の中空部を貫通している。なお、固定部材１３および可動部材１４を成形する際に、コイル１９をインサート材として加えてもよい。

以上の構成を有する光走査用アクチュエータ１の動作を説明する。図２、図３および図５に示す初期状態において制御部５がコイル１９に駆動電流を流すと、コイル１９には、板バネ１１、１２の主面およびミラー１５のミラー面とそれぞれ平行であり、コイル１９の中心を通過する軸（図５の軸Ｏ）を中心軸とする偶力（大きさ２Ｆ）が発生し、可動部材１４およびミラー１５を駆動する駆動力として可動部材１４に作用する。この意味で、磁石１６、１７、ヨーク１８およびコイル１９は、制御部５から送られてくる駆動電流に基づいて可動部材１４およびミラー１５を揺動させる揺動手段を構成する。

図６は、図３の矢視Ｂ方向から見た光走査用アクチュエータ１の駆動の態様を示す図である。可動部材１４は、コイル１９から駆動力を受けると、板バネ１１および１２とともに図６の上下方向へ揺動を開始する。揺動するミラー１５に対して投光部２がレーザ光を照射すると、ミラー１５はレーザ光を反射する。光走査用アクチュエータ１は、この反射光によって所定の範囲を走査する。

可動部材１４およびミラー１５が揺動している間、位置検出部３は、板バネ１１、可動部材１４またはミラー１５の所定箇所の位置を検出して制御部５へ出力する。制御部５は、位置検出部３から送られてくる板バネ１１、可動部材１４またはミラー１５の位置情報を用いることにより、コイル１９に流す駆動電流を制御する。

光走査用アクチュエータ１は、ミラー１５の回転軸Ｑの位置がミラー１５の揺動によってほとんど動かない。このため、上述した特許文献１の従来技術のようにミラー１５のミラー面の面積を大きくしなくても、投光部２が照射する光を確実に光をミラー面に到達させることができる。したがって、ミラー１５の揺動方向の幅を小さくすることができ、これに応じて固定部材１３や可動部材１４の揺動方向の幅も小さくすることができる。この結果、光走査用アクチュエータ１全体を小型化し、幅の狭い空間にも設置することが可能となる。

ところで、可動部材１４およびミラー１５は、各部分が完全な円弧を描いて揺動するわけではない。このため、ミラー１５の回転軸Ｑの位置は、たわみ角θ₀の大きさとともにわずかに変化する。

図７は、本発明の一実施の形態に係る光走査用アクチュエータの製造方法においてミラー１５の設置位置を決める工程の概要を示す図である。ミラー１５の設置位置を決める際には、複数の候補位置（図７に示す場合には４つの候補位置１５ａ〜１５ｄ）に対し、たわみ角θが所定のたわみ角θ₀に達するまで徐々に大きくしていったときのミラー１５の回転軸の初期状態からの移動量を求め、この移動量が最小となる候補位置をミラー１５の設置位置とする。

図８は、ミラー１５を候補位置１５ａに設置した場合のミラー１５の回転軸の移動量の具体例を示す図である。図８では、板バネ１１、１２が初期状態にあるときのミラー１５の回転軸をＱａとする一方、板バネ１１、１２があるたわみ角θ（≦θ₀）でたわんだときのミラー１５の回転軸をＱａ'とし、回転軸Ｑａから回転軸Ｑａ’への移動量をｈａとしている。また、図８では、たわみ角θにおける板バネ１１の自由端１１ｂの接平面をＰ２としている（θ＝θ₀の場合の接平面Ｐ２は接平面Ｐ１に他ならない）。

図９は、板バネ１１、１２のたわみνと移動量ｈとの関係を示す図である。図９では、たわみ角θ₀でたわんだときの自由端１１ｂ、１２ｂのたわみ量をν_maxとしている。図９に示す４本の直線Ｌａ〜Ｌｄは、ミラー１５を候補位置１５ａ〜１５ｄにそれぞれ配置した場合に対応している。４本の直線Ｌａ〜Ｌｄのうち、同じたわみνに対する移動量ｈが最も小さいのは直線Ｌｃである。したがって、図９に示す場合には、候補位置１５ｃがミラー１５の設置位置となる。

ところで、設置位置として最も好ましいのは、図４に示す回転軸Ｑである。しかしながら、実際には有限個の候補位置しか調べることはできないため、候補位置におけるミラー１５の回転軸が回転軸Ｑに一致するとは限らない。また、候補位置におけるミラー１５の回転軸が回転軸Ｑの近傍にあれば、その回転軸の移動量は、板バネ１１、１２の先端部の揺動時の移動量に比べて微小である。このため、候補位置におけるミラー１５の回転軸が回転軸Ｑに一致しなくても、実用上は問題とならない。

なお、図９に示す関係を求める場合には、実測によって求めてもよいし、コンピュータを用いたシミュレーションによって求めてもよい。

このようにして、板バネ１１、１２の初期状態からのたわみ量に応じたミラー１５の回転軸の移動量が最小となる位置にミラーを設置するため、揺動時のミラーの移動をできるだけ少なくすることができる。

以上説明した本発明の一実施の形態によれば、板バネと、板バネの一端部を固定する固定部材と、板バネの他端部を保持し、板バネの動きに応じて移動可能な可動部材と、可動部材に取り付けられ、外部から投射された光を反射するミラーと、可動部材およびミラーを揺動させる揺動手段と、を備え、ミラーのミラー面が、固定部材によって固定される板バネの固定端と可動部材によって保持される板バネの自由端との間を通過する平面上に位置することとしたため、ミラーが揺動する揺動方向の移動量を小さくすることができる。したがって、ミラーのミラー面の面積を小さくすることができ、幅が狭い空間にも配置することが可能となる。

ここまで、本発明を実施するための最良の形態を説明してきたが、本発明は上述した一実施の形態によってのみ限定されるべきものではない。例えば、本発明において、ミラーを設置する位置は、必ずしも板バネの上方でなくてもよい。

また、本発明において、ミラーのミラー面が板バネの固定端側を向いていてもよい。

また、本発明において、板バネが、固定部材によって保持される固定端側から可動部材によって保持される自由端側へ向けて徐々にその幅が狭くなる形状をなしていてもよい。

また、本発明において適用する板バネの枚数は２枚に限られるわけではなく、１枚でもよいし、３枚以上でもよい。

また、本発明において、板バネを介さずにコイルと制御部とを電気的に接続してもよい。

本発明は、走査型レーザレーダ装置、レーザスキャナ、レーザプリンタ、レーザマーカ、物体監視装置等において、外部へ向けてレーザ光を照射し、この照射したレーザ光によって所定の範囲を走査するのに好適である。

１、３１ 光走査用アクチュエータ
２ 投光部
３ 位置検出部
４ 受光部
５ 制御部
１１ａ、１２ａ 固定端
１１ｂ、１２ｂ 自由端
１１、１２、３４ａ、３４ｂ 板バネ
１３、３３ 固定部材
１４ 可動部材
１４ａ 凹部
１５、３６ ミラー
１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄ 候補位置
１６、１７、３９ 磁石
１８、３８ ヨーク
１９、３７ａ、３７ｂ コイル
３２ ベース部材
３５ ミラーホルダ
３８ａ 下側部分
３８ｂ 上側部分
１００ 物体検出装置
１１１、１２１ 電極端子部
１４１ 板バネ保持部
１４２ ミラー取付部
１４３ コイル保持部

Claims (8)

1. 外部へ向けて出射した光によって所定の範囲を走査する光走査用アクチュエータであって、
   板バネと、
   前記板バネの一端部を固定する固定部材と、
   前記板バネの他端部を保持し、前記板バネの動きに応じて移動可能な可動部材と、
   前記可動部材に取り付けられ、外部から投射された光を反射するミラーと、
   前記可動部材および前記ミラーを揺動させる揺動手段と、
   を備え、
   前記ミラーのミラー面は、前記固定部材によって固定される前記板バネの固定端と前記可動部材によって保持される前記板バネの自由端との間を通過する平面上に位置することを特徴とする光走査用アクチュエータ。
2. 前記ミラー面は、
   前記板バネがたわんでいない初期状態で前記板バネの主面と直交することを特徴とする請求項１に記載の光走査用アクチュエータ。
3. 前記ミラー面は、
   前記板バネの所定のたわみ位置における前記自由端の接平面と前記初期状態における前記板バネの主面との交線または該交線の近傍を通過し、前記接平面と直交することを特徴とする請求項２に記載の光走査用アクチュエータ。
4. 前記揺動手段は、
   前記初期状態における前記板バネの主面および前記ミラー面とそれぞれ平行な軸を中心軸とする偶力を前記可動部材に加えることを特徴とする請求項２または３に記載の光走査用アクチュエータ。
5. 前記揺動手段は、
   磁石と、
   前記磁石が固着され、前記磁石とともに閉じた磁気回路を形成するヨークと、
   前記可動部材に保持され、前記磁気回路の磁束が貫通するコイルと、
   を備え、
   前記コイルの開口面は、
   前記初期状態における前記板バネの主面と平行であり、前記ミラー面を含む平面と交わることを特徴とする請求項２〜４のいずれか一項に記載の光走査用アクチュエータ。
6. 前記板バネを複数有し、前記初期状態において、各板バネの主面が同じ平面上に位置するとともに各板バネの長手方向が互いに略平行な状態で並列に配置され、
   前記磁石、前記ヨークおよび前記コイルは、隣り合ういずれか二つの前記板バネの間に位置することを特徴とする請求項５に記載の光走査用アクチュエータ。
7. 前記可動部材および前記ミラーが揺動する揺動方向に沿った前記ミラー面の幅は、前記揺動方向に沿った前記可動部材の幅以下であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の光走査用アクチュエータ。
8. 請求項１〜７のいずれか一項に記載の光走査用アクチュエータを製造する光走査用アクチュエータの製造方法であって、
   前記ミラーの設置位置の候補として複数の候補位置を設定し、この設定した複数の候補位置の各々に前記ミラーを配置したときの前記板バネのたわみ量に応じた前記ミラーの前記初期状態からの移動量を求め、この移動量が最小となる候補位置を前記ミラーの設置位置とする工程を含むことを特徴とする光走査用アクチュエータの製造方法。

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