JPWO2008050753A1 - 多孔質体製造装置及び多孔質体の製造方法 - Google Patents

Abstract

この多孔質体製造装置は、少なくとも無機粉末、発泡剤及び結合剤を含有した発泡性スラリーＳ１をシート状に成形し、この発泡性スラリーシートＳ２を発泡させ、焼成することで多孔質体を製造する多孔質体製造装置であって、無機粉末、発泡剤及び結合剤を収容して発泡性スラリーＳ１を調製するミキサー１５と、ミキサー１５から供給された発泡性スラリーＳ１を外部に吐出する吐出口５ｂを有する成形用のダイコータ５と、ダイコータ５の吐出口５ｂに間隙を有して対向配置されて、吐出口５ｂから吐出された発泡性スラリーＳ１を搬送するキャリアシート７とを備え、ミキサー１５内からダイコータ５の吐出口５ｂに至る発泡性スラリーＳ１の流路を外方に対して密閉する。

Description

この発明は、三次元網目構造を有するシート状の多孔質体を製造する多孔質体製造装置及び多孔質体の製造方法に関するものである。
本願は、２００６年１０月２３日に日本で出願された特願２００６−２８７９５３号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

従来、フィルタ、ガス拡散部材、放熱部材、吸水部材などに使用するシート状の多孔質体を製造する際には、例えば特許文献１のように、無機粉末、発泡剤、有機バインダ、液状溶媒等を含む発泡性スラリーをシート状に成形した後に、発泡剤により発泡性スラリーを発泡させ、さらに発泡した発泡性スラリーを乾燥、焼成する。発泡性スラリーをシート状に成形する際には、ベルトコンベアをなして発泡性スラリーを搬送するキャリアシートとその上方に配されたドクターブレードとの間に発泡性スラリーを通過させる。ここで、ドクターブレードの上流側には、発泡性スラリーを貯留する開放チャンバが配されている。この開放チャンバの上部は大気に開放されており、開放チャンバに発泡性スラリーを供給できるようになっている。
なお、このようにシート状の発泡性スラリーを成形する場合には、開放チャンバに発泡性スラリーを断続的または連続的に補給することで、シート状の発泡性スラリーを長時間にわたって連続的に成形することが可能となる。
特許第３２８２４９７号公報

ところで、開放チャンバに供給された発泡性スラリーには気泡が含まれるが、開放チャンバの上部は大気開放されているため、気泡が浮力によって開放チャンバの上部に蓄積されることになる。特に、シート状の発泡性スラリーを長時間にわたって連続的に成形すると、上部に蓄積された気泡同士が合体するなどしてそのサイズが大きくなる。そして、サイズの大きな気泡の数が多くなると、これら大きな気泡がキャリアシートとドクターブレードとの間を通過してしまうという問題がある。
そして、大きな気泡を含んで成形されたシート状の発泡性スラリーにおいては、発泡した気泡の大きさにばらつきが生じやすいため、多孔質体における気泡分布が不均一になるという問題がある。

本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、長時間にわたってシート状の発泡性スラリーを連続的に成形しても、多孔質体における気泡分布を均一に保持することができる多孔質体製造装置及び多孔質体の製造方法を提供することを目的とする。

上記の目的を達するために、この発明は以下の装置および方法を提供している。

本発明の第１の態様は、少なくとも無機粉末、発泡剤及び結合剤を含有した発泡性スラリーをシート状に成形し、該シート状の発泡性スラリーを発泡させ、焼成することで多孔質体を製造する多孔質体製造装置であって、前記無機粉末、前記発泡剤及び前記結合剤を収容して前記発泡性スラリーを調製するミキサーと、該ミキサーから供給された前記発泡性スラリーを外部にシート状に吐出する吐出口を有する成形用のダイコータと、該ダイコータの吐出口に間隙を有して対向配置されて、前記吐出口から吐出された前記発泡性スラリーを搬送するキャリアシートとを備え、前記ミキサー内から前記ダイコータの吐出口に至る前記発泡性スラリーの流路が外方に対して密閉されている多孔質体製造装置である。

この多孔質体製造装置においては、ダイコータの吐出口からキャリアシート上に吐出された発泡性スラリーが、吐出口とキャリアシートとの間隙を通過することで、この間隙寸法に応じた厚さ寸法を有するシート状の発泡性スラリーが成形される。このようにシート状の発泡性スラリーを成形する場合には、発泡性スラリーをダイコータの吐出口から連続的に吐出させることで、シート状の発泡性スラリーを長時間にわたって連続的に成形することができる。

本発明の他の態様は、前記無機粉末及び前記結合剤を混練した粉末スラリーを調製して脱気し、該粉末スラリー及び前記発泡剤を前記ミキサーに供給すると共に該ミキサーにおいて混練して前記発泡性スラリーを調製するように構成され、脱気された前記粉末スラリー若しくは前記ミキサー内の前記発泡性スラリーに制御された量の気体を混入するガス混入手段とを備える多孔質体製造装置である。
本発明の他の態様は、脱気された前記粉末スラリーを貯留するスラリー貯槽から前記ミキサーに至る前記粉末スラリーの流路が外方に対して密閉されている多孔質体製造装置である。

本発明の他の態様は、前記ミキサー内から前記ダイコータの吐出口まで前記発泡性スラリーを圧送するモーノポンプを備える多孔質体製造装置である。
本発明の他の態様は、前記無機粉末が導電性を有し、前記ミキサー内から前記ダイコータの吐出口まで前記発泡性スラリーを圧送するリニアポンプを備える多孔質体製造装置である。

本発明の他の態様は、少なくとも無機粉末、発泡剤及び結合剤を含有した発泡性スラリーをシート状に成形し、該シート状の発泡性スラリーを発泡させ、焼成することで多孔質体を製造する多孔質体の製造方法であって、前記無機粉末、前記発泡剤及び前記結合剤により前記発泡性スラリーを調製してから、前記発泡性スラリーをシート状に成形するまでの間に、前記発泡性スラリーを大気に触れさせない多孔質体の製造方法である。

本発明の他の態様は、前記無機粉末及び前記結合剤を混練してなる粉末スラリーを脱気した後に、前記粉末スラリー及び前記発泡剤を混練して前記発泡性スラリーを調製し、前記粉末スラリーの脱気後から、前記発泡性スラリーが前記シート状に成形される前までの間に、前記粉末スラリー若しくは前記発泡性スラリーに制御された量の気体を混入する多孔質体の製造方法である。

本発明によれば、発泡性スラリーはミキサー内から吐出口に至るまで、つまり、発泡性スラリーが調製されてからシート状に成形されるまで大気に触れないため、調製された発泡性スラリー中に気泡が含まれていたとしても、発泡性スラリーがシート状に成形されるまでの間に気泡同士が合体してそのサイズが大きくなることを防止できる。
したがって、長時間にわたってシート状の発泡性スラリーを連続的に成形しても、この発泡性スラリーにおいて発泡する気泡の大きさにばらつきが生じることを防ぎ、発泡性スラリーを焼成して得られる多孔質体の気泡分布を均一に保持することができる。

ところで、発泡性スラリーの発泡は、発泡性スラリー中に含まれる気泡を発泡剤により成長させることでなされるが、上述のように、脱気された粉末スラリーやこれを含む発泡性スラリーに混入する気体の量を制御することで、発泡性スラリーに含まれる気泡の量を制御することができる。したがって、発泡によって成長した気泡の容積を容易に制御でき、多孔質体における気孔率を容易に制御することが可能となる。なお、スラリー貯槽からミキサーに至る粉末スラリーの流路が外方に対して密閉されている場合には、粉末スラリーが大気に触れることで粉末スラリーに不意の気体が混入されることを確実に防止できるため、多孔質体における気孔率を特に精度良く制御することが可能となる。

また、モーノポンプやリニアポンプを使用する場合には、ミキサー内から吐出口まで圧送される発泡性スラリーに脈動が発生することを防止できるため、発泡性スラリーがダイコータの吐出口に至るまでに、発泡性スラリー中に含まれる気泡同士が合体することを確実に防止することができる。

本発明によれば、長時間にわたってシート状の発泡性スラリーを連続的に成形しても、多孔質体における気泡分布を均一に保持することができる。

本発明の一実施形態に係る多孔質体製造装置を示す概略断面図である。 図１の多孔質体製造装置において、ダイコータを示す概略平面図である。

符号の説明

１ 多孔質体製造装置
５ ダイコータ
５ｂ スリット（吐出口）
７ キャリアシート
９ 粉末スラリー
１５ ミキサー
２１ ガス混入手段
Ｓ１ 発泡性スラリー
Ｓ２ 発泡性スラリーシート

以下、図１及び図２を参照し、本発明の実施形態に係る多孔質体製造装置について説明する。
多孔質体製造装置１は、図１に示すように、金属粉末（無機粉末）、発泡剤、有機バインダ（結合剤）、液状溶媒（結合剤）等を含有した発泡性スラリーＳ１をシート状に成形して、シート状の発泡性スラリー（以下、発泡性スラリーシートＳ２と呼ぶ。）を発泡、乾燥させたグリーンシートＧを製造し、さらにこのグリーンシートＧを脱脂、焼成することで、三次元網目構造を有するシート状の多孔質体を製造するものである。

ここで、発泡性スラリーＳ１に含まれる金属粉末としては、例えばニッケル、銅、鉄、ＳＵＳ、クロム、コバルト、金、銀等が挙げられるが、粉末化及び焼結可能な全ての金属を使用することができる。また、発泡剤としては、例えば炭化数５〜８の非水溶性炭化水素系有機溶剤（例えばネオペンタン、ヘキサン、ヘプタン）等が挙げられるが、少なくともガスを発生して発泡性スラリーＳ１内の気泡を成長させることができるものであればよく、所定温度で分解してガスを発生する種々の化合物や揮発性の有機溶剤を使用することができる。

さらに、有機バインダとしては、例えばメチルセルロースやヒドロキシプロピルメチルセルロース等の水溶性有機バインダが挙げられるが、少なくとも発泡性スラリーシートＳ２を乾燥させた際にグリーンシートの形状を保持させる働きを有しているものであれば使用可能である。また、液状溶媒としては、例えば水が挙げられるが、少なくとも高温加熱により大気中に揮散でき、かつ、発泡剤よりも低揮発性、高沸点のものであれば使用可能である。なお、発泡性スラリーＳ１としては、例えば特許第３２８２４９７号公報に開示されているものがより好ましい。

多孔質体製造装置１は、発泡性スラリーＳ１を調製するための混練ユニット３、混練ユニット３から供給された発泡性スラリーＳ１を外部に吐出する成形用のダイコータ５、及び、ダイコータ５から吐出された発泡性スラリーＳ１を搬送するためのキャリアシート７を備えている。
さらに、混練ユニット３は、発泡剤を除く金属粉末、有機バインダ及び液状溶媒等を混練して調製した粉末スラリー９を貯留するスラリー貯槽１１、発泡剤を貯留する発泡剤貯槽１３、及び、粉末スラリー９及び発泡剤を収容、混練して発泡性スラリーＳ１を調製するミキサー１５を備えている。なお、スラリー貯槽１１に供給される粉末スラリー９は、脱気したものとなっている。

そして、スラリー貯槽１１とミキサー１５との間には、粉末スラリー９をスラリー貯槽１１からミキサー１５に向けて圧送する第１の圧送ポンプ１７が設けられている。この第１の圧送ポンプ１７は、圧送される粉末スラリー９に脈動を発生させないものであり、例えばモーノポンプやリニアポンプが挙げられる。なお、スラリー貯槽１１から第１の圧送ポンプ１７を介してミキサー１５に至る粉末スラリー９の流路は外方に対して密閉されている。
また、発泡剤貯槽１３とミキサー１５との間にも、発泡剤を発泡剤貯槽１３からミキサー１５に向けて圧送する第２の圧送ポンプ１９が設けられている。第２の圧送ポンプ１９は、第１の圧送ポンプ１７と同様に、圧送される発泡剤に脈動を発生させないものであり、例えばモーノポンプやリニアポンプが挙げられる。なお、発泡剤貯槽１３から第２の圧送ポンプ１９を介してミキサー１５に至る発泡剤の流路も外方に対して密閉されている。

また、混練ユニット３は、ミキサー１５内の発泡性スラリーＳ１に制御された量の気体を混入するガス混入手段２１も備えており、このガス混入手段２１は、例えばミキサー１５に気体を供給するコンプレッサ等のガス供給部２３と、ガス供給部２３からミキサー１５内に流入する気体の流量を計測する流量計２５と、攪拌又は振動によりミキサー１５内に流入した気体を発泡性スラリーＳ１中に均一に混入させる均一化機構（不図示）から構成されている。したがって、ガス混入手段２１によって発泡性スラリーＳ１に混入される気体は、微小な気泡として均一な分布で発泡性スラリーＳ１内に存在するようになっている。

また、この構成においては、ミキサー１５内に供給される粉末スラリー９及び発泡剤の量及び流量計２５の計測値に基づいてガス供給部２３の動作を制御することで、ミキサー１５内の発泡性スラリーＳ１に混入する気体の容積比を所望の値に設定することができるようになっている。すなわち、発泡性スラリーＳ１に含まれる気泡の量を制御することができるようになっている。

キャリアシート７は、例えばＰＥＴ製のフィルム等によって構成されており、複数のローラ２７によってその長手方向（Ａ方向）に搬送されるようになっている。また、ダイコータ５は、図１，２に示すように、キャリアシート７の搬送方向（Ａ方向）の上流側に配された一のローラ２７Ａに対向して配置されており、例えば特開平１１−３１４０６０号公報や特公平６−２２３号公報に開示された構成をなしている。すなわち、ダイコータ５は、ミキサー１５から供給される発泡性スラリーＳ１を一のローラ２７Ａの幅方向に広げる空間としてのマニホールド５ａと、このマニホールド５ａから発泡性スラリーＳ１を外部にシート状に吐出するための細い溝状のスリット（吐出口）５ｂとを備えている。

ミキサー１５とダイコータ５との間には、ミキサー１５内とマニホールド５ａとを相互に連通する連通管２９が設けられており、これにより、ミキサー１５内からダイコータ５のスリット５ｂの出口に至る発泡性スラリーＳ１の流路が外方に対して密閉されるようになっている。なお、連通管２９はマニホールド５ａの幅方向の中央部に接続されており、連通管２９からマニホールド５ａ内に供給された発泡性スラリーＳ１をマニホールド５ａの幅方向に均等に広げることができるようになっている。
そして、ミキサー１５内の発泡性スラリーＳ１は、前述した２つの圧送ポンプ１７，１９によってミキサー１５から連通管２９を介してダイコータ５のスリット５ｂの出口まで圧送されるようになっている。

また、スリット５ｂの出口は、一のローラ２７Ａに巻回されたキャリアシート７に間隙を有して対向配置されており、この出口からキャリアシート７上に吐出された発泡性スラリーＳ１が、キャリアシート７の搬送に伴ってスリット５ｂの出口とキャリアシート７との間隙を通過することで、この間隙寸法に応じた厚さ寸法を有する発泡性スラリーシートＳ２が成形されるようになっている。

さらに、この多孔質体製造装置１は、一のローラ２７Ａよりもキャリアシート７の搬送方向（Ａ方向）の下流側に順番に配された発泡槽３１及び加熱炉３３を備えており、キャリアシート７及び発泡性スラリーシートＳ２がこれら発泡槽３１及び加熱炉３３を通過するように構成されている。
発泡槽３１は、高湿度雰囲気下で発泡性スラリーシートＳ２を加熱して、発泡性スラリーシートＳ２の発泡を促進するものである。また、加熱炉３３は、発泡槽３１において発泡した発泡性スラリーシートＳ２を加熱乾燥してグリーンシートＧを形成するものである。

次に、以上のように構成された多孔質体製造装置１による多孔質体の製造方法について説明する。
多孔質体を製造する場合には、はじめに金属粉末、発泡剤、有機バインダ及び液状溶媒等を含有した発泡性スラリーＳ１を調製する（スラリー調製工程）。この工程においては、発泡剤を除く金属粉末、有機バインダ及び液状溶媒等を混練して粉末スラリー９を調製し、脱気された粉末スラリー９をスラリー貯槽１１に供給する。

そして、脱気された粉末スラリー９を第１の圧送ポンプ１７によりミキサー１５内に供給すると共に、予め発泡剤貯槽１３に貯留された発泡剤を第２の圧送ポンプ１９によりミキサー１５内に供給し、ミキサー１５内において、これら粉末スラリー９及び発泡剤を混練して発泡性スラリーＳ１を調製する。なお、スラリー貯槽１１や発泡剤貯槽１３からミキサー１５内に至る粉末スラリー９や発泡剤の流路は外方に対して密閉されているため、すなわち、スラリー貯槽１１や発泡剤貯槽１３からミキサー１５内に至るまで粉末スラリー９や発泡剤を大気に触れさせないため、ミキサー１５内に供給される粉末スラリー９及び発泡剤には気体が混入しない。

さらに、この工程においては、ガス供給部２３により制御された量の気体をミキサー１５内に供給して上記発泡性スラリーＳ１に混入させる。ここで混入された気体は微小な気泡として均一な分布で発泡性スラリーＳ１内に存在する。また、発泡性スラリーＳ１に混入される気体の量は、発泡性スラリーＳ１に対する気体の容積比が所定値（例えば１０〜２５％）となるように制御される。
したがって、このスラリー調製工程においては、制御された量の気泡のみを含む発泡性スラリーが調製されることになる。

次いで、上述のように調製された発泡性スラリーＳ１をシート状に成形する（成形工程）。この工程においては、キャリアシート７をＡ方向に搬送しながら、２つの圧送ポンプ１７，１９により発泡性スラリーＳ１をミキサー１５内からダイコータ５のスリット５ｂまで圧送すると共にこのスリット５ｂから連続的に吐出することで、この発泡性スラリーＳ１がスリット５ｂの出口とキャリアシート７との間隙を通過して発泡性スラリーシートＳ２が連続的に成形される。
なお、ミキサー１５内からダイコータ５のスリット５ｂ出口に至る発泡性スラリーＳ１の流路は外方に対して密閉されているため、ミキサー１５において発泡性スラリーＳ１を調製してから発泡性スラリーＳ１をシート状に成形するまでの間に、発泡性スラリーＳ１が大気に触れることはない。

そして、成形された発泡性スラリーシートＳ２を発泡させて多孔質体状に形成する（発泡工程）。この工程においては、キャリアシート７によって一のローラ２７Ａ側から搬送された発泡性スラリーシートＳ２を発泡槽３１に通過させる際に高湿度雰囲気下で加熱する。この際には、発泡剤が加熱されることで発泡性スラリーシートＳ２中に含まれる微小な気泡が発泡剤によって成長し、これにより発泡性スラリーシートＳ２が多孔質体状に形成されることになる。なお、発泡槽３１における加熱は高湿度雰囲気下で行われるため、上述した発泡に伴って発泡性スラリーシートＳ２にひび割れが発生することを防止できる。

さらに、発泡した発泡性スラリーシートＳ２を乾燥させてグリーンシートＧを製造する（乾燥工程）。この工程においては、キャリアシート７によって発泡槽３１から搬送された発泡性スラリーシートＳ２を加熱炉３３に通過させる際に加熱乾燥させることで、発泡した発泡性スラリーシートＳ２に含まれる液状溶媒が揮発され、金属粉末が有機バインダによって接合された状態のグリーンシートＧが形成されることになる。
最後に、多孔質体製造装置１に備える不図示の真空炉において、グリーンシートＧを脱脂、焼成する（焼成工程）ことで、有機バインダが取り除かれると共に金属粉末同士が焼結され、三次元網目構造を有するシート状の多孔質体が得られる。
なお、多孔質体製造装置１では、上述した各工程を連続的に行うことで長時間にわたってシート状の多孔質体を連続的に製造することが可能である。

以上説明したように、本実施形態による多孔質体製造装置１及び多孔質体の製造方法によれば、発泡性スラリーＳ１が調製されてから発泡性スラリーシートＳ２が成形されるまでの間に、発泡性スラリーＳ１が大気に触れないため、微小な気泡同士が合体してそのサイズが大きくなることを防止できる。
したがって、長時間にわたって発泡性スラリーシートＳ２を連続的に成形しても、発泡性スラリーシートＳ２において発泡する気泡の大きさにばらつきが生じることを防ぎ、発泡した発泡性スラリーシートＳ２を乾燥、焼成して得られる多孔質体における気泡分布を均一に保持することができる。

また、脱気された状態の発泡性スラリーＳ１に混入する気体の量を制御することで、発泡性スラリーＳ１に含まれる気泡の量を制御できる、すなわち、発泡によって成長した気泡の容積を制御できるため、多孔質体における気孔率を容易に制御することが可能となる。さらに、スラリー貯槽１１や発泡剤貯槽１３からミキサー１５に至る粉末スラリー９や発泡剤の流路を外方に対して密閉することで、粉末スラリー９や発泡剤に不意の気体が混入されることを確実に防止できるため、多孔質体における気孔率を特に精度良く制御することが可能となる。
そして、粉末スラリー９や、発泡剤、発泡性スラリーＳ１を圧送する圧送ポンプ１７，１９として、モーノポンプやリニアポンプを使用する場合には、ミキサー１５内からダイコータ５のスリット５ｂ出口まで圧送される発泡性スラリーＳ１に脈動が発生することを防止できるため、発泡性スラリーＳ１がスリット５ｂ出口に至るまでに、発泡性スラリーＳ１中に含まれる気泡同士が合体することを確実に防止できる。

なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
すなわち、上記実施形態においては、脱気された粉末スラリー９がスラリー貯槽１１に供給されるとしたが、例えば粉末スラリー９を脱気する脱気手段（不図示）を直接ミキサー１５に接続し、脱気手段からミキサー１５に至る粉末スラリー９の流路が外方に対して密閉されるとしてもよい。この場合には、脱気された粉末スラリー９に不意の気体が混入されることをさらに確実に防止できるため、多孔質体における気孔率をさらに高い精度で制御することが可能となる。

また、ガス混入手段２１は、ミキサー１５内の発泡性スラリーＳ１に制御された量の気体を混入するように構成されるとしたが、これに限ることはなく、例えば脱気された粉末スラリー９に制御された量の気体を混入するように構成されるとしても構わない。
さらに、ガス混入手段２１は、上記実施形態の構成に限らず、例えば粉末スラリー９を大気に触れさせた状態で攪拌し、この攪拌により制御された量の気体を粉末スラリー９に混入させるように構成しても良い。この場合、粉末スラリー９に混入される気体の量は粉末スラリー９の攪拌時間に比例するため、この攪拌時間を規定することで粉末スラリー９に混入する気体の量を制御することができる。なお、制御された量の気体を混入した粉末スラリー９は、大気に触れさせない状態でミキサー１５内に供給されることが望ましい。

さらに、上記実施形態においては、粉末スラリー９の脱気後から発泡性スラリーＳ１をシート状に成形するまでの間に、粉末スラリー９や発泡剤、発泡性スラリーＳ１を大気に触れさせないとしたが、発泡性スラリーＳ１に含ませる気泡の量を制御しない場合には、少なくともミキサー１５内において発泡性スラリーＳ１を調製してから発泡性スラリーＳ１をシート状に成形するまでの間に、発泡性スラリーＳ１を大気に触れさせなければよい。この場合でも、調製された発泡性スラリーＳ１がシート状に成形されるまでの間に、微小な気泡同士が合体してそのサイズが大きくなることを防止できるため、多孔質体における気泡分布を均一に保持することができる。

本発明によれば、長時間にわたってシート状の発泡性スラリーを連続的に成形しても、多孔質体における気泡分布を均一に保持することができる。従って、本発明は産業上極めて有用である。

Claims (6)

1. 少なくとも無機粉末、発泡剤及び結合剤を含有した発泡性スラリーをシート状に成形し、該シート状の発泡性スラリーを発泡させ、焼成することで多孔質体を製造する多孔質体製造装置であって、
   前記無機粉末、前記発泡剤及び前記結合剤を収容して前記発泡性スラリーを調製するミキサーと、該ミキサーから供給された前記発泡性スラリーを外部にシート状に吐出する吐出口を有する成形用のダイコータと、該ダイコータの吐出口に間隙を有して対向配置されて、前記吐出口から吐出された前記発泡性スラリーを搬送するキャリアシートとを備え、
   前記ミキサー内から前記ダイコータの吐出口に至る前記発泡性スラリーの流路が外方に対して密閉されている孔質体製造装置。
2. 前記無機粉末及び前記結合剤を混練した粉末スラリーを調製して脱気し、該粉末スラリー及び前記発泡剤を前記ミキサーに供給すると共に該ミキサーにおいて混練して前記発泡性スラリーを調製するように構成され、
   脱気された前記粉末スラリー若しくは前記ミキサー内の前記発泡性スラリーに制御された量の気体を混入するガス混入手段とを備える請求項１に記載の多孔質体製造装置。
3. 脱気された前記粉末スラリーを貯留するスラリー貯槽から前記ミキサーに至る前記粉末スラリーの流路が外方に対して密閉されている請求項２に記載の多孔質体製造装置。
4. 前記ミキサー内から前記ダイコータの吐出口まで前記発泡性スラリーを圧送するモーノポンプ若しくはモーノポンプを備える請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の多孔質体製造装置。
5. 少なくとも無機粉末、発泡剤及び結合剤を含有した発泡性スラリーをシート状に成形し、該シート状の発泡性スラリーを発泡させ、焼成することで多孔質体を製造する多孔質体の製造方法であって、
   前記無機粉末、前記発泡剤及び前記結合剤により前記発泡性スラリーを調製してから、前記発泡性スラリーをシート状に成形するまでの間に、前記発泡性スラリーを大気に触れさせない多孔質体の製造方法。
6. 前記無機粉末及び前記結合剤を混練してなる粉末スラリーを脱気した後に、前記粉末スラリー及び前記発泡剤を混練して前記発泡性スラリーを調製し、
   前記粉末スラリーの脱気後から前記発泡性スラリーが調製されるまでの間に、前記粉末スラリー若しくは前記発泡性スラリーに制御された量の気体を混入する請求項５に記載の多孔質体の製造方法。

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