JPWO2007138941A1 - サーマル式質量流量計及びサーマル式質量流量制御装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記流体流路及び流量測定用導管内を少なくとも大気圧以下の圧力に引いたときの測定値、その値と前記流体流路及び流量測定用導管内に実流体を封入したときの測定値との差、その実流体の種類、実流体封入時の圧力並びに前記流体流路と前記流量測定用導管に流れる流体の流量比に基づいて流量値を算出する補正値演算手段と、この補正値演算手段で算出された補正値を記憶する記憶手段と、前記実流体を前記流体流路及び流量測定用導管に流動させたときの実測出力値を前記記憶手段から読み出された補正値で補正する出力補正手段とを具備していることを特徴としている。
前記流体流路及び流量測定用導管内を少なくとも大気圧以下の圧力に引いたときの測定値、その値と前記流体流路及び流量測定用導管内に実流体を封入したときの測定値との差、その実流体の種類、実流体封入時の圧力並びに前記流体流路と前記流量測定用導管に流れる流体の流量比に基づいて補正値を算出する補正値演算手段と、この補正値演算手段で算出された補正値を記憶する記憶手段と、この記憶手段から読み出された補正値と設定流量値と前記実流体を前記流体流路及び流量測定用導管流体流路及び流量測定用導管に流動させたときの実測出力値に基づいて前記流体制御部を制御する手段とを具備していることを特徴としている。
1A 本体ブロックの外面
4 流体流路
5 サーマル式質量流量センサ部
6 流体制御部
11 流量測定用導管
12,13 一対の自己発熱型のセンサコイル(サーマル式センサ)
20 MFC
22 補正値演算手段
23 RAM(記憶手段)
24 出力補正手段
30 MFM
図1は、本発明に係るMFC20全体の縦断面図であり、同図において、1は本体ブロックで、この本体ブロック1の両端には流体入口用の接続部材2と流体出口用の接続部材3が取り付けられ、これら接続部材2,3間の本体ブロック1の内部中心部には流体流路4が形成され、前記本体ブロック1の外面1Aで前記流体流路4の一側寄り位置には、サーマル式質量流量センサ部5が付設されているとともに、このサーマル式質量流量センサ部5の下流側で前記流体流路4の他側寄り位置には、ガス流量または圧力を制御するための流体制御部6が付設されている。
(1)まず、MFC20の本体ブロック1内部の流体流路4の上流側に接続部材2を介して接続された流体配管26に介在のバルブ27を閉弁した状態で流体流路4の下流側に接続部材3を介して接続された流体配管28を通じてバイパス部7及び流量測定用導管11内を少なくとも大気圧以下の圧力{流体流路4(バイパス7)及び流量測定用導管11内を流体が実質的に流動しない程度にまで減圧排気された状態で、大気圧より低い圧力がより好ましい。}に真空引きする(ステップS1)。
(2)CPU21は、この真空引きしたときの測定値(指示値/流量センサ出力値)をRAM23に記憶する。このときの測定値は、本体ブロック1の設置姿勢(縦向き姿勢あるいは傾斜姿勢と水平姿勢)のいかんにかかわらず、水平姿勢でのゼロ点とほぼ等しい(ステップS2)。
(3)次に、前記バルブ27を開弁し、かつ、前記流体配管28に介在のバルブ29もしくは前記流体制御部6の弁体16を閉弁して流量測定用導管11内に実流体を封入する(ステップS3)。
(4)CPU21は、この実流体封入時の測定値と前記大気圧以下の圧力に真空引きしたときの測定値(ゼロ)とを比較して両値の差を求めるとともに、その差と実流体の種類、実流体封入時の圧力並びに流体流路4/流量測定用導管11の流量比(これらは既知)から流量補正値を補正値演算手段22で算出し、この算出した補正値をRAM23に格納する(ステップS4)。なお、このステップS4において、サーマル式質量流量センサ部5のゼロ補正を行ってもよい。
(5)上記のような補正演算処理動作後において、CPU21は、実流体をMFC20に流動させたときの実測流量値を、出力補正手段24において前記RAM23から読み出される補正値で補正して出力する(ステップS5)。
(6)そして、CPU21は、前記出力補正手段24から出力され弁開度算出手段30に入力される補正された実測流量値とこの弁開度算出手段30に予入力される設定流量値とを比較して流体制御部6の弁体16の開度を算出し(ステップS6)、それに基づいて弁体駆動部であるピエゾスタック17に出力して流体制御部6の弁体16の開度を調節することにより、所望の流体流量に制御する(ステップS7)。
(1)〜(4)の真空引き(ステップS1)から流量補正値の算出及びその算出補正値のRAM23への格納(ステップS4)までの動作は図3と同一である。
(5)上記のような補正演算処理動作後において、CPU21は、流体制御部6に入力される設定流量値を、出力補正手段24において前記RAM23から読み出される補正値で補正して出力する(ステップS5)。
(6)そして、CPU21は、前記出力補正手段24から出力され弁開度算出手段30に入力される補正設定流量値と実測流量値(実測出力値)に基づいて流体制御部6の弁体16の開度を算出し(ステップS6)、それに基づいて弁体駆動部であるピエゾスタック17に出力して弁体16の開度を調節することにより、流体制御部6の設定流量値を補正制御する(ステップS7)。
Claims (2)
- 内部に流体流路を有する本体ブロックに、前記流体流路と並列的に接続されるとともに一対のサーマル式センサを設けた流量測定用導管を備えたサーマル式質量流量センサ部を付設してなるサーマル式質量流量計において、
前記流体流路及び流量測定用導管内を少なくとも大気圧以下の圧力に引いたときの測定値、その値と前記流体流路及び流量測定用導管内に実流体を封入したときの測定値との差、その実流体の種類、実流体封入時の圧力並びに前記流体流路と前記流量測定用導管に流れる流体の流量比に基づいて補正値を算出する補正値演算手段と、この補正値演算手段で算出された補正値を記憶する記憶手段と、前記実流体を前記流体流路及び流量測定用導管に流動させたときの実測出力値を前記記憶手段から読み出された補正値で補正する出力補正手段とを具備していることを特徴とするサーマル式質量流量計。 - 内部に流体流路を有する本体ブロックに、前記流体流路と並列的に接続されるとともに一対のサーマル式センサを設けた流量測定用導管を備えたサーマル式質量流量センサ部を付設し、前記流体流路の上流側または下流側に、流体流量または圧力を制御するための流体制御部を設けてなるサーマル式質量流量制御装置において、
前記流体流路及び流量測定用導管内を少なくとも大気圧以下の圧力に引いたときの測定値、その値と前記流体流路及び流量測定用導管内に実流体を封入したときの測定値との差、その実流体の種類、実流体封入時の圧力並びに前記流体流路と前記流量測定用導管に流れる流体の流量比に基づいて補正値を算出する補正値演算手段と、この補正値演算手段で算出された補正値を記憶する記憶手段と、この記憶手段から読み出された補正値と設定流量値と前記実流体を前記流体流路及び流量測定用導管に流動させたときの実測出力値に基づいて前記流体制御部を制御する手段とを具備していることを特徴とするサーマル式質量流量制御装置。
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