JPWO2009060782A1 - リテーナ及び基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
Description
そこで従来においては、係る点に鑑み、蓋体の裏面中央部にリテーナを浅く装着し、蓋体開閉の際のストロークを小さくして省スペース化や作業の効率化を図る提案がなされている。
第一弾性片の自由端部よりも枠体の対向片寄りの外側に第二弾性片の外側端部を位置させ、この第二弾性片に、基板の端部周縁を保持する第一、第二の保持部をそれぞれ間隔をおいて形成し、第一の保持部よりも第二の保持部を第二弾性片の外側端部側に位置させるようにしたことを特徴としている。
また、一対の第一弾性片の自由端部間に単一の第二弾性片を架設し、この第二弾性片の外側端部と第二の保持部とを一体化することができる。
また、一対の第一弾性片の自由端部に第二弾性片をそれぞれ支持させ、この一対の第二弾性片の内側端部同士を間隔をおいて接近させ、各第二弾性片を基板の周縁に沿うよう曲げてその外側端部と第二の保持部とを一体化することも可能である。
蓋体の基板に対向する対向面に、請求項1ないし6いずれかに記載のリテーナを取り付けたことを特徴としている。
また、蓋体とリテーナの第一弾性片との対向面のいずれか一方に、第一弾性片の過度の変形を規制するストッパを設けることができる。
また、基板の端部周縁とリテーナの第一の保持部との接触時に、第二弾性片における第一、第二の保持部形成領域に略鈍角を形成させることができる。
さらに、第一弾性片に、係合溝の底と係合片との接触よりも先に蓋体の基板に対向する対向面と接触してその過度の変形を規制する撓み規制リブを形成することも可能である。
10 蓋体
11 筐体
13 裏面中央部
14 位置決め突起
15 ストッパ
16 係合爪
20 リテーナ
21 枠体
22 対向片
23 架設片
24 位置決め部
25 屈曲部
26 リブ
28 凹凸
29 第一弾性片
30 自由端部
31 第二弾性片
32 外側端部
33 第一の保持部
34 第二の保持部
35 第一の保持部形成領域
36 第二の保持部形成領域
37 傾斜面
38 保持溝
38a 保持溝
38b 保持溝
39 突起
40 嵌合穴
41 境界領域
42 固定突起
50 ストッパリブ(ストッパ)
50a ストッパリブ(ストッパ)
50b ストッパリブ(ストッパ)
51 係合溝
52 壁面
53 底
54 撓み規制リブ
54a 撓み規制リブ
54b 撓み規制リブ
55 係合片
W 半導体ウェーハ(基板)
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、リテーナ20の枠体21、第一弾性片29、及び第二弾性片31の種類の多様化を図ることができるのは明らかである。
Claims (12)
- 枠体と、この枠体の一対の対向片からそれぞれ突出して相互に接近する一対の第一弾性片と、この一対の第一弾性片の屈曲した自由端部に支持されて基板を保持する第二弾性片とを備えたリテーナであって、
第一弾性片の自由端部よりも枠体の対向片寄りの外側に第二弾性片の外側端部を位置させ、この第二弾性片に、基板の端部周縁を保持する第一、第二の保持部をそれぞれ間隔をおいて形成し、第一の保持部よりも第二の保持部を第二弾性片の外側端部側に位置させるようにしたことを特徴とするリテーナ。 - 枠体は、間隔をおいて対向する一対の対向片と、この一対の対向片の両端部間にそれぞれ架設される一対の架設片とを備え、これら対向片と架設片の少なくともいずれか一方に、バネ性の屈曲部を形成するとともに、位置決め部を設けた請求項1記載のリテーナ。
- 一対の第一弾性片の自由端部間に単一の第二弾性片を架設し、この第二弾性片の外側端部と第二の保持部とを一体化した請求項1又は2記載のリテーナ。
- 第二弾性片における第一、第二の保持部形成領域を厚肉に形成し、この第一、第二の保持部形成領域の境界領域を薄肉部とし、この薄肉部を変曲点として第二の保持部形成領域を基板の周縁方向に曲げるようにした請求項1、2、又は3記載のリテーナ。
- 一対の第一弾性片の自由端部に第二弾性片をそれぞれ支持させ、この一対の第二弾性片の内側端部同士を間隔をおいて接近させ、各第二弾性片を基板の周縁に沿うよう曲げてその外側端部と第二の保持部とを一体化した請求項1又は2記載のリテーナ。
- 第一、第二の保持部は、一対の傾斜面により断面略V字形あるいは略Y字形の保持溝を形成する突起をそれぞれ備え、第一の保持部における一対の傾斜面を、上下左右非対称に形成するとともに、第二の保持部における一対の傾斜面よりも高く形成した請求項1ないし5いずれかに記載のリテーナ。
- 基板を収納する容器本体の開口部を着脱自在の蓋体により開閉する基板収納容器であって、
蓋体の基板に対向する対向面に、請求項1ないし6いずれかに記載のリテーナを取り付けたことを特徴とする基板収納容器。 - 蓋体とリテーナの第一弾性片との対向面のいずれか一方に、第一弾性片の過度の変形を規制するストッパを設けた請求項7記載の基板収納容器。
- 基板の端部周縁とリテーナの第一の保持部との接触時に、第二弾性片における第一、第二の保持部形成領域に略鈍角を形成させるようにした請求項7又は8記載の基板収納容器。
- 蓋体の基板に対向する対向面にストッパを設け、このストッパには、係合溝を形成してその相対する壁面を底に向かうにしたがい徐々に接近するよう傾斜させ、リテーナの第二の保持部の裏面側には、ストッパの係合溝に嵌まる係合片を形成した請求項7、8、又は9記載の基板収納容器。
- 蓋体の基板に対向する対向面に、係合溝の底と係合片との接触よりも先に第一弾性片と接触してその過度の変形を規制する撓み規制リブを形成した請求項10記載の基板収納容器。
- 第一弾性片に、係合溝の底と係合片との接触よりも先に蓋体の基板に対向する対向面と接触してその過度の変形を規制する撓み規制リブを形成した請求項10記載の基板収納容器。
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