JPWO2009133794A1 - ノズルシート及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、撥液膜の形成時のパターニング用マスクである撥液剤用マスクについて説明する。図1(a)〜(e)は、撥液剤用マスクの各製造工程における断面図である。
次に、ダミー基板への撥液膜の形成について説明する。図3(a)〜(d)は、撥液膜がパターニングされたダミー基板の各製造工程における断面図である。
次に、ノズルシートへのノズルの形成について説明する。図5(a)〜(c)、図6(a)〜(d)は、ノズルシートの各製造工程における断面図である。
図8に、インクジェットプリンタのインクジェットヘッド付近の断面図を示す。上記のように作製したノズルシート40は、インクの流路基板41に貼り付けてインクジェットヘッドとし、さらにこのインクジェットヘッドはインクジェットプリンタ本体に取り付けられ、インクジェットヘッドにはインクタンク42が取り付けられる。これにより、インクは流路基板41内を流れ、各ノズルから吐出される。
次に、具体的な実施例について説明する。なお、上記の実施形態と同様の部材には同符号を付すことで各図面に対応させる。
まず、Siからなるダミー基板(第2ダミー基板)10上に、厚さ1μmのポジレジストからなる犠牲層(接着層)11をスピンナ(2000rpm)で塗布する。
最初、ガラスからなるダミー基板(第1ダミー基板)20上に厚さ1μmのポジレジストからなる接着層(犠牲層)21をスピンナ(2000rpm)で塗布する。
最初、撥液膜22がパターニングされたダミー基板20上に厚さ15μmのDFRからなる第1樹脂シート30をラミネータ(ローラ:1〜3kpa/cm2、温度60℃)で貼着する。
11 犠牲層
12 撥液剤用マスクフィルム
13、31、33 フォトマスク
21 接着層
22 撥液膜
30 第1樹脂シート
30a 第1ノズル
32 第2樹脂シート
32a 第2ノズル
40 ノズルシート
11 犠牲層
12 撥液剤用マスクフィルム
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30 第1樹脂シート
30a 第1ノズル
32 第2樹脂シート
32a 第2ノズル
40 ノズルシート
Claims (12)
- インクジェットプリンタのインクジェットヘッドに用いられるノズルシートの製造方法において、
第1ダミー基板上にパターニングされた撥液膜上に第1樹脂シートを形成し、
該第1樹脂シートを貫通する第1ノズルを形成し、
前記第1ダミー基板を剥離することを特徴とするノズルシートの製造方法。 - 前記第1樹脂シートが、光硬化性樹脂であることを特徴とする請求項1記載のノズルシートの製造方法。
- 前記第1樹脂シートが、ドライフィルムレジストであることを特徴とする請求項1記載のノズルシートの製造方法。
- 前記第1ノズルは、
前記第1樹脂シートにフォトマスクを介して紫外線を照射し、
ベークして架橋させ、
前記第1樹脂シートの架橋部分以外を現像液で溶解させて形成することを特徴とする請求項3記載のノズルシートの製造方法。 - 前記第1ノズルの形成後であって前記第1ダミー基板の除去前に、
前記第1樹脂シート上に第2樹脂シートを形成し、
前記第2樹脂シートを貫通し、且つ前記第1ノズルと繋がり、且つ前記第1ノズルより大径の第2ノズルを形成することを特徴とする請求項1記載のノズルシートの製造方法。 - 前記第2樹脂シートが、光硬化性樹脂であることを特徴とする請求項5記載のノズルシートの製造方法。
- 前記第2樹脂シートが、ドライフィルムレジストであることを特徴とする請求項5記載のノズルシートの製造方法。
- 前記第2ノズルは、
前記第2樹脂シートにフォトマスクを介して紫外線を照射し、
ベークして架橋させ、
前記第2樹脂シートの架橋部分以外を現像液で溶解させて形成することを特徴とする請求項7記載のノズルシートの製造方法。 - 前記撥液膜のパターンは、第1ノズルの出口面積の5倍以上であることを特徴とする請求項1記載のノズルシートの製造方法。
- 前記撥液膜がパターニングされた前記第1ダミー基板は、
前記第1ダミー基板上に接着層を形成し、
撥液剤用マスクフィルムを貼着し、
該撥液剤用マスクフィルム上から撥液剤を被膜させ、
該撥液剤を乾燥固化させ、
前記撥液剤用マスクフィルムを剥離して作製し、
前記第1ダミー基板は、接着層用リムーバを用いて剥離することを特徴とする請求項1記載のノズルシートの製造方法。 - 前記撥液剤用マスクフィルムは、
第2ダミー基板上に犠牲層を形成し、
該犠牲層上にドライフィルムレジストからなるマスクフィルムを形成し、
該マスクフィルムにフォトマスクを介して紫外線を照射し、
ベークして架橋させ、
前記マスクフィルムの架橋部分以外を現像液で溶解させ、
犠牲層用リムーバを用いて前記第2ダミー基板を剥離して形成することを特徴とする請求項10記載のノズルシートの製造方法。 - 請求項1記載のノズルシートの製造方法によって製造したノズルシート。
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