WO2006109510A1 - キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ - Google Patents

キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ Download PDF

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linear motor
canned linear
canned
resin
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Kenichi Sadakane
Toshikazu Hamao
Mitsuhiro Matsuzaki
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Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki
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Definitions

  • the present invention relates to a canned 'linear motor armature and a canned' linear motor that is used for table feed of a semiconductor manufacturing apparatus or a machine tool, and that requires a reduction in temperature rise of the linear motor body and long-term insulation reliability. Is.
  • FIG. 7 is an overall perspective view of a general canned linear motor common to the present invention and the prior art.
  • 1 is a mover
  • 2 is a field yoke
  • 3 is a permanent magnet
  • 4 is a field yoke support member
  • 5 is a stator
  • 6 is a can
  • 7 is an armature feeder
  • 8 is a refrigerant supply port
  • 9 is a refrigerant discharge port
  • 10 is a housing
  • 20 is a bolt for fixing the can
  • 12 is a cover for storing the lead wire
  • 15 is a connector.
  • One mover 1 is inserted between the two flat field yokes 2, the permanent magnet 3 attached to the surface of each field yoke 2, and the two field yokes 2, and a total of four And a hollow space portion having both ends opened.
  • the permanent magnet 3 has a plurality of magnets arranged side by side on the field yoke 2 so that the polarities are alternately different.
  • the mover 1 is supported by a linear guide using a slider (not shown) and a ball having a guide rail force or a hydrostatic bearing guide.
  • the canned linear motor armature constituting the other stator 5 is used to seal a metal casing 10 having a frame shape with a hollow inside and both openings of the casing 10.
  • a plate-shaped can 6 that is shaped like the outer shape of the housing 10, a screw 20 for fixing the can 6 to the housing 10, and a three-phase armature cage disposed in the hollow of the housing 10 It consists of line 7 and more.
  • the armature winding 7 is a unit formed by molding a coil group composed of a plurality of formed coils, and a conventional example will be specifically described below.
  • the armature winding 7 is distinguished from the conventional example by reference numeral 72 and in the present invention by reference numeral 71.
  • FIGS. 4 is a side sectional view of a conventional canned linear motor armature along line AA in FIG. 7, and
  • FIG. 5 is a side sectional view of a conventional armature winding portion shown in FIG. 6 is a side sectional view of the conventional connector shown in FIG.
  • a plurality of formed coils 72c formed in a flat plate shape are attached to a wiring board 72a for connection as a power line or a signal line to the outside of the armature, and are fixedly disposed, and the periphery thereof is made of resin. Cover with frame 72b and resin cover 72d. In order to increase the insulation reliability of the molded coil 72c with respect to the coolant, the mold 21 or potting grease (not shown) is cast in the space around the molded coil 72c surrounded by these.
  • the purpose is to increase the insulation reliability of the molded coil 72c against the refrigerant by soldering the lead wire 15c drawn from the connection board 72a to the hermetic seal 15a for connecting the power line or signal line from the connection board 72a to the outside of the armature.
  • the connecting part 15d is cast with a high-viscosity resin 15b.
  • the armature winding 72 is fixed to the main frame 11 using screws or the like, and the connector 15 is fixed by laser welding.
  • a high-viscosity resin 19 is filled in the gaps around the connection part 72e of the armature winding part 72 and the connection part 15d of the connector 15 in order to increase the insulation reliability of the molded coil 72c against the refrigerant.
  • the first cover 13 is fixed to the connection part 72e of the armature winding part 72 with an adhesive or the like, and the second cover 12 is fixed to the connection part 15d of the connector 15 by laser welding.
  • the can 6 is fixed at a position where a refrigerant passage 17 for flowing the refrigerant through the front and back surfaces of the armature winding part 72 can be secured by interposing an O-ring 16 for preventing refrigerant leakage to the outside.
  • Patent Document 1 Japanese Patent No. 3592292
  • Patent Document 2 JP 2003-224961
  • Patent Document 3 JP 2004-312877
  • the conventional canned 'linear motor armature has the following problems.
  • the wiring board 72a, the resin frame 72b, and the resin power 72d are fixed with an adhesive or the like to secure a gap around the formed coil 72c,
  • the gap is cast with a mold or potting grease.
  • the positioning work is difficult when the resin frame 72b and the resin cover 72d are bonded and fixed. Insulation deterioration or breakdown may occur at the interface between the components of Frame 72b and Absorbent Cano 72d.
  • connection part 15d of the hermetic seal 15a The connector 15 is casted with the high-viscosity grease 15b in the connection part 15d of the hermetic seal 15a, but the workability during casting is high because the resin used is highly viscous. In many cases, air bubbles and the like are engulfed, resulting in insulation deterioration and breakdown.
  • the present invention has been made in view of such problems, and by reducing the number of parts of the components of the armature winding part, the interface is reduced, and the workability of casting and filling is improved. In addition, it is possible to reliably cast and fill without bubbles or the like, and to provide a canned 'linear motor armature and canned' linear motor with high long-term insulation reliability of armature windings against refrigerant For the purpose.
  • the present invention is configured as follows.
  • the invention according to claim 1 is an armature winding formed of a coil group including a plurality of formed coils formed in a flat plate shape, and a metal casing provided so as to surround the armature winding in a frame shape.
  • a can linear motor armature provided with a can that seals both openings of the housing, and the coil group is sandwiched between a wiring board and a bathtub-shaped frame made of resin and molded or It is cast by potting grease.
  • the invention of claim 2 is the canned 'linear motor armature according to claim 1, wherein the canned' linear motor armature is connected to a connector for connecting to the outside of the armature as a power line or a signal line.
  • the invention according to claim 3 is the canned linear motor armature according to claim 1, wherein a connection part for connecting as a power line or a signal line from the connection board to the outside of the connection board as a power line or a signal line is provided at the working temperature.
  • Viscosity 30 Pa's or less
  • pot life 0.1 to 24 hours
  • modulus of elasticity 3, filled with mold or potting grease with OOOMPa or less.
  • the invention of claim 4 relates to a canned linear motor, wherein the canned linear motor armature according to any one of claims 1 to 3 and the armature and a magnetic gap are provided.
  • a field yoke in which a plurality of permanent magnets having different polarities alternately arranged next to each other are arranged side by side, one of the armature and the field yoke being a stator and the other being a mover As described above, the field yoke and the armature are relatively driven.
  • the coil group is sandwiched between the wiring board and the resin-made bathtub-shaped frame and cast with a mold or potting resin, the number of components is reduced. By reducing the number, the interface can be reduced, and the casting workability can be improved, so that the insulation reliability of the armature winding with respect to the refrigerant can be improved.
  • Filling with mold or potting resin whose modulus of elasticity 3, OOOMPa or less for 24 hours, so using low viscosity resin improves the workability of filling and ensures that there are no air bubbles It is possible to increase the insulation reliability of the armature wires with respect to the refrigerant.
  • water having high cooling ability and high insulation resistance to the refrigerant of the armature winding is used as the refrigerant, and reliability is achieved by arranging the armature and the field so as to face each other.
  • High canned linear motor can be obtained.
  • FIG. 1 is a canned linear motor armature showing an embodiment of the present invention, corresponding to a side sectional view taken along line AA in FIG.
  • FIG. 2 is a side sectional view of the armature winding portion of the present invention shown in FIG.
  • FIG. 3 is a side sectional view of the connector portion of the present invention shown in FIG.
  • FIG.4 A cross-sectional side view of a canned 'linear motor armature along line A—A in Fig. 7
  • FIG. 5 is a side sectional view of the conventional armature winding shown in FIG.
  • FIG. 6 Side sectional view of the conventional connector shown in Fig. 4.
  • FIG. 7 is a general perspective view of a general canned 'linear motor common to the present invention and the prior art.
  • FIG. 1 is a canned linear motor armature showing an embodiment of the present invention, and corresponds to a side sectional view taken along line AA in FIG. 2 is a side sectional view of the armature winding portion of the present invention shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a side sectional view of the connector portion of the present invention shown in FIG. 1.
  • the features of the present invention are as follows. It is as follows.
  • a plurality of formed coils 71c formed in a flat plate shape are soldered and fixedly arranged on a connection board 71a for connecting to the outside of the armature as a power line or a signal line, and the periphery thereof is connected to the surface of the connection board 71a. It is covered with a bathtub-shaped resinous frame 71b that is open only on the side.
  • the mold 21 or potting resin (non-coated) is used. It is cast as shown).
  • the voids are completely replaced with epoxy resin.
  • the interface can be reduced and the casting workability can be improved, so that the insulation reliability of the armature wire against the refrigerant can be improved.
  • the connecting part 14d is cast using a mold or potting resin, especially low viscosity resin 14b.
  • low viscosity resin 14b is cast in silicone with a viscosity at working temperature of 30 Pa's or less, a pot life of 0.1 to 24 hours, and an elastic modulus of 3, OOOMPa or less.
  • the armature winding 71 is fixed to the main frame 11 using screws or the like (not shown), and the connector 14 is fixed by laser welding.
  • a low-viscosity resin 18 is filled in the gap between the connection part 71e of the armature winding part 71 and the connection part 14d of the connector 14 in order to increase the insulation reliability of the molded coil 71c with respect to the refrigerant.
  • casting is performed with silicone having a viscosity at working temperature of 30 Pa's or less, a pot life of 0.1 to 24 hours, and an elastic modulus of 3, OOOMPa or less.
  • the first cover 13 is fixed to the connection part 71e of the armature winding part 71 using an adhesive or the like, and the second cover 12 is fixed to the connection part 14d of the connector 14 by laser welding. It is possible to check the single or multiple holes provided in the first cover 13 to ensure that the low-viscosity resin 18 is securely filled in the gap in the canned linear motor armature through which refrigerant does not pass. The insulation reliability of the armature feeder wire with respect to the refrigerant can be improved.
  • the can 6 is fixed at a position where a refrigerant passage 17 for flowing the refrigerant through the front and back surfaces of the armature winding part 7 can be secured by interposing an O-ring 16 for preventing refrigerant leakage to the outside.

Abstract

　電機子巻線部の構成部材の部品点数を減らすことで界面を減少させることができ、低粘度樹脂の採用により注形及び充填の作業性を向上させて気泡等を噛み込むことなく確実に注形及び充填することができると共に、冷媒に対する電機子巻線の長期絶縁信頼性の高いキャンド・リニアモータ電機子及びキャンド・リニアモータを提供する。 　キャンド・リニアモータ電機子において、複数の成形コイル（７１ｃ）よりなるコイル群を結線基板（７１ａ）と樹脂製のバスタブ形状のフレーム（７１ｂ）とで挟み込み、樹脂注形したもので、また結線部位（７１ｅ）を作業温度時における粘度が３０Ｐａ・ｓ以下、可使時間が０．１～２４時間、弾性率が３，０００ＭＰａ以下である樹脂にて注形または充填したものである。

Description

キャンド.リニアモータ電機子およびキャンド.リニアモータ 技術分野
[0001] 本発明は、半導体製造装置や工作機のテーブル送りに用いられると共に、リニアモ ータ本体の温度上昇低減と長期絶縁信頼性が要求されるキャンド 'リニアモータ電機 子およびキャンド'リニアモータに関するものである。
背景技術
[0002] 図 7は本発明と従来技術に共通な一般のキャンド'リニアモータの全体斜視図であ る。
図 7において、 1は可動子、 2は界磁ヨーク、 3は永久磁石、 4は界磁ヨーク支持部 材 5は固定子、 6はキャン、 7は電機子卷線、 8は冷媒供給口、 9は冷媒排出口、 10 は筐体、 20はキャン固定用のボルト、 12はリード線を収納するカバ、 15はコネクタで ある。
一方の可動子 1は、平板状の二つの界磁ヨーク 2と、各界磁ヨーク 2の表面に取付 けた永久磁石 3と、二つの界磁ヨーク 2の間に挿入されると共に全体で合計 4個の界 磁ヨーク支持部材 4とから構成され、両端が開口した中空空間部を有している。そし て、上記永久磁石 3は界磁ヨーク 2上に交互に極性が異なるように複数の磁石を隣り 合わせに並べて配置したものとなっている。なお、可動子 1は、図示しないスライダと ガイドレール力もなるボールを用いたリニアガイドあるいは静圧軸受案内等によって 支持されている。
また、他方の固定子 5を構成するキャンド 'リニアモータ電機子は、内部を中空とす る額縁状を有した金属製の筐体 10と、該筐体 10の両開口部を密閉するために筐体 10の外形を象った板状のキャン 6と、該キャン 6を筐体 10に固定するためのボルトね じ 20と、筐体 10の中空内に配置された 3相の電機子卷線 7と、より構成されている。 なお、電機子卷線 7は複数の成形コイルよりなるコイル群にモールドを施してユニット ィ匕されたもので、以下に従来例を具体的に後述する。また、電機子卷線 7は従来例 を符号 72、本発明では符号 71として区別して表すことにする。 次に、キャンド 'リニアモータ電機子の具体的な構造について、図 4〜図 6を用いて 説明する。図 4は図 7の A— A線に沿う従来のキャンド 'リニアモータ電機子の側断面 図、図 5は図 4に示す従来の電機子卷線部の側断面図。図 6は図 4に示す従来のコ ネクタ部の側断面図である。
まず、図 5において、従来の電機子卷線部 72について説明する。
電機子外部とパワー線または信号線として接続するための結線基板 72a上に、平 板状に成形された複数の成形コイル 72cをノ、ンダ付けおよび固定配置させ、その周 囲を榭脂製のフレーム 72bおよび榭脂製のカバー 72dにて覆って 、る。これらによつ て囲まれた成形コイル 72c周辺の空隙部に、冷媒に対する成形コイル 72cの絶縁信 頼性を高める目的で、モールド 21またはポッティング榭脂（不図示）にて注形してい る。
次に、図 6において、従来のコネクタについて説明する。
結線基板 72aより電機子外部にパワー線または信号線を接続するためのハーメチ ックシール 15aに、結線基板 72aより引き出されるリード線 15cをノヽンダ付けし、冷媒 に対する成形コイル 72cの絶縁信頼性を高める目的で、その結線部位 15dを高粘度 榭脂 15bにて注形している。
図 4において、上記の電機子卷線部 72とコネクタ 15を用いた電機子の組立につい て説明する。
メインフレーム 11に、電機子卷線部 72を図示しな 、ネジ等を用いて固定すると共 に、コネクタ 15をレーザー溶接にて固定している。電機子卷線部 72の結線部位 72e とコネクタ 15の結線部位 15d周辺の空隙部に、冷媒に対する成形コイル 72cの絶縁 信頼性を高める目的で、高粘度榭脂 19を充填している。そして、電機子卷線部 72の 結線部位 72eに第 1カバー 13を接着剤等を用いて、またコネクタ 15の結線部位 15d に第 2カバー 12をレーザー溶接にて固定している。外部への冷媒漏れを防ぐ目的の Oリング 16を介在させて、電機子卷線部 72の表面と裏面に冷媒を流すための冷媒 通路 17を確保出来る位置に、キャン 6を固定している。
このように構成されたキャンド'リニアモータ電機子に、電気的相対位置に応じた 3 相交流電流を成形コイル 72cに流すことにより、図示しない永久磁石の作る磁界と作 用して図示しない可動子に推力が発生する。このとき銅損によって発熱した成形コィ ル 72cは冷媒通路 17を流れる冷媒により冷却されるので、キャン 6表面の温度上昇 を抑えることが出来る（例えば、特許文献 1〜3を参照)。
特許文献 1：特許第 3592292号
特許文献 2：特開 2003 - 224961
特許文献 3：特開 2004 - 312877
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
従来のキャンド 'リニアモータ電機子は、下記のような問題があった。
(1)電機子卷線部 72において、結線基板 72aと榭脂製フレーム 72bおよび榭脂製力 ノ 72dを接着剤等を用いて固定して、成形コイル 72cの周辺に空隙部を確保し、そ の空隙部をモールドまたはポッティング榭脂にて注形して 、るが、榭脂製フレーム 72 bと榭脂製カバ 72dとの接着固定時の位置決め作業が困難であり、また、榭脂製フレ ーム 72bと榭脂製カノ 72dの構成部品間の界面より絶縁劣化や絶縁破壊が生じるこ とがあった。
(2)コネクタ 15にお!/、て、ハーメチックシール 15aの結線部位 15dを高粘度榭脂 15b にて注形しているが、使用している樹脂が高粘度のため注形時の作業性が悪く気泡 等を嚙み込むことが多ぐそのため絶縁劣化や絶縁破壊が生じることがあった。
(3)電機子卷線部 72の結線部位 72eとコネクタ 15の結線部位 15d周辺の空隙部を 高粘度榭脂 19にて充填している力 使用している樹脂が高粘度のため充填時の作 業性が悪く気泡等を嚙み込むことが多ぐそのため絶縁劣化や絶縁破壊が生じること かあつた。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、電機子卷線部の構成部材 の部品点数を減少させることにより界面を減少させ、また、注形および充填の作業性 を向上させて気泡等を嚙み込むことなく確実に注形および充填することができると共 に、冷媒に対する電機子卷線の長期絶縁信頼性の高いキャンド'リニアモータ電機 子およびキャンド 'リニアモータを提供することを目的とする。
課題を解決するための手段 [0004] 上記問題を解決するため、本発明は、次のような構成にしたものである。
請求項 1の発明は、平板状に成形された複数の成形コイルよりなるコイル群で構成 された電機子卷線と、前記電機子卷線を額縁状に囲むように設けた金属製の筐体と 、前記筐体の両開口部を密閉するキャンとを具備したキャンド 'リニアモータ電機子に ぉ 、て、前記コイル群を結線基板と榭脂製のバスタブ形状のフレームとで挟み込むと 共にモールドまたはポッティング榭脂にて注形して成るものである。
また、請求項 2の発明は、請求項 1に記載のキャンド 'リニアモータ電機子において 、前記キャンド'リニアモータ電機子より該電機子外部とパワー線または信号線として 接続するためのコネクタとの結線部位を、作業温度時における粘度 = 30Pa · s以下、 可使時間 =0. 1〜24時間、弾性率 = 3, OOOMPa以下であるモールドまたはポッテ イング榭脂にて注形して成るものである。
また、請求項 3の発明は、請求項 1に記載のキャンド 'リニアモータ電機子において 、前記結線基板より該結線基板外部とパワー線または信号線として接続するための 結線部位を、作業温度時における粘度 = 30Pa' s以下、可使時間 =0. 1〜24時間 、弾性率 = 3, OOOMPa以下であるモールドまたはポッティング榭脂にて充填して成 るものである。
また、請求項 4の発明は、キャンド 'リニアモータに係り、請求項 1〜請求項 3までの 何れ力 1項に記載のキャンド 'リニアモータ電機子と、前記電機子と磁気的空隙を介 して対向配置されると共に交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせて並べ て配置した界磁ヨークとを備え、前記電機子と前記界磁ヨークの何れか一方を固定 子に、他方を可動子として、前記界磁ヨークと前記電機子を相対的に走行するよう〖こ したものである。
発明の効果
[0005] 請求項 1に記載の発明によると、コイル群を結線基板と榭脂製のバスタブ形状のフ レームとで挟み込み、モールドまたはポッティング榭脂にて注形するため、構成部材 の部品点数を減少させることで界面を減少させることが出来、また注形の作業性を向 上させることが出来るため、冷媒に対する電機子卷線の絶縁信頼性を高めることが出 来る。 請求項 2に記載の発明によると、キャンド'リニアモータ電機子より電機子外部とパヮ 一線または信号線として接続するためのコネクタとの結線部位を、作業温度時におけ る粘度 = 30Pa' s以下、可使時間 =0. 1〜24時間、弾性率 = 3, OOOMPa以下であ るモールドまたはポッティング榭脂にて注形するため、低粘度の榭脂を用いることで 注形の作業性を向上させて気泡等を嚙み込むことなく確実に注形することが可能で 、冷媒に対する電機子卷線の絶縁信頼性を高めることが出来る。
請求項 3に記載の発明によると、結線基板より結線基板外部とパワー線または信号 線として接続するための結線部位を、作業温度時における粘度 = 30Pa' s以下、可 使時間 =0. 1〜24時間、弾性率 = 3, OOOMPa以下であるモールドまたはポッティ ング榭脂にて充填するため、低粘度の榭脂を用いることで充填の作業性を向上させ て気泡等を嚙み込むことなく確実に充填することが可能で、冷媒に対する電機子卷 線の絶縁信頼性を高めることが出来る。
請求項 4に記載の発明によると、電機子卷線の冷媒に対する耐絶縁性が高ぐ冷 却能力の高い水を冷媒として使用すると共に、電機子と界磁を対向配置させることで 信頼性の高 、キャンド ·リニアモータを得ることができる。
図面の簡単な説明
[0006] [図 1]本発明の実施例を示すキャンド 'リニアモータ電機子であって、図 7の A— A線 に沿う側断面図に相当する図
[図 2]図 1に示す本発明の電機子卷線部の側断面図
[図 3]図 1に示す本発明のコネクタ部の側断面図
[図 4]図 7の A— A線に沿うキャンド 'リニアモータ電機子の側断面図
[図 5]図 4に示す従来の電機子卷線部の側断面図
[図 6]図 4に示す従来のコネクタ部の側断面図
[図 7]本発明と従来技術に共通な一般のキャンド 'リニアモータの全体斜視図 符号の説明
[0007] 1 可動子
2 界磁ヨーク
3 永久磁石 界磁ヨーク支持部材 固定子
キャン
電機子卷線
電機子卷線 (本発明)a 結線基板
b フレーム
c 成形コイルe 結線部位
電機子卷線 (従来例)a 結線基板
b フレーム
c 成形コイルd カバー
e 結線部位
冷媒供給口
冷媒排出口
筐体
メインフレーム 第 2カバー
第 1カバー
コネクタ
a ノヽーメチックシーノレb 低粘度榭脂c リード線
d 結線部位
コネクタ
a ノヽーメチックシーノレ 15b 高粘度榭脂
15c リード線
15d 結線部位
16 Oリング
17 冷媒通路
18 低粘度榭脂
19 高粘度樹脂
20 ボノレ卜ねじ
21 モールド
発明を実施するための最良の形態
[0008] 以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
実施例 1
[0009] 図 1は、本発明の実施例を示すキャンド 'リニアモータ電機子であって、図 7の A— A線に沿う側断面図に相当する。図 2は、図 1に示す本発明の電機子卷線部の側断 面図、図 3は、図 1に示す本発明のコネクタ部の側断面図であり、本発明の特徴は以 下のとおりになっている。
まず、本発明の電機子卷線部 71について説明する。
図 2において、電機子外部とパワー線または信号線として接続するための結線基板 71a上に、平板状に成形された複数の成形コイル 71cをハンダ付けおよび固定配置 させ、その周囲を結線基板 71a面側のみが開放されたバスタブ形状の榭脂製フレー ム 71bにて覆っている。これらの結線基板 71aとバスタブ形状の榭脂製フレーム 71b とによって囲まれた成形コイル 71c周辺の空隙部に、冷媒に対する成形コイル 71cの 絶縁信頼性を高める目的で、モールド 21またはポッティング榭脂（不図示）にて注形 している。例えば、エポキシ榭脂にて真空注形することにより、空隙部が完全にェポ キシ榭脂に置換される。構成部材の部品点数を減少させることで界面を減少させるこ とが出来、また注形の作業性を向上させることが出来るため、冷媒に対する電機子卷 線の絶縁信頼性を高めることが出来る。
[0010] 次に、本発明のコネクタ部について説明する。 図 3において、結線基板 71aより電機子外部にパワー線または信号線を接続するた めのハーメチックシール 14aに、結線基板 71aより引き出されるリード線 14cをノヽンダ 付けし、冷媒に対する成形コイル 71cの絶縁信頼性を高める目的で、その結線部位 14dを，モールドまたはポッティング榭脂、特に低粘度榭脂 14bを用いて注形してい る。例えば、作業温度時における粘度が 30Pa' s以下、可使時間が 0. 1〜24時間、 弾性率が 3, OOOMPa以下であるシリコーンにて注形している。低粘度の榭脂を用い ることで注形の作業性を向上させて気泡等を嚙み込むことなく確実に注形することが 可能で、冷媒に対する電機子卷線の絶縁信頼性を高めることが出来る。
図 1において、上記の電機子卷線部 71とコネクタ 14を用いた電機子の組立につい て説明する。
メインフレーム 11に、電機子卷線部 71を図示しないネジ等を用いて、またコネクタ 1 4をレーザー溶接にて固定している。電機子卷線部 71の結線部位 71eとコネクタ 14 の結線部位 14d周辺の空隙部に、冷媒に対する成形コイル 71cの絶縁信頼性を高 める目的で、低粘度榭脂 18を充填している。例えば、作業温度時における粘度が 30 Pa ' s以下、可使時間が 0. 1〜24時間、弾性率が 3, OOOMPa以下であるシリコーン にて注形して 、る。低粘度の榭脂を用いることで注形の作業性を向上させて気泡等 を嚙み込むことなく確実に充填することが可能で、冷媒に対する電機子卷線の絶縁 信頼性を高めることが出来る。電機子卷線部 71の結線部位 71eに第 1カバー 13を接 着剤等を用いて、またコネクタ 14の結線部位 14dに第 2カバー 12をレーザー溶接に て固定している。低粘度榭脂 18が冷媒の通らないキャンド'リニアモータ電機子内の 空隙部に確実に充填されていることを、第 1カバー 13に設けた単一または複数の穴 力 確認することが出来、冷媒に対する電機子卷線の絶縁信頼性を高めることが出 来る。
外部への冷媒漏れを防ぐ目的の Oリング 16を介在させて、電機子卷線部 7の表面 と裏面に冷媒を流すための冷媒通路 17を確保出来る位置に、キャン 6を固定してい る。
このように構成されたキャンド'リニアモータ電機子に、電気的相対位置に応じた 3 相交流電流を成形コイル 71cに流すことにより、図示しない永久磁石の作る磁界と作 用して図示しない可動子に推力が発生する。このとき銅損によって発熱した成形コィ ル 71cは冷媒通路 10を流れる冷媒により冷却されるので、キャン 6表面の温度上昇 を抑えることが出来る。

Claims

請求の範囲
[1] 平板状に成形された複数の成形コイルよりなるコイル群で構成された電機子卷線と
、前記電機子卷線を額縁状に囲むように設けた金属製の筐体と、前記筐体の両開口 部を密閉するキャンとを具備したキャンド ·リニアモータ電機子にぉ 、て、
前記コイル群を結線基板と榭脂製のノスタブ形状のフレームとで挟み込み、モー ルドまたはポッティング榭脂にて注形して成るものであることを特徴とするキャンド 'リ ニァモータ電機子。
[2] 前記キャンド'リニアモータ電機子より該電機子外部とパワー線または信号線として 接続するためのコネクタとの結線部位を、作業温度時における粘度 = 30Pa · s以下、 可使時間 =0. 1〜24時間、弾性率 = 3, OOOMPa以下であるモールドまたはポッテ イング榭脂にて注形して成るものであることを特徴とする請求項 1記載のキャンド 'リニ ァモータ電機子。
[3] 前記結線基板より該結線基板外部とパワー線または信号線として接続するための 結線部位を、作業温度時における粘度 = 30Pa' s以下、可使時間 =0. 1〜24時間 、弾性率 = 3, OOOMPa以下であるモールドまたはポッティング榭脂にて充填して成 るものであることを特徴とする請求項 1記載のキャンド 'リニアモータ電機子。
[4] 請求項 1〜請求項 3までの何れ力 1項に記載のキャンド'リニアモータ電機子と、前 記電機子と磁気的空隙を介して対向配置されると共に交互に極性が異なる複数の永 久磁石を隣り合わせて並べて配置した界磁ヨークとを備え、前記電機子と前記界磁ョ ークの何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁ヨークと前記電機子 を相対的に走行するようにしたことを特徴とするキャンド ·リニアモータ。
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