JP3308480B2 - 熱式フローセンサを利用した流量計及びそれを利用したガスメータ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、熱式フローセンサ
を利用した流量計に関し、特に、フローセンサの取り付
け方向と流体の流れる方向に応じて、最適な補正値を選
択して、より正確な流量の測定を可能にした流量計及び
それを利用したガスメータに関する。

【０００２】

【従来の技術】熱式のフローセンサは、流体の流量、特
にガス等の気体の質量流量を検出することができるセン
サとして注目されている。一般的な熱式フローセンサ
は、熱線の上流側と下流側に温度センサを配置し、流体
の流量に応じて変化する熱線からの輻射熱の温度分布を
１対の温度センサで検出するものである。近年におい
て、半導体チップ上に熱線と温度センサとを設けたマイ
クロフローセンサが開発され、半導体製造装置やガスメ
ータ等で広く普及しつつある。

【０００３】図１は、かかる熱式のフローセンサの概略
を説明する図である。計量対象の気体が流れる流路１０
内に、熱線Ｒｈとその上流側に配置した温度センサ線Ｒ
ｕ及び下流側に配置した温度センサ線Ｒｄからなるフロ
ーセンサを配置する。そして、熱線Ｒｈに対して一定の
電圧Ｖ0 を印加することにより、熱線Ｒｈから輻射熱を
発生させ、その上流側と下流側に温度分布を発生させ
る。そして、流路１０内に図中矢印の方向に流体が流れ
たとすると、それに伴い温度分布が下流側に移動する。
この温度分布の下流側への移動量は、流体に質量流量に
依存する。

【０００４】図２は、上記の熱式フローセンサにおける
温度分布の移動を示す図である。横軸に流路の位置を、
縦軸に温度を示す。実線は、流量Ｑがゼロの時の温度分
布を示す。この温度分布では、熱線の位置Ｈが最も温度
が高く、両側の位置Ｕ（上流）とＤ（下流）で温度が低
くなる。そして、両温度センサＲｕ、Ｒｄでの温度はほ
ぼ等しい。破線は、流量Ｑが所定の流量Ｑｓの場合の温
度分布である。上記したとおり、温度分布は下流側に移
動し、下流側の温度センサＲｄでの温度が上流側の温度
センサＲｕでの温度よりも高くなる。この両温度センサ
での温度の違いの程度に従って、流量が検出される。

【０００５】図１に示されるとおり、フローセンサの温
度センサ線ＲｕとＲｄとは、抵抗Ｒ１，Ｒ２と共にホイ
ートストーンブリッジ回路を構成する。そして、温度セ
ンサ線Ｒｕ、Ｒｄは、温度が高いとその抵抗も高くな
り、温度が低いとその抵抗も低くなる特性を有する。従
って、かかる特性を利用して、温度の違いを、ブリッジ
回路のノードｎｓとｎｒとの電圧差で検出する。１４は
両ノードｎｓ，ｎｒの電圧差を検出する差動アンプであ
り、その出力がアナログのフローセンサ検出出力１６と
なる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
熱式フローセンサは、フローセンサの取り付け方向によ
って流量ゼロの状態での検出出力が異なる場合がある。
即ち、上記したとおり、熱式フローセンサは、真ん中の
熱線から輻射熱が発生される。図１に示された様に、フ
ローセンサの熱線Ｒｈ、温度センサ線Ｒｕ、Ｒｄが横方
向になるように設置される場合は、流量ゼロの状態では
その熱線Ｒｈからの輻射熱はほぼ左右に均等に拡がる。
その結果、図２に実線で示されるとおり上下流対称の温
度分布となり、温度センサ線Ｒｕ、Ｒｄでの抵抗値は等
しくなり、流量ゼロの状態のセンサ検出出力もゼロとな
る。

【０００７】ところが、フローセンサが流体の流れる方
向が鉛直方向にある流路内に置かれる場合は、上記の熱
線Ｒｈの上下に温度センサ線Ｒｕ、Ｒｄが配置されるこ
とになる。この場合、熱線Ｒｈからの輻射熱により流路
内の気体或いは流体に対流が発生し、熱線Ｒｈよりも上
側の温度が高くなる傾向があることが見いだされた。従
って、鉛直方向の流路にフローセンサを取り付ける場合
は、流量ゼロの状態でも、センサ出力は一定のオフセッ
ト値を持つことになる。

【０００８】上記の対流に伴うオフセットの問題は、流
体の流れる方向に依存して、正側のオフセット値或いは
負側のオフセット値として取り扱う必要がある。

【０００９】第２の課題としては、熱式フローセンサか
らの検出出力は、一般に流量に対してリニアな特性を持
っていない。そこで、通常は実験で得た検出出力と流量
との関係を示すリニアライズカーブのデータを利用し
て、センサ検出出力に対して直線化の演算を行う。その
場合、厳密にいえば、流体の対流特性は流体の粘性と分
子量等に依存して異なる。その結果、上記のリニアライ
ズカーブも、対流特性に依存して異なることが予想され
る。

【００１０】第３の課題としては、熱式フローセンサは
質量流量を検出することができるものの、流体の組成に
よって修正を行う必要がある。例えば、ガスメータにお
けるガス種によってガスの組成が異なる。流体の組成が
異なることにより、対流特性も異なり、かかる修正も、
上記の対流特性に依存して異なることが予想される。

【００１１】そこで、本発明の目的は、流路の方向と流
れの方向に依存しない正確な流量値を検出することがで
きる熱式フローセンサを利用した流量計を提供すること
にある。

【００１２】更に、本発明の別の目的は、流路の方向と
流れの方向をフローセンサの検出値から自動的に検出し
て、流路の方向と流れの方向に依存しない正確な流量値
を検出することができる熱式フローセンサを利用した流
量計及びその流量値を積算するガスメータを提供するこ
とにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する為
に、本発明は、第１に、流路の方向と流れの方向に応じ
て、オフセット値やリニアライズデータ、計量気体固有
の換算係数等を選択し、その選択した補正値に従って、
フローセンサの検出出力を補正して正確な流量値を求め
ることを特徴とする。

【００１４】更に、本発明は、第２に、流路の方向を流
量ゼロの状態でのセンサ検出出力値のオフセット値から
自動的に検出する。また、流れの方向は、所定の流量の
状態でもセンサ検出出力値の変化に基づいて自動的に検
出する。

【００１５】更に、本発明は、第３に、流路の方向を、
フローセンサに取り付けられた方向検出手段からの信号
を利用して自動的に検出する。

【００１６】上記の発明によれば、流路の方向、特に水
平（横）方向か鉛直（縦）方向かの検出結果に従って、
最適のオフセット値、リニアライズデータ、計量気体固
有の換算係数等を選択することができる。従って、より
正確な流量の検出を行うことができる。更に、センサ検
出出力を利用して自動的に流路の方向と流れの方向を検
出することができるので、人間の手を煩わせることな
く、最適の補正データを取得することができる。尚、上
記の流路の方向及び流れの方向は、総称して流体の流れ
の方向と称することができる。従って、流体の流れの方
向には、流路の角度（鉛直か水平か）と、流体が流れて
いく方向（上から下か、下から上か、左から右か、右か
ら左か）とが含まれる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従って説明する。しかしながら、本発明の技術的範囲
はその実施の形態に限定されるものではない。

【００１８】図３は、流路が横方向の場合に、フローセ
ンサが横置きされた場合を説明する図である。図３
（１）は、図１と同じ様に、水平方向の流路１０内に熱
線Ｒｈと温度センサ線Ｒｕ、Ｒｄが配置された状態を示
す。かかる横置きの場合は、一対の温度センサ線Ｒｕ、
Ｒｄに対して対流による影響は殆どない。従って、その
温度分布は、図３（２）に示される通り、流量Ｑ＝０の
状態では、熱線Ｒｈの位置Ｈから上流側と下流側とに対
称になる。また、流体が左から右方向に流れると、図３
（２）の破線の如く温度分布が移動する。逆に、流体が
右から左方向に流れると、図３（２）の一点鎖線の如く
温度分布が移動する。

【００１９】従って、流量Ｑ＝０の状態では検出出力も
ゼロになり、流体が左から右方向に流れる場合は、図３
（３）のリニアライズカーブは、第１象限内の補正カー
ブを採用する必要がある。一方、流体が右から左方向に
流れる場合は、図３（３）のリニアライズカーブは、第
３象限の補正カーブを採用する必要がある。

【００２０】更に、気体の種類に依存して、上記のリニ
アライズカーブは、矢印で図示される通り若干補正を加
える必要がある。従って、必要に応じて、ガス種と流体
の流れ方向に依存してその計量流体固有の係数を選択す
ることも行われる。

【００２１】図４は、流路が鉛直方向の場合に、フロー
センサが縦置きされた場合を説明する図である。図４
（１）は、図１と異なり、鉛直方向の流路１０内に熱線
Ｒｈと温度センサ線Ｒｕ、Ｒｄが配置された状態を示
す。温度センサ線Ｒｕは熱線Ｒｈの上側に配置され、温
度センサ線Ｒｄは熱線Ｒｈの下側に配置されている。

【００２２】図４（１）に示される様に、鉛直方向の流
路にフローセンサが取り付けられると、熱線Ｒｈのより
発生する輻射熱が対流を起こす。従って、流量Ｑ＝０の
状態で、図４（２）の実線で示される通り、温度分布が
上側にシフトしてしまう。その結果、流量Ｑ＝０の状態
で検出されるセンサ検出出力Ｆ0 は、マイナス側にシフ
トする。即ち、一定の大きさを持つオフセット値であ
る。

【００２３】しかも、この対流はオフセット値だけに影
響するのではなく、図４（３）に示されたリニアライズ
カーブについても影響を与える。即ち、流路が横方向に
あるリニアライズカーブが単にオフセット値Ｆ0 だけシ
フトするのではなく、対流によりそのリニアライズカー
ブも図中の矢印の通り異なるのである。更に、ガス種等
の流体毎に固有の変換係数に関しても、対流特性により
最適値が異なることが予想される。

【００２４】従って、必要に応じて、流体の流れの方向
に依存してリニアライズカーブを選択し、更にガス種と
流体の流れ方向に依存してその計量流体固有の係数を選
択することも行われる。

【００２５】図５は、本発明の実施の形態例にかかる流
量計及びガスメータの回路構成図である。図１にて説明
した通り、流路１０内に取り付けられたフローセンサの
温度センサ線Ｒｕ，Ｒｄは、ブリッジ回路２２を構成す
る。ブリッジ回路２２は、電源２１に接続され、流路１
０内に発生する流量に依存した温度分布の変化を電圧値
として生成し、ＡＤ変換回路２３に供給する。そこで、
デジタル化されたセンサ検出出力Ｆが、検出信号Ｆにつ
いて後述する流量換算を行うマイクロコンピュータ（流
量換算部）２０に供給される。マイクロコンピュータ２
０は、後述する信号処理を行って、換算した流量値を瞬
時流量表示器２５及び・または積算回路２１１で積算し
た流量値を積算流量表示器２４に表示する。

【００２６】マイクロコンピュータ２０には、例えば、
フローセンサが取り付けられた流路の方向や流れの方向
のデータ信号を入力するための手動スイッチ２５が接続
される。この手動スイッチ２５は、例えば、ジャンパス
イッチ、ディップスイッチ、ロータリースイッチなどの
ハードウエアスイッチ等が利用される。また、マイクロ
コンピュータ２０は、後述する自動検出スイッチ２６に
接続されてもよい。フローセンサに取り付けられ、その
取り付け方向を自動的に検出できるスイッチを利用する
ことで、上記の手動ではなく、自動的に取り付け方向を
マイクロコンピュータ２０に与えることができる。

【００２７】マイクロコンピュータ２０は、センサ検出
出力Ｆに対して、オフセット値を補正するゼロ点補正演
算部２０２と、フローセンサの持つノンリニアリティを
補正する為の直線化演算部２０５及びガス種などの測量
流体に固有の換算係数に従って流量換算する演算部２０
８とを有する。これらの演算部２０２，２０５，２０８
により、センサ検出出力Ｆが流量値に換算され、正確な
流量値が流量表示器２４に与えられる。

【００２８】ゼロ点補正演算部２０２は、例えばＲＡＭ
等からなるゼロ点補正値を記憶したゼロ点補正値メモリ
２０３内のデータを利用して、ゼロ点の補正演算を行
う。このゼロ点補正メモリ２０３内の補正データは、流
路の方向と流れの方向に応じて予め記憶されているゼロ
点補正値テーブル２０４から選択される場合もあれば、
流量ゼロの時に検出されるセンサ検出出力Ｆから求めら
れたゼロ点補正値２１１が採用され記憶される場合もあ
る。このゼロ点補正テーブル２０４は、例えば内蔵する
ＲＯＭ内に格納されても良いし、或いは書換が可能な不
揮発性メモリであるＥＥＰＲＯＭ内に格納されても良
い。

【００２９】直線化演算部２０５は、例えばＲＡＭ等か
らなる直線化補正データを記憶した直線化補正データメ
モリ２０６のデータを利用して、検出出力の直線化演算
を行う。この直線化補正データは、具体的には図３
（３）または図４（３）に示されたリニアライズカーブ
のデータであり、流路の方向と流れの方向に応じて予め
記憶されている直線化補正データテーブル２０７から選
択される。

【００３０】流量換算演算部２０８は、例えばＲＡＭ等
からなる換算係数を記憶した換算係数メモリ２０９のデ
ータを利用して、ガス種等に応じた換算係数で流量の換
算演算を行う。この換算係数は、流路の方向と流れの方
向に応じて予め記憶されている換算係数テーブル２１０
から選択される。

【００３１】上記の各テーブル２０４，２０７，２１０
に格納された複数種類のデータは、流路・流れ方向検出
部２０１からの選択信号２１２によって選択され、それ
ぞれの対応するメモリ２０３，２０６，２０９に記憶さ
れる。流路・流れ方向検出部２０１は、フローセンサか
らの検出出力Ｆを入力して、その検出出力Ｆの値から流
路の方向と流れの方向を検出する。或いは、上記した手
動スイッチ２５からの信号により検出する。または、上
記した自動検出スイッチ２６からの信号により流路の方
向を検出する。そして、検出された流路の方向と流れの
方向に従って、それぞれのテーブルの最適な補正データ
を選択する選択信号２１２をそれぞれのテーブルに供給
する。

【００３２】図６は、流量測定のフローチャート図であ
る。上記した流路・流れ方向検出部２０１による自動検
出の方法が、このフローチャートに示される。先ず、流
量ゼロの状態でのフローセンサの検出出力Ｆを取得する
（Ｓ１０）。この時のセンサ検出出力Ｆは、理想状態で
はゼロ値になるはずであるが、フローセンサ固有の特性
等により一定のオフセット量を有する。更に、流路が鉛
直方向の場合は、フローセンサのゼロ値は上記の特性に
よるオフセット値に加えて極めて大きなオフセット値を
有する。そこで、流量ゼロ状態での検出出力Ｆのオフセ
ット値が、一定の閾値を超える大きな値の場合（Ｓ１
１）は、流路は鉛直方向にあり、フローセンサは縦置き
状態にあると検出される（Ｓ１２）。一方、流量ゼロの
状態でも検出出力Ｆのオフセット値が、小さい場合（Ｓ
１１）は、流路は水平方向にあり、フローセンサは横置
き状態にあると検出される（Ｓ１３）。

【００３３】次に、流路１０に流体を流し一定の流量の
状態にする。その時のフローセンサの検出出力Ｆを取得
する（Ｓ１４）。そして、この検出出力Ｆの変化が正で
あれば（Ｓ１５）、図３（１）、図４（１）で示した、
位置ＵからＤの方向に流体が流れていると検出される
（Ｓ１６）。逆に、検出出力Ｆの変化が負であれば（Ｓ
１５）、位置ＤからＵの方向に流体が流れていると検出
される（Ｓ１７）。

【００３４】以上のフローセンサの出力検出を行った結
果検出された流路１０の方向と流れの方向から、最適の
ゼロ点補正値と、直線化データと換算係数とが、それぞ
れのテーブルから選択される（Ｓ１８，Ｓ１９）。ここ
で、流量ゼロにおけるセンサ検出出力が取得されている
ので、（１）検出したオフセット値に最も近いゼロ点補
正データを、テーブル２０４から選択する、或いは、
（２）検出したオフセット値そのものをゼロ点補正デー
タ２１１として、ゼロ点補正メモリ２０３に格納する
の、いずれかの方法をとることができる。後者の方法
（２）では、フローセンサの経年変化に伴うゼロ点の変
化にも対応することができる。

【００３５】そして、上記の通り選択された各補正デー
タに従って、その後に検出されたセンサ検出出力Ｆか
ら、ゼロ点補正演算部２０２、直線化演算部２０５及び
流量換算演算部２０８により瞬時流量値及び積算流量値
が求められる（Ｓ２０）。

【００３６】図７は、自動流路方向検出スイッチの例を
示す図である。この例は、フローセンサの熱線と温度セ
ンサ線とが取り付けられた配管３０に、矢印３４方向に
回転可能な流量表示部３２を取り付けられている。図７
（１）は、流路方向が鉛直方向にあり、ガスの流れが上
から下への方向の場合の、流量表示部３２の配管３０に
対する位置を示す。フローセンサを取り付けた時に、流
量表示部３２を必ず水平方向でガスの流れは表示部の上
から下方向になるように、作業者が流量表示部３２を回
転設定するようにする。その時、この流量表示部３２に
設けたエンコーダの出力等を利用することで、マイクロ
コンピュータ２０内の流路・流れ方向検出部２０１に、
その検出信号を与えることが可能になる。

【００３７】図７（２）は、流路方向が水平方向であ
り、ガスの流れは表示部３２の左側から右側方向になる
様に、作業者が流量表示部３２を回転設置する。

【００３８】図８は、他の自動流路方向検出スイッチの
例を示す図である。この例では、フローセンサが取り付
けられる配管の表示部３２に側壁などに、流路方向が鉛
直方向か或いは水平方向かを検出する方向検出スイッチ
３３が取り付けられる。この方向検出スイッチ３３は、
例えば、中空の球内に磁石の小球３６を挿入し、中空内
で自由に移動可能にする。そして、２つのリードスイッ
チ３４，３５を、横方向と下方向の位置の取り付ける。

【００３９】方向検出スイッチ３３は、流路をつくる配
管３０が水平方向に設置された時は、磁石３６は、リー
ドスイッチＢ側に移動する。一方、配管３０が鉛直方向
に設置された時は、磁石３６はリードスイッチＡ側に移
動する。それぞれのリードスイッチからの信号が、図５
に示した自動検出スイッチ２６からの検出信号として、
マイクロコンピュータ２０内の流路・流れ方向検出部２
０１に供給される。この例では、流路の角度検出を行う
だけで、流れの方向を検出することはできない。従っ
て、図６のフローチャートのステップＳ１５〜Ｓ１７に
従って、流れの方向は検出される。

【００４０】尚、上記のリードスイッチ３４，３５は、
いずれか一方であっても、設置方向が必ず水平か鉛直で
あれば、そのいずれかの方向を検出することができる。

【００４１】更に、上記のリードスイッチを利用した方
向検出スイッチに限定されず、例えば、地磁気センサに
より地磁気の角度を検出する機構を有するスイッチも利
用できる。また、リードスイッチに限らず内部のおもり
の位置によって、おもりの重さでオンするスイッチが設
けられたタイプの角度検出スイッチも利用することがで
きる。

【００４２】更に、上記実施の形態例がガスメータ内の
流量計として利用される場合は、その流路の方向や流れ
の方向を、自動検針や自動遮断等に利用される通信手段
を介してマイクロコンピュータに与えることも可能であ
る。

【００４３】更に、ガスメータの流量計として使用され
る場合は、ガス計量法により、流路が鉛直方向にある場
合は、そのガスの流れは上から下にすることが義務付け
られている。また、流路が水平方向にある場合は、その
ガスの流れは左から右にすることが義務付けられてい
る。従って、かかる法律上の制約がある場合は、上記し
た流れの方向を検出する必要はない。

【００４４】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、熱
式のフローセンサを利用した流量計において、その設置
方向と流体の流れる方向によって、最適のゼロ点補正
値、直線化補正データ及び流体に固有の換算係数値を選
択するので、設置方向に依存した発生する流体の対流現
象による測定誤差をなくすことができる。

【００４５】更に、上記の流路の方向や流体の流れの方
向を、センサ検出出力から自動的に検出することができ
るので、作業者の手を煩わせることなく、正確に補正デ
ータを選択することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】熱式のフローセンサの概略を説明する図であ
る。

【図２】熱式フローセンサにおける温度分布の移動を示
す図である。

【図３】フローセンサが横置きされた場合を説明する図
である。

【図４】フローセンサが縦置きされた場合を説明する図
である。

【図５】本発明の実施の形態例にかかる流量計の回路構
成図である。

【図６】流量測定のフローチャート図である。

【図７】自動流路方向検出スイッチの例を示す図であ
る。

【図８】自動流路方向検出スイッチの例を示す図であ
る。

【符号の説明】

Ｒｈ 熱線 Ｒｕ、Ｒｄ 温度センサ ２０ 流量換算部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田代 健 埼玉県川越市大字砂久保36−３ (72)発明者 木村 純三 東京都渋谷区渋谷２−12−19 山武ハネ ウエル株式会社内 (72)発明者 大石 安治 東京都渋谷区渋谷２−12−19 山武ハネ ウエル株式会社内 (72)発明者 稲垣 広行 東京都渋谷区渋谷２−12−19 山武ハネ ウエル株式会社内 (72)発明者 瀬尾 雅己 東京都渋谷区渋谷２−12−19 山武ハネ ウエル株式会社内 (72)発明者 伊勢谷 順一 東京都渋谷区渋谷２−12−19 山武ハネ ウエル株式会社内 (56)参考文献 特開 平５−157603（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01F 1/68 - 1/699 G01F 15/06

Claims (10)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】熱線と、流体の流れ方向に離間して設けら
   れる温度センサとを有する熱式フローセンサを利用した
   流量計において、当該流量計に回転可能に設けられ、該流量計設置時に前
   記流体の流れの方向に応じて回転設定される流量表示部
   と、 前記流体の流れの方向に応じて、流量ゼロ時のオフセッ
   ト値を選択し、前記選択されたオフセット値に従って、
   前記フローセンサからの検出出力のゼロ点補正を行う流
   量換算部とを有し、 前記流体の流れの方向は、前記流量表示部の回転設定さ
   れた回転角度から検出される ことを特徴とする流量計。
2. 【請求項２】熱線と、流体の流れ方向に離間して設けら
   れる温度センサとを有する熱式フローセンサを利用した
   流量計において、前記流体の流れの方向に応じて、流量ゼロ時のオフセッ
   ト値を選択し、前記選択されたオフセット値に従って、
   前記フローセンサからの検出出力のゼロ点補正を行う流
   量換算部と、 前記フローセンサが取り付けられる流路を形成する配管
   に取り付けられ、当該流路の方向に従って、その水平・
   鉛直方向を検出する角度検出手段とを有し、 前記流量換算部に前記角度検出手段から方向データが供
   給される ことを特徴とする流量計。
3. 【請求項３】熱線と、流体の流れ方向に離間して設けら
   れる温度センサとを有する熱式フローセンサを利用した
   流量計において、 前記流体の流れの方向及び計量するガス種に応じて、前
   記計量流体固有の換算係数データを選択し、前記選択さ
   れた換算係数データに従って、前記フローセンサからの
   検出出力から流量を求める流量換算部を有することを特
   徴とする流量計。
4. 【請求項４】請求項１〜３のいずれかの請求項におい
   て、 前記流体の流れの方向は、鉛直方向または水平方向であ
   ることを特徴とする流量計。
5. 【請求項５】請求項１〜３のいずれかの請求項におい
   て、 前記流体の流れの方向のデータは、手動スイッチにより
   前記流量換算部に与えられることを特徴とする流量計。
6. 【請求項６】請求項１〜３のいずれかの請求項におい
   て、 前記流体の流れの方向は、前記流量換算部が、流量ゼロ
   の状態における前記フローセンサ検出出力から検出する
   ことを特徴とする流量計。
7. 【請求項７】請求項１〜３のいずれかの請求項におい
   て、 前記流体の流れの方向は、前記流量換算部が、流量ゼロ
   の状態と所定の流量の状態における前記フローセンサ検
   出出力の変化の方向から検出することを特徴とする流量
   計。
8. 【請求項８】請求項３において、 前記流体の流れの方向は、当該流量計に回転可能に設け
   られた流量表示部の、前記流れる方向に応じて回転設定
   される回転角度から検出されることを特徴とする流量
   計。
9. 【請求項９】請求項３において、 更に、前記フローセンサが取り付けられる流路を形成す
   る配管に取り付けられ、流路の方向に従って、その水平
   ・鉛直方向を検出する角度検出手段を有し、前記流量換
   算部に前記角度検出手段から方向データが検出されるこ
   とを特徴とする流量計。
10. 【請求項１０】請求項１〜９のいずれかの請求項におい
    て、 前記求められた流量を積算するガスメータ。