JPWO2008007634A1 - 圧電ポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
以下に、本発明に係る圧電ポンプの第1実施形態について、図1〜図3を参照しながら説明する。ここで、図1は圧電ポンプの全体平面図であり、図2は図1のII−II断面図、図3は図1のIII −III 断面図である。
図10〜図13は圧電素子の第2実施形態を示す。この圧電素子30は、図6に示す3つの電極パターン(a)〜(c)を持つ圧電体層31a〜31hを多層(ここでは8層)に積層したものである。上から電極パターンが(b),(a),(b),(a),(b),(c),(b),(c),(b)の順で配置されている。すなわち、連続電極と分割電極とが積層方向に交互に配置されている。
図14〜図16は圧電素子の具体的構造の他の例を示す。この圧電素子40も第1実施形態と同様に、2層の圧電セラミックスよりなる圧電体層41a,41bを積層したものである。すなわち、2層のグリーンシート状態の圧電セラミック層41a,41bを層間電極42を間にして積層圧着して焼成し、上下面に電極43,44を形成した後、分極処理を行ったものである。図16に上面の電極パターン(a)と層間の電極パターン(b)と下面の電極パターン(c)とが示されている。
図17に示す圧電素子60は3層の圧電体層61a〜61cを積層したものであり、図8に示す実施形態に比べて、厚み方向中央部に応力緩和のための中間層61bが設けられている点で相違する。表裏面の電極は、それぞれ中心電極62a,63aと周辺電極62b,63bとに分割されており、層間の電極は中心領域と周辺領域とに跨がる連続電極64,65である。連続電極64,65は、中間層61bを挟んでその両面に設けられている。この例では、中間層61bは未分極であり伸縮しない。駆動時には図17に示すように、交流電源66の一端側を分割電極62a,62b,63a,63bに、他端側を連続電極64、65に接続する。例えば破線矢印Eで示す向きに電界が印加された時、中心領域を上に凸に、周辺領域を下に凸に屈曲変位させることができる。この場合も、同一面内において隣り合う中心電極62aと周辺電極62b、および中心電極63aと周辺電極63bとが同一電位であるため、マイグレーションによるショートの発生を防止でき、駆動回路を簡素化できる。中間層61bが上側の圧電体層61aと下側の圧電体層61cとの界面に働く応力を緩和するので、効率よく屈曲変位できる。
図18に示す圧電素子70は5層の圧電体層71a〜71eを積層したものである。厚み方向中心部に応力緩和のための中間層71cが設けられている。1つの層内において中心部と周辺部とで分極方向が逆方向であり、かつ厚み方向中心側の2つの圧電体層71b,71dの分極方向は同一方向であるが、外側の圧電体層71a,71eの分極方向は厚み方向に隣り合う圧電体層71b,71dに対してそれぞれ逆方向となっている。この例では、中間層71cを挟んでその両側の電極72,73と表裏面の電極74,75は連続電極であるが、それ以外の層間の電極76a,76bおよび77a,77bは中心部と周辺部とで分割された電極となっている。つまり、連続電極と分割電極とが積層方向に交互に配置されている。駆動時には、図18に示すように、交流電源78の一端側を分割電極76a,76b、77a,77bに、他端側を連続電極72,73、74,75に接続する。例えば破線矢印Eで示す向きに電界が印加された時、中心領域は上に凸に、周辺領域は下に凸に屈曲変位させることができる。この場合も、同一面内において隣り合う中心電極76a,77aと周辺電極76b,77bとが同一電位であるため、マイグレーションによるショートの発生を防止でき、駆動回路を簡素化できる。なお、図17及び図18では圧電体層が3層及び5層の場合を説明したが、さらに最外層に複数の圧電体層を積層し、連続電極及び分割電極を交互に形成してもよい。
図19は本発明にかかる圧電ポンプに使用されるダイヤフラム80およびその片面に貼り付けられた圧電素子90を示す。圧電素子90はバイモルフ型圧電素子であり、第1〜第5実施形態のように、中心領域と周辺領域とで屈曲方向が反転するものに限らず、一様に屈曲するものでもよい。
伸縮反転面位置〔%〕=上層厚d1/全体厚D
つまり、50%は伸縮反転面がバイモルフ圧電素子のちょうど中央、50%から大きくなるにつれて上層厚が増加し、100%で上層のみ(下層なし)の状態となる。
A2 周辺領域
10 ポンプ本体
12 ポンプ室
11 流入側弁室
13 排出側弁室
16 流入側逆止弁
17 排出側逆止弁
20 ダイヤフラム
21 圧電素子
21a,21b 圧電体層
22a 連続電極
23a,24a 中心電極
23b,24b 周辺電極
A2 周辺領域
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12 ポンプ室
11 流入側弁室
13 排出側弁室
16 流入側逆止弁
17 排出側逆止弁
20 ダイヤフラム
21 圧電素子
21a,21b 圧電体層
22 層間電極(連続電極)
23a,24a 中心電極
23b,24b 周辺電極
Claims (13)
- ポンプ室を有するポンプ本体と、上記ポンプ室を閉じるべくポンプ本体に保持され、電圧印加により屈曲変位してポンプ室の容積変化を生じさせる圧電素子とを備え、
上記圧電素子のうちポンプ室と対応する部分は、中心領域とそれを取り囲む周辺領域とを有し、上記圧電素子に印加される駆動電圧により上記中心領域と周辺領域とを逆方向に屈曲変位させるようにした圧電ポンプにおいて、
上記圧電素子は複数の圧電体層を電極を間にして積層して焼成し、その後分極したものであり、
各圧電体層内において上記中心領域と周辺領域とが厚み方向に互いに逆方向に分極されており、
各圧電体層内において上記中心領域と周辺領域とに厚み方向に同一方向の駆動電界が印加されるように上記電極が形成されており、
上記圧電体層の同一面上に形成された電極には、同一電位の駆動電圧が印加されることを特徴とする圧電ポンプ。 - 上記電極は、上記中心領域と周辺領域とにそれぞれ対応して分割された分割電極と、上記中心領域と周辺領域とに連続する連続電極とを有し、
上記分割電極と上記連続電極とが上記圧電体層の積層方向に交互に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の圧電ポンプ。 - 積層方向に隣り合う2つの分割電極の間に、2層以上の連続電極が形成されており、上記2層以上の連続電極の間に自発的に変位しない中間層が形成されていることを特徴とする請求項2に記載の圧電ポンプ。
- 上記分割電極は、
上記中心領域と対応する部分に形成された中心電極と、
上記周辺領域と対応する部分に形成され、上記中心電極をギャップを介して取り囲む周辺電極と、
上記中心電極から周辺電極を横断して上記圧電体層の外周部へ引き出すための引出電極とを備えており、
上記圧電素子は、その積層方向に、駆動電圧を印加した際に伸縮方向が異なる第1の圧電体部及び第2の圧電体部を有し、
上記圧電素子の外周部には、上記第1の圧電体部の圧電体層に形成された中心電極を引き出す引出電極と第2の圧電体部の圧電体層に形成された周辺電極とを相互に接続する第1の接続電極と、上記第1の圧電体部の圧電体層に形成された周辺電極と上記第2の圧電体部の圧電体層に形成された中心電極を引き出す引出電極とを相互に接続する第2の接続電極とが形成されていることを特徴とする請求項2又は3に記載の圧電ポンプ。 - 上記第1の圧電体部及び上記第2の圧電体部はそれぞれ複数の圧電体層が積層されており、
上記第1の圧電体部の圧電体層に形成された中心電極同士および周辺電極同士がそれぞれ相互に接続され、
上記第2の圧電体部の圧電体層に形成された中心電極同士及び周辺電極同士がそれぞれ相互に接続されていることを特徴とする請求項4に記載の圧電ポンプ。 - 上記周辺領域より外周側に自発的に屈曲変形しない中性領域が形成され、上記中性領域が上記ポンプ本体に保持されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の圧電ポンプ。
- 上記圧電体層は四角形に形成され、
上記中心電極は円形に形成され、
上記周辺電極は上記中心電極と同心円環状に形成されていることを特徴とする請求項3ないし6のいずれか1項に記載の圧電ポンプ。 - 上記圧電素子のポンプ室側の側面には、上記ポンプ室と圧電素子とを隔離するダイヤフラムが対面接着されていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記載の圧電ポンプ。
- ポンプ室を有するポンプ本体と、上記ポンプ室を閉じるべくポンプ本体に保持され、電圧印加により屈曲変位してポンプ室の容積変化を生じさせる圧電素子とを備えた圧電ポンプにおいて、
上記圧電素子は複数の圧電体層を積層したバイモルフ型圧電素子であり、
上記圧電素子のポンプ室側の側面には、上記ポンプ室と圧電素子とを隔離するダイヤフラムが対面接着されており、
上記圧電素子単体の伸縮反転面と、上記圧電素子とダイヤフラムとを接着した状態での中立面とを一致させたことを特徴とする圧電ポンプ。 - 上記伸縮反転面を間にして、上記圧電素子のダイヤフラム側と反対側の厚みを、ダイヤフラム側の厚みより厚くしたことを特徴とする請求項9に記載の圧電ポンプ。
- 上記伸縮反転面を間にして、上記圧電素子のダイヤフラム側と反対側の圧電体層の積層数を、ダイヤフラム側の圧電体層の積層数より多くしたことを特徴とする請求項9に記載の圧電ポンプ。
- 上記伸縮反転面を間にして、上記圧電素子のダイヤフラム側と反対側の圧電体層に印加される駆動電圧の電界強度を、ダイヤフラム側の圧電体層に印加される駆動電圧の電界強度より高くしたことを特徴とする請求項9に記載の圧電ポンプ。
- 上記伸縮反転面を間にして、上記圧電素子のダイヤフラム側と反対側の圧電体層の分極度を、ダイヤフラム側の圧電体層の分極度より高くしたことを特徴とする請求項9に記載の圧電ポンプ。
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CN105874624B (zh) * | 2014-01-30 | 2018-07-27 | 京瓷株式会社 | 压电元件以及具备其的压电振动装置、便携式终端、声音发生器、声音发生装置、电子设备 |
JP6173938B2 (ja) * | 2014-02-05 | 2017-08-02 | 株式会社東芝 | 圧電ポンプ |
CN106030108B (zh) * | 2014-02-21 | 2018-02-23 | 株式会社村田制作所 | 流体控制装置以及泵 |
JP6518417B2 (ja) * | 2014-09-01 | 2019-05-22 | 東芝テック株式会社 | 液体循環装置 |
JP2017007108A (ja) * | 2015-06-17 | 2017-01-12 | 東芝テック株式会社 | インク循環装置及びインクジェット記録装置 |
DE102015116409A1 (de) * | 2015-09-28 | 2017-03-30 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verbundkörper mit mindestens einer Funktionskomponente und ein Verfahren zur Herstellung des Verbundkörpers |
CN105736330A (zh) * | 2016-02-02 | 2016-07-06 | 河南工业大学 | 医用微量注射并联微泵 |
JP6870732B2 (ja) | 2017-05-12 | 2021-05-12 | 株式会社村田製作所 | 振動装置 |
FR3077162B1 (fr) * | 2018-01-22 | 2020-02-07 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Transducteur piezoelectrique |
GB201803177D0 (en) * | 2018-02-27 | 2018-04-11 | 3C Project Man Limited | Droplet ejector |
JP7055950B2 (ja) * | 2018-02-28 | 2022-04-19 | 太陽誘電株式会社 | 振動発生装置及び電子機器 |
CN109390462B (zh) * | 2018-09-11 | 2020-12-22 | 北京大学 | 准切变模式多层共烧压电致动器及其多层共烧制备方法 |
JP7349090B2 (ja) * | 2019-05-21 | 2023-09-22 | 日清紡マイクロデバイス株式会社 | 圧電素子 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CA1225694A (en) * | 1983-12-09 | 1987-08-18 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Piezoelectric actuator using bimorph element |
JPS6130974A (ja) * | 1984-07-23 | 1986-02-13 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 圧電アクチユエ−タ |
JPS6128776A (ja) * | 1984-07-17 | 1986-02-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ポンプ |
JPS6130947A (ja) * | 1984-07-20 | 1986-02-13 | Matsushita Electric Works Ltd | 整流子モ−タ |
DE3618106A1 (de) | 1986-05-30 | 1987-12-03 | Siemens Ag | Piezoelektrisch betriebene fluidpumpe |
JPH0317184A (ja) * | 1989-06-14 | 1991-01-25 | Tsuchiya Rubber Kk | 土壌組成物 |
JPH0354383A (ja) * | 1989-07-20 | 1991-03-08 | Olympus Optical Co Ltd | 圧電式ポンプ |
JPH03134271A (ja) * | 1989-10-17 | 1991-06-07 | Seiko Epson Corp | 微量吐出装置 |
JPH03171750A (ja) | 1989-11-30 | 1991-07-25 | Toshiba Corp | 微小移動機構 |
JPH03171784A (ja) | 1989-11-30 | 1991-07-25 | Toshiba Corp | バイモルフ素子 |
JP3428773B2 (ja) | 1995-04-21 | 2003-07-22 | 松下電器産業株式会社 | バイモルフ圧電素子とその製造方法 |
US6597084B2 (en) * | 2001-01-05 | 2003-07-22 | The Hong Kong Polytechnic University | Ring-shaped piezoelectric transformer having an inner and outer electrode |
JP3642026B2 (ja) | 2001-01-12 | 2005-04-27 | 株式会社村田製作所 | 加速度センサおよびその製造方法 |
US6812623B2 (en) * | 2001-09-28 | 2004-11-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric transformer |
JP4096721B2 (ja) * | 2001-12-06 | 2008-06-04 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ、流体移送装置及びインクジェットヘッド |
US6869275B2 (en) * | 2002-02-14 | 2005-03-22 | Philip Morris Usa Inc. | Piezoelectrically driven fluids pump and piezoelectric fluid valve |
JP4419790B2 (ja) * | 2004-10-20 | 2010-02-24 | パナソニック電工株式会社 | 圧電ダイヤフラムポンプ |
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