JP5003154B2 - 圧電ポンプ - Google Patents
圧電ポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5003154B2 JP5003154B2 JP2006356355A JP2006356355A JP5003154B2 JP 5003154 B2 JP5003154 B2 JP 5003154B2 JP 2006356355 A JP2006356355 A JP 2006356355A JP 2006356355 A JP2006356355 A JP 2006356355A JP 5003154 B2 JP5003154 B2 JP 5003154B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- pump chamber
- piezoelectric
- piezoelectric element
- diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
Description
ポンプ室:20mm×20mm×0.2mm
台部:16mm×16mm×0.1mm
流路部:幅4mm、高さ0.2mm
圧電素子:21mm×21mm×0.3mm,材料:PZT
弾性膜:厚さ12μmの樹脂フィルム
上記の場合には、台部16の面積はポンプ室12の64%であり、台部16の高さはポンプ12の50%である。台部16によってポンプ室12の容積は約32%減少している。
10 ポンプ本体
11 流入側凹部
12 ポンプ室
13 排出側凹部
14 接続通路(流入口)
15 接続通路(排出口)
20 弾性膜
21 圧電素子(ダイヤフラム)
30 押え板
40 流入側逆止弁
41 排出側逆止弁
Claims (4)
- 凹部を有するポンプ本体と、この凹部を閉じるようにポンプ本体に固定され、外面に圧電素子を有し、上記凹部との間でポンプ室を形成するダイヤフラムと、上記ポンプ室に連通する流入口及び排出口とを備え、上記圧電素子を駆動することによりダイヤフラムを屈曲変位させ、上記流入口から液体を吸い込み、上記排出口から液体を吐出する圧電ポンプにおいて、
上記ダイヤフラムの中央部と対面する上記凹部の底面に、主面の面積がポンプ室の主面の面積より小さく、かつ高さが上記凹部の高さより低い台部が上記ダイヤフラムに向かって突設され、
上記台部の外周と上記凹部の内周との間に、上記流入口及び排出口へ通じる液体の流路部が形成されていることを特徴とする圧電ポンプ。 - 上記台部の外周形状は上記凹部の内周形状とほぼ相似形に形成されており、上記流路部は上記台部の全外周に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電ポンプ。
- 上記台部の天面は上記凹部の底面と略平行に形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧電ポンプ。
- 上記ダイヤフラムの圧電素子は、中心側の第1領域と、周辺側の第2領域とを有し、印加される電圧により、上記第1領域と上記第2領域とが逆方向に屈曲変位する積層型圧電素子で構成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の圧電ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006356355A JP5003154B2 (ja) | 2006-12-28 | 2006-12-28 | 圧電ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006356355A JP5003154B2 (ja) | 2006-12-28 | 2006-12-28 | 圧電ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008163902A JP2008163902A (ja) | 2008-07-17 |
JP5003154B2 true JP5003154B2 (ja) | 2012-08-15 |
Family
ID=39693680
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006356355A Active JP5003154B2 (ja) | 2006-12-28 | 2006-12-28 | 圧電ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5003154B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11333144B2 (en) | 2019-02-20 | 2022-05-17 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Piezoelectric pump and liquid ejection device |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5169693B2 (ja) * | 2008-09-29 | 2013-03-27 | 株式会社村田製作所 | 圧電ポンプ |
WO2010035862A1 (ja) | 2008-09-29 | 2010-04-01 | 株式会社村田製作所 | 圧電ポンプ |
CN113710896A (zh) * | 2019-06-03 | 2021-11-26 | 索尼集团公司 | 流体控制装置及电子设备 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0354383A (ja) * | 1989-07-20 | 1991-03-08 | Olympus Optical Co Ltd | 圧電式ポンプ |
JP2005307876A (ja) * | 2004-04-22 | 2005-11-04 | Seiko Instruments Inc | ダイアフラムポンプ |
-
2006
- 2006-12-28 JP JP2006356355A patent/JP5003154B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11333144B2 (en) | 2019-02-20 | 2022-05-17 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Piezoelectric pump and liquid ejection device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008163902A (ja) | 2008-07-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101033077B1 (ko) | 압전 펌프 | |
JP4858546B2 (ja) | 圧電バルブ | |
JP4793442B2 (ja) | マイクロポンプ | |
JP5027930B2 (ja) | 安全弁を含むポンプ装置 | |
JP4873014B2 (ja) | 圧電マイクロブロア | |
JP5012889B2 (ja) | 圧電マイクロブロア | |
JP4531563B2 (ja) | 蠕動マイクロポンプ | |
JP5170250B2 (ja) | 圧電ポンプ | |
US8454327B2 (en) | Piezoelectric micropump | |
JP2009074418A (ja) | 圧電マイクロポンプ | |
JP5003154B2 (ja) | 圧電ポンプ | |
US8210831B2 (en) | Piezoelectric pump | |
JP2010242501A (ja) | 圧電ポンプ | |
JP4957501B2 (ja) | 圧電マイクロブロア | |
JP2009079482A (ja) | 圧電ポンプ | |
JP2007278236A (ja) | マイクロポンプ | |
JP2007198147A (ja) | ダイヤフラムポンプ | |
JP3418564B2 (ja) | マイクロポンプの駆動方法 | |
KR102275106B1 (ko) | 폴리염화비닐 겔 기반의 마이크로 펌프 | |
JP2009150329A (ja) | 圧電ポンプ | |
JP4497021B2 (ja) | 圧電ダイヤフラムポンプ | |
KR100719625B1 (ko) | 부양 박판 체크밸브 | |
JP5002474B2 (ja) | 圧電ポンプ | |
JP4966373B2 (ja) | ダイヤフラムポンプ | |
KR20160090036A (ko) | 다이어프램 펌프와 작동제어방법. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090602 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110726 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110823 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111013 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120424 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120507 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150601 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5003154 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |