JP3500044B2 - ガルバノミラー装置 - Google Patents
ガルバノミラー装置Info
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- JP3500044B2 JP3500044B2 JP17206297A JP17206297A JP3500044B2 JP 3500044 B2 JP3500044 B2 JP 3500044B2 JP 17206297 A JP17206297 A JP 17206297A JP 17206297 A JP17206297 A JP 17206297A JP 3500044 B2 JP3500044 B2 JP 3500044B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学式情報記録再
生装置等において光偏向器として用いられるガルバノミ
ラー装置に関する。
生装置等において光偏向器として用いられるガルバノミ
ラー装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のガルバノミラー装置としては、例
えば特開昭６４−２０１５号公報に記載されたものが知
られている。このガルバノミラー装置には、図１０に示
すように、偏向ミラー１と、偏向ミラー１を回動自在に
支持する支持部材２とが設けられている。支持部材２は
基台３に固定され、また基台３上にはヨーク部材４が固
定されている。図には示してないが、ヨーク部材４には
磁石が取り付けられており、このヨーク部材４は、偏向
ミラー１の下部に設けられた第１のコイル５及び第２の
コイル６と共に巡閉ループの磁気回路を構成するように
なっている。
えば特開昭６４−２０１５号公報に記載されたものが知
られている。このガルバノミラー装置には、図１０に示
すように、偏向ミラー１と、偏向ミラー１を回動自在に
支持する支持部材２とが設けられている。支持部材２は
基台３に固定され、また基台３上にはヨーク部材４が固
定されている。図には示してないが、ヨーク部材４には
磁石が取り付けられており、このヨーク部材４は、偏向
ミラー１の下部に設けられた第１のコイル５及び第２の
コイル６と共に巡閉ループの磁気回路を構成するように
なっている。
【０００３】支持部材２は板状のバネで形成され、偏向
ミラー１の回動軸上に配置されるのが一般的である。そ
して、第１のコイル５及び第２のコイル６に電流を流す
ことにより、偏向ミラー１は支持部材２の中心軸２Ａ回
りに矢印Ａのように回動し、偏向ミラー１に照射される
光束の向きを偏向させることができる。
ミラー１の回動軸上に配置されるのが一般的である。そ
して、第１のコイル５及び第２のコイル６に電流を流す
ことにより、偏向ミラー１は支持部材２の中心軸２Ａ回
りに矢印Ａのように回動し、偏向ミラー１に照射される
光束の向きを偏向させることができる。
【０００４】しかし、このようなガルバノミラー装置で
は、前述したように支持部材２が板状のバネで形成され
ているために、さらに良好な機械的周波数特性を得よう
とすると、どうしても支持部材２の軸方向長さが長くな
ってしまい、装置全体を小型化する上で大きな障害とな
っていた。
は、前述したように支持部材２が板状のバネで形成され
ているために、さらに良好な機械的周波数特性を得よう
とすると、どうしても支持部材２の軸方向長さが長くな
ってしまい、装置全体を小型化する上で大きな障害とな
っていた。
【０００５】そこで、図１及び図２に示すような構成の
ガルバノミラー装置が考えられている。図１はガルバノ
ミラー装置全体の外観斜視図、図２はその内部構成の分
解斜視図である。なお、図２では装置本体の枠体は省略
されている。また図３は、ミラーホルダーの中心線を含
み、かつ偏向ミラーに垂直な面でのガルバノミラー装置
の断面図である。
ガルバノミラー装置が考えられている。図１はガルバノ
ミラー装置全体の外観斜視図、図２はその内部構成の分
解斜視図である。なお、図２では装置本体の枠体は省略
されている。また図３は、ミラーホルダーの中心線を含
み、かつ偏向ミラーに垂直な面でのガルバノミラー装置
の断面図である。
【０００６】このガルバノミラー装置は、偏向ミラー１
１を有するミラーホルダー１０をピボット支持方式で回
動自在に支持するように構成されている。すなわち、ミ
ラーホルダー１０の上部及び下部には軸受部１２，１３
が設けられており、これらの軸受部１２，１３は円錐状
凹面１２Ａ，１３Ａを有している。そして、円錐状凹面
１２Ａ，１３Ａの頂部付近に先端部近傍が当接する軸部
１４，１５が設けられている。軸部１４はブッシュ１６
に形成された孔１６Ａを挿通して設けられ、孔１６Ａ内
を上下方向に移動自在であり、軸部１５は装置本体の枠
体１７に固定されている。なお、図２において、１８，
１９は扁平コイル、２０，２１は扁平コイル１８，１９
に対向して配置された永久磁石である。
１を有するミラーホルダー１０をピボット支持方式で回
動自在に支持するように構成されている。すなわち、ミ
ラーホルダー１０の上部及び下部には軸受部１２，１３
が設けられており、これらの軸受部１２，１３は円錐状
凹面１２Ａ，１３Ａを有している。そして、円錐状凹面
１２Ａ，１３Ａの頂部付近に先端部近傍が当接する軸部
１４，１５が設けられている。軸部１４はブッシュ１６
に形成された孔１６Ａを挿通して設けられ、孔１６Ａ内
を上下方向に移動自在であり、軸部１５は装置本体の枠
体１７に固定されている。なお、図２において、１８，
１９は扁平コイル、２０，２１は扁平コイル１８，１９
に対向して配置された永久磁石である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ピボット支
持方式のガルバノミラー装置では、ミラーホルダー１０
の回動を円滑にするために、図３に示したように、軸部
１４に対して矢印の方向に予圧が加えられている。この
予圧は板バネ２２によって加えられている。
持方式のガルバノミラー装置では、ミラーホルダー１０
の回動を円滑にするために、図３に示したように、軸部
１４に対して矢印の方向に予圧が加えられている。この
予圧は板バネ２２によって加えられている。
【０００８】しかしながら、軸部１４に予圧が加えられ
ていると、軸部１４の姿勢が正常に保持できない欠点が
ある。すなわち、軸部１４は、ブッシュ１６の孔１６Ａ
内をスムーズに移動できるよう、通常、その外径が孔１
６Ａの内径よりも僅かに小さく形成され、孔１６Ａと軸
部１４との間には隙間が生じている。また、軸部１４の
上面は球面状に形成されている。
ていると、軸部１４の姿勢が正常に保持できない欠点が
ある。すなわち、軸部１４は、ブッシュ１６の孔１６Ａ
内をスムーズに移動できるよう、通常、その外径が孔１
６Ａの内径よりも僅かに小さく形成され、孔１６Ａと軸
部１４との間には隙間が生じている。また、軸部１４の
上面は球面状に形成されている。
【０００９】このような構成であると、板バネ２２から
予圧を加えられたときに、軸部１４が図４のように傾い
てしまう。傾く方向が一定であればあまり問題はない
が、ミラーホルダー１０が回動した時など、図４で実線
で示すように左に傾いたり、もしくは二点鎖線で示すよ
うに右に傾いたりして、傾く方向は一定ではない。そし
て、軸部１４の傾く方向が一定でないと、偏向ミラー１
１の姿勢も一定ではなくなり、偏向ミラー１１に照射さ
れる光束の向きを正確な方向に偏向させることができな
くなる。
予圧を加えられたときに、軸部１４が図４のように傾い
てしまう。傾く方向が一定であればあまり問題はない
が、ミラーホルダー１０が回動した時など、図４で実線
で示すように左に傾いたり、もしくは二点鎖線で示すよ
うに右に傾いたりして、傾く方向は一定ではない。そし
て、軸部１４の傾く方向が一定でないと、偏向ミラー１
１の姿勢も一定ではなくなり、偏向ミラー１１に照射さ
れる光束の向きを正確な方向に偏向させることができな
くなる。
【００１０】本発明の目的は、偏向ミラーをピボット支
持方式で支持する場合に、軸部の傾きを常に一定方向に
保持することにより、光束の反射方向を高精度に維持す
ることのできるガルバノミラー装置を提供することにあ
る。
持方式で支持する場合に、軸部の傾きを常に一定方向に
保持することにより、光束の反射方向を高精度に維持す
ることのできるガルバノミラー装置を提供することにあ
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の発明は、偏向ミラーと、該偏向ミ
ラーの左右両端部に設けられたコイルと、該コイルに対
向して配置された磁石と、前記偏向ミラーの上下両端部
に設けられ偏向ミラーを回動自在に支持する支持部とを
備え、前記コイルに電流を流すことにより前記偏向ミラ
ーを回動させ、当該偏向ミラーに照射される光束の向き
を偏向させるガルバノミラー装置において、前記支持部
は、円錐状凹面を有する一対の軸受部と、先端の球面状
部分が前記円錐状凹面の頂部付近に当接する一対の軸部
とで構成され、前記一対の軸受部は前記偏向ミラーの上
下両端部にそれぞれ設けられ、前記一対の軸部のうち一
方の軸部はガルバノミラー装置本体の枠体に固定され、
他方の軸部は前記枠体に設けられたブッシュ内に軸方向
に移動自在に挿通され、かつ前記他方の軸部を所定方向
に強制的に傾ける手段が設けられていることを特徴とし
ている。
に、請求項１に記載の発明は、偏向ミラーと、該偏向ミ
ラーの左右両端部に設けられたコイルと、該コイルに対
向して配置された磁石と、前記偏向ミラーの上下両端部
に設けられ偏向ミラーを回動自在に支持する支持部とを
備え、前記コイルに電流を流すことにより前記偏向ミラ
ーを回動させ、当該偏向ミラーに照射される光束の向き
を偏向させるガルバノミラー装置において、前記支持部
は、円錐状凹面を有する一対の軸受部と、先端の球面状
部分が前記円錐状凹面の頂部付近に当接する一対の軸部
とで構成され、前記一対の軸受部は前記偏向ミラーの上
下両端部にそれぞれ設けられ、前記一対の軸部のうち一
方の軸部はガルバノミラー装置本体の枠体に固定され、
他方の軸部は前記枠体に設けられたブッシュ内に軸方向
に移動自在に挿通され、かつ前記他方の軸部を所定方向
に強制的に傾ける手段が設けられていることを特徴とし
ている。
【００１２】 上記構成によれば、他方の軸部はブッシ
ュ内で常に所定方向に強制的に傾けられている。このた
め、偏向ミラーの姿勢が安定し、偏向ミラーに照射され
る光束の向きを正確な方向に偏向させることが可能とな
る。
ュ内で常に所定方向に強制的に傾けられている。このた
め、偏向ミラーの姿勢が安定し、偏向ミラーに照射され
る光束の向きを正確な方向に偏向させることが可能とな
る。
【００１３】他方の軸部を所定方向に強制的に傾ける手
段は、請求項２のように、該軸部の横方向に設けられた
板バネである。この板バネは他方の軸部の上部周縁に当
接して該軸部を斜め下方に付勢しており、これによっ
て、他方の軸部を所定方向に強制的に傾けることができ
る。この場合、板バネは、請求項３のように、他方の軸
部との当接部が斜め上方に折り曲げられていると、軸部
を所定方向に強制的に傾ける上で好都合である。また、
請求項４のように、他方の軸部は、板バネとの当接部が
斜めに形成されている場合も、軸部を所定方向に強制的
に傾ける上では好都合である。
段は、請求項２のように、該軸部の横方向に設けられた
板バネである。この板バネは他方の軸部の上部周縁に当
接して該軸部を斜め下方に付勢しており、これによっ
て、他方の軸部を所定方向に強制的に傾けることができ
る。この場合、板バネは、請求項３のように、他方の軸
部との当接部が斜め上方に折り曲げられていると、軸部
を所定方向に強制的に傾ける上で好都合である。また、
請求項４のように、他方の軸部は、板バネとの当接部が
斜めに形成されている場合も、軸部を所定方向に強制的
に傾ける上では好都合である。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。 （実施形態１）図５は本発明に係るガルバノミラー装置
の断面を示しており、前述した図３に相当する図であ
る。図５において、ミラーホルダー１０の上部及び下部
には軸受部１２，１３が固定されている。軸受部１２，
１３はそれぞれの中心軸が同一直線上にくるよう配置さ
れている。
て説明する。 （実施形態１）図５は本発明に係るガルバノミラー装置
の断面を示しており、前述した図３に相当する図であ
る。図５において、ミラーホルダー１０の上部及び下部
には軸受部１２，１３が固定されている。軸受部１２，
１３はそれぞれの中心軸が同一直線上にくるよう配置さ
れている。
【００１５】軸受部１２は、図６に拡大して示すように
円錐状凹面１２Ａを有し、その円錐状凹面１２Ａの頂部
付近に軸部１４の先端近傍が当接している。また、軸受
部１３は円錐状凹面１３Ａを有し、その円錐状凹面１３
Ａの頂部付近に軸部１５の先端近傍が当接している。な
お、軸部１５は図３で示したものと同じものである。
円錐状凹面１２Ａを有し、その円錐状凹面１２Ａの頂部
付近に軸部１４の先端近傍が当接している。また、軸受
部１３は円錐状凹面１３Ａを有し、その円錐状凹面１３
Ａの頂部付近に軸部１５の先端近傍が当接している。な
お、軸部１５は図３で示したものと同じものである。
【００１６】軸部１４にはテーパ面１４Ａが形成され、
そのテーパ面１４Ａの先端に小さな球面状部１４Ｂが設
けられている。また、軸部１４の上面にはなだらかな球
面状部１４Ｃが形成されている。拡大図としては示して
ないが、軸部１５もテーパ面が形成され、そのテーパ面
の先端に球面状部が設けられている。軸部１５は装置本
体の枠体１７の下部に固定されている。
そのテーパ面１４Ａの先端に小さな球面状部１４Ｂが設
けられている。また、軸部１４の上面にはなだらかな球
面状部１４Ｃが形成されている。拡大図としては示して
ないが、軸部１５もテーパ面が形成され、そのテーパ面
の先端に球面状部が設けられている。軸部１５は装置本
体の枠体１７の下部に固定されている。
【００１７】枠体１７には、その上部に孔１７Ａが形成
され、この孔１７Ａにブッシュ１６が嵌合されている。
ブッシュ１６にはその中央部に孔１６Ａが形成され、そ
の孔１６Ａ内に軸部１４が挿通されている。孔１６Ａの
内径は軸部１４の外径よりも僅かに大きく形成され、孔
１６Ａと軸部１４との間には隙間が生じている。これに
より、軸部１４はその軸方向に沿って孔１６Ａ内を移動
自在となっている。
され、この孔１７Ａにブッシュ１６が嵌合されている。
ブッシュ１６にはその中央部に孔１６Ａが形成され、そ
の孔１６Ａ内に軸部１４が挿通されている。孔１６Ａの
内径は軸部１４の外径よりも僅かに大きく形成され、孔
１６Ａと軸部１４との間には隙間が生じている。これに
より、軸部１４はその軸方向に沿って孔１６Ａ内を移動
自在となっている。
【００１８】また、枠体１７の上部で軸部１４の横方向
には板バネ２２が設けられている。この板バネ２２の一
端はネジ２３によって枠体１７に固定され、他端は斜め
上方に折り曲げられている。板バネ２２の平面図を図７
に示す。板バネ２２はその端部（図７では右側端部）に
貫通孔２２Ａを有しており、貫通孔２２Ａには前記ネジ
２３が挿通される。また、図５に示すように、板バネ２
２の折り曲げ部２２Ｂは軸部１４の上部周縁すなわち球
面状部１４Ｃの周囲に当接し、矢印Ｂのように軸部１４
を斜め下方に付勢している。これによって、軸部１４は
図５では強制的に左方向に傾けられている。
には板バネ２２が設けられている。この板バネ２２の一
端はネジ２３によって枠体１７に固定され、他端は斜め
上方に折り曲げられている。板バネ２２の平面図を図７
に示す。板バネ２２はその端部（図７では右側端部）に
貫通孔２２Ａを有しており、貫通孔２２Ａには前記ネジ
２３が挿通される。また、図５に示すように、板バネ２
２の折り曲げ部２２Ｂは軸部１４の上部周縁すなわち球
面状部１４Ｃの周囲に当接し、矢印Ｂのように軸部１４
を斜め下方に付勢している。これによって、軸部１４は
図５では強制的に左方向に傾けられている。
【００１９】軸部１４，１５はそれぞれの中心軸が同一
直線上にくるよう配置されており、軸部１４の先端が軸
受部１２の円錐状凹面１２Ａに、また軸部１５の先端が
軸受部１３の円錐状凹面１３Ａにそれぞれ当接すること
により、ミラーホルダー１０は枠体１７に回動自在に支
持されている。
直線上にくるよう配置されており、軸部１４の先端が軸
受部１２の円錐状凹面１２Ａに、また軸部１５の先端が
軸受部１３の円錐状凹面１３Ａにそれぞれ当接すること
により、ミラーホルダー１０は枠体１７に回動自在に支
持されている。
【００２０】上記構成において、図２に示した扁平コイ
ル１８，１９に電流を流すと、永久磁石２０，２１との
間の電磁誘導の作用により、ミラーホルダー１０が回動
する。これによって、偏向ミラー１１に照射される光束
の向きを偏向させることができる。
ル１８，１９に電流を流すと、永久磁石２０，２１との
間の電磁誘導の作用により、ミラーホルダー１０が回動
する。これによって、偏向ミラー１１に照射される光束
の向きを偏向させることができる。
【００２１】上記構成のガルバノミラー装置では、板バ
ネ２２の折り曲げ部２２Ｂが軸部１４の上部周縁に当接
して、軸部１４を軸部１５の中心軸に対して斜め下方に
付勢しているので、軸部１４を常に所定の方向に傾ける
ことができる。すなわち、ブッシュ１６の孔１６Ａの内
径は軸部１４の外径よりも僅かに大きく形成され、孔１
６Ａと軸部１４との間には隙間が生じているので、軸部
１４が板バネ２２から斜め下方に付勢されると、軸部１
４は前記隙間の分だけ常に傾いた状態となる。
ネ２２の折り曲げ部２２Ｂが軸部１４の上部周縁に当接
して、軸部１４を軸部１５の中心軸に対して斜め下方に
付勢しているので、軸部１４を常に所定の方向に傾ける
ことができる。すなわち、ブッシュ１６の孔１６Ａの内
径は軸部１４の外径よりも僅かに大きく形成され、孔１
６Ａと軸部１４との間には隙間が生じているので、軸部
１４が板バネ２２から斜め下方に付勢されると、軸部１
４は前記隙間の分だけ常に傾いた状態となる。
【００２２】そして、このように軸部１４が常に所定の
方向に傾いた状態であれば、軸部１４の球面状部１４Ｂ
（図６参照）の位置が変動しないために、ミラーホルダ
ー１０の回動軸がふらつくことがなく、偏向ミラー１１
の姿勢が安定する。その結果、偏向ミラー１１に照射さ
れる光束の向きを正確な方向に偏向させることができ
る。また、板バネ２２の折り曲げ部２２Ｂの折り曲げ角
度を変化させることにより、自在な方向の予圧を与える
ことができる。
方向に傾いた状態であれば、軸部１４の球面状部１４Ｂ
（図６参照）の位置が変動しないために、ミラーホルダ
ー１０の回動軸がふらつくことがなく、偏向ミラー１１
の姿勢が安定する。その結果、偏向ミラー１１に照射さ
れる光束の向きを正確な方向に偏向させることができ
る。また、板バネ２２の折り曲げ部２２Ｂの折り曲げ角
度を変化させることにより、自在な方向の予圧を与える
ことができる。
【００２３】（実施形態２）図８は実施形態２によるガ
ルバノミラー装置の断面図である。本実施形態では、板
バネ２２′は平板状をしており、実施形態１のような折
り曲げ部は形成されていない。そして、この平板状をし
た板バネ２２′の先端部が軸部１４上部の球面状部１４
Ｃに当接している。この場合、折り曲げ部がないため
に、実施形態１に比べて、板バネ２２′は軸部１４との
当接側をネジ２３側より高くする必要がある。このよう
にしないと、軸部１４への予圧方向を軸部１５の中心軸
からずらすことができず、軸部１４を横方向に傾ける十
分な力が得られない。
ルバノミラー装置の断面図である。本実施形態では、板
バネ２２′は平板状をしており、実施形態１のような折
り曲げ部は形成されていない。そして、この平板状をし
た板バネ２２′の先端部が軸部１４上部の球面状部１４
Ｃに当接している。この場合、折り曲げ部がないため
に、実施形態１に比べて、板バネ２２′は軸部１４との
当接側をネジ２３側より高くする必要がある。このよう
にしないと、軸部１４への予圧方向を軸部１５の中心軸
からずらすことができず、軸部１４を横方向に傾ける十
分な力が得られない。
【００２４】本実施形態によれば、板バネ２２′の先端
部を軸部１４上部の球面状部１４Ｃに当接させるだけ
で、軸部１４を所定方向に傾けることができるので、装
置の組立時に板バネの位置調整等が簡単となり、組立性
の向上を図ることができる。
部を軸部１４上部の球面状部１４Ｃに当接させるだけ
で、軸部１４を所定方向に傾けることができるので、装
置の組立時に板バネの位置調整等が簡単となり、組立性
の向上を図ることができる。
【００２５】図９は実施形態２の変形例を示している。
この変形例では軸部１４の上部に傾斜面１４Ｄが形成さ
れ、この傾斜面１４Ｄに板バネ２２′が当接している。
このように構成すれば、板バネ２２が傾斜面１４Ｄに密
着するので、軸部１４を安定して傾けることができる。
この変形例では軸部１４の上部に傾斜面１４Ｄが形成さ
れ、この傾斜面１４Ｄに板バネ２２′が当接している。
このように構成すれば、板バネ２２が傾斜面１４Ｄに密
着するので、軸部１４を安定して傾けることができる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
軸部は常に所定方向に傾いた状態となるので、偏向ミラ
ーの姿勢が安定し、偏向ミラーに照射される光束の向き
を正確な方向に偏向させることが可能となる。
軸部は常に所定方向に傾いた状態となるので、偏向ミラ
ーの姿勢が安定し、偏向ミラーに照射される光束の向き
を正確な方向に偏向させることが可能となる。
【図１】ピボット支持方式のガルバノミラー装置の外観
斜視図である。
斜視図である。
【図２】図１のガルバノミラー装置の内部構成を分解し
た斜視図である。
た斜視図である。
【図３】図１のガルバノミラー装置の要部断面図であ
る。
る。
【図４】軸部が予圧によって傾くことを説明した図であ
る。
る。
【図５】本発明の実施形態１によるガルバノミラー装置
の要部断面図である。
の要部断面図である。
【図６】軸部と軸受部の拡大図である。
【図７】板バネの拡大平面図である。
【図８】本発明の実施形態２によるガルバノミラー装置
の要部断面図である。
の要部断面図である。
【図９】実施形態２の変形例による軸部と軸受部の拡大
図である。
図である。
【図１０】従来のガルバノミラー装置の外観斜視図であ
る。
る。
１０ ミラーホルダー
１１ 偏向ミラー
１２，１３ 軸受部
１２Ａ，１３Ａ 円錐状凹面
１４，１５ 軸部
１４Ｄ 傾斜面
１６ ブッシュ
１７ 枠体
１８，１９ 扁平コイル
２０，２１ 永久磁石
２２，２２′ 板バネ
２２Ｂ 折り曲げ部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G11B 7/09
G02B 26/10 104
Claims (4)
- 【請求項１】 偏向ミラーと、該偏向ミラーの左右両端
部に設けられたコイルと、該コイルに対向して配置され
た磁石と、前記偏向ミラーの上下両端部に設けられ偏向
ミラーを回動自在に支持する支持部とを備え、前記コイ
ルに電流を流すことにより前記偏向ミラーを回動させ、
当該偏向ミラーに照射される光束の向きを偏向させるガ
ルバノミラー装置において、 前記支持部は、円錐状凹面を有する一対の軸受部と、先
端の球面状部分が前記円錐状凹面の頂部付近に当接する
一対の軸部とで構成され、 前記一対の軸受部は前記偏向ミラーの上下両端部にそれ
ぞれ設けられ、 前記一対の軸部のうち一方の軸部はガルバノミラー装置
本体の枠体に固定され、他方の軸部は前記枠体に設けら
れたブッシュ内に軸方向に移動自在に挿通され、 かつ前記他方の軸部を所定方向に強制的に傾ける手段が
設けられていることを特徴とするガルバノミラー装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載のガルバノミラー装置に
おいて、 前記他方の軸部を所定方向に強制的に傾ける手段は該軸
部の横方向に設けられた板バネで、該板バネは前記他方
の軸部の上部周縁に当接して該軸部を斜め下方に付勢し
ていることを特徴とするガルバノミラー装置。 - 【請求項３】 請求項２に記載のガルバノミラー装置に
おいて、 前記板バネは、前記他方の軸部との当接部が斜め上方に
折り曲げられていることを特徴とするガルバノミラー装
置。 - 【請求項４】 請求項２に記載のガルバノミラー装置に
おいて、 前記他方の軸部は、前記板バネとの当接部が斜めに形成
されていることを特徴とするガルバノミラー装置。
Priority Applications (13)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17206297A JP3500044B2 (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | ガルバノミラー装置 |
| FR9807827A FR2765352B1 (fr) | 1997-06-27 | 1998-06-22 | Module de miroir galvanique |
| DE19828689A DE19828689A1 (de) | 1997-06-27 | 1998-06-26 | Spiegelgalvanometereinheit |
| GB0122285A GB2365538B (en) | 1997-06-27 | 1998-06-29 | Galvano mirror unit with positioning magnet |
| GB0122266A GB2366625B (en) | 1997-06-27 | 1998-06-29 | Galvano mirror unit with biassing member |
| GB0122280A GB2367382B (en) | 1997-06-27 | 1998-06-29 | Galvano mirror unit with plate spring on stator |
| GB0122282A GB2366626B (en) | 1997-06-27 | 1998-06-29 | Galvano mirror unit |
| GB0122264A GB2365536B (en) | 1997-06-27 | 1998-06-29 | Galvano mirror unit with offset magnet on stator |
| GB9813948A GB2328291B (en) | 1997-06-27 | 1998-06-29 | Galvano mirror unit |
| GB0122279A GB2365537B (en) | 1997-06-27 | 1998-06-29 | Galvano mirror unit with plate spring on stator |
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| US09/785,173 US6424068B2 (en) | 1997-06-27 | 2001-02-20 | Galvano mirror unit |
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|---|---|---|---|
| JP17206297A JP3500044B2 (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | ガルバノミラー装置 |
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|---|---|
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Family
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Family Applications (1)
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3500044B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| EP3674769A3 (en) * | 2018-12-27 | 2020-09-16 | Tdk Taiwan Corp. | Driving mechanism |
-
1997
- 1997-06-27 JP JP17206297A patent/JP3500044B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1116184A (ja) | 1999-01-22 |
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