JPWO2008029787A1 - 情報が凹凸として記録された情報記録媒体およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
11、31 強誘電体薄膜
12、32 電極層
13、33 支持基板
14、34 ピット
20 情報読み取り装置
21 プローブ
22 リターン電極
30 媒体材料
40 プローブ電圧印加装置
43 プローブアレイ
44 プローブ
図1は本発明の情報記録媒体の実施形態を示している。図1中の情報記録媒体1は、強誘電体薄膜11、電極層12、支持基板13およびピット14を備えている。情報記録媒体1の外形は例えば板状である。
強誘電体薄膜11に記録された第1情報および第2情報の読み取りは、例えば図5に示す情報読み取り装置20を用いて行うことができる。
上述したように、強誘電体薄膜11の上面11Aには複数のピット14が形成されており、各ピット14の深さD1は例えばおよそ15nmであることが望ましい。しかし、強誘電体薄膜11に記録された情報を読み取るときに、静電容量C1とC3との識別および静電容量C2とC3との識別とが可能であれば、各ピット14の深さD1は15nm以外の値であってもよい。
静電容量C3は、図6中の経路Aの静電容量Csである。経路Aにはピット14内の空間が含まれている。経路Aにおいて空間の割合が増し、強誘電体の割合が減ると、静電容量C3は小さくなる。このため、静電容量C3はピット14が深いと小さくなり、ピット14が浅いと大きくなる。したがって、ピット14の深さを適切な値に設定することにより、上記式(1)を満たすことが可能になる。
情報記録媒体1は次のような製造方法により製造することができる。
情報記録媒体1は、それ自体を、第1情報が予め記録された情報記録媒体製品(ROM製品)として使用することができる。例えば、防塵対策が施されたカートリッジに情報記録媒体1を封入する。そして、カートリッジに情報記録媒体1が封入された構造体を製品として取り扱う。あるいは、読み取り専用のプローブヘッドと共に防塵対策が施されたカートリッジに情報記録媒体1を封入してもよい。この場合には、カートリッジに情報記録媒体1およびプローブヘッドが封入された構造体を製品として取り扱う。
以上説明した通り、本実施形態における情報記録媒体1の製造方法では、分極方向の違いに応じてエッチングレートが異なる強誘電体から形成された強誘電体薄膜31と電極層32とを有する媒体材料30を用意し、プローブ44を用いて強誘電体薄膜31の上面31Aと電極層32との間に電圧を印加し、これにより強誘電体の分極方向を局所的に変化させ、その後、強誘電体薄膜31の上面31Aをエッチングする。これにより、強誘電体薄膜11の上面11Aに配列方向における長さの最小値がおよそ1nmないし30nmの有形的なピット14が形成された情報記録媒体1を製造することができる。
なお、上述した情報記録媒体1の製造方法では、媒体材料30の上面31Aにピット34(凹部)を形成する場合を例にあげたが、本発明はこれに限られない。媒体材料の上面に凸部を形成してもよい。この場合には、電圧印加工程において電圧印加を行う前の媒体材料30において、強誘電体薄膜31の上面31Aが全面的に−Z面となるように強誘電体を配置する。
Claims (12)
- 強誘電体薄膜と、
前記強誘電体薄膜の下側に設けられた電極層と、
前記強誘電体薄膜の上面に形成された複数の凹部または複数の凸部とを備え、
前記複数の凹部または前記複数の凸部はデジタルデータのビット配列に対応するように配列されおり、
前記各凹部または前記各凸部の1ビット当たりの配列方向の長さの最小値が1nm以上30nm以下であることを特徴とする情報記録媒体。 - 前記強誘電体薄膜はLiTa1-xNbxO3 (0≦x≦1)単結晶のZ-cut基板により形成されていることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の情報記録媒体。
- 前記強誘電体薄膜の厚さが100nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の情報記録媒体。
- 前記強誘電体薄膜の分極方向に基づく前記強誘電体薄膜の静電容量の変化量よりも、前記凹部または前記凸部の有無に基づく前記強誘電体薄膜の静電容量の変化量の方が大きくなるように、前記各凹部の深さまたは前記各凸部の高さが設定されていることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の情報記録媒体。
- 前記各凹部の深さまたは前記各凸部の高さが15nm以上であることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の情報記録媒体。
- 前記強誘電体薄膜は、分極方向の違いに応じてエッチングレートが異なる強誘電体から形成され、
前記強誘電体薄膜の上面は前記強誘電体の分極方向と交わり、
前記凹部または前記凸部は、前記強誘電体薄膜の上面にプローブの先端を接近または接触させ、前記プローブの先端と前記電極層との間に電圧を印加し、これにより、前記強誘電体の分極方向を局所的に変化させ、その後、前記強誘電体薄膜の上面をエッチャントに接触させ、これにより当該上面をエッチングすることにより形成されたものであることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の情報記録媒体。 - 強誘電体薄膜と、
前記強誘電体薄膜の下側に設けられた電極層と、
前記強誘電体薄膜の上面に形成された複数の凹部または複数の凸部とを備え、
前記複数の凹部または前記複数の凸部はデジタルデータのビット配列に対応するように配列されおり、
前記強誘電体薄膜の分極方向に基づく前記強誘電体薄膜の静電容量の変化量よりも、前記凹部または前記凸部の有無に基づく前記強誘電体薄膜の静電容量の変化量の方が大きくなるように、前記各凹部の深さまたは前記各凸部の高さが設定されていることを特徴とする情報記録媒体。 - 前記各凹部の深さまたは前記各凸部の高さが15nm以上であることを特徴とする請求の範囲第7項に記載の情報記録媒体。
- 媒体材料に情報が有形的な凹部または凸部として記録された情報記録媒体の製造方法であって、
分極方向の違いに応じてエッチングレートが異なる強誘電体から形成され、前記強誘電体の分極方向と交わる上面を有する強誘電体薄膜と、前記強誘電体薄膜の下面に接合された電極層とを有する媒体材料を用意し、前記上面にプローブの先端を接近または接触させ、前記プローブの先端と前記電極層との間に電圧を印加することにより、前記強誘電体の分極方向を局所的に変化させる電圧印加工程と、
前記電圧印加工程を経た前記媒体材料の前記強誘電体薄膜の前記上面をエッチャントに接触させ、これにより当該上面をエッチングするエッチング工程とを備えていることを特徴とする製造方法。 - 前記強誘電体薄膜はLiTa1-xNbxO3 (0≦x≦1)単結晶のZ-cut基板により形成されていることを特徴とする請求の範囲第9項に記載の製造方法。
- 前記強誘電体薄膜の厚さが100nm以下であることを特徴とする請求の範囲第9項に記載の製造方法。
- 前記電圧印加工程では、プローブアレイに設けられた複数のプローブの先端を前記強誘電体薄膜の前記上面に接近または接触させ、前記各プローブの先端と前記電極層との間に電圧を印加することを特徴とする請求の範囲第9項に記載の製造方法。
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