JPS6130974A - 圧電アクチユエ−タ - Google Patents
圧電アクチユエ−タInfo
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- JPS6130974A JPS6130974A JP15256384A JP15256384A JPS6130974A JP S6130974 A JPS6130974 A JP S6130974A JP 15256384 A JP15256384 A JP 15256384A JP 15256384 A JP15256384 A JP 15256384A JP S6130974 A JPS6130974 A JP S6130974A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/802—Circuitry or processes for operating piezoelectric or electrostrictive devices not otherwise provided for, e.g. drive circuits
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は硬貨処理装置、リレー、ヘッド駆動装置などに
用いられるバイモルフ形の圧電アクチュエータに関する
ものである。
用いられるバイモルフ形の圧電アクチュエータに関する
ものである。
従来から、バイモルフ形の圧電アクチュエータとして、
2枚の電歪板を中央電極を介して接着し、2端子駆動入
力回路を接続した構造のものがよく知られている。ここ
に、電歪板とは、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)など
の電歪材料を板状にし、両面に電極を設けて分極したも
のをいう。
2枚の電歪板を中央電極を介して接着し、2端子駆動入
力回路を接続した構造のものがよく知られている。ここ
に、電歪板とは、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)など
の電歪材料を板状にし、両面に電極を設けて分極したも
のをいう。
第2図は、2枚の電歪板を分極方向が同じに彦るように
接着して構成した、従来からある圧電アクチュエータと
その駆動回路を示す構成図である。
接着して構成した、従来からある圧電アクチュエータと
その駆動回路を示す構成図である。
圧電アクチュエータ10はバイモルフ素子でおる圧電素
子11と駆動入力回路12とから成夛、駆動回路13は
出力電圧Eの定電圧電源14がら成る。圧電素子11は
電歪板15および16、中央電極17、電極18.19
から成り、図上左端部が固定端20となp1右端部が自
由端21となる。なお、矢印A紘を歪板の分極方向を示
し、矢印Bは歪力の方向を示している。
子11と駆動入力回路12とから成夛、駆動回路13は
出力電圧Eの定電圧電源14がら成る。圧電素子11は
電歪板15および16、中央電極17、電極18.19
から成り、図上左端部が固定端20となp1右端部が自
由端21となる。なお、矢印A紘を歪板の分極方向を示
し、矢印Bは歪力の方向を示している。
図に示すように、駆動入力回路12の端子22に正、端
子23に負の電圧を印加すると電歪板15は分極方向に
電圧が印加されて縮み、電歪板16は分極方向と反対の
方向に′電圧が印加されて伸びるため、自由端21は矢
印Cのように変位する。
子23に負の電圧を印加すると電歪板15は分極方向に
電圧が印加されて縮み、電歪板16は分極方向と反対の
方向に′電圧が印加されて伸びるため、自由端21は矢
印Cのように変位する。
また、印加電圧の極性を逆にすると電歪板15は伸び、
を歪板16は縮むため、自由端21は矢印Cと逆の方向
に変位する。
を歪板16は縮むため、自由端21は矢印Cと逆の方向
に変位する。
このような構造の圧電アクチュエータは極めて低電力で
駆動できるため幅広い応用が期待されているが、十分な
変位と力が得られないため実用化を難しくしいてる。
駆動できるため幅広い応用が期待されているが、十分な
変位と力が得られないため実用化を難しくしいてる。
すなわち、電歪板の長さを一定にした場合、大きな変位
を得るためには電歪板を薄くすればよいが、これでは発
生力が小さくなってしまう。一方、大きな力を得るため
には電歪板を厚くして高電圧を印加することが考えられ
るが、電圧を高くすると逆分極方向に電圧を印加した場
合に電歪板の分極が低下してし壕い、結局分極劣化Mi
圧以上の電源を用いることは不可能であり、大きな変位
は望めなかった。
を得るためには電歪板を薄くすればよいが、これでは発
生力が小さくなってしまう。一方、大きな力を得るため
には電歪板を厚くして高電圧を印加することが考えられ
るが、電圧を高くすると逆分極方向に電圧を印加した場
合に電歪板の分極が低下してし壕い、結局分極劣化Mi
圧以上の電源を用いることは不可能であり、大きな変位
は望めなかった。
本発明は、上記問題点に鑑みて々されたものであり、そ
の目的とするところは、大きな変位でかつ大きな力を発
生する圧電アクチュエータを得ることにある。
の目的とするところは、大きな変位でかつ大きな力を発
生する圧電アクチュエータを得ることにある。
かかる目的を達成するために本発明は、電歪板の分極方
向には分極劣化電圧以上の電圧を印加し、逆分極方向に
は分極劣化電圧以下の電圧を印加するように駆動入力回
路を構成したものである。
向には分極劣化電圧以上の電圧を印加し、逆分極方向に
は分極劣化電圧以下の電圧を印加するように駆動入力回
路を構成したものである。
以下、実施例と共に本発明の詳細な説明する。。
第1図は本発明の一実施例を示す概略構成図であり、第
2図と同一部分は同記号を用いている。
2図と同一部分は同記号を用いている。
12&は駆動入力回路、13aは駆動回路である。駆動
入力回路12aは2つの定電圧ダイオードZDI 。
入力回路12aは2つの定電圧ダイオードZDI 。
Zn2から構成され、定電圧ダイオードzD1のカソー
ドは正の分極を有する側の電歪板15に設りられた電極
18に接続され、定電圧ダイオードZD2のアノードは
負の分極を有する側の電歪板16に設けられた電極19
Km続されている。そして、定電圧ダイオードZDI
、 Zn2の他の端子は共通に接続され、端子22に接
続されている。中央電極17は端子23に接続されてい
る。駆動回路13aは交流電源v1 、抵抗R2双方向
定を圧累子VRIによって定電圧電源を構成している。
ドは正の分極を有する側の電歪板15に設りられた電極
18に接続され、定電圧ダイオードZD2のアノードは
負の分極を有する側の電歪板16に設けられた電極19
Km続されている。そして、定電圧ダイオードZDI
、 Zn2の他の端子は共通に接続され、端子22に接
続されている。中央電極17は端子23に接続されてい
る。駆動回路13aは交流電源v1 、抵抗R2双方向
定を圧累子VRIによって定電圧電源を構成している。
そして、双方向定電圧素子VRIの制限電圧をvVRI
+定電圧ダイオードZDI 、 Zn2の制限電圧を
VZDI + VZD2とすると、これらの電圧は次の
関係を満足するような関係に選はれている。
+定電圧ダイオードZDI 、 Zn2の制限電圧を
VZDI + VZD2とすると、これらの電圧は次の
関係を満足するような関係に選はれている。
VVRI>(電歪板15.16の分極劣化電圧)・・・
・・(1) VVRI−v川く(電歪板150分極劣化電圧)番・・
・・(2) VVRI −VZD2< (X歪板16の分極劣化電圧
)・・ψ・・(3) 一般に、分極劣化電圧とは電歪板に分極方向とは逆向き
の電圧を徐々に上昇させながら印加したとき分極が減極
(劣化)し始める電圧、又は逆分極方向に長時間印加で
きる最大定格電圧と定義されるが、本発明では後者を分
極劣化電圧として定義する。
・・(1) VVRI−v川く(電歪板150分極劣化電圧)番・・
・・(2) VVRI −VZD2< (X歪板16の分極劣化電圧
)・・ψ・・(3) 一般に、分極劣化電圧とは電歪板に分極方向とは逆向き
の電圧を徐々に上昇させながら印加したとき分極が減極
(劣化)し始める電圧、又は逆分極方向に長時間印加で
きる最大定格電圧と定義されるが、本発明では後者を分
極劣化電圧として定義する。
ここで、分極劣化電圧を一層明確にするために第2図に
示す圧電アクチュエータを例にとって説明する。第3図
は第2図における定電圧電源14の電圧Eと印加電圧を
極性を切換えて与えたときの圧電素子11の変位量δと
の関係を示すグラフである。実線へは、従来の回路でお
る第2図に示した圧電アクチュエータ10を動作させた
場合を示し、実線Bは本発明の回路である第1図に示す
ような定電圧ダイオードを挿入した圧電アクチュエータ
を動作させた場合を示す。
示す圧電アクチュエータを例にとって説明する。第3図
は第2図における定電圧電源14の電圧Eと印加電圧を
極性を切換えて与えたときの圧電素子11の変位量δと
の関係を示すグラフである。実線へは、従来の回路でお
る第2図に示した圧電アクチュエータ10を動作させた
場合を示し、実線Bは本発明の回路である第1図に示す
ような定電圧ダイオードを挿入した圧電アクチュエータ
を動作させた場合を示す。
実mAでは、電圧を徐々に上昇させると当初は変位量δ
も増加するが、60■程度から急激に低下する。これは
、電歪板の逆分極方向に高電界が加わることによって分
極が破壊したためでちる。
も増加するが、60■程度から急激に低下する。これは
、電歪板の逆分極方向に高電界が加わることによって分
極が破壊したためでちる。
従って、この圧電素子の逆方向抗電界は約60V/lで
ある。ここで、tは電歪板の厚さでおる。
ある。ここで、tは電歪板の厚さでおる。
このように、電歪板の分極は逆方向抗電界付近で急激に
破壊するが、長時間電圧を印加する場合は逆方向抗電界
の約棒程度の電圧で劣化が始まる。
破壊するが、長時間電圧を印加する場合は逆方向抗電界
の約棒程度の電圧で劣化が始まる。
したがって、この圧電素子の場合分極劣化電圧は30V
程度ということができる。
程度ということができる。
ところで、この発明唸第1図に示すように駆動入力回路
に定電圧ダイオードを挿入し、定電圧ダ劣化は起きない
。このため第3図の実線BK示すように変位通aH印加
電圧Bとともに増加し、印加電圧Eは電歪板が絶縁破壊
を生ずるまで上けることができる。このため、30V程
度しか印加できなかった従来の回路を用いた場合に比べ
、60Vで30Vの時の変位の約2倍、100vで30
vの時の変位の約3倍の変位が得られる。
に定電圧ダイオードを挿入し、定電圧ダ劣化は起きない
。このため第3図の実線BK示すように変位通aH印加
電圧Bとともに増加し、印加電圧Eは電歪板が絶縁破壊
を生ずるまで上けることができる。このため、30V程
度しか印加できなかった従来の回路を用いた場合に比べ
、60Vで30Vの時の変位の約2倍、100vで30
vの時の変位の約3倍の変位が得られる。
第4図は定電圧ダイオードZDI 、 ZD2に切換ス
イッチXSを介して駆動回路13bを接続した実施例で
ある。この実施例では定電圧電源14に直流電源を用い
るため定電圧回路には一方向の定電圧特性をもつ定電圧
ダイオードZD3を用いることができる。この定電圧ダ
イオードZD3は逆方向特性によって、電源電圧を定電
圧にクランプするだけでなく、順方向特性によって極性
を切換えたとき、圧電素子11にそれ壕で充電されてい
た電荷を速やかに放電させる機能もある。この放電機能
は圧電素子11を高速で復旧させるとともに駆動電力を
小さくする効果がおる。
イッチXSを介して駆動回路13bを接続した実施例で
ある。この実施例では定電圧電源14に直流電源を用い
るため定電圧回路には一方向の定電圧特性をもつ定電圧
ダイオードZD3を用いることができる。この定電圧ダ
イオードZD3は逆方向特性によって、電源電圧を定電
圧にクランプするだけでなく、順方向特性によって極性
を切換えたとき、圧電素子11にそれ壕で充電されてい
た電荷を速やかに放電させる機能もある。この放電機能
は圧電素子11を高速で復旧させるとともに駆動電力を
小さくする効果がおる。
第5図は他の実施例で、駆動回路13cの定電圧特性を
一層安定にしかつ消費電力を小さくすることができる。
一層安定にしかつ消費電力を小さくすることができる。
同図においてTr+ + Tr2はトランジスタ、CR
Dlは安電流ダイオード、DBはダイオードブリッジ、
C1はコンデンサでちる。v2は例えばsvt源の極性
を高速で切換えるなどによって発生される低電圧の交流
源でおる。交流電源v2の電圧をトランスTN8で昇圧
してダイオードブリッジDBで整流し定電流ダイオード
CRDl。
Dlは安電流ダイオード、DBはダイオードブリッジ、
C1はコンデンサでちる。v2は例えばsvt源の極性
を高速で切換えるなどによって発生される低電圧の交流
源でおる。交流電源v2の電圧をトランスTN8で昇圧
してダイオードブリッジDBで整流し定電流ダイオード
CRDl。
コンデンサC1で平滑して高圧直流源を得る。しかし、
この電源電圧は交流電源v2の電圧変動。
この電源電圧は交流電源v2の電圧変動。
トランスTNS 、コンデンサCI 、ダイオードブリ
ッジDBの特性、負荷を接続することなどによって変動
する。そこで、トランジスタと定電圧ダイオードから成
る定電圧回路を接続し安定した定電圧を得る。高圧直流
源の発生電圧、すなわちコンデンサC1の端子電圧は定
電圧ダイオードZD3の制限を圧vzn3より高いもの
とする。切換スイッチXSを切換えると圧電素子11に
は充電電流が流れるため、切換スイッチXSの入力端子
の電圧は一時的に低下する。このとき、トランジスタT
rl+T’r2はベース電流が流れてオンとカるため、
トランジスタTrzの出力電圧拡速やかに上昇し、その
電圧が定電圧ダイオードZD3の制限電圧VZD3に達
すると、トランジスタTrzはオフとなるため、その出
力電圧は’VZD3にり2ンプされる。この回路では圧
%素子11が何れかの儒に変位し、その状態を保持しで
いる通常の状態では、定電圧ダイオードZD3に流れる
電流は高抵抗R1によって制限さJ−17+47
CIJ 411工A−スJ−L中ry n Q ez
ml Ra 暑DCtyz 電圧に変動が少ないので、
定電圧特性が良く、また消費電力は極めて少さい。
ッジDBの特性、負荷を接続することなどによって変動
する。そこで、トランジスタと定電圧ダイオードから成
る定電圧回路を接続し安定した定電圧を得る。高圧直流
源の発生電圧、すなわちコンデンサC1の端子電圧は定
電圧ダイオードZD3の制限を圧vzn3より高いもの
とする。切換スイッチXSを切換えると圧電素子11に
は充電電流が流れるため、切換スイッチXSの入力端子
の電圧は一時的に低下する。このとき、トランジスタT
rl+T’r2はベース電流が流れてオンとカるため、
トランジスタTrzの出力電圧拡速やかに上昇し、その
電圧が定電圧ダイオードZD3の制限電圧VZD3に達
すると、トランジスタTrzはオフとなるため、その出
力電圧は’VZD3にり2ンプされる。この回路では圧
%素子11が何れかの儒に変位し、その状態を保持しで
いる通常の状態では、定電圧ダイオードZD3に流れる
電流は高抵抗R1によって制限さJ−17+47
CIJ 411工A−スJ−L中ry n Q ez
ml Ra 暑DCtyz 電圧に変動が少ないので、
定電圧特性が良く、また消費電力は極めて少さい。
第6図は定電圧回路に電界効果トランジスタQを用いた
例でちゃ、切換スイッチXSの入力端子の電圧が定電圧
ダイオードZD3の制限電圧VZD3より低下すると電
界効果トランジスタQがオンとなり、そこに飽和電流が
流れるため、電圧は速やかに上昇する。その電圧がVZ
D3に達すると電界効果トランジスタQ→抵抗R2→定
電圧ダイオードZD3の経路で電流が流れるため電界効
果トランジスタQはゲートが負の電圧にバイアスされ、
オフとなり、出力電圧ははl’f Vzosに制限され
る。電界効果トランジスタQは接合形電界効果トランジ
スタの他、デプレッション形MO8電界効果トランジス
タが使用できる。
例でちゃ、切換スイッチXSの入力端子の電圧が定電圧
ダイオードZD3の制限電圧VZD3より低下すると電
界効果トランジスタQがオンとなり、そこに飽和電流が
流れるため、電圧は速やかに上昇する。その電圧がVZ
D3に達すると電界効果トランジスタQ→抵抗R2→定
電圧ダイオードZD3の経路で電流が流れるため電界効
果トランジスタQはゲートが負の電圧にバイアスされ、
オフとなり、出力電圧ははl’f Vzosに制限され
る。電界効果トランジスタQは接合形電界効果トランジ
スタの他、デプレッション形MO8電界効果トランジス
タが使用できる。
第7図は積層形圧電素子11aに本発明を適用した実施
例である。積層形圧電素子11aは両側に電極を設けた
電歪板15al、15a2.16al、16a2 を分
極方向が交互になるように積ねて接着した1対の積層電
歪板15a 、 16aを中央電極17に対して矢印A
で示すように分極方向が逆になるように接着して構成さ
れる。また、駆動入力回路は、一方の積層電歪板15a
の正の分極面に設けられた電極18−1に定電圧ダイオ
ードZDIのカソードを接続し、他方の積層電歪板16
の負の分極面に設けられた電極19−1に定電圧ダイオ
ードのZn2のアノードを接続し、これらの定電圧ダイ
オードZDI 。
例である。積層形圧電素子11aは両側に電極を設けた
電歪板15al、15a2.16al、16a2 を分
極方向が交互になるように積ねて接着した1対の積層電
歪板15a 、 16aを中央電極17に対して矢印A
で示すように分極方向が逆になるように接着して構成さ
れる。また、駆動入力回路は、一方の積層電歪板15a
の正の分極面に設けられた電極18−1に定電圧ダイオ
ードZDIのカソードを接続し、他方の積層電歪板16
の負の分極面に設けられた電極19−1に定電圧ダイオ
ードのZn2のアノードを接続し、これらの定電圧ダイ
オードZDI 。
Zn2の他端子を共通にして一方の駆動入力端子とし、
中央電極17および定電圧ダイオードZDI 。
中央電極17および定電圧ダイオードZDI 。
Zn2が接続されていない電極を共通にして他の駆動入
力端子として構成される。この積層形圧電素子11aは
第4〜6図の切換スイッチXSの出力端子に接続される
。第7図では図示しない定電圧回路の電圧(第4図〜第
6・図でZn2の制限電圧)が60V9分極劣化電圧が
30v、定電圧ダイオードZDI 、 Zn2の制限電
圧が30Vの場合を示しである。一方の積層電歪板の各
々には分極方向に60゛Vが、他方の積層電歪板の各々
には逆分極方向に30Vの電圧が印加されるため、素子
の先端は同図の矢印Cのように変位し、また積層構造に
することによって大きな力を得ることができる。第8図
は積層数を増加した例である。
力端子として構成される。この積層形圧電素子11aは
第4〜6図の切換スイッチXSの出力端子に接続される
。第7図では図示しない定電圧回路の電圧(第4図〜第
6・図でZn2の制限電圧)が60V9分極劣化電圧が
30v、定電圧ダイオードZDI 、 Zn2の制限電
圧が30Vの場合を示しである。一方の積層電歪板の各
々には分極方向に60゛Vが、他方の積層電歪板の各々
には逆分極方向に30Vの電圧が印加されるため、素子
の先端は同図の矢印Cのように変位し、また積層構造に
することによって大きな力を得ることができる。第8図
は積層数を増加した例である。
第9図は極性切換回路の実施例である。電流増幅率の大
きなトランジスタTr3〜Traをブリッジに接続し、
平行に配置されたトランジスタTr3+Tr4と斜に配
置されたトランジスタTrs、Traを交互に動作し極
性を切換える。C0NTは論理電圧で制御される駆動回
路、C8I、2はCMOSアナログスイッチ、INVは
論理反転回路、Rhは抵抗、SW5はスイッチ、EGは
電源である。なお、高い電源電圧が印加されるTr3
+ Tr6のベースはトランジスタTr 71 ’Tr
sのPN逆接合によって論理回路C0NTから分離し
である。スイッチSはバイポーラプロセス、論理回路C
0NTはCMOSプロセスによってそれぞれIC化して
もよい。
きなトランジスタTr3〜Traをブリッジに接続し、
平行に配置されたトランジスタTr3+Tr4と斜に配
置されたトランジスタTrs、Traを交互に動作し極
性を切換える。C0NTは論理電圧で制御される駆動回
路、C8I、2はCMOSアナログスイッチ、INVは
論理反転回路、Rhは抵抗、SW5はスイッチ、EGは
電源である。なお、高い電源電圧が印加されるTr3
+ Tr6のベースはトランジスタTr 71 ’Tr
sのPN逆接合によって論理回路C0NTから分離し
である。スイッチSはバイポーラプロセス、論理回路C
0NTはCMOSプロセスによってそれぞれIC化して
もよい。
第10図は第9図においてトランジスタTr3+Tr6
を感度の高いダーリントントランジスタDTr+ +D
Tr 3 とした実施例である。第9図のトランジスタ
Tr3r Tr6には高い電圧が印加されるためベース
電流による消費電力は大きい。圧電素子は低電力動作が
大きな特徴であるため、変位の保持に大きな電力が消費
されるのは望ましくない。そこで910図のようにダー
リントントランジスタを用いるとベース11.流を極め
て小さくできるため消費電力を小さくすることができる
。
を感度の高いダーリントントランジスタDTr+ +D
Tr 3 とした実施例である。第9図のトランジスタ
Tr3r Tr6には高い電圧が印加されるためベース
電流による消費電力は大きい。圧電素子は低電力動作が
大きな特徴であるため、変位の保持に大きな電力が消費
されるのは望ましくない。そこで910図のようにダー
リントントランジスタを用いるとベース11.流を極め
て小さくできるため消費電力を小さくすることができる
。
第11図はPNPNスイッチを用いた極性切換回路例で
ある。同図において、PNI〜4はそれぞれ発光ダイオ
ードLED1〜4の光りで駆動されるPNPNスイッチ
(ホトカップ2形)、PULはパルス発振回路である。
ある。同図において、PNI〜4はそれぞれ発光ダイオ
ードLED1〜4の光りで駆動されるPNPNスイッチ
(ホトカップ2形)、PULはパルス発振回路である。
スイッチSWsをいずれかに投入すると発光ダイオード
LED1.2又は発光ダイオードLED 3 、4のい
ずれかが発光し、この光でPNPNスイッチPNI、2
又はPH1,4が点弧するため極性は切換えられ圧電素
子に印加される。
LED1.2又は発光ダイオードLED 3 、4のい
ずれかが発光し、この光でPNPNスイッチPNI、2
又はPH1,4が点弧するため極性は切換えられ圧電素
子に印加される。
発光ダイオードLEDをパルス駆動するのは変位を保持
するための消費電力を低減するためである。
するための消費電力を低減するためである。
以上説明したように本発明は、定電素子に印加する電圧
を分極方向は低下させず、逆分極方向はあるから、圧電
素子に印加する電圧を従来のものよりも十分大きくする
ことができ、このため、大きな変位と力を得ることがで
きるという効果を有する。
を分極方向は低下させず、逆分極方向はあるから、圧電
素子に印加する電圧を従来のものよりも十分大きくする
ことができ、このため、大きな変位と力を得ることがで
きるという効果を有する。
第11はこの発明の一実施例を示す構成図、第2図は従
来装置の’4S5 & @ %第3図は圧電素子の動作
を説明するためのグラフ、第4図〜第8図はこの発明の
他の実施例を示す構成図、第9図〜第11図は第4図〜
第6図における切換スイッチの構成を示す回路図である
。 10会・φや圧電アクチュエータ、11−−・・圧電素
子、12+12a・・φ・駆動入力回路、13 + 1
3a〜13d @ @ @ e駆動回路、15,16・
拳嗜・を歪板、1T−−−1中央電極、18゜19−−
−−’it極、 ZDI 、 Zn2 、
Zn2 − − − − 定電圧ダイオード、VRI・
・・・双方向定電圧素子、Ml、V2・嗜−・某流電源
、XS・・・・切換スイッチ。 簡1図 鶴2図 鶴3図 卯カロ電1と E (V) 鶴4図 第5図 熟6図 購7図 珈 (◆) 。、。 絶8図 (・)。 爲9図 漁101ffi
来装置の’4S5 & @ %第3図は圧電素子の動作
を説明するためのグラフ、第4図〜第8図はこの発明の
他の実施例を示す構成図、第9図〜第11図は第4図〜
第6図における切換スイッチの構成を示す回路図である
。 10会・φや圧電アクチュエータ、11−−・・圧電素
子、12+12a・・φ・駆動入力回路、13 + 1
3a〜13d @ @ @ e駆動回路、15,16・
拳嗜・を歪板、1T−−−1中央電極、18゜19−−
−−’it極、 ZDI 、 Zn2 、
Zn2 − − − − 定電圧ダイオード、VRI・
・・・双方向定電圧素子、Ml、V2・嗜−・某流電源
、XS・・・・切換スイッチ。 簡1図 鶴2図 鶴3図 卯カロ電1と E (V) 鶴4図 第5図 熟6図 購7図 珈 (◆) 。、。 絶8図 (・)。 爲9図 漁101ffi
Claims (2)
- (1)中央電極を電歪板で挾んで分極が同方向となるよ
うに配置した少なくとも1対の電歪板の中央電極と対向
する側に電極を配して構成されるバイモルフ形圧電アク
チュエータにおいて、正の分極を有する側の電極に定電
圧ダイオードのカソードを接続し、負の分極を有する側
の電極に他の定電圧ダイオードのアノードを接続し、前
記双方の定電圧ダイオードの他端を共通にした端子と、
中央電極とによつて構成した駆動入力回路と、この駆動
入力回路に定電圧を供給する駆動回路とから構成され、
電歪板に供給される電圧が分極劣化電圧以下となるよう
に前記定電圧ダイオードの制限電圧を設定したことを特
徴とする圧電アクチュエータ。 - (2)定電圧回路は、定電圧素子とその定電圧素子で発
生した電圧を補強するための増幅回路からなることを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の圧電アクチュエー
タ。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15256384A JPS6130974A (ja) | 1984-07-23 | 1984-07-23 | 圧電アクチユエ−タ |
CA000469365A CA1225694A (en) | 1983-12-09 | 1984-12-05 | Piezoelectric actuator using bimorph element |
US06/678,482 US4625137A (en) | 1983-12-09 | 1984-12-05 | Piezoelectric actuator using bimorph element |
EP84308513A EP0147112B1 (en) | 1983-12-09 | 1984-12-06 | Piezoelectric actuator using bimorph element |
DE8484308513T DE3485851T2 (de) | 1983-12-09 | 1984-12-06 | Piezoelektrische antriebsvorrichtung mit einem bilaminaren element. |
KR1019840007771A KR890003388B1 (ko) | 1983-12-09 | 1984-12-08 | 바이모르프소자를 이용한 압전식 액츄에이터 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15256384A JPS6130974A (ja) | 1984-07-23 | 1984-07-23 | 圧電アクチユエ−タ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6130974A true JPS6130974A (ja) | 1986-02-13 |
Family
ID=15543213
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15256384A Pending JPS6130974A (ja) | 1983-12-09 | 1984-07-23 | 圧電アクチユエ−タ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6130974A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6384173A (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-14 | Mitsubishi Kasei Corp | 圧電アクチユエ−タ |
WO2008007634A1 (fr) * | 2006-07-11 | 2008-01-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Pompe piézoélectrique |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5632207B2 (ja) * | 1977-04-07 | 1981-07-27 |
-
1984
- 1984-07-23 JP JP15256384A patent/JPS6130974A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5632207B2 (ja) * | 1977-04-07 | 1981-07-27 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6384173A (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-14 | Mitsubishi Kasei Corp | 圧電アクチユエ−タ |
WO2008007634A1 (fr) * | 2006-07-11 | 2008-01-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Pompe piézoélectrique |
US8162629B2 (en) | 2006-07-11 | 2012-04-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric pump |
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