JP2008163902A - 圧電ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】ポンプ室に溜まった空気を確実に排出でき、吐出圧力を高めることができる圧電ポンプを提供する。
【解決手段】圧電素子２１の中央部と対面するポンプ室１２の内底面に台部１６を形成し、台部１６の外周に流入口１４及び排出口１５へ通じる流路部１７を形成する。圧電素子２１を屈曲変形させると、圧電素子２１の中央部と台部１６との隙間が狭いので、台部１６の上に存在する液体が外周側の流路部１７へ押し出され、空気は流路部１７でトラップされる。さらに、ポンプ室１２の容積変化に伴い、流路部１７の液体は排出口１５へと排出され、空気も一緒に排出される。
【選択図】 図２

Description

本発明は圧電ポンプ、詳しくは圧電素子によって屈曲変形するダイヤフラムを用いた容積変化型の圧電ポンプに関するものである。

特許文献１に示すように、ポンプ本体に圧電素子を有するダイヤフラムを固定し、その間にポンプ室を形成するとともに、ポンプ本体に流入口及び排出口を設け、圧電素子を駆動することによりダイヤフラムを屈曲変位させ、流入口から液体を吸い込み、排出口から液体を吐出する圧電ポンプが知られている。圧電ポンプは小型・薄型に構成できるとともに、低消費電力であることから、ノートパソコンの冷却水循環ポンプなどとして利用可能である。

このような圧電ポンプの特性として、圧力や流量のほかに、ポンプ室に入った空気を外部に排出する能力が求められている。しかしながら、上記構造の圧電ポンプでは、ポンプ室内に一旦空気が入ると、空気がポンプ室のコーナー部などに溜まってしまい、排出口から排出されない。その結果、空気が何時までもポンプ室内に残留し、大きな吐出圧力が得られないだけでなく、空気溜まりによって流路が狭くなるので、流体抵抗が増加するなどの不具合が発生する。液体輸送システムによっては、初期状態においてポンプ室に殆ど液体が入っておらず、空気でほぼ満たされている場合がある。このような初期状態からポンプを始動したとき、速やかに液体を吸い上げて正常なポンピング動作を開始する必要があるが、従来の圧電ポンプでは、ポンプ室が完全には液体で満たされず、空気がポンプ室内に残留してしまう。

特許文献２には、ポンプ室内に突起体を設け、吸込弁から吐出弁に向かう液体の直線的な流れを乱すことによって、ポンプ室の周縁に生じる淀みをなくし、空気を吐出弁から流出させる圧電ポンプが開示されている。しかしながら、上記の突起体は、ポンプ室の中央部付近に細い筋状の突起体を複数本設けたに過ぎないので、ポンプ室内を流れる液体の方向が少し変化するだけで、空気を積極的に押し出す機能は殆ど期待できない。また、ポンプ室が空気で満たされた初期状態から、ダイヤフラムをいくら駆動しても、ポンプ室を完全に液体で満たすのは困難である。
特開２００２−２０２０６１号公報 特開２００３−１２０５４１号公報

そこで、本発明の目的は、ポンプ室に溜まった空気を確実に排出でき、吐出圧力を高めることができる圧電ポンプを提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明は、ポンプ本体と、圧電素子を有し、ポンプ本体との間でポンプ室を形成するダイヤフラムと、ポンプ室に連通する流入口及び排出口とを備え、上記圧電素子を駆動することによりダイヤフラムを屈曲変位させ、上記流入口から液体を吸い込み、上記排出口から液体を吐出する圧電ポンプにおいて、上記ダイヤフラムの中央部と対面するポンプ室の内底面に、主面の面積がポンプ室の主面の面積より小さく、かつ高さがポンプ室の高さより低い台部が設けられ、上記台部の外周とポンプ室の内周との間に、上記流入口及び排出口へ通じる液体の流路部が形成されていることを特徴とする圧電ポンプを提供する。

本発明では、ダイヤフラムの中央部と対面するポンプ室の内底面に台部が設けられているので、ダイヤフラムの中央部と台部との隙間は狭く、ダイヤフラムを屈曲変位させた時に台部の上に存在する液体が速やかに台部の外周側へ押し出される。台部の外周部には流路部が形成されており、この流路部の高さは台部とダイヤフラムとの隙間より大きいので、流路部に集められた液体はこの流路部の中を円滑に流れ、排出口へと押し出される。そのため、ポンプ室内に空気溜まりがあっても、この空気を流路部へ押し出し、さらに液体の高速流れによって液体と同時に外部へ押し流すことができるので、空気溜まりを速やかに解消することができる。その結果、空気溜まりがポンプ室に残留することに伴う圧力低下や流体抵抗の増加などの不具合を解消できる。

ポンプ室が空気でほぼ満たされた初期状態からポンプを始動したとき、空気は圧縮性流体であるため、ポンプ室内の圧力変化が小さく、ポンプ室内に液体を吸い上げることが難しい。特に、液体の液面がポンプ室より下方にある場合に吸い上げが一層困難である。しかし、本発明ではポンプ室の内底面に台部が設けられているため、ポンプ室の容積が小さくなり、ダイヤフラムの変位に伴うポンプ室の容積変化率が大きくなる。そのため、ポンプ室内に大きな圧力変化を発生させることができ、速やかに液体を吸い上げて正常なポンピング動作を開始することが可能になる。さらに、容積変化率が大きいので、逆止弁が固着している場合であっても、固着状態を破って弁を開閉しやすくなり、始動することができる。また、吸込み圧力が高いので、流入口側の液体の液面が低い位置にある場合であっても、液体を引き込んで始動することができる。

好ましい実施の形態によれば、台部をポンプ室とほぼ相似形に形成し、流路部を台部の全外周に形成した構成としてもよい。台部の形状はポンプ室と非相似形であってもよく、例えば台部の一部がポンプ室の内側壁と連続していてもよい。しかし、相似形とした場合つまり台部がポンプ室の略中央に独立して島状に形成されている場合には、台部の全外周に流路部が形成されるので、ダイヤフラムが変位した時に台部上の液体が全外周に向かって均等に流れることができ、流体抵抗を少なくすることができる。

好ましい実施の形態によれば、台部の天面はポンプ室の底面と略平行に形成されているものがよい。台部の断面形状は任意であり、その頂面が平坦状である必要はなく、例えば中央部が山高な形状であってもよいが、台部の天面をポンプ室の底面と略平行に形成した場合には、頂面がほぼ平坦であるため、ダイヤフラムが変位した時に台部上の液体は台部の外周に向かって高速で一気に流れ、流路部へ押し出すことができる。そのため、空気の排出効果が高くなる。

本発明におけるダイヤフラムとしては、金属板や樹脂板などの弾性板の片面に平面方向に伸縮する圧電素子を貼り付けたユニモルフ型を用いてもよいし、弾性板の片面にそれ自体で屈曲変形する積層型圧電素子を貼り付けたものでもよく、さらに積層型の圧電素子のみでダイヤフラムを構成してもよい。積層型圧電素子のみでダイヤフラムを構成した場合には、圧電素子の周囲を保護膜で被覆してもよい。

好ましい実施の形態によれば、ダイヤフラムは、周辺側の第１領域と、中心側の第２領域とを有し、印加される電圧により、第１領域と第２領域とが逆方向に屈曲変位する積層型圧電素子で構成してもよい。ダイヤフラムとしては、上述のように金属板などの弾性板の片面に圧電素子を貼り付けたユニモルフ構造や、複数の圧電素子を積層した積層型構造等が知られているが、いずれの構造も電圧印加時のダイヤフラムの変位量が小さく、ポンプ室の容積変化も小さいため、印加電圧を高くする必要がある。これに対し、ダイヤフラムとして周辺側の第１領域と中心側の第２領域とが逆方向に屈曲変位する圧電素子を用いれば、印加電圧が低くてもダイヤフラムの変位量を大きくでき、ポンプ室の容積変化率を高めることができる。

以上のように、本発明によれば、ダイヤフラムの中央部と対面するポンプ室の内底面に台部を設け、台部の外周部に流路部を形成したので、ダイヤフラムを屈曲変位させた時に台部の上に存在する液体を外周側へ押し出し、流路部を通って排出口へと液体を効率よく押し出すことができる。また、ポンプ室の内底面に台部が設けられているために、ポンプ室の容積が小さくなり、ダイヤフラムの変位に伴うポンプ室の容積変化率が大きくなるので、ポンプ室内に大きな圧力変化を発生させることができる。そのため、ポンプ室内に空気溜まりがあっても、この空気を流路部から排出口へと効率よく排出することができ、空気溜まりを速やかに解消することができる。その結果、空気溜まりがポンプ室に残留することに伴う圧力低下や流体抵抗の増加などの不具合を解消できる。

以下に、本発明の好ましい実施の形態を、実施例に基づいて説明する。

図１〜図４は圧電ポンプの第１実施例を示す。ここで、図１は本発明に係る圧電ポンプの第１実施例の全体平面図、図２は図１に示す圧電ポンプのII−II断面図、図３は図１に示す圧電ポンプのIII −III 断面図、図４は分解斜視図である。

この圧電ポンプＰは、ポンプ本体１０と、弾性膜２０と、ダイヤフラムの一例である圧電素子２１と、押え板３０とを備えている。ポンプ本体１０は、金属材料または樹脂材料のような高剛性材料で平板状に形成されている。ポンプ本体１０には、流入側弁室の一部を構成する凹部１１と、ポンプ室１２となる凹部と、排出側弁室を構成する凹部１３とが形成されている。流入側凹部１１とポンプ室１２との間には接続通路（流入口）１４が形成され、排出側凹部１３とポンプ室１２との間には接続通路（排出口）１５が形成されている。この実施例の接続通路１４，１５は、ポンプ室１２の対角位置近傍に設けられている。

ポンプ室１２は扁平な略直方体形状の空間であり、一方の開口面が弾性膜２０によって閉じられ、他の壁面は剛体よりなるポンプ本体１０によって囲まれている。ここではポンプ室１２を平面視略方形状としたが、円形状でもよい。ポンプ室１２の中央部、つまり圧電素子２１の中央部と対向する部分には、ポンプ室１２と相似形の台部１６が形成されており、台部１６の外周部には流路部１７が形成されている。すなわち、台部１６の外側面とポンプ室１２の内側面とポンプ本体１０の底面とによって流路部１７が構成される。台部１６の面積はポンプ室１２の面積より小さく、かつ高さがポンプ室１２の高さより低い。この実施例では、台部１６は一定高さに形成され、流路部１７は台部１６の全外周に形成されている。流路部１７は、接続通路１４を介して流入側凹部１１と連通し、接続通路１５を介して排出側凹部１３とも連通している。

台部１６の面積は特に制約はないが、外周部に形成される流路部１７の流体抵抗を所定以上に増加させない範囲でできるだけ大きな面積とするのが望ましく、例えばポンプ室１２の面積の少なくとも１／４以上、好ましくは１／２以上とするのがよい。また、台部１６の高さは、後述するように圧電素子２１が屈曲変位したときに、圧電素子２１が台部１６の上面に接触しない範囲でできるだけ高くするのがよく、例えばポンプ室１２の高さ（流路部１７の高さ）の少なくとも１／４以上、好ましくは１／２以上とするのがよい。このような構成にすると、流路部１７の流速が早くなり、より空気溜りを排出しやすくなる。

また、ポンプ室１２は、その最長辺または直径に対して、厚みが１／５０以下、１／１０００以上である偏平な空間であることが好ましい。このような偏平なポンプ室の場合、ダイヤフラムの変位に伴うポンプ室の容積変化率が大きくなるので、ポンプ室内に大きな圧力変化を発生させることができ、ポンプ室が空気でほぼ満たされた初期状態からポンプを始動したときでも、速やかに液体を吸い上げて正常なポンピング動作を開始するという優れた効果が得られる。

弾性膜２０は低ヤング率で厚さの薄い樹脂シートやゴムシート等からなり、ポンプ本体１０の上面のほぼ全面に配置され、ポンプ本体１０と押え板３０との間で接着固定されている。弾性膜２０の上面、特にポンプ室１２と対応する部位に圧電素子２１が接着されている。この実施例では、圧電素子２１の面積はポンプ室１２より大きく、圧電素子２１の外周部は弾性膜２０を介してポンプ本体１０に固定されている。弾性膜２０はポンプ室１２および弁室１１，１３からの液漏れを防止するパッキングとしての役割と、ポンプ室１２内の液体が圧電素子２１に接触するのを防止する保護シートとしての役割とを有する。弾性膜２０には、流入側凹部１１と対応する位置に開口部２０ａが形成され、排出側凹部１３と対応する位置には排出ポート２０ｂと排出側逆止弁４１とが設けられている。この排出側逆止弁４１は、ポンプ室１２から排出側弁室１３への流体の流れは許容するが、逆方向への流れを阻止するものである。

押え板３０には、圧電素子２１と対応する箇所に開口穴３１が形成されており、圧電素子２１の背面側は開放されている。押え板３０の下面、つまり弾性膜２０と対向する面には、ポンプ本体１０の流入側凹部１１とで流入側弁室を構成する凹部３２と、排出側ポートを構成する凹部３３とが形成されている。流入側凹部３２の天井面に流入ポート３４が形成され、この流入ポート３４を開閉する流入側逆止弁４０が設けられている。この流入側逆止弁４０は外部から流入側弁室１１，３２への流体の流れは許容するが、逆方向への流れを阻止するものである。排出側凹部３３の天井面に排出穴３５が形成されている。

図５は圧電素子２１の具体的構造の一例を示す。圧電素子２１は、両面に電極を形成し、全体を一様に同方向に分極した圧電セラミックスよりなる単板圧電体２１ａ，２１ｂを２枚貼り合せてバイモルフ型のアクチュエータとしたものである。貼り合せ後、図５の＋記号の電極同士が導通し、−記号の電極同士が導通するように電極が引き出されている。層間の電極および表面の電極は、それぞれ中心電極２２ａ〜２２ｃと周辺電極２３ａ〜２３ｃとに分割されている。中心電極２２ａ〜２２ｃの領域が第１領域Ｓ１、周辺電極２３ａ〜２３ｃの領域が第２領域Ｓ２となっており、第１領域Ｓ１と第２領域Ｓ２とで分極方向（矢印で示す）は同一方向となっている。この実施例では、中心電極２２ａ〜２２ｃの面積と、周辺電極２３ａ〜２３ｃの面積とはほぼ等しく設定されているが、中心電極２２ａ〜２２ｃと周辺電極２３ａ〜２３ｃの面積比率は任意に変更できる。図５に正負記号で示すように電圧を印加すれば、第２領域Ｓ２は上に凸に変形し、第１領域Ｓ１は下に凸に変形する。電圧を反転すれば、第２領域Ｓ２は下に凸に変形し、第１領域Ｓ１は上に凸に変形する。このように圧電素子２１に交番電圧を印加すると、第１領域Ｓ１と第２領域Ｓ２とが逆方向に変形するので、圧電素子２１の中央部に両領域Ｓ１，Ｓ２の変位量の和に相当する大きな変位が得られる。

上記のように圧電素子２１の外周部は、弾性膜２０を挟んでポンプ本体１０に対向した位置に接着されているため、圧電素子２１の外周部は実質的に固定支持された構造になっている。上記のように、圧電素子２１の周辺領域と中心領域とが逆方向に変形できる構造となっているので、外周部が固定支持された構造であっても、充分に大きな変形を行うことができる。したがって、ポンプ室１２の体積を大きく増減させることができ、最大排除体積が大きくなる。

上記構造の圧電ポンプＰにおいて、ポンプ室１２に入った空気を外部に排出する動作を図６を用いて説明する。図６の（ａ）は、ポンプ室１２の内部がほぼ液体で満たされており、一部に空気Ａが入っている状態を示す。図６の（ｂ）は圧電素子を駆動してポンプ室１２に容積変化を起こさせた状態を示す。ポンプ室１２の中央部に台部１６が設けられ、圧電素子の中央部と台部１６との隙間は狭いので、圧電素子を屈曲変位させた時に台部１６の上に存在する液体が外周側へ押し出され、空気Ａは小さな気泡Ａ１に分断されて隙間の大きな流路部１７でトラップされる。さらに、圧電素子の動作に伴ってポンプ室１２が容積変化を起こすと、図６の（ｃ）のように外周の流路部１７に集められた液体は矢印方向に高速で流れるので、気泡Ａ１も液体と一緒に排出口１５より排出される。そのため、空気溜まりを速やかに解消することができる。なお、上記では、台部１６上に空気Ａが存在していた場合をもとに説明したが、通常、空気は隙間の大きいところに集まるので、図６の（ａ）のように台座上に空気が残留している場合よりも、最初からもともと図６の（ｂ）のように流路部に空気トラップされて残留している場合が多い。が、このような場合であっても、本発明のような台部１６を設けることによって、圧電素子が屈曲変位した場合には、台部１６上の液体が流路部１６に高速で流れ込み、流路部１６の高速な液体の流れが生じるため、いずれの場合であっても、もともと図６（ｂ）の隙間などに存在していた空気も効率よく空気を排出することができる。

図６に示すように、ポンプ室１２の一部に空気Ａが入っている場合だけでなく、ポンプ室１２に殆ど液体が入っておらず、空気で満たされている初期状態からポンプＰを始動する場合がある。この場合も、速やかに液体を吸い上げて正常なポンピング動作を開始する必要があるが、本発明の圧電ポンプＰでは、ポンプ室１２の内面に台部１６が設けられているため、ポンプ室１２の容積が小さくなり、圧電素子２１の変位に伴うポンプ室１２の容積変化率が大きくなる。そのため、ポンプ室１２内に大きな圧力変化を発生させることができ、速やかに液体を吸い上げて正常なポンピング動作を開始することが可能になる。

本実施例では、次のような寸法の圧電ポンプＰを製作し、圧電素子を±６０Ｖとなるような矩形波（駆動周波数３０Ｈｚ）で駆動したところ、ポンプ室内部に空気が入っても速やかに排出することができ、良好なポンピング動作が得られた。なお、印加電圧は矩形波に限らず、正弦波でも同様な結果が得られる。
ポンプ室：２０ｍｍ×２０ｍｍ×０．２ｍｍ
台部：１６ｍｍ×１６ｍｍ×０．１ｍｍ
流路部：幅４ｍｍ、高さ０．２ｍｍ
圧電素子：２１ｍｍ×２１ｍｍ×０．３ｍｍ，材料：ＰＺＴ
弾性膜：厚さ１２μｍの樹脂フィルム
上記の場合には、台部１６の面積はポンプ室１２の６４％であり、台部１６の高さはポンプ１２の５０％である。台部１６によってポンプ室１２の容積は約３２％減少している。

図７は圧電素子の第２実施例を示す。この圧電素子２１Ａも、第１実施例（図５参照）と同様に圧電セラミックスよりなる単板圧電体２１ａ，２１ｂを２枚貼り合せてバイモルフ型アクチュエータとしたものである。層間の電極および表面の電極は図５の例と同じであり、分極方向だけが異なる。つまり、同一圧電体層内における第１領域Ｓ１と第２領域Ｓ２との分極方向（矢印で示す）は逆方向で、かつ２つの圧電体層２１ａ，２１ｂは同一方向に分極されている。図７に正負記号で示すように、層間の電極と表面の電極との間に交番電圧を印加すれば、第１実施例と同様に第１領域Ｓ１と第２領域Ｓ２で逆方向に屈曲変位させることができる。この実施例では、駆動時に面内が同電位になるので、マイグレーションによるショートの危険が少ない。また、各電極間の導通が簡単である。駆動時に最外面をグランドにすることもできる。

図８は圧電素子の第３実施例を示す。この実施例の圧電素子２１Ｂは、分極方向および表面の電極の構造は第２実施例と同様であるが、層間の電極２４が連続したべた電極である点が異なる。つまり、層間の電極２４は、第１領域Ｓ１と第２領域Ｓ２とにまたがるべた電極としても、表面の電極２２ａ，２３ａおよび２２ｃ，２３ｃが分割電極であれば、適切に分極処理を行うことができ、かつ駆動時に図８に正負記号で示すように電圧を印加することで、第１領域Ｓ１と第２領域Ｓ２を逆方向に屈曲変位させることができる。

図９は圧電素子の第４実施例を示す。この実施例の圧電素子２１Ｃは、第３実施例のさらに変形例であり、分極方向および表面の電極の構造は第２実施例と同様であるが、表面の電極２５，２６が連続したべた電極である点が異なる。この場合も、層間の電極２２ｂ，２３ｂが分割電極であるため、表面の電極２５，２６が連続したべた電極であっても、適切に分極処理を行うことができ、かつ駆動時に図９に正負記号で示すように電圧を印加することで、第１領域Ｓ１と第２領域Ｓ２を逆方向に屈曲変位させることができる。

図５，図７〜図９に示す圧電素子では、その外周端部まで第２領域Ｓ２が延びている例を示したが、外周端部でかつ第２領域Ｓ２より外側に、電圧印加しても変位しない中性領域を形成し、この中性領域をポンプ本体に固定してもよい。さらに、圧電素子は２枚の単板圧電体を貼り合わせたものに限らず、２層の圧電体を積層した後、焼成した積層構造体でもよい。さらに、積層数は２層に限らず、３層以上でもよい。

図１０は本発明にかかる台部の変形例を示す。第１実施例と同一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。図１０の（ａ）は台部１６の中央部上面が山高な凸曲面状としたもの、図１０の（ｂ）は台部１６全体をなだらかな山状としたもの、図１０の（ｃ）は台部１６の外周がポンプ室１２の内周面まで拡がった山状としたものである。このように台部１６の上面は平坦である必要はない。

図１１は本発明にかかるポンプ室の変形例を示す。なお、第１実施例と同一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。ポンプ室１２は平面視円形状とされ、その流入口１４および排出口１５が同一方向に隣接して設けられている。台部１６の一部（流入口１４と流出口１５との間にある部分）１６ａがポンプ室１２の内側壁に繋がっており、流路部１７は台部１６の部分１６ａによって遮断されている。この場合には、流入口１４から入った液体がＣ字状の流路部１７を通って排出口１５から排出される。

本発明は上記実施例に限定されるものではなく、種々変更が可能である。上記実施例では、台部をポンプ本体に一体に形成した例を示したが、台部をポンプ本体と別部品で形成し、これをポンプ室の底面上に固定してもよい。また、ポンプ室の流入口および排出口の位置は、実施例のような対角位置や隣接位置に限らず、任意の位置に設定できる。また、台部および流路部の形状も任意である。

本発明のダイヤフラムは、圧電素子のみで構成したものに限らず、金属板や樹脂板などの弾性板に圧電素子を貼り付けた構造であってもよい。要するに、電圧印加によって屈曲変形し、ポンプ室の容積変化をもたらすものであればよい。本発明の圧電ポンプは小型・低背であるため、携帯機器等の冷却水循環ポンプや燃料電池の燃料供給用ポンプ等として有効であるが、これらの用途に限るものではない。

本発明に係る圧電ポンプの第１実施例の平面図である。 図１に示す圧電ポンプのII−II線断面図である。 図１に示す圧電ポンプのIII −III 線断面図である。 図１に示す圧電ポンプの分解斜視図である。 図１に示す圧電ポンプに用いられる圧電素子の概略断面図である。 本発明に係る圧電ポンプの空気を排出する原理を示す断面図である。 圧電素子の第２実施例の概略断面図である。 圧電素子の第３実施例の概略断面図である。 圧電素子の第４実施例の概略断面図である。 本発明にかかる圧電ポンプの台部の変形例を示す断面図である。 本発明にかかる圧電ポンプのポンプ室の変形例を示す断面図である。

符号の説明

Ｐ 圧電ポンプ
１０ ポンプ本体
１１ 流入側凹部
１２ ポンプ室
１３ 排出側凹部
１４ 接続通路（流入口）
１５ 接続通路（排出口）
２０ 弾性膜
２１ 圧電素子（ダイヤフラム）
３０ 押え板
４０ 流入側逆止弁
４１ 排出側逆止弁

Claims (4)

1. ポンプ本体と、圧電素子を有しポンプ本体との間でポンプ室を形成するダイヤフラムと、ポンプ室に連通する流入口及び排出口とを備え、上記圧電素子を駆動することによりダイヤフラムを屈曲変位させ、上記流入口から液体を吸い込み、上記排出口から液体を吐出する圧電ポンプにおいて、
   上記ダイヤフラムの中央部と対面するポンプ室の内底面に、主面の面積がポンプ室の主面の面積より小さく、かつ高さがポンプ室の高さより低い台部が設けられ、
   上記台部の外周とポンプ室の内周との間に、上記流入口及び排出口へ通じる液体の流路部が形成されていることを特徴とする圧電ポンプ。
2. 上記台部の形状はポンプ室とほぼ相似形に形成されており、上記流路部は上記台部の全外周に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電ポンプ。
3. 上記台部の天面はポンプ室の底面と略平行に形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の圧電ポンプ。
4. 上記ダイヤフラムは、中心側の第１領域と、周辺側の第２領域とを有し、印加される電圧により、上記第１領域と上記第２領域とが逆方向に屈曲変位する積層型圧電素子で構成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧電ポンプ。

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