JP4976202B2 - ダイヤフラムポンプ - Google Patents
ダイヤフラムポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4976202B2 JP4976202B2 JP2007151131A JP2007151131A JP4976202B2 JP 4976202 B2 JP4976202 B2 JP 4976202B2 JP 2007151131 A JP2007151131 A JP 2007151131A JP 2007151131 A JP2007151131 A JP 2007151131A JP 4976202 B2 JP4976202 B2 JP 4976202B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- piezoelectric vibrator
- pump
- annular
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
Description
10a シム
10b 圧電体
10c 膜状金電極
10d 配線接続突起
12 Oリング
20 アッパハウジング
21a 環状突起
30 ロアハウジング
31 円形凹部
31a Oリング収納用環状溝
32 吸入側液溜室
33 吐出側液溜室
34 吸入ポート
35 吐出ポート
34a 35a 開口端
36 吸入側アンブレラ
37 吐出側アンブレラ
P 可変容積室(ポンプ室)
A 空気室
Claims (3)
- 圧電振動子であるダイヤフラムと、このダイヤフラムを挟着して該ダイヤフラムの上下に空気室と可変圧力室を構成するアッパハウジング及びロアハウジングとを有し、該ダイヤフラムを振動させてポンプ作用を得るダイヤフラムポンプにおいて、
上記ロアハウジングに、平面円形のダイヤフラムを嵌める円形凹部と、この円形凹部の周縁に位置する環状溝とを形成したこと、
上記アッパハウジングに、上記環状溝と同一の中心と径を有し、ロアハウジングの上記円形凹部に嵌めたダイヤフラムに対し、上記環状溝に嵌めたOリングの反対側において環状に接触する環状突起を形成したこと、
上記環状突起の先端部断面は、半円形状または三角形状であること、及び、
上記環状突起の頂部と上記Oリングの頂部により、上記ダイヤフラムの表裏一致する点にて、上記ダイヤフラムを線状かつ環状に挟着保持したこと、
を特徴とするダイヤフラムポンプ。 - 請求項1記載のダイヤフラムポンプにおいて、上記圧電振動子は、導電性金属薄板からなるシムの上記空気室側に圧電体層を積層したユニモルフ型圧電振動子であるダイヤフラムポンプ。
- 請求項1記載のダイヤフラムポンプにおいて、上記圧電体層の径は、アッパハウジングの環状突起の径より小径で、該環状突起と上記Oリングは上記シムの表裏に接触するダイヤフラムポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007151131A JP4976202B2 (ja) | 2007-06-07 | 2007-06-07 | ダイヤフラムポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007151131A JP4976202B2 (ja) | 2007-06-07 | 2007-06-07 | ダイヤフラムポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008303774A JP2008303774A (ja) | 2008-12-18 |
JP4976202B2 true JP4976202B2 (ja) | 2012-07-18 |
Family
ID=40232716
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007151131A Expired - Fee Related JP4976202B2 (ja) | 2007-06-07 | 2007-06-07 | ダイヤフラムポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4976202B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2264399B1 (fr) * | 2009-06-19 | 2012-05-30 | The Swatch Group Research and Development Ltd. | Capteur de pression à diaphragme et profondimètre comportant un tel capteur |
JP6089584B2 (ja) * | 2012-10-29 | 2017-03-08 | 株式会社村田製作所 | ブロア |
JP2015064059A (ja) * | 2013-09-25 | 2015-04-09 | 株式会社ジェイテクト | 可変絞り形静圧軸受 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02149880U (ja) * | 1989-05-23 | 1990-12-21 | ||
JP4805658B2 (ja) * | 2005-11-09 | 2011-11-02 | 日東工器株式会社 | ユニモルフ振動板を用いたポンプ |
-
2007
- 2007-06-07 JP JP2007151131A patent/JP4976202B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008303774A (ja) | 2008-12-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20080038125A1 (en) | Piezoelectric pump and piezoelectric vibrator | |
KR101033077B1 (ko) | 압전 펌프 | |
US20190145530A1 (en) | Valve and fluid control apparatus | |
JP6011722B2 (ja) | バルブ、流体制御装置 | |
JP4957480B2 (ja) | 圧電マイクロポンプ | |
US20110280755A1 (en) | Pump, pump arrangement and pump module | |
US20080095651A1 (en) | Diaphragm pump and thin channel structure | |
US20070065309A1 (en) | Diaphragm pump | |
JP2007165664A (ja) | 振動子の配線構造及び圧電ポンプ | |
TW200307785A (en) | Piezoelectrically driven fluid pump | |
JP5429317B2 (ja) | 圧電マイクロポンプ | |
JP2007046551A (ja) | 圧電ポンプ | |
JP2010242501A (ja) | 圧電ポンプ | |
JP4976202B2 (ja) | ダイヤフラムポンプ | |
US20070071615A1 (en) | Diaphragm pump | |
US20110079299A1 (en) | Check valve | |
JP2009079482A (ja) | 圧電ポンプ | |
JP2002130137A (ja) | 圧電ポンプ | |
JP2008180104A (ja) | ダイヤフラムポンプ | |
JP2008101495A (ja) | ダイヤフラムポンプ | |
JP5002474B2 (ja) | 圧電ポンプ | |
JP4966373B2 (ja) | ダイヤフラムポンプ | |
US20080199331A1 (en) | Piezoelectric pump | |
JP2009293507A (ja) | 圧電ポンプ | |
JP2009062947A (ja) | 液体ダイヤフラムポンプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091026 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100611 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110811 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110823 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110930 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120403 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120412 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4976202 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150420 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |