JPWO2008133300A1 - ポリイミド前駆体及びポリイミド並びに画像形成下層膜塗布液 - Google Patents
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Abstract
Description
即ち、本発明は第1観点として、下記式(1)で表される構造を有するポリイミド前駆体に関する。
第2観点として、前記式(1)のAが脂肪族環を有するか又は脂肪族のみからなる4価の有機基を表す、第1観点に記載のポリイミド前駆体に関する。
第3観点として、前記式(1)のBが下記式(2)で表される2価の有機基を表す、第1観点又は第2観点に記載のポリイミド前駆体に関する。
第4観点として、前記ポリイミド前駆体が、下記式(3)で表されるテトラカルボン酸二無水物及びその誘導体のうちの少なくとも一種と、下記式(4)で表されるジアミンのうちの少なくとも一種とを重合して得られる、第1観点乃至第3観点のうちいずれか一項に記載のポリイミド前駆体に関する。
第5観点として、第1観点乃至第4観点のうちいずれか一項に記載のポリイミド前駆体を脱水閉環して得られるポリイミドに関する。
第6観点として、第1観点乃至第4観点のうちいずれか一項に記載のポリイミド前駆体、及び第5観点に記載のポリイミドからなる群より選ばれる少なくとも一種の化合物を含有する画像形成下層膜塗布液に関する。
第7観点として、第6観点に記載の画像形成下層膜塗布液を硬化させて得られる硬化膜に関する。
第8観点として、第6観点に記載の画像形成下層膜塗布液を用いて得られる画像形成用下層膜に関する。
第9観点として、第6観点に記載の画像形成下層膜塗布液を用いて得られる電極パターン形成用下層膜に関する。
第10観点として、第6観点に記載の画像形成下層膜塗布液を用いて得られるゲート絶縁膜に関する。
第11観点として、第6観点に記載の画像形成下層膜塗布液を、基板に塗布し、熱硬化させた後に、紫外線を照射する工程を含む画像形成用下層膜の形成方法に関する。
以下、詳細を説明する。
本発明は下記式(1)で表される構造を有するポリイミド前駆体である。
Aで表される有機基の好ましい具体例としては、下記式A−1乃至A−46の有機基を挙げることができる。
例えば、上記式A−1乃至A−46のうち、露光感度(本明細書において、露光感度とは、露光量(紫外線照射量)当たりの疎水性から親水性への変換度合いを表す)が向上する4価の有機基としては、式A−1乃至A−25の脂肪族環を有するか又は脂肪族のみからなる4価の有機基が挙げられ、特に効果の高い有機基として、A−1、A−6、A−16又はA−19が挙げられる。
また、式A−1乃至A−25の4価の有機基は絶縁性を高める効果がある観点からも好ましい。
前記式(1)中、Aで表される有機基において、式A−1乃至A−25以外の基が混在する場合、式A−1乃至A−25の割合としては、10モル%以上が好ましく、50モル%以上がより好ましく、80モル%以上がもっとも好ましい。
なお、前述のAで表される4価の有機基において、絶縁性の観点から脂肪族環を有する4価の有機基のみを使用した場合、照射される紫外線を十分に吸収するためには、X又はYの少なくとも一方が芳香族環である必要がある。
また、脂肪族環の具体的な構造としては、式(m)乃至(s)に示すとおりである。
この場合、チオールエステル結合を有する2価の有機基Bを含有する式(1)の構造と、チオールエステル結合を有しないその他の2価の有機基を含有する式(5)の構造との結合は、ブロック結合及び/又はランダム結合の何れであってもよい。
また、溶媒溶解性の向上効果の高い2価の有機基としては、式D−2、D−5、D−7、D−8、D−12、D−22、D−24〜D−27、D−29などが挙げられる。
硬化膜を形成した際、膜の疎水性の向上効果が期待できる2価の有機基としては、式D−43乃至D−57が挙げられ、特に効果の高い2価の有機基としては、アルキル基が側鎖に付加した式D−55乃至D−57が挙げられる。
炭素原子数1乃至4のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基を挙げることができる。
本発明のポリイミド前駆体は、テトラカルボン酸二無水物及びその誘導体と、ジアミンとを重合することにより製造される。
下記に示す一般式(3)の構造で示され、Aは4価の有機基を表す。4価の有機基の具体例は上述の式A−1乃至A−46に示したものが挙げられる。
これは、芳香族酸無水物を用いてポリイミド前駆体等を製造し、硬化膜を為した場合、該硬化膜に高電界を印加すると絶縁性が著しく低下するが、脂肪族酸無水物は高電界における絶縁性が優れていることによる。
例えば有機トランジスタの動作電圧は1MV/cm程度になることもあり、該用途の場合には、絶縁性の観点から、脂肪族酸無水物をポリイミド前駆体の原料として用いることが望ましい。
下記に示す一般式(4)の構造で示され、Bは主鎖にチオールエステル結合を有する2価の有機基であり、具体例は上述の式B−1乃至B−11に示したものが挙げられる。
式(1)で表される繰り返し単位を有するポリイミド前駆体を得るには、上記式(3)で表されるテトラカルボン酸二無水物成分と上記式(4)で表されるジアミン成分とを、有機溶媒中で混合させる方法が簡便である。
また、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分が複数種存在する化合物の場合、これら複数種の成分をあらかじめ混合した状態で重合反応させても良く、個別に順次重合反応させてもよい。
反応温度を高温に設定すると重合反応は迅速に進行し完了するが、高すぎると高分子量のポリイミド前駆体が得られない場合がある。
前記式(1)及び(6)(並びに前記式(5))で表される繰り返し単位を有するポリイミド前駆体は脱水閉環によりポリイミドとすることができる。このイミド化反応の方法は特に限定されないが、塩基性触媒と酸無水物を用いる触媒イミド化が、イミド化反応の際にポリイミドの分子量低下が起こりにくく、またイミド化率の制御が容易なため好ましい。
なおここで、ポリイミド前駆体は、前述のテトラカルボン酸無水物成分及びジアミン成分の重合によって得られたポリイミド前駆体を含む溶液をそのまま(単離せずに)用いてもよい。
塩基性触媒としてはピリジン、トリエチルアミン、トリメチルアミン、トリブチルアミン、トリオクチルアミン等を挙げることができる。なかでも、ピリジンは、反応を進行させるのに適度な塩基性を持つので好ましい。
酸無水物としては無水酢酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸などを挙げることができる。中でも無水酢酸は、イミド化終了後に、得られたポリイミドの精製が容易となるので好ましい。
有機溶媒としては前述したポリイミド前駆体の重合反応時に用いる溶媒を使用することができる。
塩基性触媒の量は前記ポリイミド前駆体中の酸アミド基に対して0.5乃至30モル倍が好ましく、より好ましくは2乃至20モル倍である。また、酸無水物の量は前記ポリイミド前駆体中の酸アミド基に対して1乃至50モル倍が好ましく、より好ましくは3乃至30モル倍である。
上記反応温度及び触媒量を調整することで、得られるポリイミドのイミド化率を制御することができる。
この際に用いる貧溶媒としては特に限定されないが、メタノール、ヘキサン、ヘプタン、エタノール、トルエン、水などが例示できる。沈殿を濾過して回収した後は、上記貧溶媒で洗浄することが好ましい。
回収したポリイミドは常圧あるいは減圧下で、常温あるいは加熱乾燥してポリイミド粉末とすることができる。
このとき用いる良溶媒としては、ポリイミド前駆体又はポリイミドを溶解することができれば特に限定はされないが、その例としては、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、2−ピロリドン、N−メチル−2−ピロリドン、N−エチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドン、N−メチルカプロラクタム、ジメチルスルホキシド、テトラメチル尿素、ピリジン、γ−ブチロラクトン等が挙げられる。
また、再沈殿に用いる貧溶媒として例えばアルコール類、ケトン類、炭化水素など3種類以上の貧溶媒を用いると、より一層精製の効率が上がる。
本発明の画像形成下層膜塗布液は、前記本発明のポリイミド前駆体、前記ポリイミド、並びに溶媒を含有し、所望により後述のカップリング剤や界面活性剤等を更に含有することができる塗布液である。
但し、ポリイミドを用いることにより、プラスチック基板が対応できる低温焼成(180℃以下)で信頼性の高い膜を得られる点、ポリイミドの方がポリイミド前駆体に比して極性が低く、紫外線照射前の水接触角を高くできる(疎水性を高くできる)点などの利点が得られることから、ポリイミドを用いることがより好ましい。
これらは一種単独で用いても、二種以上を組合せて用いてもよい。
本発明の画像形成下層膜塗布液は、本発明のポリイミド前駆体またはポリイミドに加えて、膜形成可能な他のポリマー(例えば高絶縁性ポリマー)を混合し、所謂ポリマーブレンドの形態をとることも可能である。
このポリマーブレンドにおいて、含有するポリマー(本発明のポリイミド前駆体、ポリイミド、及びその他のポリマー)の構造等を適宜調整することにより、硬化膜を形成した際に膜内の厚さ方向で各ポリマーの濃度勾配を生じさせることが可能となるため、有用な手段として利用できる。
したがって、前記画像形成下層膜塗布液をポリマーブレンドの形態(以降、この形態の塗布液をブレンド塗布液と称する)とした場合、本発明のポリイミド前駆体又はポリイミドの配合割合としては、該ブレンド塗布液の全質量に対して1質量%乃至100質量%である。1質量%以下であると、該ブレンド塗布液を膜に形成したとき、膜の最表面を完全に覆う事が困難となり、画像形成能力が劣化する恐れがある。
ゲート絶縁膜用途に用いる場合、該塗布液は180℃以下の焼成温度への対応、塗布による成膜が可能、有機半導体塗布液に対する耐溶剤性(キシレン、トリメチルベンゼンなどのむ極性溶媒)、低吸水率などの数々の特性が要求されるが、特に絶縁性に関する要求性能は高い。この高絶縁性を達成するため、本発明の画像形成下層膜塗布液のイミド化率は少なくとも80%以上、場合によっては90%以上を求められることもあるが、反面、イミド化率が90%を超えると溶媒溶解性が失われる。このとき、該絶縁膜の最下層にのみ高絶縁性の層を位置させ、上層に本発明の画像形成下層膜塗布液からなる層が位置させることにより、該絶縁膜の高絶縁性を保ち、且つ溶解性の問題も解消できる。
このとき、高絶縁層の材料と親疎水性変換層の材料(すなわち本発明のポリイミド前駆体及び/又はポリイミド)とを混合し、その際、上層の材料の極性又は分子量を、下層のものと比較して小さいものとすれば、混合液を基板に塗布・乾燥して溶媒が蒸発する間、上層の材料が表面に移行し層を形成する挙動を示すため、上述の濃度勾配(ここでいう層分離)を容易に制御することができる。
下層材として用いられ得るその他の材料としては、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、ポリビニルフェノール、ポリイソブチレン、ポリメチルメタクリレートなどの一般的な有機ポリマーが挙げられる。
本発明の画像形成下層膜塗布液をポリプロピレン、ポリエチレン、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルスルホン、ポリエチレンナフタレート、ポリイミドなどの汎用のプラスチック基板やガラス基板などの上に、ディップ法、スピンコート法、転写印刷法、ロールコート法、インクジェット法、スプレー法、刷毛塗り等によって塗布し、その後、ホットプレートまたはオーブン等で予備乾燥することにより、塗膜を形成することができる。その後、この塗膜を加熱処理することにより、画像形成用下層膜や絶縁膜として使用できる硬化膜が形成される。
焼成温度は、ポリイミド前駆体の熱イミド化を促進する観点から、180℃乃至250℃であることが好ましく、プラスチック基板上に成膜するという観点からは180℃以下であることがより好ましい。
焼成は2段階以上の温度変化をつけてもよい。段階的に焼成することで得られる膜の均一性をより高めることができる。
塗布液の濃度は、特に制限はないが、ポリイミド前駆体及びポリイミドの固形分濃度として0.1乃至30質量%が好ましく、より好ましくは1乃至10質量%である。これらは、塗布装置の仕様や得ようとする膜厚によって任意に設定する。
本発明の画像形成用下層膜に紫外線をパターン状に照射し、続いて、後述する画像形成液を塗布することにより、画像形成用電極を製造することができる。
上記マスクとしては、材質や形状は特に限定されることはなく、電極を必要とする領域が紫外線を透過し、それ以外の領域が紫外線に不透過であればよい。
同様の理由で、画像形成液の接触角が、紫外線未照射部では50°以上であり、紫外線照射部では30°以下であることが好ましい。
なお現在、画像形成液の溶媒は水が用いられることが多いことから、下層膜の性能評価にあたり、前記画像形成液の接触角の変化量を、簡易的に水の接触角の変化量に置き換えて評価してもよい。
また、電荷輸送物質の電荷輸送能を向上させる目的でハロゲン、ルイス酸、プロトン酸、遷移金属化合物(具体例としてはBr2、I2、Cl2、FeCl3、MoCl5、BF3、AsF5、SO3、HNO3、H2SO4、ポリスチレンスルホン酸等)などの電荷受容性物質、あるいはアルカリ金属、アルキルアンモニウムイオン(具体例としてはLi、Na、K、Cs、テトラエチレンアンモニウム、テトアブチルアンモニウム等)などの電荷供与性物質をドーパントとして更に画像形成液に加えても良い。
また、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、2−ピロリドン、N−メチル−2−ピロリドン、N−エチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドン、N−メチルカプロラクタム、ジメチルスルホキシド、テトラメチル尿素などの極性溶媒も有機系の電荷輸送性物質の溶解性に優れ、画像形成用下層膜の紫外線未照射部に対して、十分大きな接触角を示すという観点から好ましいが、これらは、本発明の画像形成用下層膜へのダメージが少ない範囲において使用することが好ましい。
以下に本発明の画像形成用下層膜を有機FET素子に用いた例を示すが、本発明はこれに限定されるものではない。
以下の合成例に従い得られるポリイミド前駆体の数平均分子量(以下、Mnと称する)及び重量平均分子量(以下、Mwと称する)は、GPC(常温ゲル浸透クロマトグラフィー)によって下記の装置及び測定条件にて測定し、ポリエチレングリコール(又はポリエチレンオキシド)換算値として算出した。
GPC装置:昭和電工(株)製 Shodex(登録商標)(GPC−101)
カラム:昭和電工(株)製 Shodex(登録商標)(KD803、KD805の直列)
カラム温度:50℃
溶離液:N,N−ジメチルホルムアミド
(添加剤として、臭化リチウム−水和物(LiBr・H2O)30mmol/L、リン酸・無水結晶(o−リン酸)30mmol/L、テトラヒドロフラン(THF)10ml/L)
流速:1.0ml/分
検量線作成用標準サンプル:
東ソー(株)製 TSK標準ポリエチレンオキシド(分子量:約900,000、150,000、100,000、30,000)
ポリマー・ラボラトリー社製 ポリエチレングリコール(分子量:約12,000、4,000、1,000)。
ポリイミド膜の膜厚は、カッターナイフで膜の一部を剥離し、その段差を全自動微細形状測定機(ET4000A、(株)小坂研究所製)を用い、測定力を10μN、掃引速度を0.05mm/secとして測定することにより求めた。
ポリイミド前駆体(PI−1)の重合
窒素気流下中、50mLの4つ口フラスコに、4−アミノ−S−チオ安息香酸−4’−アミノフェニル(以後DA−25)2.4431(0.01mol)を入れ、N−メチル−2−ピロリドン(以後NMP)24.62gに溶解させた後、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸無水物(以後CBDA)1.995g(0.01mol)を加え、これを23℃で10時間攪拌して重合反応を行い、さらにNMPで希釈することで、ポリイミド前駆体(PI−1)の6重量%溶液を得た。
得られたポリイミド前駆体(PI−1)の数平均分子量(Mn)と重量平均分子量(Mw)はそれぞれMn=17,700、Mw=38,300であった。
ポリイミド前駆体(PI−2)の重合
窒素気流下中、50mLの4つ口フラスコに、DA−25 1.466g(0.006mol)を入れ、NMP 18.313gに溶解させた後、3,4−ジカルボキシ−1,2,3,4−テトラヒドロ−1−ナフタレンコハク酸無水物(以後TDA)1.772g(0.006mol)を加え、これを50℃で24時間攪拌して重合反応を行い、さらにNMPで希釈することで、ポリイミド前駆体(PI−2)の6重量%溶液を得た。
得られたポリイミド前駆体(PI−2)の数平均分子量(Mn)と重量平均分子量(Mw)はそれぞれMn=5,200、Mw=7,900であった。
ポリイミド前駆体(PI−3)の重合
窒素気流下中、50mLの4つ口フラスコに、DA−25 1.466g(0.006mol)を入れ、NMP 16.644gに溶解させた後、ビシクロ[3.3.0]−オクタン−2,4,6,8−テトラカルボン酸無水物(以後BODA) 1.486g(0.006mol)を加え、これを80℃で24時間攪拌して重合反応を行い、さらにNMPで希釈することで、ポリイミド前駆体(PI−3)の6重量%溶液を得た。
得られたポリイミド前駆体(PI−3)の数平均分子量(Mn)と重量平均分子量(Mw)はそれぞれMn=4,900、Mw=7,200であった。
ポリイミド前駆体(PI−4)の重合
窒素気流下中、50mLの4つ口フラスコに、DA−25 1.466g(0.006mol)を入れ、NMP 15.50gに溶解させた後、ピロメリット酸二無水物(以後PMDA) 1.269g(0.006mol)を加え、これを24℃で6時間攪拌して重合反応を行い、さらにNMPで希釈することで、ポリイミド前駆体(PI−4)の6重量%溶液を得た。
得られたポリイミド前駆体(PI−4)の数平均分子量(Mn)と重量平均分子量(Mw)はそれぞれMn=16,100、Mw=33,500であった。
ポリイミド前駆体(PI−5)の重合
窒素気流下中、200mLの4つ口フラスコに、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(以後DDE) 8.01g(0.040mol)を入れ、NMP 87.6gに溶解させた後、CBDA 7.45g(0.038mol)を加え、これを23℃で5時間攪拌して重合反応を行い、さらにNMPで希釈することで、ポリイミド前駆体(PI−5)の6重量%溶液を得た。
得られたポリイミド前駆体(PI−5)の数平均分子量(Mn)と重量平均分子量(Mw)はそれぞれMn=14,000、Mw=32,600であった。
ポリイミド前駆体(PI−6)の重合
窒素気流下中、200mLの4つ口フラスコに、DDE 8.01g(0.040mo
l)を入れ、NMP 91.9gに溶解させた後、PMDA 8.20g(0.038mol)を加え、これを23℃で2時間攪拌して重合反応を行いさらにNMPで希釈することで、ポリイミド前駆体(PI−6)の6重量%溶液を得た。
得られたポリイミド前駆体(PI−6)の数平均分子量(Mn)と重量平均分子量(Mw)はそれぞれMn=11,500、Mw=25,200であった。
ITO付きガラス基板(2.5cm角、厚み0.7mm)に、合成例1で調製したPI−1の溶液を0.2μm孔フィルタを付けたシリンジで滴下し、スピンコート法により塗布した。その後大気下で、80℃のホットプレートで5分間加熱処理し、有機溶媒を揮発させ、次いで230℃のホットプレートで60分間焼成し、膜厚約200nmのポリイミド膜を得た。このポリイミド膜の水接触角を測定した。
同様の手順にて得たポリイミド膜表面に紫外線を20J/cm2又は30J/cm2の照射量で照射し、それぞれの水接触角を測定した。
水接触角の測定結果を表13に示す。
合成例2で調製したPI−2の溶液を用い、実施例1と同様の手順を用いてポリイミド膜を作成し、紫外線未照射、20J/cm2又は30J/cm2の照射後の水接触角を測定した。
水接触角の測定結果を表13に示す。
合成例3で調製したPI−3の溶液を用い、実施例1と同様の手順を用いてポリイミド膜を作成し、紫外線未照射、20J/cm2又は30J/cm2の照射後の水接触角を測定した。
水接触角の測定結果を表13に示す。
合成例4で調製したPI−4の溶液を用い、実施例1と同様の手順を用いてポリイミド膜を作成し、紫外線未照射、20J/cm2又は30J/cm2の照射後の水接触角を測定した。
水接触角の測定結果を表13に示す。
合成例5で調製したPI−5の溶液を用い、実施例1と同様の手順を用いてポリイミド膜を作成し、紫外線未照射、20J/cm2又は30J/cm2の照射後の水接触角を測定した。
水接触角の測定結果を表13に示す。
合成例6で調製したPI−6の溶液を用い、実施例1と同様の手順を用いてポリイミド膜を作成し、紫外線未照射、20J/cm2又は30J/cm2の照射後の水接触角を測定した。
水接触角の測定結果を表13に示す。
加えて、偏光UVを照射することで、本発明のポリイミド前駆体及びポリイミドから得られる膜に異方性を付与する事も可能である。即ち、液晶や半導体などの機能性材料の配向処理膜としても使用する事ができ、画像形成用下地膜として用いた場合と同じように製造時間の短縮が期待できる。
Claims (11)
- 前記式(1)のAが脂肪族環を有するか又は脂肪族のみからなる4価の有機基を表す、請求項1に記載のポリイミド前駆体。
- 請求項1乃至請求項4のうちいずれか一項に記載のポリイミド前駆体を脱水閉環して得られるポリイミド。
- 請求項1乃至請求項4のうちいずれか一項に記載のポリイミド前駆体、及び請求項5に記載のポリイミドからなる群より選ばれる少なくとも一種の化合物を含有する画像形成下層膜塗布液。
- 請求項6に記載の画像形成下層膜塗布液を硬化させて得られる硬化膜。
- 請求項6に記載の画像形成下層膜塗布液を用いて得られる画像形成用下層膜。
- 請求項6に記載の画像形成下層膜塗布液を用いて得られる電極パターン形成用下層膜。
- 請求項6に記載の画像形成下層膜塗布液を用いて得られるゲート絶縁膜。
- 請求項6に記載の画像形成下層膜塗布液を、基板に塗布し、熱硬化させた後に、紫外線を照射する工程を含む画像形成用下層膜の形成方法。
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DE102016112975A1 (de) * | 2016-07-14 | 2018-01-18 | Osram Oled Gmbh | Inkjetdruckbare Zusammensetzung, organisch optoelektronisches Bauelement und Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelements |
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US3261811A (en) * | 1963-11-21 | 1966-07-19 | Du Pont | Process of producing aromatic polyamide-esters from polyiminolactones |
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US4271288A (en) * | 1979-07-02 | 1981-06-02 | The Dow Chemical Company | Novel polyamic acid polymers and polyimide derivatives thereof |
US4760126A (en) * | 1984-11-13 | 1988-07-26 | Hitachi, Ltd. | Fluorine-containing polyamide-acid derivative and polyimide |
EP0213573B1 (en) * | 1985-08-30 | 1991-11-21 | General Electric Company | Crystalline polyimides containing cumulative phenylene sulfide units |
US4716216A (en) * | 1985-08-30 | 1987-12-29 | General Electric Company | Crystalline polyimides containing cumulative phenylene sulfide units |
US5276133A (en) * | 1991-06-14 | 1994-01-04 | Mitsui Toatsu Chemicals, Inc. | Favorably processable polyimide and process for preparing polyimide |
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US5552254A (en) * | 1995-02-27 | 1996-09-03 | Xerox Corporation | Amic acid based toner compositions |
EP1024407A4 (en) * | 1997-10-13 | 2004-06-30 | Pi R & D Co Ltd | POSITIVE PHOTOSENSITIVE POLYIMIDE COMPOSITION |
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JP3635615B2 (ja) | 1999-02-02 | 2005-04-06 | 大日本印刷株式会社 | エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 |
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US6668148B2 (en) * | 2000-12-20 | 2003-12-23 | Ricoh Company, Ltd. | Latent electrostatic image developing apparatus and image forming apparatus including such developing apparatus |
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