JPWO2009136441A1 - 電子線描画装置及び電子線描画方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本実施形態に係るマルチコラム電子ビーム露光装置の概略構成図である。
統合記憶部33、露光データメモリ72、補正係数変換部66、ステージ位置依存補正係数メモリ73、ステージ駆動部74がバス34によって統合制御部26と接続されている。
X1_def=X0_def×(Gx_pos+Gx_prs)+
Y0_def×(Rx_pos+Rx_prs)+
(Ox_pos+Ox_prs) ……(1)
Y1_def=Y0_def×(Gy_pos+Gy_prs)+
X0_def×(Ry_pos+Ry_prs)+
(Oy_pos+Oy_prs) ……(2)
式(1)及び式(2)に比例した電圧が静電偏向器の電極に印加され、電子ビームを偏向する。この式において、Gx_pos+Gx_prs、Gy_pos+Gy_prsはゲイン補正係数、Rx_pos+Rx_prs、Ry_pos+Ry_prsはローテーション補正係数、Ox_pos+Ox_prs、Oy_pos+Oy_prsはオフセット調整係数である。また、*_posはステージ位置(試料露光位置)依存成分の固定補正係数であり、*_prsは気圧依存成分の変動補正係数である。
Fout=fpos+fprs ……(3)
ここで、fposはステージ位置(試料露光位置)依存成分の固定補正係数であり、fprsは気圧依存成分の変動補正係数である。
次に、上記した電子ビーム露光装置における露光方法について説明する。
次のステップS14では、抽出した露光データに規定されている照射位置を参照し、固定補正係数が格納されているステージ位置依存補正係数メモリ73に照射位置でアドレス指定し、照射位置が示すアドレスの記憶領域に格納されている固定補正係数を抽出する。
次のステップS15では、変動補正係数を算出する。露光時における変動要因である気圧値を気圧計から入力し、気圧値に対応する変動補正係数を取得する。標準気圧と測定気圧の差分と変動補正係数との関係は予め測定し、統合記憶部33に格納しておき、測定された気圧データに応じて統合記憶部33から変動補正係数を抽出する。変動要因は気圧に限らず、温度や装置の加速電圧の変動なども考えられる。これらのすべての要因に対してそれぞれ規定された変動補正係数を統合して変動補正係数とする。
次のステップS17では、ステップS16で算出した統合補正係数を基に、偏向器の偏向能率、及び、焦点補正器の焦点補正強度を算出して、偏向器、焦点補正器に送信し、補正されたこれらの信号に従って露光処理を行う。
Claims (7)
- 被描画試料が載置されるウエハステージを備えた試料室と電子ビームを前記試料上に照射する電子ビーム光学鏡筒で構成される電子線描画装置であって、
前記電子ビームを放出する電子銃と、
前記電子ビームを偏向する偏向器と、
前記電子ビームの焦点を補正する焦点補正器と、
露光データが格納された記憶部と、
時間経過に依存しない固定補正係数と時間経過に従って変化する変動補正係数とを基に前記露光データを補正して、前記偏向器の入力信号とビーム偏向量との関係を示す偏向能率及び前記焦点補正器の入力信号とビーム焦点との関係を示す補正強度を算出し、当該偏向能率及び補正強度に従って前記試料を描画する制御部と、を有することを特徴とする電子線描画装置。 - 更に、前記電子線描画装置の動作に影響を及ぼす変動要因データを計測する計測器を備え、
前記固定補正係数は、前記試料の描画位置、又は選択されるキャラクタープロジェクション(CP)パターンの位置に応じて決定され、当該固定補正係数は前記試料の描画位置又はCPパターンの位置をアドレスとした前記記憶部の記憶領域に格納され、
前記変動補正係数は、前記計測器で計測された変動要因データの値に応じて決定され、
前記変動要因データの値と変動補正係数との対応関係が前記記憶部に格納されていることを特徴とする請求項1に記載の電子線描画装置。 - 前記制御部は、前記露光データの照射位置に対応する前記固定補正係数を抽出し、前記計測器で計測された変動要因データに応じた変動補正係数を抽出し、当該固定補正係数及び当該変動補正係数とを加算又は減算して前記露光データに対する補正係数を算出して前記補正能率及び焦点補正強度を算出することを特徴とする請求項2に記載の電子線描画装置。
- 前記計測器は、少なくとも、気圧計、温度計、電圧計、又は電流計のいずれかであり、
前記変動要因データは、少なくとも、前記気圧計により計測された気圧値、前記温度計により計測された温度、前記電圧計により計測された加速電圧値、又は前記電流計により計測されたレンズ電流値のいずれかであることを特徴とする請求項3に記載の電子線描画装置。 - 前記電子ビーム光学鏡筒を複数有することを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の電子線描画装置。
- 電子ビームを放出する電子銃と、前記電子ビームを偏向する偏向器と、前記電子ビームの焦点を補正する焦点補正器と、露光データが格納された記憶部とを備えた電子線描画装置における電子線描画方法であって、
描画開始前に、前記露光データに対する時間経過に依存しない固定補正係数を測定し、前記記憶部に格納するステップと、
前記記憶部から露光データを抽出するステップと、
抽出された前記露光データに対応する固定補正係数を前記記憶部から抽出するステップと、
当該露光データに対する時間経過に従って変化する描画時の変動補正係数を算出するステップと、
前記固定補正係数と前記変動補正係数を基に前記偏向器の偏向能率及び前記焦点補正器の焦点補正強度を算出し、当該偏向能率及び当該焦点補正強度に従って試料を露光するステップとを含むことを特徴とする電子線描画方法。 - 前記固定補正係数は、前記試料の描画位置、又は選択されるキャラクタープロジェクション(CP)パターンの位置に応じて決定され、当該固定補正係数は前記試料の描画位置又はCPパターンの位置をアドレスとした前記記憶部の記憶領域に格納され、
前記変動補正係数は、前記電子線描画装置の動作に影響を及ぼす変動要因データを計測する計測器で計測された変動要因データの値に応じて決定され、前記変動要因データの値と変動補正係数との対応関係が前記記憶部に格納されていることを特徴とする請求項6に記載の電子線描画方法。
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