JP4940042B2 - 圧電ポンプ - Google Patents
圧電ポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4940042B2 JP4940042B2 JP2007193284A JP2007193284A JP4940042B2 JP 4940042 B2 JP4940042 B2 JP 4940042B2 JP 2007193284 A JP2007193284 A JP 2007193284A JP 2007193284 A JP2007193284 A JP 2007193284A JP 4940042 B2 JP4940042 B2 JP 4940042B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- pump
- ring
- annular electrode
- piezoelectric vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
Description
11 シム
11a 配線突起
12 積層圧電体(圧電体層)
20 圧電ポンプ
21 ロアハウジング
22 ミドルハウジング
23 アッパハウジング
24 吸入ポート
25 吐出ポート
27 Oリング
28 環状狭着部材
29 環状電極(端子)
29a 配線突起
30 吸入流路
31 吐出流路
32、33 逆止弁
A 大気室
P ポンプ室
Claims (3)
- 導電性金属薄板からなるシムと、このシムの表裏の少なくとも一方の面上に形成した圧電体層とを有する平面円形の圧電振動子;及びこの圧電振動子の圧電体層を有する面にOリングを接触させて形成されたポンプ室;を有し、上記圧電振動子を振動させてポンプ作用を得る圧電ポンプにおいて、
上記圧電振動子の圧電体層のシムと反対側の面に、上記Oリングとその全周に沿って少なくとも一部が重なる環状電極を形成し、
上記環状電極に、径方向に突出する配線突起を形成し、
上記環状電極とシムとの間に上記配線突起を介して交番電流を印加することにより該圧電振動子を振動させることを特徴とする圧電ポンプ。 - 請求項1記載の圧電ポンプにおいて、上記環状電極は、リン青銅、42アロイのいずれかからなる圧電ポンプ。
- 請求項1または2記載の圧電ポンプにおいて、上記環状電極の厚さは、10〜30μmである圧電ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007193284A JP4940042B2 (ja) | 2007-07-25 | 2007-07-25 | 圧電ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007193284A JP4940042B2 (ja) | 2007-07-25 | 2007-07-25 | 圧電ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009030471A JP2009030471A (ja) | 2009-02-12 |
JP4940042B2 true JP4940042B2 (ja) | 2012-05-30 |
Family
ID=40401251
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007193284A Expired - Fee Related JP4940042B2 (ja) | 2007-07-25 | 2007-07-25 | 圧電ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4940042B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3890859B2 (ja) * | 2000-07-26 | 2007-03-07 | 松下電工株式会社 | 圧電ダイヤフラムポンプの製造方法 |
-
2007
- 2007-07-25 JP JP2007193284A patent/JP4940042B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009030471A (ja) | 2009-02-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101490418B (zh) | 压电泵 | |
JP4873014B2 (ja) | 圧電マイクロブロア | |
US9217426B2 (en) | Pump, pump arrangement and pump module | |
US20070138914A1 (en) | Wiring structure of vibrator, and piezoelectric pump | |
JP4976157B2 (ja) | 圧電ポンプ及び圧電振動子 | |
JP2010242501A (ja) | 圧電ポンプ | |
US20080038125A1 (en) | Piezoelectric pump and piezoelectric vibrator | |
JP2007046551A (ja) | 圧電ポンプ | |
US20100239444A1 (en) | Layered piezoelectric element and piezoelectric pump | |
JP5652551B2 (ja) | 流体制御装置 | |
JP2007071070A (ja) | ダイヤフラムポンプ | |
US20090214362A1 (en) | Piezoelectric pump | |
JP2008175097A (ja) | 圧電ポンプ | |
JP5593907B2 (ja) | 圧電ポンプ及びその製造方法 | |
JP2009079482A (ja) | 圧電ポンプ | |
US20070071615A1 (en) | Diaphragm pump | |
JP2009108715A (ja) | 圧電ポンプ | |
JP4940042B2 (ja) | 圧電ポンプ | |
JP4976202B2 (ja) | ダイヤフラムポンプ | |
JP2009097367A (ja) | 圧電ポンプ | |
JP5402673B2 (ja) | 接合体および流体機器 | |
JP4848319B2 (ja) | 圧電ポンプ | |
JP2009293507A (ja) | 圧電ポンプ | |
JP5002474B2 (ja) | 圧電ポンプ | |
JP2005201235A (ja) | 圧電ポンプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100611 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111220 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120123 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120214 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120227 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150302 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |