JP5002474B2 - 圧電ポンプ - Google Patents
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また、これらの圧電ポンプでは、ポンプ室へ流体を流入させる入口流路の合成イナータンス値を、ポンプ室から動作流体を流出させる出口流路の合成イナータンス値よりも小さく設定しているが、これは流入量を増大させて高出力を得ることなどを目的としていて、圧電層のクラック発生に関しては何ら示唆されておらず、クラック発生を防止するものではなかった。
<表1>
本実施形態では圧電体層12をユニモルフとしたが、バイモルフ、積層タイプであっても効果が得られる。
11 メインシム
11a 配線突起
12 積層圧電体
13b シム側電極層
13c 表面電極層
20 圧電ポンプ
21 ロアハウジング
22 ミドルハウジング
23 アッパハウジング
24 吸入ポート
25 吐出ポート
26 ドライバ回路基板
27 Oリング(環状狭着部材)
28 ガイド(環状狭着部材)
29 環状電極端子
30 吸入流路
31 吐出流路
32、33 逆止弁
A 大気室
P ポンプ室
Claims (3)
- 周縁を液密に保持した圧電振動子の表裏に、ポンプ室と大気室を形成し、該圧電振動子を振動させてポンプ作用を得る圧電ポンプにおいて、
上記圧電振動子は、導電性金属薄板からなる少なくとも一枚のシムと少なくとも一層の圧電体層との交互積層構造を有し、かつ、上記シムがポンプ室側に面していること、及び
上記ポンプ室への流体流入路及び該ポンプ室からの流体流出路にはそれぞれ逆止弁が設けられていて、上記流体流入路に設けられた逆止弁の方が上記流体流出路に設けられた逆止弁よりも流体抵抗が大きくなるように形成されていること、
を特徴とする圧電ポンプ。 - 請求項1記載の圧電ポンプにおいて、上記圧電振動子は、上記シムの大気室側の面にのみ上記圧電体層が形成されたユニモルフ型である圧電ポンプ。
- 請求項1または2記載の圧電ポンプにおいて、上記ポンプ室への流体流入路の内径は、ポンプ室からの流体流出路の内径よりも小さく形成されている圧電ポンプ。
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JP2008024734A JP5002474B2 (ja) | 2008-02-05 | 2008-02-05 | 圧電ポンプ |
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