JPWO2008090725A1 - ダイヤフラムポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の第1の実施形態の圧電ポンプの断面図であり、図2は、その要部である弁構成プレート10と逆止弁(流入逆止弁11および流出逆止弁12)との分解斜視図である。
図5(a)、(b)は、それぞれ、本発明の第2の実施形態による弁構成プレート10の上面図と底面図である。図5において、図1、図2に示す先の実施形態の部分と同等の部分には同一の参照符号を付し重複する説明は省略する。先の実施形態の圧電ポンプでは、ポンプ室の横断面形状は円形であり、それに伴って弁構成プレートも円形に形成されていたが、本実施形態においては、それぞれ角が丸められた正四角形になされている。本実施形態においては、排出口14が、二等辺三角形に近い形状で弁構成プレートの四隅に形成されているが、それ以外は第1の実施形態の場合と同様であって、流入口13を開閉する流入逆止弁11は、樹脂フィルムにより、また排出口14を開閉する流出逆止弁12は、金属フィルムにより形成されている。
図6は、本発明の第3の実施形態における逆止弁11、22と弁構成プレート10との分解斜視図である。図6に示すように、排出口14は、楕円に近い形状の長穴であって、ポンプ室の外壁に沿って複数個開設されている。このような長穴形状とすることで排出口の面積が大きくなり、ポンプ室内に混入した気泡が排出されやすくなる。このような長穴形状の排出口14の開閉を行う流出逆止弁22は、弾性率が小さく、弁構成プレート10に密着しやすい、厚さ0.1〜0.5mm程度のフィルム状の樹脂(例えば、フッ素樹脂、EPDM(エチレン・プロピレンゴム)、シリコンゴム、ポリミド樹脂など)膜を用いて形成されており、大略円リング形状を有している。図7(a)、(b)は、それぞれ、流出逆止弁22の閉成状態と開成状態を示す断面図である。流出逆止弁22は、弾性率の小さい樹脂膜をリング状に加工し、そのリングに、4点ないしはそれ以上の凸状の弁固定支持部22aを設けることにより形成される。この流出逆止弁22は、弁固定支持部22aを支点(節)として、ブリッジのように上下して排出口14の開閉を行う。このような構成としたことにより、気泡がポンプ室に停滞することなく流量は常に安定に保てることが可能であった。
図8(a)、(b)、(c)は、それぞれ第3の実施形態による弁構成プレート10の平面図である。第3の実施形態では、弁構成プレート10の排出口14は楕円形状の長穴に開設されていたが、排出口14の形状はこれに限定されず、長穴の形状は、ポンプ室外壁に沿ったポンプ室外壁形に倣う形状の長穴であれば同様の効果が得られる。さらに、弁構成プレート10が四角形に近い形状の場合には、図9(a)、(b)に示されるように、排出口14の形状は直線状ないしL字状の長穴であってもよい。図8、図9に示される弁構成プレート10の場合にも、排出口14を塞ぐ流出逆止弁は、第3の実施形態の場合と同様に、弾性率が小さい樹脂フィルムを用いてリング状に形成される。
図10は、本発明の第4の実施形態の逆止弁31、32と弁構成プレート10を含む要部分解斜視図である。図10において、10は弁構成プレート、31は流入逆止弁、32は流出逆止弁、33は流入液分岐プレート、34は流入口・排出口プレートである。弁構成プレート10の中央部には5個の流入口13が、また周辺部には排出口14が4個形成されている。また流入液分岐プレート33には、流入液を分岐する十文字形状の液分岐穴13aと、流出逆止弁32の開閉動作を妨げない大きさの排出口14aが形成されている。さらに流入口・排出口プレート34には、その中央部に流入口13bが、また周辺部には排出口14bが4個形成されている。3枚のプレート10、33、34は、互いに固着されるが、接着剤で接合しても、あるいは間にゴムなどのシール材を挟みこんで締付けたり、かしめ接合等で接合してもよい。流入口・排出口プレート34の流入口13bより流入した液は、流入液分岐プレート33の液分岐穴13aにより分岐された後に、弁構成プレート10の流入口13よりポンプ室へ流入する。このように流入液を分岐した後にポンプ室へ流入させることで、ポンプの実装方向に限らず、例えば、ポンプが水平置きでなく縦置きとなっていたとしても、気泡の排出がスムーズに行われる。実際に縦置きにしてポンプ動作した場合において、気泡はポンプ室に停滞することなく、流量を常に安定に保つことができる。また、このように流入液を分岐した後にポンプ室へ流入させることで、流入口と排出口の距離を短くしながら複数の配列が可能であり、これによりポンプ室内の流れのよどみを無くすことができ、気泡が排出されやすい効果も期待できる。
Claims (16)
- 屈曲振動ダイヤフラム振動体を一壁面とするポンプ室と、
前記ポンプ室内に設置された流入口および排出口と、
前記流入口および前記排出口のそれぞれに設けられた逆止弁と、を備え、
前記ダイヤフラム振動体の振動による吸引・排出のポンプ動作によって、液体搬送を行うダイヤフラムポンプであって、
前記流入口は前記ポンプ室の中央部に位置し、前記排出口は前記ポンプ室の外周部付近に複数配置されることを特徴とする、ダイヤフラムポンプ。 - 前記流入口および排出口が、前記ポンプ室の前記ダイヤフラム振動体と対向する一壁面に設置されていることを特徴とする請求項1に記載のダイヤフラムポンプ。
- 前記ポンプ室の、前記ダイヤフラム振動体に対して平行な断面形状が、円形若しくは正多角形若しくはそれに近い形状であることを特徴とする請求項1または2に記載のダイヤフラムポンプ。
- 前記流入口および前記排出口は、前記ポンプ室の前記ダイヤフラム振動体と対向する一壁面の中心点に対し点対称に設置されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のダイヤフラムポンプ。
- 前記流入口は、前記排出口の穴径よりも小さな穴径の穴を複数配置したものであることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のダイヤフラムポンプ。
- 前記流入口の逆止弁は、中央部を支点として、周囲が上下に屈曲する樹脂フィルムにより構成されていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のダイヤフラムポンプ。
- 前記排出口の逆止弁は、リング状の支持部とその支持部から複数の排出口に放射状に延びる逆止弁部とを備え、薄板状の金属フィルムにより構成されていることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載のダイヤフラムポンプ。
- 前記排出口の逆止弁は、薄板状の金属フィルムをエッチングすることにより形成されたものであることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載のダイヤフラムポンプ。
- 前記排出口は、楕円形、若しくは、ポンプ室の外壁に沿ったポンプ室の外壁に倣う形状の長穴であることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載のダイヤフラムポンプ。
- 前記排出口の逆止弁は、複数の排出口に共通にリング状に形成された樹脂フィルムにより構成されていることを特徴とする請求項9に記載のダイヤフラムポンプ。
- 前記流入口および前記排出口が開設された弁構成プレートと、
前記流入口へ流入液を分配する流入液分配穴と、前記排出口に連なる第2排出口とが開設された流入液分配プレートと、
前記流入液分配プレートの前記流入液分配穴に連なる第2流入口と、前記流入液分配プレートの前記排出口に連なる第3排出口とが開設された流入口・排出口プレートとをさらに備え、
前記弁構成プレート、前記流入液分配プレートおよび前記流入口・排出口プレートがこの順に固着されていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のダイヤフラムポンプ。 - 前記逆止弁は、個々の流入口と排出口毎に個別に設置されていることを特徴とする請求項11に記載のダイヤフラムポンプ。
- 前記流入液分配プレートの前記第2排出口は、前記排出口の逆止弁の開閉動作を妨げない形状に形成されていることを特徴とする請求項11または12に記載のダイヤフラムポンプ。
- 前記流入口の逆止弁は前記弁構成プレートに設置され、前記排出口の逆止弁は前記流入液分配プレートに設置されていることを特徴とする請求項11から13のいずれかに記載のダイヤフラムポンプ。
- 前記逆止弁は、樹脂フィルムにより形成されていることを特徴とする請求項11から14のいずれかに記載のダイヤフラムポンプ。
- 前記ダイヤフラム振動体は、圧電振動子によって駆動されることを特徴とする請求項1から15のいずれかに記載のダイヤフラムポンプ。
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