JP5863705B2 - 静電トランス - Google Patents
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Description
対向する位置に設けた第2の固定電極と、前記第1の固定電極と前記第2の固定電極により挟まれた空間内に、可撓性部材を介して変位自在に支持されている可動電極と、前記可動電極の電極面上に設けた永久帯電膜、または、前記第1の固定電極および前記第2の固定電極にそれぞれ設けた永久帯電膜とを備えた静電トランスであって、前記第1の固定電極と前記可動電極の間に印加する交流入力電圧に応じて前記可動電極の位置を変位させ、前記第2の固定電極に誘起される電荷の変化に対応した交流出力電圧を取り出す際に、前記交流入力電圧と前記交流出力電圧の比を、前記第1の固定電極および前記可動電極とにより構成される入力側静電アクチュエータの電気機械結合係数と、前記第2の固定電極および前記可動電極とにより構成される出力側静電アクチュエータの電気機械結合係数の比に基づいて決定する、ことを特徴とするものである。
請求項2に係る静電トランスは、請求項1に記載の静電トランスにおいて、前記可動電極における電極面のうち、前記第1の固定電極に対向している側の電極面は、前記第1の固定電極と前記可動電極との間の距離を変化させるための平板電極構造、および、前記第1の固定電極と平行に前記可動電極の位置を変位させるための櫛歯状電極構造、のいずれか一方を有することを特徴とする。
請求項3に係る静電トランスは、請求項2に記載の静電トランスにおいて、前記可動電極は、絶縁層と、前記絶縁層における一方の面側に形成された第1の導電層と、前記絶縁層における他方の面側に形成された第2の導電層とを備えており、前記交流入力電圧は、前記第1の固定電極と前記第1の導電層の間に印加され、前記交流出力電圧は、前記第2の固定電極と前記第2の導電層との間から取り出される、ことを特徴とする。
請求項4に係る静電トランスは、請求項2または3に記載の静電トランスにおいて、前記可動電極における電極面のうち、前記第1の固定電極に対向している側の電極面として、前記第1の固定電極と前記可動電極との間の距離を変化させる平板電極構造を有し、前記第2の固定電極は櫛歯状電極であって、前記可動電極における電極面のうち前記第2の固定電極に対向している側の電極面は、前記第2の固定電極の櫛歯状電極の凹部と所定の間隔をもって嵌合する櫛歯状凸部を有することを特徴とする。
請求項5に係る静電トランスは、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の静電トランスにおいて、前記第1の固定電極と前記可動電極により挟まれている空間内に第1の高誘電率層を配置し、且つ、前記第2の固定電極と前記可動電極により挟まれている空間内に第2の高誘電率層を配置することを特徴とする。
請求項6に係る静電トランスは、請求項2または3に記載の静電トランスにおいて、前記可動電極における電極面のうち、前記第1の固定電極に対向している側の電極面として、前記第1の固定電極と平行に前記可動電極の位置を変位させるための櫛歯状電極構造を有し、前記第2の固定電極は櫛歯状電極であって、前記可動電極における電極面のうち前記第2の固定電極に対向している側の電極面は、前記第2の固定電極の櫛歯状電極に対向した所定形状の櫛歯状電極を有することを特徴とする。
請求項7に係る静電トランスは、請求項6に記載の静電トランスにおいて、前記第2の固定電極における櫛歯電極のピッチを可変設定することにより、前記交流出力電圧の周波数を可変設定することを特徴とする。
図1は、実施の形態1により製造した静電トランスの平面図(A)および断面図(B)を示している。なお、平面図(A)内に描いてある破線は、断面図(B)に示してある可動電極6と、永久帯電膜であるエレクトレット8および10と、導電性を有する可撓性部材であるスプリング16Aおよび16Bと、絶縁スペーサ12A,12Bおよび14A,14Bの位置関係を明示したものである。
ここで、機械抵抗rfについては、共振が成立しているとして、Zm=rfとする。
また、式(3)により示されている効率ηから明らかなように、機械抵抗rf=0となるときには、η=100%となる。したがって、先に述べた通り、可動電極6を真空封止しておくのが好適である。
図3は、実施の形態1における変形例1の静電トランス平面図(A)および断面図(B)を示している。先に説明した図1の構成は、可動電極6を共通電位とした3端子型の静電トランスであるが、ここで説明する静電トランスは、可動電極の内部に絶縁層を設けることにより、入力側と出力側をアイソレートしている。すなわち、図3(B)に示すように、可動電極6Aと可動電極6Bの間に内部絶縁層18を設けてある。
図4は、実施の形態1における変形例2の静電トランス平面図(A)および断面図(B)を示している。先に説明した図1(B)の構成では、可動電極6の両電極面にエレクトレット8,10を設けてあるが、ここで説明する静電トランスは、エレクトレット10の替わりに、櫛歯状のエレクトレット34を設けてある。すなわち、図4(B)に示されている可動電極30は、可動電極自体の形状を単なる平板(図1(B)の可動電極6)とするのではなく、入力側固定電極2に対向する電極面のみを平板とし、出力側固定電極4Aに対向する電極面には櫛歯状の凸部を設けてある。
図5は、実施の形態1における変形例3の静電トランス平面図(A)および断面図(B)を示している。本図に示す静電トランスは、先に説明した図4(B)の出力側固定電極4Aと異なり、1つの櫛歯状凸部の側面に、さらに複数の凸部および凹部を設けてある。すなわち、先に図4(B)で説明した出力側固定電極4Aの凸部(=櫛歯)と異なり、本図における出力側固定電極4Bの凸部側面は、Z軸方向の位置が変化するのに伴って、凹凸(=X軸方向への凹凸)を繰り返している。
図6は、実施の形態1における変形例4の静電トランス平面図(A)および断面図(B)を示している。本図に示す静電トランスは、先に説明した図1の静電トランスを4端子型とするとために、可動電極内に内部絶縁層18(図3参照)を設け、且つ、静電容量を増加させるために高誘電率層50A,50Bを挿入したものである。
図7は、実施の形態2により製造した静電トランスの平面図(A)および断面図(B)を示している。ここで説明する実施の形態2は、これまで説明してきた実施の形態1と異なり、可動電極6が横方向(=X軸方向)に振動する。この振動を実現するために、入力側静電アクチュエータおよび出力側静電アクチュエータの固定電極表面および可動電極表面には縞状の凹凸部(いわゆる突極)が設けられている。
図8は、実施の形態2における変形例1を説明する図である。本図の(A)は、図7(B)に示されている出力側固定電極4Cの凸部を拡大したものである。これに対して、ここで述べる実施の形態2における変形例1では、本図の(B)に示すように、一つの凸部がさらに複数の櫛部に分かれている。
図9は、実施の形態3により製造した静電トランスの平面図(A)および断面図(B)を示している。ここで説明する静電トランスは、水平方向(=X軸方向)と垂直方向
両方に振動するタイプの構成例である。例えば図1に示した静電トランスの場合、振動方向は原則上下(=Z軸方向)の一軸であり、図7に示した静電トランスの場合、振動方向は左右(=X軸方向)の一軸である。これら静電トランスは、それぞれ少なくとも1種類の共振モードを有し、静電トランスとしては、主にその共振周波数を利用している。
以下に、本発明を実施することにより生じる作用あるいは効果を列挙する。
(1)構造がシンプルであり、アセンブリによる作製が可能である。
(2)大サイズの静電トランスが作製可能であり、微細化する必要がない。
(3)衝撃に強い材質を選択することができる。
(4)振動量を増加させ易いバネ材質を選択することができる。
これらにより、製造コストの上昇を招来することなく、出力の大きな静電トランスを実現することができる。
・構造が複雑である。
・シリコンウェハのサイズとMEMS製造装置の性能にサイズや微細度が制約される。
・Siベースの材質を用いた場合、Siは脆性材料のため衝撃に弱い恐れがある。
・振動量に限界があり、信号のダイナミックレンジに制限がある。
といった問題点を回避することができる。
実施の形態と変形例の一つとを組み合わせること、もしくは、実施の形態と変形例の複数とを組み合わせることも可能である。
変形例同士をどのように組み合わせることも可能である。
さらに、本発明の技術的思想の範囲内で考えられる他の形態についても、本発明の範囲内に含まれる。
4 出力側固定電極
6 可動電極
8,10 エレクトレット
12A,12B,14A,14B 絶縁スペーサ
16A,16B スプリング
18 内部絶縁層
RL 負荷抵抗
Amp ボルテージフォロア
Claims (7)
- 第1の固定電極と、
前記第1の固定電極と対向する位置に設けた第2の固定電極と、
前記第1の固定電極と前記第2の固定電極により挟まれた空間内に、可撓性部材を介して変位自在に支持されている可動電極と、
前記可動電極の電極面上に設けた永久帯電膜、または、前記第1の固定電極および前記第2の固定電極にそれぞれ設けた永久帯電膜とを備えた静電トランスであって、
前記第1の固定電極と前記可動電極の間に印加する交流入力電圧に応じて前記可動電極の位置を変位させ、前記第2の固定電極に誘起される電荷の変化に対応した交流出力電圧を取り出す際に、
前記交流入力電圧と前記交流出力電圧の比を、前記第1の固定電極および前記可動電極とにより構成される入力側静電アクチュエータの電気機械結合係数と、前記第2の固定電極および前記可動電極とにより構成される出力側静電アクチュエータの電気機械結合係数の比に基づいて決定する、ことを特徴とする静電トランス。 - 請求項1に記載の静電トランスにおいて、
前記可動電極における電極面のうち、前記第1の固定電極に対向している側の電極面は、
前記第1の固定電極と前記可動電極との間の距離を変化させるための平板電極構造、および、前記第1の固定電極と平行に前記可動電極の位置を変位させるための櫛歯状電極構造、のいずれか一方を有することを特徴とする静電トランス。 - 請求項2に記載の静電トランスにおいて、
前記可動電極は、
絶縁層と、前記絶縁層における一方の面側に形成された第1の導電層と、前記絶縁層における他方の面側に形成された第2の導電層とを備えており、
前記交流入力電圧は、前記第1の固定電極と前記第1の導電層の間に印加され、
前記交流出力電圧は、前記第2の固定電極と前記第2の導電層との間から取り出される、ことを特徴とする静電トランス。 - 請求項2または3に記載の静電トランスにおいて、
前記可動電極における電極面のうち、前記第1の固定電極に対向している側の電極面として、前記第1の固定電極と前記可動電極との間の距離を変化させる平板電極構造を有し、
前記第2の固定電極は櫛歯状電極であって、
前記可動電極における電極面のうち前記第2の固定電極に対向している側の電極面は、前記第2の固定電極の櫛歯状電極の凹部と所定の間隔をもって嵌合する櫛歯状凸部を有することを特徴とする静電トランス。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の静電トランスにおいて、
前記第1の固定電極と前記可動電極により挟まれている空間内に第1の高誘電率層を配置し、且つ、前記第2の固定電極と前記可動電極により挟まれている空間内に第2の高誘電率層を配置することを特徴とする静電トランス。 - 請求項2または3に記載の静電トランスにおいて、
前記可動電極における電極面のうち、前記第1の固定電極に対向している側の電極面として、前記第1の固定電極と平行に前記可動電極の位置を変位させるための櫛歯状電極構造を有し、
前記第2の固定電極は櫛歯状電極であって、
前記可動電極における電極面のうち前記第2の固定電極に対向している側の電極面は、前記第2の固定電極の櫛歯状電極に対向した所定形状の櫛歯状電極を有することを特徴とする静電トランス。 - 請求項6に記載の静電トランスにおいて、
前記第2の固定電極における櫛歯電極のピッチを可変設定することにより、前記交流出力電圧の周波数を可変設定することを特徴とする静電トランス。
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