JPWO2009038022A1 - 複合シール材 - Google Patents
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Abstract
Description
あり溝状のシール溝に装着される複合シール材であって、
前記シール溝における外周側に配置され、弾性部材からなる第1のシール部材と、
前記シール溝における内周側に配置され、前記第1のシール部材よりも硬質の材料からなる第2のシール部材とを備え、
前記第1のシール部材は、環状のシール本体と、前記シール本体の内周側から径方向内側に突設された環状凸部と、前記環状凸部の内周側の軸方向中間部から、さらに前記シール本体の径方向内側に向けて突設された環状の嵌合部とを有し、
前記第2のシール部材は、前記第1のシール部材の前記嵌合部と略相補的な形状の被嵌合凹部を軸方向中間部に有するとともに、軸方向両端部に屈曲部を有し、該屈曲部は、前記シール本体と前記環状凸部との間に形成される段差部に突き当てられることを特徴としている。
あり溝状のシール溝に装着される複合シール材であって、
前記シール溝における内周側に配置され、弾性部材からなる第1のシール部材と、
前記シール溝における外周側に配置され、前記第1のシール部材よりも硬質の材料からなる第2のシール部材とを備え、
前記第1のシール部材は、環状のシール本体と、前記シール本体の外周側から径方向外側に突設された環状凸部と、前記環状凸部の外周側の軸方向中間部から、さらに前記シール本体の径方向外側に向けて突設された環状の嵌合部とを有し、
前記第2のシール部材は、前記第1のシール部材の前記嵌合部と略相補的な形状の被嵌合凹部を軸方向中間部に有するとともに、軸方向両端部に屈曲部を有し、該屈曲部は、前記シール本体と前記環状凸部との間に形成される段差部に突き当てられることを特徴としている。
6,71,81 第1のシール部材
6A シール本体
6B 環状凸部
6C,41,81A 嵌合部
8,42,51,61,72,82 第2のシール部材
8A,43,83 被嵌合凹部
8B 屈曲部
10,10´,40,50,60,70,80 複合シール材
S,S´ 変形緩衝空間
H 径方向矢印
h1 径方向内側
h2 径方向外側
V 軸方向矢印
Claims (4)
- あり溝状のシール溝に装着される複合シール材であって、
前記シール溝における外周側に配置され、弾性部材からなる第1のシール部材と、
前記シール溝における内周側に配置され、前記第1のシール部材よりも硬質の材料からなる第2のシール部材とを備え、
前記第1のシール部材は、環状のシール本体と、前記シール本体の内周側から径方向内側に突設された環状凸部と、前記環状凸部の内周側の軸方向中間部から、さらに前記シール本体の径方向内側に向けて突設された環状の嵌合部とを有し、
前記第2のシール部材は、前記第1のシール部材の前記嵌合部と略相補的な形状の被嵌合凹部を軸方向中間部に有するとともに、軸方向両端部に屈曲部を有し、該屈曲部は、前記シール本体と前記環状凸部との間に形成される段差部に突き当てられることを特徴とする複合シール材。 - あり溝状のシール溝に装着される複合シール材であって、
前記シール溝における内周側に配置され、弾性部材からなる第1のシール部材と、
前記シール溝における外周側に配置され、前記第1のシール部材よりも硬質の材料からなる第2のシール部材とを備え、
前記第1のシール部材は、環状のシール本体と、前記シール本体の外周側から径方向外側に突設された環状凸部と、前記環状凸部の外周側の軸方向中間部から、さらに前記シール本体の径方向外側に向けて突設された環状の嵌合部とを有し、
前記第2のシール部材は、前記第1のシール部材の前記嵌合部と略相補的な形状の被嵌合凹部を軸方向中間部に有するとともに、軸方向両端部に屈曲部を有し、該屈曲部は、前記シール本体と前記環状凸部との間に形成される段差部に突き当てられることを特徴とする複合シール材。 - 前記屈曲部と前記シール本体との間には前記屈曲部と前記シール本体が弾性変形するのを許容する変形緩衝空間が画成されることを特徴とする請求項1または2に記載の複合シール材。
- 前記第1のシール部材の前記環状の嵌合部は前記相手方となる被嵌合凹部に嵌合したときに前記嵌合部が前記被嵌合凹部から抜けない形状に形成したことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の複合シール材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009533123A JP5126995B2 (ja) | 2007-09-21 | 2008-09-12 | 複合シール材 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007245236 | 2007-09-21 | ||
JP2007245236 | 2007-09-21 | ||
JP2009533123A JP5126995B2 (ja) | 2007-09-21 | 2008-09-12 | 複合シール材 |
PCT/JP2008/066559 WO2009038022A1 (ja) | 2007-09-21 | 2008-09-12 | 複合シール材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2009038022A1 true JPWO2009038022A1 (ja) | 2011-01-06 |
JP5126995B2 JP5126995B2 (ja) | 2013-01-23 |
Family
ID=40467838
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009533123A Active JP5126995B2 (ja) | 2007-09-21 | 2008-09-12 | 複合シール材 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5126995B2 (ja) |
TW (1) | TWI414700B (ja) |
WO (1) | WO2009038022A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT1394270B1 (it) * | 2009-03-31 | 2012-06-06 | Sacmi | Apparato di soffiaggio di preforme. |
US8623145B2 (en) | 2010-03-25 | 2014-01-07 | Parker-Hannifin Corporation | Substrate processing apparatus with composite seal |
TWI401376B (zh) * | 2011-01-21 | 2013-07-11 | Chime Ball Technology Co Ltd | Piston airtight device |
JP6104927B2 (ja) * | 2012-10-09 | 2017-03-29 | 日本バルカー工業株式会社 | 複合シール |
JP6809917B2 (ja) * | 2017-01-31 | 2021-01-06 | 株式会社バルカー | 複合シール材 |
SG11202013081UA (en) * | 2018-08-02 | 2021-01-28 | Valqua Ltd | Composite seal material |
CN113969980A (zh) * | 2020-07-23 | 2022-01-25 | 中国科学院微电子研究所 | 一种真空装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3833228A (en) * | 1973-07-19 | 1974-09-03 | Chenprene Inc | Stackable sealing mechanism |
EP1087157A3 (en) * | 1999-09-27 | 2003-01-08 | Greene, Tweed Of Delaware, Inc. | Seal and protective shield |
JP4601993B2 (ja) * | 2004-05-18 | 2010-12-22 | 三菱電線工業株式会社 | シール材 |
JP4364199B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2009-11-11 | 東京エレクトロン株式会社 | シール部品及び基板処理装置 |
CN101384842B (zh) * | 2006-02-14 | 2011-08-24 | 日本华尔卡工业株式会社 | 复合密封材料 |
US7784637B2 (en) * | 2007-02-21 | 2010-08-31 | Ti Group Automotive Systems, L.L.C. | Multi-piece seal |
-
2008
- 2008-09-12 WO PCT/JP2008/066559 patent/WO2009038022A1/ja active Application Filing
- 2008-09-12 JP JP2009533123A patent/JP5126995B2/ja active Active
- 2008-09-17 TW TW97135622A patent/TWI414700B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI414700B (zh) | 2013-11-11 |
JP5126995B2 (ja) | 2013-01-23 |
WO2009038022A1 (ja) | 2009-03-26 |
TW200914755A (en) | 2009-04-01 |
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