JPWO2006109510A1 - キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ - Google Patents
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- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 47
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 47
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims abstract description 41
- 238000005266 casting Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000004382 potting Methods 0.000 claims description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 abstract description 30
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract description 20
- 230000007774 longterm Effects 0.000 abstract description 3
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 4
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011796 hollow space material Substances 0.000 description 1
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
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- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K15/00—Methods or apparatus specially adapted for manufacturing, assembling, maintaining or repairing of dynamo-electric machines
- H02K15/12—Impregnating, heating or drying of windings, stators, rotors or machines
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- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
- H02K5/04—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
- H02K5/08—Insulating casings
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
- H02K5/04—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
- H02K5/12—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof specially adapted for operating in liquid or gas
- H02K5/128—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof specially adapted for operating in liquid or gas using air-gap sleeves or air-gap discs
- H02K5/1282—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof specially adapted for operating in liquid or gas using air-gap sleeves or air-gap discs the partition wall in the air-gap being non cylindrical
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
- H02K5/04—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
- H02K5/22—Auxiliary parts of casings not covered by groups H02K5/06-H02K5/20, e.g. shaped to form connection boxes or terminal boxes
- H02K5/225—Terminal boxes or connection arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K9/00—Arrangements for cooling or ventilating
- H02K9/19—Arrangements for cooling or ventilating for machines with closed casing and closed-circuit cooling using a liquid cooling medium, e.g. oil
- H02K9/197—Arrangements for cooling or ventilating for machines with closed casing and closed-circuit cooling using a liquid cooling medium, e.g. oil in which the rotor or stator space is fluid-tight, e.g. to provide for different cooling media for rotor and stator
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
- H02K5/04—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
- H02K5/12—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof specially adapted for operating in liquid or gas
- H02K5/128—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof specially adapted for operating in liquid or gas using air-gap sleeves or air-gap discs
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
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- Linear Motors (AREA)
- Motor Or Generator Frames (AREA)
- Motor Or Generator Cooling System (AREA)
Abstract
Description
図7において、1は可動子、2は界磁ヨーク、3は永久磁石、4は界磁ヨーク支持部材5は固定子、6はキャン、7は電機子巻線、8は冷媒供給口、9は冷媒排出口、10は筐体、20はキャン固定用のボルト、12はリード線を収納するカバ、15はコネクタである。
一方の可動子1は、平板状の二つの界磁ヨーク2と、各界磁ヨーク2の表面に取付けた永久磁石3と、二つの界磁ヨーク2の間に挿入されると共に全体で合計4個の界磁ヨーク支持部材4とから構成され、両端が開口した中空空間部を有している。そして、上記永久磁石3は界磁ヨーク2上に交互に極性が異なるように複数の磁石を隣り合わせに並べて配置したものとなっている。なお、可動子1は、図示しないスライダとガイドレールからなるボールを用いたリニアガイドあるいは静圧軸受案内等によって支持されている。
また、他方の固定子5を構成するキャンド・リニアモータ電機子は、内部を中空とする額縁状を有した金属製の筐体10と、該筐体10の両開口部を密閉するために筐体10の外形を象った板状のキャン6と、該キャン6を筐体10に固定するためのボルトねじ20と、筐体10の中空内に配置された3相の電機子巻線7と、より構成されている。なお、電機子巻線7は複数の成形コイルよりなるコイル群にモールドを施してユニット化されたもので、以下に従来例を具体的に後述する。また、電機子巻線7は従来例を符号72、本発明では符号71として区別して表すことにする。
次に、キャンド・リニアモータ電機子の具体的な構造について、図4〜図6を用いて説明する。図4は図7のA−A線に沿う従来のキャンド・リニアモータ電機子の側断面図、図5は図4に示す従来の電機子巻線部の側断面図。図6は図4に示す従来のコネクタ部の側断面図である。
まず、図5において、従来の電機子巻線部72について説明する。
電機子外部とパワー線または信号線として接続するための結線基板72a上に、平板状に成形された複数の成形コイル72cをハンダ付けおよび固定配置させ、その周囲を樹脂製のフレーム72bおよび樹脂製のカバー72dにて覆っている。これらによって囲まれた成形コイル72c周辺の空隙部に、冷媒に対する成形コイル72cの絶縁信頼性を高める目的で、モールド21またはポッティング樹脂(不図示)にて注形している。
次に、図6において、従来のコネクタについて説明する。
結線基板72aより電機子外部にパワー線または信号線を接続するためのハーメチックシール15aに、結線基板72aより引き出されるリード線15cをハンダ付けし、冷媒に対する成形コイル72cの絶縁信頼性を高める目的で、その結線部位15dを高粘度樹脂15bにて注形している。
図4において、上記の電機子巻線部72とコネクタ15を用いた電機子の組立について説明する。
メインフレーム11に、電機子巻線部72を図示しないネジ等を用いて固定すると共に、コネクタ15をレーザー溶接にて固定している。電機子巻線部72の結線部位72eとコネクタ15の結線部位15d周辺の空隙部に、冷媒に対する成形コイル72cの絶縁信頼性を高める目的で、高粘度樹脂19を充填している。そして、電機子巻線部72の結線部位72eに第1カバー13を接着剤等を用いて、またコネクタ15の結線部位15dに第2カバー12をレーザー溶接にて固定している。外部への冷媒漏れを防ぐ目的のOリング16を介在させて、電機子巻線部72の表面と裏面に冷媒を流すための冷媒通路17を確保出来る位置に、キャン6を固定している。
このように構成されたキャンド・リニアモータ電機子に、電気的相対位置に応じた3相交流電流を成形コイル72cに流すことにより、図示しない永久磁石の作る磁界と作用して図示しない可動子に推力が発生する。このとき銅損によって発熱した成形コイル72cは冷媒通路17を流れる冷媒により冷却されるので、キャン6表面の温度上昇を抑えることが出来る(例えば、特許文献1〜3を参照)。
(1)電機子巻線部72において、結線基板72aと樹脂製フレーム72bおよび樹脂製カバ72dを接着剤等を用いて固定して、成形コイル72cの周辺に空隙部を確保し、その空隙部をモールドまたはポッティング樹脂にて注形しているが、樹脂製フレーム72bと樹脂製カバ72dとの接着固定時の位置決め作業が困難であり、また、樹脂製フレーム72bと樹脂製カバ72dの構成部品間の界面より絶縁劣化や絶縁破壊が生じることがあった。
(2)コネクタ15において、ハーメチックシール15aの結線部位15dを高粘度樹脂15bにて注形しているが、使用している樹脂が高粘度のため注形時の作業性が悪く気泡等を噛み込むことが多く、そのため絶縁劣化や絶縁破壊が生じることがあった。
(3)電機子巻線部72の結線部位72eとコネクタ15の結線部位15d周辺の空隙部を高粘度樹脂19にて充填しているが、使用している樹脂が高粘度のため充填時の作業性が悪く気泡等を噛み込むことが多く、そのため絶縁劣化や絶縁破壊が生じることがあった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、電機子巻線部の構成部材の部品点数を減少させることにより界面を減少させ、また、注形および充填の作業性を向上させて気泡等を噛み込むことなく確実に注形および充填することができると共に、冷媒に対する電機子巻線の長期絶縁信頼性の高いキャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータを提供することを目的とする。
請求項1の発明は、平板状に成形された複数の成形コイルよりなるコイル群で構成された電機子巻線と、前記電機子巻線を額縁状に囲むように設けた金属製の筐体と、前記筐体の両開口部を密閉するキャンとを具備したキャンド・リニアモータ電機子において、前記コイル群を結線基板と樹脂製のバスタブ形状のフレームとで挟み込むと共にモールドまたはポッティング樹脂にて注形して成るものである。
また、請求項2の発明は、請求項1に記載のキャンド・リニアモータ電機子において、前記キャンド・リニアモータ電機子より該電機子外部とパワー線または信号線として接続するためのコネクタとの結線部位を、作業温度時における粘度=30Pa・s以下、可使時間=0.1〜24時間、弾性率=3,000MPa以下であるモールドまたはポッティング樹脂にて注形して成るものである。
また、請求項3の発明は、請求項1に記載のキャンド・リニアモータ電機子において、前記結線基板より該結線基板外部とパワー線または信号線として接続するための結線部位を、作業温度時における粘度=30Pa・s以下、可使時間=0.1〜24時間、弾性率=3,000MPa以下であるモールドまたはポッティング樹脂にて充填して成るものである。
また、請求項4の発明は、キャンド・リニアモータに係り、請求項1〜請求項3までの何れか1項に記載のキャンド・リニアモータ電機子と、前記電機子と磁気的空隙を介して対向配置されると共に交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせて並べて配置した界磁ヨークとを備え、前記電機子と前記界磁ヨークの何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁ヨークと前記電機子を相対的に走行するようにしたものである。
請求項2に記載の発明によると、キャンド・リニアモータ電機子より電機子外部とパワー線または信号線として接続するためのコネクタとの結線部位を、作業温度時における粘度=30Pa・s以下、可使時間=0.1〜24時間、弾性率=3,000MPa以下であるモールドまたはポッティング樹脂にて注形するため、低粘度の樹脂を用いることで注形の作業性を向上させて気泡等を噛み込むことなく確実に注形することが可能で、冷媒に対する電機子巻線の絶縁信頼性を高めることが出来る。
請求項3に記載の発明によると、結線基板より結線基板外部とパワー線または信号線として接続するための結線部位を、作業温度時における粘度=30Pa・s以下、可使時間=0.1〜24時間、弾性率=3,000MPa以下であるモールドまたはポッティング樹脂にて充填するため、低粘度の樹脂を用いることで充填の作業性を向上させて気泡等を噛み込むことなく確実に充填することが可能で、冷媒に対する電機子巻線の絶縁信頼性を高めることが出来る。
請求項4に記載の発明によると、電機子巻線の冷媒に対する耐絶縁性が高く、冷却能力の高い水を冷媒として使用すると共に、電機子と界磁を対向配置させることで信頼性の高いキャンド・リニアモータを得ることができる。
2 界磁ヨーク
3 永久磁石
4 界磁ヨーク支持部材
5 固定子
6 キャン
7 電機子巻線
71 電機子巻線(本発明)
71a 結線基板
71b フレーム
71c 成形コイル
71e 結線部位
72 電機子巻線(従来例)
72a 結線基板
72b フレーム
72c 成形コイル
72d カバー
72e 結線部位
8 冷媒供給口
9 冷媒排出口
10 筐体
11 メインフレーム
12 第2カバー
13 第1カバー
14 コネクタ
14a ハーメチックシール
14b 低粘度樹脂
14c リード線
14d 結線部位
15 コネクタ
15a ハーメチックシール
15b 高粘度樹脂
15c リード線
15d 結線部位
16 Oリング
17 冷媒通路
18 低粘度樹脂
19 高粘度樹脂
20 ボルトねじ
21 モールド
まず、本発明の電機子巻線部71について説明する。
図2において、電機子外部とパワー線または信号線として接続するための結線基板71a上に、平板状に成形された複数の成形コイル71cをハンダ付けおよび固定配置させ、その周囲を結線基板71a面側のみが開放されたバスタブ形状の樹脂製フレーム71bにて覆っている。これらの結線基板71aとバスタブ形状の樹脂製フレーム71bとによって囲まれた成形コイル71c周辺の空隙部に、冷媒に対する成形コイル71cの絶縁信頼性を高める目的で、モールド21またはポッティング樹脂(不図示)にて注形している。例えば、エポキシ樹脂にて真空注形することにより、空隙部が完全にエポキシ樹脂に置換される。構成部材の部品点数を減少させることで界面を減少させることが出来、また注形の作業性を向上させることが出来るため、冷媒に対する電機子巻線の絶縁信頼性を高めることが出来る。
図3において、結線基板71aより電機子外部にパワー線または信号線を接続するためのハーメチックシール14aに、結線基板71aより引き出されるリード線14cをハンダ付けし、冷媒に対する成形コイル71cの絶縁信頼性を高める目的で、その結線部位14dを,モールドまたはポッティング樹脂、特に低粘度樹脂14bを用いて注形している。例えば、作業温度時における粘度が30Pa・s以下、可使時間が0.1〜24時間、弾性率が3,000MPa以下であるシリコーンにて注形している。低粘度の樹脂を用いることで注形の作業性を向上させて気泡等を噛み込むことなく確実に注形することが可能で、冷媒に対する電機子巻線の絶縁信頼性を高めることが出来る。
メインフレーム11に、電機子巻線部71を図示しないネジ等を用いて、またコネクタ14をレーザー溶接にて固定している。電機子巻線部71の結線部位71eとコネクタ14の結線部位14d周辺の空隙部に、冷媒に対する成形コイル71cの絶縁信頼性を高める目的で、低粘度樹脂18を充填している。例えば、作業温度時における粘度が30Pa・s以下、可使時間が0.1〜24時間、弾性率が3,000MPa以下であるシリコーンにて注形している。低粘度の樹脂を用いることで注形の作業性を向上させて気泡等を噛み込むことなく確実に充填することが可能で、冷媒に対する電機子巻線の絶縁信頼性を高めることが出来る。電機子巻線部71の結線部位71eに第1カバー13を接着剤等を用いて、またコネクタ14の結線部位14dに第2カバー12をレーザー溶接にて固定している。低粘度樹脂18が冷媒の通らないキャンド・リニアモータ電機子内の空隙部に確実に充填されていることを、第1カバー13に設けた単一または複数の穴から確認することが出来、冷媒に対する電機子巻線の絶縁信頼性を高めることが出来る。
外部への冷媒漏れを防ぐ目的のOリング16を介在させて、電機子巻線部7の表面と裏面に冷媒を流すための冷媒通路17を確保出来る位置に、キャン6を固定している。
このように構成されたキャンド・リニアモータ電機子に、電気的相対位置に応じた3相交流電流を成形コイル71cに流すことにより、図示しない永久磁石の作る磁界と作用して図示しない可動子に推力が発生する。このとき銅損によって発熱した成形コイル71cは冷媒通路10を流れる冷媒により冷却されるので、キャン6表面の温度上昇を抑えることが出来る。
Claims (4)
- 平板状に成形された複数の成形コイルよりなるコイル群で構成された電機子巻線と、前記電機子巻線を額縁状に囲むように設けた金属製の筐体と、前記筐体の両開口部を密閉するキャンとを具備したキャンド・リニアモータ電機子において、
前記コイル群を結線基板と樹脂製のバスタブ形状のフレームとで挟み込み、モールドまたはポッティング樹脂にて注形して成るものであることを特徴とするキャンド・リニアモータ電機子。 - 前記キャンド・リニアモータ電機子より該電機子外部とパワー線または信号線として接続するためのコネクタとの結線部位を、作業温度時における粘度=30Pa・s以下、可使時間=0.1〜24時間、弾性率=3,000MPa以下であるモールドまたはポッティング樹脂にて注形して成るものであることを特徴とする請求項1記載のキャンド・リニアモータ電機子。
- 前記結線基板より該結線基板外部とパワー線または信号線として接続するための結線部位を、作業温度時における粘度=30Pa・s以下、可使時間=0.1〜24時間、弾性率=3,000MPa以下であるモールドまたはポッティング樹脂にて充填して成るものであることを特徴とする請求項1記載のキャンド・リニアモータ電機子。
- 請求項1〜請求項3までの何れか1項に記載のキャンド・リニアモータ電機子と、前記電機子と磁気的空隙を介して対向配置されると共に交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせて並べて配置した界磁ヨークとを備え、前記電機子と前記界磁ヨークの何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁ヨークと前記電機子を相対的に走行するようにしたことを特徴とするキャンド・リニアモータ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005114659 | 2005-04-12 | ||
JP2005114659 | 2005-04-12 | ||
PCT/JP2006/305925 WO2006109510A1 (ja) | 2005-04-12 | 2006-03-24 | キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2006109510A1 true JPWO2006109510A1 (ja) | 2008-10-23 |
JP4636390B2 JP4636390B2 (ja) | 2011-02-23 |
Family
ID=37086796
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007512483A Expired - Fee Related JP4636390B2 (ja) | 2005-04-12 | 2006-03-24 | キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7939973B2 (ja) |
JP (1) | JP4636390B2 (ja) |
KR (1) | KR100924202B1 (ja) |
CN (1) | CN101156302B (ja) |
DE (1) | DE112006000905T5 (ja) |
GB (1) | GB2438816B (ja) |
WO (1) | WO2006109510A1 (ja) |
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DE102007038841A1 (de) | 2007-08-16 | 2009-02-19 | Dorma Gmbh + Co. Kg | Linearmotor-Anordnung |
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-
2006
- 2006-03-24 JP JP2007512483A patent/JP4636390B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-03-24 CN CN2006800119048A patent/CN101156302B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-03-24 WO PCT/JP2006/305925 patent/WO2006109510A1/ja active Application Filing
- 2006-03-24 US US11/911,009 patent/US7939973B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-03-24 DE DE112006000905T patent/DE112006000905T5/de not_active Withdrawn
- 2006-03-24 GB GB0719806A patent/GB2438816B/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-03-24 KR KR1020077023461A patent/KR100924202B1/ko not_active IP Right Cessation
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100924202B1 (ko) | 2009-10-29 |
US20090015076A1 (en) | 2009-01-15 |
CN101156302A (zh) | 2008-04-02 |
CN101156302B (zh) | 2011-06-01 |
GB2438816B (en) | 2009-04-01 |
US7939973B2 (en) | 2011-05-10 |
KR20070118641A (ko) | 2007-12-17 |
GB2438816A (en) | 2007-12-05 |
GB0719806D0 (en) | 2007-11-21 |
DE112006000905T5 (de) | 2008-03-13 |
WO2006109510A1 (ja) | 2006-10-19 |
JP4636390B2 (ja) | 2011-02-23 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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