JP5974493B2 - 圧電ポンプ、圧電ポンプの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、圧電素子を駆動源とした圧電ポンプ及び圧電ポンプの製造方法に関するものである。

近時、小型で高精度のポンプの駆動源として圧電素子が用いられている。ポンプ駆動源用の圧電素子としては、比較的低い電圧で駆動でき、圧電素子の中央部で大きな変位量を得ることができ、さらに経時的に特性が劣化しないものが求められている。
これらの要求を満たすものとして例えば特許文献１には、ポンプ駆動源用の圧電素子が開示されている。

図１４は、特許文献１の圧電素子９１０の外観斜視図である。図１５は、図１４に示す圧電体９０の分解斜視図である。図１６は、図１４に示す圧電素子９１０の各層の分極状態を示す圧電素子９１０の概略断面図である。図１７（Ａ）は、図１４に示す圧電素子９１０の駆動電圧印加時の各層の伸縮状態を示す圧電素子９１０の概略断面図である。図１７（Ｂ）は、図１４に示す圧電素子９１０の駆動電圧印加時の側面図である。

圧電素子９１０は、図１４に示すように、圧電体９０と、圧電体９０の一方の側面に順番に形成された第１電極端子９１１、第２電極端子９１２、及び第３電極端子９１３とを備える。圧電体９０は、図１５に示すように、複数の圧電体層９０Ａ〜９０Ｈと電極とが積層されてなる。

最上層の圧電体層９０Ａの表面には、矩形のグランド電極９２１が形成されている。グランド電極９２１は、第２電極端子９１２に引き出されている。

その次の圧電体層９０Ｂの表面には、中央部に円形の中心電極９２４が形成され、その周囲に環状の周辺電極９２５が形成されている。中心電極９２４は、第３電極端子９１３に引き出され、周辺電極９２５は、第１電極端子９１１に引き出されている。

その次の圧電体層９０Ｃの表面には、矩形のグランド電極９２１が形成されている。グランド電極９２１は、第２電極端子９１２に引き出されている。

その次の圧電体層９０Ｄの表面には、中央部に円形の中心電極９２４が形成され、その周囲に環状の周辺電極９２５が形成されている。中心電極９２４は、第３電極端子９１３に引き出され、周辺電極９２５は、第１電極端子９１１に引き出されている。

その次の圧電体層９０Ｅの表面には、矩形のグランド電極９２１が形成されている。グランド電極９２１は、第２電極端子９１２に引き出されている。

その次の圧電体層９０Ｆの表面には、中央部に円形の中心電極９２４が形成され、その周囲に環状の周辺電極９２５が形成されている。中心電極９２４は、第１電極端子９１１に引き出され、周辺電極９２５は、第３電極端子９１３に引き出されている。

その次の圧電体層９０Ｇの表面には、矩形のグランド電極９２１が形成されている。グランド電極９２１は、第２電極端子９１２に引き出されている。

その次の圧電体層９０Ｈの表面には、中央部に円形の中心電極９２４が形成され、その周囲に環状の周辺電極９２５が形成されている。中心電極９２４は、第１電極端子９１１に引き出され、周辺電極９２５は、第３電極端子９１３に引き出されている。また、圧電体層９０Ｈの裏面には、矩形のグランド電極９２１が形成されている。そして、そのグランド電極９２１は、第２電極端子９１２に引き出されている。

そして、複数の圧電体層９０Ａ〜９０Ｈの中央部と中央部の周囲の周辺部とは、第１電極端子９１１、第２電極端子９１２、第３電極端子９１３に直流電圧を印加することにより、図１６に示すように互いに逆方向に分極される。また、圧電体層９０Ａ〜９０Ｄと、圧電体層９０Ｅ〜９０Ｈとにおいて、分極の繰り返し順序が逆になっている。

このように構成されているため、圧電素子９１０は、第１〜第３電極端子９１１〜９１３に対して交流の駆動電圧が印加されると、図１７（Ａ）に示すように、ある時点において、圧電体層９０Ａ〜９０Ｄの中央部は収縮し、圧電体層９０Ａ〜９０Ｄの周辺部は伸張する。一方、圧電体層９０Ｅ〜９０Ｈの中央部は伸張し、圧電体層９０Ｅ〜９０Ｈの周辺部は収縮する。
この結果、圧電素子９１０は駆動時、図１７（Ｂ）に示すように、中央部が下方向に屈曲変位し、周辺部が中央部と逆の上方向に屈曲変位する。

そして、交流の駆動電圧の極性が変わると、圧電素子９１０は、図１７（Ａ）（Ｂ）に示したのとは反対の挙動を示す。すなわち、圧電体層９０Ａ〜９０Ｄの中央部は伸張し、圧電体層９０Ａ〜９０Ｄの周辺部は収縮する。一方、圧電体層９０Ｅ〜９０Ｈの中央部は収縮し、圧電体層９０Ｅ〜９０Ｈの周辺部は伸張する。
この結果、圧電素子９１０は駆動時、中央部が上方向に屈曲変位し、周辺部が下方向に屈曲変位する。

国際公開第２００８／００７６３４号パンフレット

前記の構造からなる圧電素子９１０は例えば、図１８（Ａ）に示すような圧電ポンプ９００の駆動源として用いられる。
図１８（Ａ）は、図１４に示す圧電素子９１０をポンプ筐体９３０上に実装した圧電ポンプ９００の外観斜視図である。図１８（Ｂ）は、図１８（Ａ）のＶ−Ｖ線における断面図である。

圧電ポンプ９００は、図１８（Ｂ）に示すように、圧電素子９１０と、ダイヤフラム９２０と、ポンプ筐体９３０と、金属板９４１〜９４３とを備える。

ポンプ筐体９３０は、当該ポンプ室９４５へ流体が流入する流入孔９３１と、当該ポンプ室９４５から流体が流出する流出孔９３２と、が形成されている。また、ポンプ筐体９３０は、一方主面が開口しており、その開口部分を覆うようにダイヤフラム９２０の一方の主面が接合されている。これにより、ポンプ筐体９３０は、ダイヤフラム９２０とともにポンプ室９４５を構成している。

また、ダイヤフラム９２０の他方の主面には圧電素子９１０が取り付けられている。ここで、圧電素子９１０がダイヤフラム９２０に取り付けられた後、圧電素子９１０の厚み方向主面から、圧電素子９１０の第１〜第３端子９１１〜９１３に被さるように、圧電素子９１０と交流電源とを導通させる金属板９４１〜９４３が取り付けられる。

駆動電源である交流電源の一方の端子が金属板９４２を経由して第２電極端子９１２に接続され、交流電源の他方の端子が金属板９４１、９４３を経由して第１電極端子９１１及び第３電極端子９１３に接続される。そして、第１〜第３電極端子９１１〜９１３に駆動電圧が印加されると、圧電素子９１０が屈曲することに伴ってダイヤフラム９２０が変位し、圧電ポンプ９００が駆動される。

しかしながら、図１８（Ｂ）に示すように、圧電素子９１０の厚み方向主面から金属板９４１〜９４３が第１〜第３電極端子９１１〜９１３を被さるように取り付けられるため、圧電ポンプ９００が金属板９４１〜９４３の厚み分厚くなるという問題がある。

また、圧電ポンプ９００では、圧電素子９１０をポンプ筐体９３０上に実装した後に、さらに金属板９４１〜９４３を圧電素子９１０の第１〜第３電極端子９１１〜９１３に取り付けるという製造工程を組む必要があった。このため、製造工程が複雑化するという問題がある。

そこで本発明は、低背化と製造工程のスリム化を図った圧電ポンプ及び圧電ポンプの製造方法を提供することを目的とする。

本発明の圧電ポンプは、前記課題を解決するために以下の構成を備えている。

（１）導体パターンが形成された圧電体層を積層した圧電体で構成されている圧電素子であって、
前記導体パターンに導通する電極端子への電圧印加に応じて伸縮する中央部と、前記中央部より外側に位置し、前記電極端子への電圧印加に応じて前記中央部と逆位相で伸縮する周辺部と、前記周辺部より外側に位置する非駆動の外周部とを有し、前記電極端子が前記圧電体の一方の主面における前記外周部に設けられ、前記中央部および前記周辺部の伸縮により屈曲する圧電素子と、
前記圧電素子の前記電極端子側の主面に接合されているダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムの前記圧電素子とは逆側の主面に接合されたポンプ筐体と、を備え、
前記ポンプ筐体には、配線が埋設されており、
前記ダイヤフラムには、前記電極端子に対応する領域が除去領域として除去されており、
前記圧電素子の前記電極端子は、前記ダイヤフラムの前記除去領域を介して前記ポンプ筐体の前記配線に接続されている。

この構成では、ダイヤフラムが圧電素子の電極端子側の主面に接合され、圧電素子の電極端子がポンプ筐体の配線に接続されている。すなわち、この構成の圧電ポンプは、圧電素子の上方から金属板を第１〜第３電極端子におのおの被せて取り付ける構造の圧電ポンプと異なり、圧電素子の下方から配線が電極端子に接続する構造となっている。そのため、この構成の圧電ポンプでは、配線全体のうち電極端子と外部回路（例えば交流電源など）に接続する部分以外がポンプ筐体に埋設するよう配線をポンプ筐体に形成する。このように形成することで、配線の厚み分圧電ポンプの厚みを低背化できる。

また、この構成では、配線がポンプ筐体に埋め込み一体成型されている。そして、圧電素子をポンプ筐体上に実装すると同時に、圧電素子の電極端子がポンプ筐体の配線に接続する。そのため、この構成の圧電ポンプでは、先行文献の圧電ポンプのように、金属板を圧電素子の第１〜第３電極端子におのおの取り付けるための専用の製造工程を組む必要が無くなる。よって、この構成の圧電ポンプでは、製造工程をスリム化できる。

したがって、この構成の圧電ポンプによれば、低背化と製造工程のスリム化を図ることができる。

また、この構成では、電極端子が非駆動の外周部に形成されているため、圧電素子の電極端子とポンプ筐体の配線との接続信頼性が良好となり、圧電ポンプの長寿命化を図ることができる。また、圧電素子の特性が継時的に劣化することも防止できる。

この構成において、ダイヤフラムには、前記電極端子に対応する領域に孔または切り欠きが除去領域として形成されている。

この構成では、ダイヤフラムが圧電素子の電極端子側の主面に接合され、圧電素子の電極端子がダイヤフラムの除去領域を介してポンプ筐体の配線に接続されている。すなわち、この構成の圧電ポンプは、圧電素子の上方から金属板を第１〜第３電極端子におのおの被せて取り付ける構造の圧電ポンプと異なり、圧電素子の下方から配線がダイヤフラムの除去領域を介して電極端子に接続する構造となっている。そのため、この構成の圧電ポンプにおいても、配線全体のうち電極端子と外部回路（例えば交流電源など）に接続する部分以外がポンプ筐体に埋設するよう配線をポンプ筐体に形成する。このように形成することで、配線の厚み分圧電ポンプの厚みを低背化できる。

また、この構成においても、配線がポンプ筐体に埋め込み一体成型されているため、圧電素子をポンプ筐体上に実装すると同時に、圧電素子の電極端子がダイヤフラムの除去領域を介してポンプ筐体の配線に接続する。そのため、この構成の圧電ポンプにおいても、先行文献の圧電ポンプのように、金属板を圧電素子の第１〜第３電極端子におのおの取り付けるための専用の製造工程を組む必要が無くなる。よって、この構成の圧電ポンプにおいても、製造工程をスリム化できる。

（３）前記圧電素子の前記電極端子は、前記ポンプ筐体の前記配線に導電性接着剤によって接続されていることが好ましい。

この構成では、圧電素子とポンプ筐体との接続信頼性がより良好となる。

（４）前記ポンプ筐体の配線のうち前記圧電素子の前記電極端子および外部回路に接続する部分は前記ポンプ筐体の表面に露出しており、前記配線の残りの部分は、前記ポンプ筐体の内部に形成されていることが好ましい。

この構成では、圧電素子の電極端子および外部回路（例えば交流電源など）に接続しない配線部分がポンプ筐体の内部に埋設されている。そのため、この構成によれば、圧電ポンプの耐環境性が向上する。

（５）前記中央部および前記周辺部は、互いに逆方向に分極されていることが好ましい。

この構成では、圧電素子の中央部において低電圧で大きな変位量を得ることができる。したがって、圧電素子を駆動源に用いた、この構成の圧電ポンプは、小さな消費電力で、効率よく機能する。

（６）前記ポンプ筐体は、前記ダイヤフラムとともにポンプ室を構成し、
前記ポンプ筐体には、前記ポンプ室へ流体が流入する流入孔と、前記ポンプ室から前記流体が流出する流出孔と、が形成されており、
前記流入孔に設けられ、前記ポンプ室から前記流入孔への前記流体の逆流を遮断する第１逆止弁と、
前記流出孔に設けられ、前記流出孔から前記ポンプ室への前記流体の逆流を遮断する第２逆止弁と、を備えることが好ましい。

この構成では、圧電素子の駆動時、流体がポンプ筐体外部から流入孔を介してポンプ室へ流入し、ポンプ室から流出孔を介してポンプ筐体外部へ流出する。そして、流体の逆流を第１、第２逆止弁によって阻止できる。

（７）前記ポンプ筐体は、前記配線をモールド金型にインサートして射出成形することにより埋め込み一体成型されることが好ましい。

この構成では、射出成形により複数のポンプ筐体を一括製造できる。従って、圧電ポンプの製造コストを大幅に削減できる。

（８）前記圧電素子における各圧電体層の層間は、ビアホールを介して接続されていることが好ましい。
また、本発明の圧電ポンプの製造方法は、前記課題を解決するために以下の構成を備えている。
（９）導体パターンが形成された圧電体層を積層した圧電体で構成されている圧電素子であって、
前記導体パターンに導通する電極端子への電圧印加に応じて伸縮する中央部と、前記中央部より外側に位置し、前記電極端子への電圧印加に応じて前記中央部と逆位相で伸縮する周辺部と、前記周辺部より外側に位置する非駆動の外周部とを有し、前記電極端子が前記圧電体の一方の主面における前記外周部に設けられ、前記中央部および前記周辺部の伸縮により屈曲する圧電素子を用意する工程と、
前記電極端子に対応する領域が除去領域として除去されたダイヤフラムを用意する工程と、
前記圧電素子の前記電極端子側の主面に、前記ダイヤフラムを接合する工程と、
配線をモールド金型にインサートして射出成形し、前記配線が埋め込み一体成型されたポンプ筐体を得る工程と、
前記ダイヤフラムの前記圧電素子とは逆側の主面に、前記ポンプ筐体を接合し、前記圧電素子の前記電極端子を、前記ダイヤフラムの前記除去領域を介して前記ポンプ筐体の前記配線に接続する工程と、を備える。

この発明によれば、低背化と製造工程のスリム化を図ることができる。また、圧電素子の特性が継時的に劣化することも防止できる。

本発明の実施形態に係る圧電ポンプ１００の外観斜視図である。 図１に示す圧電ポンプ１００に備えられる圧電素子１１０の外観斜視図である。 図１に示す圧電素子１１０の分解斜視図である。 図１に示す圧電素子１１０の各層の分極状態を示す圧電素子１１０の概略断面図である。 図５（Ａ）は、図１に示す圧電素子１１０の駆動電圧印加時の各層の伸縮状態を示す圧電素子１１０の概略断面図である。図５（Ｂ）は、図１に示す圧電素子１１０の駆動電圧印加時の側面図である。 図１に示す圧電ポンプ１００の分解斜視図である。 図６に示す筐体１３０の正面図である。 図８（Ａ）は、図７のＳ−Ｓ線における断面図である。図８（Ｂ）は、図７のＴ−Ｔ線における断面図である。図８（Ｃ）は、図７のＵ−Ｕ線における断面図である。 図９（Ａ）は、図１のＰ−Ｐ線における分解断面図である。図９（Ｂ）は、図１のＰ−Ｐ線における断面図である。 図１０（Ａ）は、図１のＱ−Ｑ線における分解断面図である。図１０（Ｂ）は、図１のＱ−Ｑ線における断面図である。 図１１（Ａ）は、図１のＲ−Ｒ線における分解断面図である。図１１（Ｂ）は、図１のＲ−Ｒ線における断面図である。 本発明の実施形態の第１変形例に係る圧電ポンプ２００に備えられる筐体１３０の正面図である。 本発明の実施形態の第２変形例に係る圧電ポンプ３００に備えられる筐体１３０の正面図である。 特許文献１の圧電素子９１０の外観斜視図である。 図１４に示す圧電体９０の分解斜視図である。 図１４に示す圧電素子９１０の各層の分極状態を示す圧電素子９１０の概略断面図である。 図１７（Ａ）は、図１４に示す圧電素子９１０の駆動電圧印加時の各層の伸縮状態を示す圧電素子９１０の概略断面図である。図１７（Ｂ）は、図１４に示す圧電素子９１０の駆動電圧印加時の側面図である。 図１８（Ａ）は、図１４に示す圧電素子９１０をポンプ筐体９３０上に実装した圧電ポンプ９００の外観斜視図である。図１８（Ｂ）は、図１８（Ａ）のＶ−Ｖ線における断面図である。

《本発明の実施形態》
以下、本発明の実施形態に係る圧電ポンプ１００について説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る圧電ポンプ１００の外観斜視図である。図２は、図１に示す圧電ポンプ１００に備えられる圧電素子１１０の外観斜視図である。図３は、図１に示す圧電素子１１０の分解斜視図である。図４は、図１に示す圧電素子１１０の各層の分極状態を示す圧電素子１１０の概略断面図である。図５（Ａ）は、図１に示す圧電素子１１０の駆動時の各層の伸縮状態を示す圧電素子１１０の概略断面図である。図５（Ｂ）は、図１に示す圧電素子１１０の駆動時の側面図である。図６は、図１に示す圧電ポンプ１００の分解斜視図である。

圧電ポンプ１００は、図１、図６に示すように、圧電素子１１０と、ダイヤフラム１２０と、筐体１３０と、カバー板１５０と、を備え、それらを順に積層した構造を有している。ここで、筐体１３０とカバー板１５０との接合体がポンプ筐体１４０を構成している。

圧電素子１１０は、図２、図３に示すように板状であり、複数の圧電体層１０Ａ〜１０Ｊが積層されてなる圧電体１０で構成される。圧電体１０は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスから構成されている。

図２に示すように、圧電体１０のダイヤフラム１２０に接合される側の主面、即ち圧電体層１０Ａのダイヤフラム１２０に接合される側の主面には、第１電極端子１１１、第２電極端子１１２、及び第３電極端子１１３が並んで形成されている。第１電極端子１１１、第２電極端子１１２、及び第３電極端子１１３は、それぞれ、圧電体層１０Ａを貫通して形成された孔に導電性物質を充填して形成されたビアホールを経由して、圧電体１０の内部と接続されている。

なお、図３においては、見易さのために、ビアホール（図２、図３において黒い点で示されているもの）に符号を付していないが、以下の記述において、接続関係を適宜説明する。また、本実施形態においては、各接続部分において接続の信頼性を上げるために、それぞれ２つのビアホールを用いて接続を図っている。しかしながら、各接続部分の接続は、１つのビアホールを用いて行ってもよい。

次の圧電体層１０Ｂの表面には、中央部にやや大きい円形のグランド電極２１が形成され、その周囲に環状のダミー電極２２が形成されている。グランド電極２１には、圧電体層１０Ｂの一辺に沿って、引き出し電極２１ａが形成されている。また、その圧電体層１０Ｂの一辺に沿って、引き出し電極２１ａの一方側に隣接して中継電極２３ａ、２３ｂが、引き出し電極２１ａの他方側に隣接して中継電極２３ｃ、２３ｄが、それぞれ形成されている。

そして、圧電体層１０Ａに形成されたビアホールを介して、中継電極２３ａは第１電極端子１１１に、中継電極２３ｂは第２電極端子１１２に、引き出し電極２１ａは第３電極端子１１３に、それぞれ、接続されている。

次の圧電体層１０Ｃの表面には、中央部に円形の中心電極２４が形成され、その周囲に環状の周辺電極２５が形成されている。中心電極２４には、圧電体層１０Ｃの一辺に沿って、引き出し電極２４ａが形成されている。また、周辺電極２５は、圧電体層１０Ｃの引き出し電極２４ａが形成されたのと同じ辺に沿って、引き出し電極２４ａを間に挟んで、引き出し電極２５ａと引き出し電極２５ｂが形成されている。さらに、引き出し電極２４ａと引き出し電極２５ａとの間には、グランド中継電極２６が形成されている。さらに、引き出し電極２５ａの、グランド中継電極２６とは反対側に隣接して、中継電極２３ｅが形成されている。

この結果、圧電体層１０Ｃの一辺には、中継電極２３ｅ、引き出し電極２５ａ、グランド中継電極２６、引き出し電極２４ａ、引き出し電極２５ｂが、順に形成されていることになる。さらに、圧電体層１０Ｃの表面の、中継電極２３ｅが形成されている部分と対角線上の部分に、ダミー電極２３ｆが形成されている。

そして、圧電体層１０Ｂに形成されたビアホールを介して、中継電極２３ｅは中継電極２３ａに、引き出し電極２５ａは中継電極２３ｂに、グランド中継電極２６は引き出し電極２１ａに、引き出し電極２４ａは中継電極２３ｃに、引き出し電極２５ｂは中継電極２３ｄに、それぞれ、接続されている。

次の圧電体層１０Ｄは、上述した圧電体層１０Ｂと同じ電極パターンを備えており、圧電体層１０Ｄの表面には、グランド電極２１、引き出し電極２１ａ、ダミー電極２２、中継電極２３ａ、２３ｂ、中継電極２３ｃ、２３ｄが、それぞれ形成されている。

そして、圧電体層１０Ｃに形成されたビアホールを介して、中継電極２３ａは中継電極２３ｅに、中継電極２３ｂは引き出し電極２５ａに、引き出し電極２１ａはグランド中継電極２６に、中継電極２３ｃは引き出し電極２４ａに、中継電極２３ｄは引き出し電極２５ｂに、それぞれ、接続されている。

次の圧電体層１０Ｅは、上述した圧電体層１０Ｃと同じ電極パターンを備えており、圧電体層１０Ｅの表面には、中心電極２４、引き出し電極２４ａ、周辺電極２５、引き出し電極２５ａ、２５ｂ、グランド中継電極２６、中継電極２３ｅ、ダミー電極２３ｆが、それぞれ形成されている。

そして、圧電体層１０Ｄに形成されたビアホールを介して、引き出し電極２３ｅは中継電極２３ａに、引き出し電極２５ａは中継電極２３ｂに、グランド中継電極２６は引き出し電極２１ａに、引き出し電極２４ａは中継電極２３ｃに、引き出し電極２５ｂは中継電極２３ｄに、それぞれ、接続されている。

次の圧電体層１０Ｆは、上述した圧電体層１０Ｂ、１０Ｄと同じ電極パターンを備えており、圧電体層１０Ｆの表面には、グランド電極２１、引き出し電極２１ａ、ダミー電極２２、中継電極２３ａ、２３ｂ、中継電極２３ｃ、２３ｄが、それぞれ形成されている。

そして、圧電体層１０Ｅに形成されたビアホールを介して、中継電極２３ａは中継電極２３ｅに、中継電極２３ｂは引き出し電極２５ａに、引き出し電極２１ａはグランド中継電極２６に、中継電極２３ｃは引き出し電極２４ａに、中継電極２３ｄは引き出し電極２５ｂに、それぞれ、接続されている。

次の圧電体層１０Ｇの表面には、上述した圧電体層１０Ｃ、１０Ｅと同様に、中心電極２４、引き出し電極２４ａ、周辺電極２５、引き出し電極２５ａ、２５ｂ、グランド中継電極２６、中継電極２３ｅ、ダミー電極２３ｆが、それぞれ形成されているが、圧電体層１０Ｃ、１０Ｅとは、一部の電極において配置が異なっている（形成されている順番が異なっている）。すなわち、圧電体層１０Ｇの一辺においては、引き出し電極２５ａ、引き出し電極２４ａ、グランド中継電極２６、引き出し電極２５ｂ、中継電極２３ｅが、この順に形成されている。

そして、圧電体層１０Ｆに形成されたビアホールを介して、引き出し電極２５ａは中継電極２３ａに、引き出し電極２４ａは中継電極２３ｂに、グランド中継電極２６は引き出し電極２１ａに、引き出し電極２５ｂは中継電極２３ｃに、中継電極２３ｅは中継電極２３ｄに、それぞれ、接続されている。

次の圧電体層１０Ｈは、上述した圧電体層１０Ｂ、１０Ｄ、１０Ｆと同じ電極パターンを備えており、圧電体層１０Ｈの表面には、グランド電極２１、引き出し電極２１ａ、ダミー電極２２、中継電極２３ａ、２３ｂ、中継電極２３ｃ、２３ｄが、それぞれ形成されている。

そして、圧電体層１０Ｇに形成されたビアホールを介して、中継電極２３ａは引き出し電極２５ａに、中継電極２３ｂは引き出し電極２４ａに、引き出し電極２１ａはグランド中継電極２６に、中継電極２３ｃは引き出し電極２５ｂに、中継電極２３ｄは中継電極２３ｅに、それぞれ、接続されている。

次の圧電体層１０Ｉは、上述した圧電体層１０Ｇと同じ電極パターンを備えており、圧電体層１０Ｉの表面には、中心電極２４、引き出し電極２４ａ、周辺電極２５、引き出し電極２５ａ、２５ｂ、グランド中継電極２６、中継電極２３ｅ、ダミー電極２３ｆが、それぞれ形成されている。

そして、圧電体層１０Ｈに形成されたビアホールを介して、引き出し電極２５ａは中継電極２３ａに、引き出し電極２４ａは中継電極２３ｂに、グランド中継電極２６は引き出し電極２１ａに、引き出し電極２５ｂは中継電極２３ｃに、中継電極２３ｅは中継電極２３ｄに、それぞれ、接続されている。

次の圧電体層１０Ｊは、上述した圧電体層１０Ｂ、１０Ｄ、１０Ｆ、１０Ｈと同じ電極パターンを備えており、圧電体層１０Ｊの表面には、グランド電極２１、引き出し電極２１ａ、ダミー電極２２、中継電極２３ａ、２３ｂ、中継電極２３ｃ、２３ｄが、それぞれ形成されている。

そして、圧電体層１０Ｉに形成されたビアホールを介して、中継電極２３ａは引き出し電極２５ａに、中継電極２３ｂは引き出し電極２４ａに、引き出し電極２１ａはグランド中継電極２６に、中継電極２３ｃは引き出し電極２５ｂに、中継電極２３ｄは中継電極２３ｅに、それぞれ、接続されている。

この結果、圧電体１０の上側半分の第１部分１Ａ（圧電体層１０Ａ〜１０Ｅ）に形成された中心電極２４と、圧電体１０の下側半分の第２部分１Ｂ（圧電体層１０Ｆ〜１０Ｊ）に形成された周辺電極２５とが、第２電極端子１１２とに接続される。また、第１部分１Ａに形成された周辺電極２５と、第２部分１Ｂに形成された中心電極２４とが、第１電極端子１１１に接続される。また、圧電体１０に形成された全てのグランド電極２１が、第３電極端子１１３に接続される。

前記の構造からなる圧電体１０は、たとえば、複数の圧電体層１０Ａ〜１０Ｊを形成するための圧電性グリーンシートを積層し、加圧し、焼成するなどの方法により形成される。

そして、複数の圧電体層１０Ａ〜１０Ｊの中央部および周辺部は、第１電極端子１１１、第２電極端子１１２、第３電極端子１１３に直流電圧を印加することにより、図４に示すように互いに逆方向に分極される。また、圧電体層１０Ｂ〜１０Ｅと、圧電体層１０Ｆ〜１０Ｉとにおいて、分極の繰り返し順序が逆になっている。

そのため、第１〜第３電極端子１１１〜１１３に対して交流の駆動電圧が印加されると、図５（Ａ）に示すように、ある時点において、圧電体層１０Ｂ〜１０Ｅの中央部は収縮し、圧電体層１０Ｂ〜１０Ｅの周辺部は伸張する。一方、圧電体層１０Ｆ〜１０Ｉの中央部は伸張し、圧電体層１０Ｆ〜１０Ｉの周辺部は収縮する。
この結果、圧電素子１１０は駆動時、図５（Ｂ）に示すように、中央部が下方向に屈曲変位し、周辺部が中央部と逆の上方向に屈曲変位する。

そして、交流の駆動電圧の極性が変わると、圧電素子１１０は、図５（Ａ）（Ｂ）に示したのとは反対の挙動を示す。すなわち、圧電体層１０Ｂ〜１０Ｅの中央部は伸張し、圧電体層１０Ｂ〜１０Ｅの周辺部は収縮する。一方、圧電体層１０Ｆ〜１０Ｉの中央部は収縮し、圧電体層１０Ｆ〜１０Ｉの周辺部は伸張する。
この結果、圧電素子１１０は駆動時、中央部が上方向に屈曲変位し、周辺部が下方向に屈曲変位する。

ここで、圧電体１０の中央部および周辺部は後述のポンプ室１４５に面し、圧電体１０の周辺部より外側に位置する非駆動の外周部は筐体１３０上面におけるポンプ室１４５の周囲領域に接合される。そして、前記第１〜第３電極端子１１１〜１１３は、圧電体１０の外周部に形成されている。

次に、ダイヤフラム１２０は、図６に示すように平板状であり、第１電極端子１１１に対応する位置に孔１２１が形成され、第２電極端子１１２に対応する位置に孔１２２が形成され、第３電極端子１１３に対応する位置に孔１２３が形成されている。ダイヤフラム１２０は、例えばエチレンプロピレンゴムやシリコーンゴムから構成されている。
なお、孔１２１、１２２、１３３は、本発明の「除去領域」に相当する。

ダイヤフラム１２０は、圧電素子１１０の第１〜第３電極端子１１１〜１１３側の主面に、接着剤２０によって接合されている。当該接着剤２０は、孔１２１、１２２、１２３に面する領域２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃを除くダイヤフラム１２０の領域に塗布される。

次に、筐体１３０について説明する。
図７は、図６に示す筐体１３０の正面図である。図８（Ａ）は、図７のＳ−Ｓ線における断面図であり、図８（Ｂ）は、図７のＴ−Ｔ線における断面図であり、図８（Ｃ）は、図７のＵ−Ｕ線における断面図である。図９（Ａ）は、図１のＰ−Ｐ線における分解断面図であり、図９（Ｂ）は、図１のＰ−Ｐ線における断面図である。図１０（Ａ）は、図１のＱ−Ｑ線における分解断面図であり、図１０（Ｂ）は、図１のＱ−Ｑ線における断面図である。図１１（Ａ）は、図１のＲ−Ｒ線における分解断面図であり、図１１（Ｂ）は、図１のＲ−Ｒ線における断面図である。

筐体１３０は、略直方体状であり、金属板１３１、１３３が形成された筐体である。筐体１３０は、図６、図７、及び図８（Ｂ）に示すように、ダイヤフラム１２０の圧電素子１１０と逆側の主面に接合され、ダイヤフラム１２０とともにポンプ室１４５を構成する。ポンプ室１４５は例えば略円柱形に形成されている。

金属板１３１、１３３は、例えば導電性の高い銅合金から構成される。筐体１３０は、例えばＰＰＳ（Ｐｏｌｙｐｈｅｎｙｌｅｎｅｓｕｌｆｉｄｅ）樹脂からなり、金属板１３１、１３３をモールド金型にインサートして射出成形するインサートモールドにより埋め込み一体成型される。

２股形状の金属板１３１は、おのおの接続点となる箇所を３点樹脂から露出させている。ポンプ室１４５側にある２対の接続点は、筐体１３０のポンプ室１４５側の主面に露出しており、露出形状は例えば正方形状である。残り１つの接続点は、筐体１３０のポンプ室１４５側の主面の端部から筐体１３０の側面に至るように露出しており、露出形状は例えば長方形状である。

同様に、金属板１３３は、おのおの接続点となる箇所を２点樹脂から露出させている。ポンプ室１４５側にある一方の接続点は、筐体１３０のポンプ室１４５側の主面に露出しており、露出形状は例えば長方形状である。他方の接続点は、筐体１３０のポンプ室１４５側の主面の端部から筐体１３０の側面に至るように露出しており、露出形状は例えば長方形状である。

なお、金属板１３１、１３３は、本発明の「配線」に相当する。ここで、筐体１３０のポンプ室１４５側の主面に露出している、筐体１３０の金属板１３１の２対の接続点および金属板１３３の一方の接続点と筐体１３０の圧電素子１１０側の面（上面）とは、図８〜図１０に示すように面一となっていることが好ましい。

筐体１３０の金属板１３１の２対の接続点は、図６、図９に示すように、ダイヤフラム１２０の孔１２１、１２２を介して圧電素子１１０の第１、第２電極端子１１１、１１２に導電性接着剤３１、３２によって接続される。また、筐体１３０の金属板１３３の一方の接続点は、図６、図１０、図１１に示すように、ダイヤフラム１２０の孔１２３を介して圧電素子１１０の第３電極端子１１３に導電性接着剤３３によって接続される。

ここで、ダイヤフラム１２０の孔１２１、１２２、１２３は、対応する金属板１３１、１３３の露出形状に合わせて形成されている。また、導電性接着剤３１、３２、３３は、例えば銀のフィラーを含有したエポキシ系樹脂から構成される。

さらに、筐体１３０の金属板１３１、１３３の他方の接続点は、図１、図５（Ａ）に示すように、外部回路である交流電源ＡＣに接続される。当該交流電源ＡＣは、正弦波を発生させるものであるが、これに限るものではなく、矩形波などを発生させるものであってもよい。

また、筐体１３０には、ポンプ室１４５へ流体が流入するバルブ流入孔１４１と、ポンプ室１４５から流体が流出するバルブ流出孔１４２と、が形成されている。
さらに、筐体１３０には、図８（Ｂ）及び図１０（Ａ）（Ｂ）に示すように、逆止弁１６１、１６２を筐体１３０の実装面側から嵌めこむことにより逆止弁１６１、１６２を収納する開口部１４６、１４７が形成されている。ここで、開口部１４６はバルブ流入孔１４１に連通し、開口部１４７はバルブ流出孔１４２に連通する。

カバー板１５０には、バルブ流入孔１４１及び開口部１４６に連通し、外部から流体が流入する流入孔１５１と、バルブ流出孔１４２及び開口部１４７に連通し、外部へ流体が流出する流出孔１５２と、が形成されている。開口部１４６、１４７に嵌めこまれた逆止弁１６１、１６２は、このカバー板１５０で蓋をされる。

逆止弁１６１、１６２のそれぞれは、図６に示すように、略円板状であり、例えばシリコーンゴムからなる。逆止弁１６１は、ポンプ室１４５から流入孔１５１への流体の逆流を遮断する。逆止弁１６２は、流出孔１５２からポンプ室１４５への流体の逆流を遮断する。

なお、バルブ流入孔１４１、開口部１４６、及び流入孔１５１が、本発明の「流入孔」に相当し、逆止弁１６１が、本発明の「第１逆止弁」相当する。また、バルブ流出孔１４２、開口部１４７及び流出孔１５２が、本発明の「流出孔」に相当し、逆止弁１６２が、本発明の「第２逆止弁」相当する。

以上の構成において圧電ポンプ１００では、駆動電源である交流電源ＡＣの一方の端子が筐体１３０の金属板１３１に接続され、交流電源ＡＣの他方の端子が筐体１３０の金属板１３３に接続される（図１参照）。

そして、当該金属板１３１は、図２、図６、図９に示すように、ダイヤフラム１２０の孔１２１，１２２を介して圧電素子１１０の第１、第２電極端子１１１、１１２に導電性接着剤３１、３２によって接続されている。

同様に、当該金属板１３３も、図２、図６、図１０に示すように、ダイヤフラム１２０の孔１２３を介して圧電素子１１０の第３電極端子１１３に導電性接着剤３３によって接続されている。

そのため、交流電源ＡＣの一方の端子が金属板１３１を経由して第１、第２電極端子１１１、１１２と導通し、交流電源ＡＣの他方の端子が金属板１３３を経由して第３電極端子１１３と導通する。

そして、第１、第２電極端子１１１、１１２と第３電極端子１１３とに駆動電圧が印加されたとき、圧電素子１１０が屈曲することでダイヤフラム１２０も屈曲し、圧電ポンプ１００が駆動される。これにより、圧電ポンプ１００では、流体が流入孔１５１からポンプ室１４５へ流入し、ポンプ室１４５から流出孔１５２へ流出する。

ここで、圧電ポンプ１００では、ダイヤフラム１２０が、圧電素子１１０の第１〜第３電極端子１１１〜１１３側の主面に接合されている。そして、筐体１３０の金属板１３１は、ダイヤフラム１２０の孔１２１、１２２を介して圧電素子１１０の第１、第２電極端子１１１、１１２に導電性接着剤３１、３２によって接続されている。また、筐体１３０の金属板１３３も、ダイヤフラム１２０の孔１２３を介して圧電素子１１０の第３電極端子１１３に導電性接着剤３３によって接続されている。

すなわち、圧電ポンプ１００は、圧電素子９１０の上方から金属板９４１〜９４３を第１〜第３電極端子９１１〜９１３に被せて取り付ける構造の圧電ポンプ９００（図１８（Ａ）（Ｂ）参照）と異なり、圧電素子１１０の下方から金属板１３１、１３３がダイヤフラム１２０の孔１２１、１２２、１２３を介して第１、第２、第３電極端子１１１、１１２、１１３に接続する構造となっている。

そのため、圧電ポンプ１００では、金属板１３１、１３３全体のうち第１〜第３電極端子１１１〜１１３と外部回路に接続する部分以外が筐体１３０に埋設するよう金属板１３１、１３３を筐体１３０に形成する。このように形成することで、金属板１３１、１３３の厚み分高背化せず、低背化できる。

また、この構成では、ダイヤフラム１２０に孔１２１、１２２を設け、その孔１２１、１２２内に接着剤として導電性接着剤３３を設けているので、接着剤２０の非塗布部分への流れ込みを抑制でき、接着剤２０の厚みを均一にすることができる。接着剤２０の厚みにばらつきがあると、接着強度の違いにより接着剤２０の厚みの厚い部分から剥離が起きえるが、本構成によれば、前述の問題が生じず接合信頼性が増す。

また、本実施形態の圧電ポンプ１００では、筐体１３０は、金属板１３１、１３３をモールド金型にインサートして射出成形するインサートモールドにより埋め込み一体成型されている。そして、圧電ポンプ１００では、圧電素子１１０を筐体１３０上に実装すると同時に、圧電素子１１０の第１、第２電極端子１１１、１１２がダイヤフラム１２０の孔１２１、１２２を介して筐体１３０の金属板１３１に接続し、圧電素子１１０の第３電極端子１１３がダイヤフラム１２０の孔１２３を介して筐体１３０の金属板１３３に接続する。

そのため、圧電ポンプ１００では、図１４及び図１８に示す圧電ポンプ９００のように、金属板９４１〜９４３を圧電素子９１０の第１〜第３電極端子９１１〜９１３に取り付けるための専用の製造工程を組む必要が無くなる。よって、圧電ポンプ１００では、製造工程をスリム化できる。

したがって、本実施形態の圧電ポンプ１００によれば、低背化と製造工程のスリム化を実現することができる。

また、圧電ポンプ１００では、筐体１３０の金属板１３１のうち圧電素子１１０の第１、第２電極端子１１１、１１２および交流電源ＡＣに接続する部分は筐体１３０の表面に露出しており、金属板１３１の残りの部分は、筐体１３０の内部に形成されている。同様に、筐体１３０の金属板１３３のうち圧電素子１１０の第３電極端子１１３および交流電源ＡＣに接続する部分は筐体１３０の表面に露出しており、金属板１３３の残りの部分は、筐体１３０の内部に形成されている。

すなわち、圧電ポンプ１００では、圧電素子１１０の第１〜第３電極端子１１１〜１１３および交流電源ＡＣに接続しない金属板１３１、１３３の部分が筐体１３０の内部に埋設されている。

そのため、圧電ポンプ１００の耐環境性が向上する。また、この埋設構造により金属板１３１と金属板１３３との間でマイグレーションが起こり難いため、本実施形態の圧電ポンプ１００によれば、両者間が短絡することを抑制できる。

また、圧電ポンプ１００において圧電素子１１０は、前記したように、第１、第２電極端子１１１、１１２と第３電極端子１１３とに駆動電圧が印加されたとき、圧電体１０の中央部および周辺部の伸縮により屈曲する。この際、第１〜第３電極端子１１１〜１１３は、前記したように、圧電体１０の非駆動の外周部に形成されている。

そのため、本実施形態の圧電ポンプ１００によれば、第１、第２電極端子１１１、１１２と金属板１３１との接続信頼性、及び第３電極端子１１３と金属板１３３との接続信頼性が良好となり、圧電ポンプ１００の長寿命化を図ることができる。また、圧電素子１１０の特性が継時的に劣化することも防止できる。

また、複数の圧電体層１０Ａ〜１０Ｊの中央部および周辺部は、図４に示すように互いに逆方向に分極されているため、比較的低い電圧で駆動することができ、かつ圧電素子１１０の中央部で大きな変位量を得ることができる。

したがって、圧電素子１１０を駆動源に用いた、この構成の圧電ポンプ１００は、小さな消費電力で、効率よく機能する。また、同一の層に形成された中心電極と周辺電極とには、常に同電位が印加されるため、両者間でエレクトロマイグレーションが発生することはなく、両者間が短絡することがない。

また、前記構造の圧電ポンプ１００では、筐体１３０を射出成形により形成できるため、複数の筐体１３０を一括製造できる。従って、圧電ポンプ１００の製造コストを大幅に削減できる。

《変形例》
本発明の実施形態は、以下の変形例を採用することができる。

図１２は、本発明の実施形態の第１変形例に係る圧電ポンプ２００に備えられる筐体１３０の正面図である。図１３は、本発明の実施形態の第２変形例に係る圧電ポンプ３００に備えられる筐体１３０の正面図である。

前述の実施形態では、図７に示す２股形状の金属板１３１を用いたが、実施の際は金属板１３１の代わりに、図１２に示す形状の金属板２３１や、図１３に示す形状の金属板３３１、３３２を用いても構わない。

まず、第１変形例について詳述する。第１変形例の金属板２３１は、図７に示す金属板１３１と異なり、おのおの接続点となる箇所を２点、筐体１３０から露出させている。金属板２３１のポンプ室１４５側にある一方の接続点は、図１２に示すように、筐体１３０のポンプ室１４５側の主面に露出しており、露出形状は例えば長方形状である。金属板２３１の一方の接続点は、ダイヤフラム１２０の孔１２１、１２２を介して圧電素子１１０の第１、第２電極端子１１１、１１２に導電性接着剤３１、３２によって接続される。

即ち、金属板２３１は、圧電素子１１０の第１、第２電極端子１１１、１１２の形状に合わせて接続点を２箇所に露出するのではなく、１箇所の接続点で、第１、第２電極端子１１１、１１２の両方と接続されうるように形成されている。そして、金属板２３１の他方の接続点は、前述の実施形態と同様に、外部回路である交流電源ＡＣに接続される。

そのため、圧電ポンプ２００では、交流電源ＡＣの一方の端子が金属板２３１を経由して第１、第２電極端子１１１、１１２と導通し、交流電源ＡＣの他方の端子が金属板１３３を経由して第３電極端子１１３と導通する。従って、この第１変形例によれば、前記実施形態と同様の効果を奏し、さらに金属板の形状をより簡略化することができる。

次に、第２変形例について詳述する。第２変形例の前述の実施形態と異なる箇所は、図７に示す金属板１３１を２つの金属板３３１、３３２を用いて実現した点である。金属板３３１、３３２は、おのおの接続点となる箇所を２点ずつ、筐体１３０から露出させている。

金属板３３１のポンプ室１４５側にある一方の接続点は、図１３に示すように、ダイヤフラム１２０の孔１２１を介して圧電素子１１０の第１電極端子１１１に導電性接着剤３１によって接続される。そして、金属板３３１の他方の接続点は、外部回路である交流電源ＡＣの一方の端子に接続される。

また、金属板３３２のポンプ室１４５側にある一方の接続点は、図１３に示すように、ダイヤフラム１２０の孔１２２を介して圧電素子１１０の第２電極端子１１２に導電性接着剤３２によって接続される。そして、金属板３３２の他方の接続点は、金属板３３１と同様に交流電源ＡＣの一方の端子に接続される。

また、金属板３３３のポンプ室１４５側にある一方の接続点は、図１３に示すように、ダイヤフラム１２０の孔１２３を介して圧電素子１１０の第３電極端子１１３に導電性接着剤３３によって接続される。そして、金属板３３３の他方の接続点は、交流電源ＡＣの他方の端子に接続される。

そのため、圧電ポンプ３００では、交流電源ＡＣの一方の端子が金属板３３１、３３２を経由して第１、第２電極端子１１１、１１２と導通し、交流電源ＡＣの他方の端子が金属板１３３を経由して第３電極端子１１３と導通する。従って、この第２変形例によれば、前記実施形態と同様の効果を奏する。

《その他の実施形態》
なお、前記実施形態では、流体が、気体や、液体、気液混合流、固液混合流、固気混合流などのいずれであっても適用できる。

前記実施形態では、圧電素子１１０はチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスから構成されているが、これに限るものではない。例えば、ニオブ酸カリウムナトリウム系及びアルカリニオブ酸系セラミックス等の非鉛系圧電体セラミックスの圧電材料などから構成してもよい。

また、前記実施形態では、ダイヤフラム１２０の孔は対応する金属板の露出形状に合わせて形成していたが、これに限るものではない。接着に十分な面積があれば金属板の露出面積より小さくてもよいし、金属板の露出面積より大きくてもかまわない。また、形状も多角形でもよいし、円形や楕円形であってもよい。また、そもそもダイヤフラム１２０には孔が設けられていなくてもよく、切り欠きが設けられていてもよい。

また、前記実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１０…圧電体
１０Ａ〜１０Ｊ…圧電体層
２０…接着剤
２１…グランド電極
２１ａ…引き出し電極
２２…ダミー電極
２３ａ〜２３ｄ…中継電極
２３ｅ…中継電極
２３ｆ…ダミー電極
２４…中心電極
２４ａ…引き出し電極
２５…周辺電極
２５ａ、２５ｂ…引き出し電極
２６…グランド中継電極
３１、３２、３３…導電性接着剤
１００…圧電ポンプ
１１０…圧電素子
１１１…第１電極端子
１１２…第２電極端子
１１３…第３電極端子
１２０…ダイヤフラム
１２１、１２２、１２３…孔
１３０…筐体
１３１、１３３…金属板
１４０…ポンプ筐体
１４１…バルブ流入孔
１４２…バルブ流出孔
１４５…ポンプ室
１４６、１４７…開口部
１５０…カバー板
１５１…流入孔
１５２…流出孔
１６１、１６２…逆止弁
２００…圧電ポンプ
２３１…金属板
３００…圧電ポンプ
３３１、３３２、３３３…金属板
９０…圧電体
９０Ａ〜Ｈ…圧電体層
９００…圧電ポンプ
９１０…圧電素子
９１１…第１電極端子
９１２…第２電極端子
９１３…第３電極端子
９２０…ダイヤフラム
９２１…グランド電極
９２４…中心電極
９２５…周辺電極
９３０…ポンプ筐体
９３１…流入孔
９３２…流出孔
９４１、９４２、９４３…金属板
９４５…ポンプ室

Claims (7)

1. 導体パターンが形成された圧電体層を積層した圧電体で構成されている圧電素子であって、
   前記導体パターンに導通する電極端子への電圧印加に応じて伸縮する中央部と、前記中央部より外側に位置し、前記電極端子への電圧印加に応じて前記中央部と逆位相で伸縮する周辺部と、前記周辺部より外側に位置する非駆動の外周部とを有し、前記電極端子が前記圧電体の一方の主面における前記外周部に設けられ、前記中央部および前記周辺部の伸縮により屈曲する圧電素子と、
   前記圧電素子の前記電極端子側の主面に接合されているダイヤフラムと、
   前記ダイヤフラムの前記圧電素子とは逆側の主面に接合されたポンプ筐体と、を備え、
   前記ポンプ筐体には、配線が埋設されており、
   前記ダイヤフラムには、前記電極端子に対応する領域が除去領域として除去されており、
   前記圧電素子の前記電極端子は、前記ダイヤフラムの前記除去領域を介して前記ポンプ筐体の前記配線に接続されている、圧電ポンプ。
2. 前記圧電素子の前記電極端子は、前記ポンプ筐体の前記配線に導電性接着剤によって接続されている、請求項１に記載の圧電ポンプ。
3. 前記ポンプ筐体の配線のうち前記圧電素子の前記電極端子および外部回路に接続する部分は前記ポンプ筐体の表面に露出しており、前記配線の残りの部分は、前記ポンプ筐体の内部に形成されている、請求項１又は２に記載の圧電ポンプ。
4. 前記中央部および前記周辺部は、互いに逆方向に分極されている、請求項１から３のいずれかに記載の圧電ポンプ。
5. 前記ポンプ筐体は、前記ダイヤフラムとともにポンプ室を構成し、
   前記ポンプ筐体には、前記ポンプ室へ流体が流入する流入孔と、前記ポンプ室から前記流体が流出する流出孔と、が形成されており、
   前記流入孔に設けられ、前記ポンプ室から前記流入孔への前記流体の逆流を遮断する第１逆止弁と、
   前記流出孔に設けられ、前記流出孔から前記ポンプ室への前記流体の逆流を遮断する第２逆止弁と、を備える、請求項１から４のいずれかに記載の圧電ポンプ。
6. 前記圧電素子における各圧電体層の層間は、ビアホールを介して接続されている、請求項１から５のいずれかに記載の圧電ポンプ。
7. 導体パターンが形成された圧電体層を積層した圧電体で構成されている圧電素子であって、
   前記導体パターンに導通する電極端子への電圧印加に応じて伸縮する中央部と、前記中央部より外側に位置し、前記電極端子への電圧印加に応じて前記中央部と逆位相で伸縮する周辺部と、前記周辺部より外側に位置する非駆動の外周部とを有し、前記電極端子が前記圧電体の一方の主面における前記外周部に設けられ、前記中央部および前記周辺部の伸縮により屈曲する圧電素子を用意する工程と、
   前記電極端子に対応する領域が除去領域として除去されたダイヤフラムを用意する工程と、
   前記圧電素子の前記電極端子側の主面に、前記ダイヤフラムを接合する工程と、
   配線をモールド金型にインサートして射出成形し、前記配線が埋め込み一体成型されたポンプ筐体を得る工程と、
   前記ダイヤフラムの前記圧電素子とは逆側の主面に、前記ポンプ筐体を接合し、前記圧電素子の前記電極端子を、前記ダイヤフラムの前記除去領域を介して前記ポンプ筐体の前記配線に接続する工程と、を備える、圧電ポンプの製造方法。

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