JPWO2005109526A1 - 薄膜光電変換装置 - Google Patents
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Abstract
透明導電膜と光電変換ユニットとの間に良好な接合界面を形成する方法を提供し、変換効率の高い光電変換装置を得ることを目的とする。光入射側に最も近い光電変換ユニットの、透明導電膜に隣接するp型半導体層が、第1の非晶質半導体層、結晶質半導体層、及び第2の非晶質半導体層が順次積層された構成を有する。前記第1の非晶質半導体層としては非晶質のシリコンカーバイドが、前記第2の非晶質半導体層としては非晶質のシリコンカーバイド、または非晶質シリコンが、前記透明導電膜としては酸化錫、又は酸化亜鉛が好ましい。
Description
本発明は、薄膜光電変換装置の変換効率改善を可能とする手段を提供するものであり、透明導電膜上に形成される光電変換ユニットを備えた薄膜光電変換装置に関する。
近年では薄膜光電変換装置の典型例である薄膜太陽電池も多様化し、従来の非晶質薄膜太陽電池の他に結晶質薄膜太陽電池も開発され、これらを積層したハイブリッド型薄膜太陽電池も実用化されつつある。
薄膜太陽電池は、一般に少なくとも表面が絶縁性の基板上に順に積層された透明導電膜、1以上の半導体薄膜光電変換ユニット、及び裏面電極とを含んでいる。そして1つの光電変換ユニットはp型層とn型層でサンドイッチされたi型層を含んでいる。
光電変換ユニットの厚さの大部分は、実質的に真性の半導体層であるi型層によって占められ、光電変換作用は主としてこのi型層内で生じる。従って、光電変換層であるi型層の膜厚は光吸収のためには厚いほうが好ましいが、必要以上に厚くすればその堆積のためのコストと時間が増大することになる。
他方、p型やn型の導電型層は光電変換ユニット内に拡散電位を生じさせる役目を果たし、この拡散電位の大きさによって薄膜太陽電池の重要な特性の1つである開放端電圧の値が左右される。しかし、これらの導電型層は光電変換には寄与しない不活性な層であり、導電型層にドープされた不純物によって吸収される光は発電に寄与せず損失となる。したがって、p型とn型の導電型層の膜厚は、十分な拡散電位を生じさせる範囲内で可能な限り薄くすることが好ましい。
上記の光電変換ユニットは、それに含まれるp型とn型の導電型層が非晶質か結晶質かに関わらず、i型の光電変換層が非晶質なものは非晶質光電変換ユニットと称され、i型層が結晶質のものは結晶質光電変換ユニットと称される。尚、本願における「結晶質」との用語は、薄膜光電変換装置の技術分野で一般に用いられている様に、部分的に非晶質状態を含むものをも含むものとする。
非晶質光電変換ユニットを含む薄膜太陽電池の一例として、i型の光電変換層に非晶質シリコンを用いた非晶質薄膜シリコン太陽電池が挙げられる。また結晶質光電変換ユニットを含む薄膜太陽電池の一例として、i型の光電変換層に微結晶シリコンや多結晶シリコンを用いた結晶質薄膜シリコン太陽電池が挙げられる。
ところで、薄膜太陽電池の変換効率を向上させる方法として、2以上の半導体薄膜光電変換ユニットを積層してタンデム型にする方法がある。この方法においては、薄膜太陽電池の光入射側に光電変換層のバンドギャップが大きい光電変換ユニットを配置し、その後ろに順に光電変換層のバンドギャップが小さい光電変換ユニットを配置することで、入射光の広い波長範囲にわたって光電変換を可能にし、これによって太陽電池全体としての変換効率の向上が図られる。このようなタンデム型薄膜太陽電池の中でも、非晶質光電変換ユニットと結晶質光電変換ユニットの両方を含むものは、特にハイブリッド型薄膜太陽電池と称されることもある。
例えば、バンドギャップの広いi型非晶質シリコンを光電変換層に使用した非晶質シリコン光電変換ユニットと、バンドギャップの狭いi型結晶質シリコンを光電変換層に使用した結晶質シリコン光電変換ユニットを積層したハイブリッド型薄膜太陽電池においては、i型非晶質シリコンが光電変換し得る光の波長は長波長側において800nm程度までであるのに対して、i型結晶質シリコンはそれより長い約1100nm程度までの光を光電変換し得るため、入射光のより広い範囲を有効に光電変換することが可能になる。
上記の光電変換ユニットは、例えば錫を微量添加(以下ドープと記す。また、以下微量添加された物質をドーパントと記す)した酸化インジウム(In2O3)、アンチモンやフッ素をドープし導電性を持たせた酸化錫(SnO2)や、酸化亜鉛(ZnO)、酸化インジウム膜(以下ITOと呼ぶ)などから構成される透明導電膜の上に形成される。この中でも特に酸化錫(SnO2)や酸化亜鉛(ZnO)は、コストや高透過特性の点で優れており、透明導電膜としてよく用いられている。
光電変換ユニットを形成する方法として、一般的にはプラズマCVD法が用いられるが、薄膜太陽電池として高い変換効率を得るには、透明導電膜と光電変換ユニットの接合界面における接触抵抗は低い方が望ましい。このため、透明導電膜の直上に形成される光電変換ユニットのp型半導体層として結晶性が高く、抵抗が低い結晶質半導体層を形成することで、透明導電膜と光電変換ユニットの接合界面における接触抵抗を下げる方法が取られる。しかしながら、一般に結晶性が高い結晶質半導体層を形成するには、高パワーかつ高密度プラズマを形成する必要があるため、形成途中に透明導電膜が高密度プラズマにより損傷を受け、透明導電膜を構成する錫や亜鉛が前記結晶質半導体層中に拡散してしまう問題がある。加えて透明導電膜として酸化錫を用いた場合、水素が含まれる高密度プラズマ雰囲気下で酸化錫が金属錫に還元され、透明導電膜の透過率が低下する。これに伴い光電変換に寄与するi型半導体層への入射光量が減少するため、薄膜太陽電池の変換効率低下を引き起こす。また透明導電膜として酸化亜鉛を使用した場合は、透明導電膜と光電変換ユニットとの間に良好な接合界面を形成することが困難である。すなわち酸化亜鉛上に、接触抵抗が低く良好なオーミック特性を有するp型半導体層を形成することが難しいため、高い変換効率を得ることができない。
これらの問題を解決する方法として、特許文献1には、酸化亜鉛からなる透明導電膜と導電性シリコンカーバイドとの間に、ボロンを含有する非晶質シリコン層を隣接配置させる構造が開示されているが、ボロンを含有する非晶質シリコン層は光電変換に寄与しないため、非晶質シリコン層による光吸収によりi型半導体層への入射光量が減少する問題がある。またボロンを含有しているとは言え、非晶質シリコン層は結晶質シリコン層に比べて抵抗が高く、透明導電膜と光電変換ユニットの接合界面における接触抵抗を十分に下げることができない。また特許文献2には、透明導電膜上に非晶質半導体層と結晶質半導体層を順次積層したものからなる第1の導電性半導体層、結晶系半導体からなる真性半導体層、及び第2の導電性半導体層を具備する結晶系太陽電池として、透明導電膜上に非晶質半導体層を最初に形成することで、透明導電膜の損傷を防止する方法が開示されているが、第1の導電性半導体層の非晶質半導体層がシリコンからなり、光電変換に寄与しない層であることは特許文献1と同様であり、i型半導体層への入射光量が減少する問題を解決できていない。
特開平11−340485号公報
特開2002−134769号公報
本発明は、従来技術が有していた上記の問題を解決し、透明導電膜と光電変換ユニットとの間に良好な接合界面を形成する方法を提供することで、変換効率の高い光電変換装置を得ることを目的とする。
本発明の光電変換装置は、光入射側に位置する透明導電膜上に、p型半導体層、i型半導体層、n型半導体層が順次積層された光電変換ユニットを少なくとも1つ以上有する光電変換装置であって、光入射側に最も近い光電変換ユニットの、前記透明導電膜に隣接するp型半導体層は、前記透明導電膜に近い側より、第1の非晶質半導体層、結晶質半導体層、及び第2の非晶質半導体層が順次積層された構成を有することを特徴としている。
前記第1の非晶質半導体層は、非晶質のシリコンカーバイドからなることを特徴とする光電変換装置を提供するものであり、前記第2の非晶質半導体層は、非晶質のシリコンカーバイド、または非晶質シリコンからなることを特徴とする光電変換装置を提供するものである。さらに前記光入射側に最も近い光電変換ユニットのi型半導体層は、非晶質シリコンからなることを特徴とする光電変換装置を提供するものである。加えて前記透明導電膜は酸化錫からなる光電変換装置を提供するものであり、前記透明導電膜が酸化亜鉛からなる光電変換装置も好んで用いられる。
本発明によれば、透明導電膜と光電変換ユニットとの間に良好な接合界面を形成することができる。またp型半導体層による光吸収ロスが少なく、光電変換に寄与するi型半導体層への入射光量が増大するため、薄膜太陽電池の変換効率を改善することができる。
11,21,31,41 ガラス基板
12,22,32,42 透明導電膜
13,23,33,43 非晶質シリコン光電変換ユニット
13p,23p,33p,43p 非晶質シリコン光電変換ユニットのp型半導体層
13i,23i,33i,43i 非晶質シリコン光電変換ユニットのi型半導体層
13n,23n,33n,43n 非晶質シリコン光電変換ユニットのn型半導体層
14,24,35,45 裏面電極層
141,241,351,451 酸化亜鉛層
142,242,352,452 銀
23p1,43p1 第1の非晶質半導体層
23p2,43p2 結晶質半導体層
23p3,43p3 第2の非晶質半導体層
34,44 結晶質シリコン光電変換ユニット
34p,44p 結晶質シリコン光電変換ユニットのp型半導体層
34i,44i 結晶質シリコン光電変換ユニットのi型半導体層
34n,44n 結晶質シリコン光電変換ユニットのn型半導体層
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23p1,43p1 第1の非晶質半導体層
23p2,43p2 結晶質半導体層
23p3,43p3 第2の非晶質半導体層
34,44 結晶質シリコン光電変換ユニット
34p,44p 結晶質シリコン光電変換ユニットのp型半導体層
34i,44i 結晶質シリコン光電変換ユニットのi型半導体層
34n,44n 結晶質シリコン光電変換ユニットのn型半導体層
本発明の光電変換装置によれば、光電変換ユニットのp型半導体層として、透明導電膜に近い側に第1の非晶質半導体層を形成する。これにより、透明導電膜上に結晶質半導体層を直接形成する場合に比べて、p層半導体層の形成初期に透明導電膜が高密度のプラズマ雰囲気に晒されることが無くなる。従って、透明導電膜として酸化錫を用いた場合に、水素が含まれる高密度プラズマ雰囲気下で酸化錫が金属錫に還元される問題を防止することができる。さらに第1の非晶質半導体層は、p型の非晶質シリコンカーバイドからなるため光吸収ロスが少なく、光電変換に寄与するi型半導体層への入射光量が増大するため、薄膜太陽電池の変換効率を向上させることができる。p型の非晶質シリコンカーバイドは、プラズマCVD法により形成することができる。例えば製膜室内の基板を加熱した状態で、原料ガスとしてシランガス及びメタンガス、希釈ガスとして水素ガス、ドープ用ガスとしてジボランガスなどを製膜室内に導入し、製膜室内を所定の圧力に調整した上で電極に高周波電力を供給する。これにより原料ガスが分解されて、基板上にp型の非晶質シリコンカーバイドが形成される。
続いてp型半導体層として第1の非晶質半導体層の上に積層される結晶質半導体層は、p型半導体層の抵抗を下げることで、透明導電膜と光電変換ユニットの接合界面における接触抵抗を低減させるために用いられる。結晶質半導体層としては、微結晶シリコンや多結晶シリコン等のp型の結晶質シリコンが好んで用いられるが、これに限定されるものではない。なお、結晶質半導体層を積層する前の透明導電膜表面は、第1の非晶質半導体層により被覆されているため、結晶性が高く、抵抗が低い結晶質半導体層を形成するために高パワーで高密度プラズマを形成しても、透明導電膜である酸化錫が金属錫に還元されることが無い。さらに透明導電膜として酸化亜鉛を用いた場合には、透明導電膜の表面を被覆している第1の非晶質半導体層が結晶質半導体層を積層する際の下地層として働くため、酸化亜鉛上に結晶質半導体層を直接形成する場合と比べて、結晶質半導体層として結晶性が高く、抵抗が低いものを得ることができる。加えて本発明者は、透明導電膜として酸化亜鉛を用いた場合に、p型の微結晶シリコンからなる上記結晶質半導体層を形成することで、薄膜太陽電池の曲線因子(FF)が向上するのみならず、開放電圧(Voc)をも向上することをも見出した。これは酸化亜鉛からなる透明導電膜の上に、p型微結晶シリコンからなる結晶質半導体層を直接形成する場合に比べて、透明導電膜の上にp型非晶質シリコンカーバイドとp型微結晶シリコンを順次積層した方が、微結晶シリコンの結晶性が高く抵抗が低いと推定され、本発明の構成を用いることで、p型半導体層としてより優れた特性を発現したと考えられる。p型の結晶質シリコンは、プラズマCVD法により形成することができる。例えば製膜室内の基板を加熱した状態で、原料ガスとしてシランガス、希釈ガスとして水素ガス、ドープ用ガスとしてジボランガスなどを製膜室内に導入し、製膜室内を所定の圧力に調整した上で電極に高周波電力を供給する。これにより原料ガスが分解されて、基板上にp型の結晶質シリコンが形成される。なお結晶質シリコンの結晶化度は、原料ガスであるシランガスと希釈ガスである水素ガスの流量比、高周波電力の大きさ、圧力などを変更することで所定の値に調整される。
加えてp型半導体層として結晶質半導体層の上に第2の非晶質半導体層を積層することで、結晶質半導体層の成長に伴い形成される膜表面の凹凸や、結晶粒界が被覆され、膜表面が平滑になるため、p型半導体層上に続いて形成されるi型半導体層の膜質が改善され、膜質分布低減をも図ることができる。第2の非晶質半導体層としては、p型の非晶質シリコンカーバイドや、p型の非晶質シリコンが好んで用いられる。p型の非晶質シリコンカーバイドは、第1の非晶質半導体層と同様の方法により形成することができる。またp型の非晶質シリコンは、原料ガスとしてシランガスのみを用いる以外は、第1の非晶質半導体層と同様の方法により形成することができる。
本発明者は、第1の非晶質半導体層の膜厚が0.3nm以上2nm以下であれば、上記発明の効果が得られることを見出した。すなわち、膜厚が0.3nmより小さいと第1の非晶質半導体層が透明導電膜全面を被覆することができないため、透明導電膜として酸化錫を用いた場合、第1の非晶質半導体層に引き続いて結晶質半導体層を積層する際に、第1の非晶質半導体層により被覆されていない部分が高密度プラズマ雰囲気下で金属錫に還元され、透明導電膜の透過率が低下する。また透明導電膜として酸化亜鉛を用いた場合は、第1の非晶質半導体層が結晶質半導体層を積層する際の下地層として十分に機能しないため、酸化亜鉛上に結晶質半導体層を直接形成する場合と同様に、結晶質半導体層として結晶性が高く、抵抗が低いものを得ることができない。また膜厚が2nmより大きい場合は、第1の非晶質半導体層による光吸収ロスが無視できなくなり、i型半導体層への入射光量が減少するため、高い変換効率を得ることができない。
また本発明者は、結晶質半導体層の膜厚が2nm以上10nm以下であれば、上記発明の効果が得られることを見出した。すなわち、膜厚が2nmより小さいと、p型半導体層として求められる結晶性が高く、抵抗が低い結晶質半導体層を得ることができないため、透明導電膜と光電変換ユニットの接合界面における接触抵抗が低減しない問題が発生する。また膜厚が10nmより大きい場合は、第1の非晶質半導体層と同様に結晶質半導体層による光吸収ロスが無視できなくなり、i型半導体層への入射光量が減少するため、高い変換効率を得ることができない。
さらに本発明者は、第2の非晶質半導体層の膜厚が0.5nm以上10nm以下であれば、上記発明の効果が得られることを見出した。すなわち、膜厚が0.5nmより小さいと、結晶質半導体層の成長に伴い形成される表面の凹凸や、結晶粒界を被覆することができないため、p型半導体層上に形成されるi型半導体層の膜質を向上させることができない。また膜厚が10nmより大きい場合は、第2の非晶質半導体層による光吸収ロスが無視できなくなり、i型半導体層への入射光量が減少するため、高い変換効率を得ることができない
本発明の光電変換装置においては、p型半導体層、特に第2の非晶質半導体層を構成するp型の非晶質シリコンカーバイドや、p型の非晶質シリコンとの間に良好な接合界面を形成するために、i型半導体層として非晶質シリコンを用いることが好ましい。
本発明の光電変換装置においては、p型半導体層、特に第2の非晶質半導体層を構成するp型の非晶質シリコンカーバイドや、p型の非晶質シリコンとの間に良好な接合界面を形成するために、i型半導体層として非晶質シリコンを用いることが好ましい。
また本発明は、2以上の光電変換ユニットを積層してタンデム型にした薄膜太陽電池にも適用することが可能である。例えば、光入射側に位置する透明導電膜上に、p型半導体層、非晶質i型半導体層、n型半導体層が順次積層された非晶質光電変換ユニットと、p型半導体層、結晶質i型半導体層、n型半導体層が順次積層された結晶質光電変換ユニットを有するタンデム型薄膜太陽電池において、バンドギャップの広いi型非晶質シリコンを非晶質i型半導体層に使用し、バンドギャップの狭いi型結晶質シリコンを結晶質i型半導体層に使用することで、入射光のより広い範囲を有効に光電変換することが可能になり、これによって薄膜太陽電池全体として変換効率向上が可能になる。
この場合、非晶質光電変換ユニットのp型半導体層として、本発明の光電変換装置におけるp型半導体層と同様の構成を用いることができるのは言うまでも無い。
また本発明の光電変換装置においては、光入射側に位置する透明導電膜として、例えば酸化錫や酸化亜鉛を用いることができるが、透明導電膜として求められる特性を満たしており、光電変換ユニットとの接合界面における接触抵抗が低いものであれば、これに限定されるものではない。
上述のような実施の形態の具体的な例として、以下において、いくつかの実施例を比較例と共に説明する。
(比較例1)
比較例1として、図1に示すような光電変換装置を作製した。厚さ0.7mmのガラス基板11を製膜室内に搬入し、基板温度を150℃に調整した。その後アルゴンで5000ppmに希釈したジボランを700sccm、水を100sccm、ジエチル亜鉛を50sccm導入した。この時の圧力は1Torrであった。この条件で酸化亜鉛膜からなる透明導電膜12を1500nm堆積した。なお膜厚はエリプソメーターで測定した。作製した酸化亜鉛膜について、抵抗率、ヘイズ率、透過率を、それぞれ抵抗測定器、ヘイズメーター、分光光度計を用いて測定した。その結果、抵抗率は3×10-3Ω・cm、C光源で測定したヘイズ率は19%、波長1000nmでの透過率は76%であった。この透明電極膜12の上に、プラズマCVD法を用いて、p型半導体層として膜厚15nmのp型非晶質シリコンカーバイド層13p、i型半導体層として膜厚300nmのi型非晶質シリコン層13i、及びn型半導体層として膜厚30nmのn型微結晶シリコン層13nからなる光電変換ユニット13を形成した。その後、裏面電極層14としてアルミニウムがドープされた、膜厚90nmの酸化亜鉛層141と、膜厚300nmの銀142をスパッタ法にて順次形成した。以上のようにして得られた光電変換装置(受光面積1cm2)にAM1.5の光を100mW/cm2の光量で照射して25℃で出力特性を測定したところ、開放電圧(Voc)が0.833V、短絡電流密度(Jsc)が15.6mA/cm2、曲線因子(FF)が0.685、そして変換効率(Eff)が8.90%であった。
比較例1として、図1に示すような光電変換装置を作製した。厚さ0.7mmのガラス基板11を製膜室内に搬入し、基板温度を150℃に調整した。その後アルゴンで5000ppmに希釈したジボランを700sccm、水を100sccm、ジエチル亜鉛を50sccm導入した。この時の圧力は1Torrであった。この条件で酸化亜鉛膜からなる透明導電膜12を1500nm堆積した。なお膜厚はエリプソメーターで測定した。作製した酸化亜鉛膜について、抵抗率、ヘイズ率、透過率を、それぞれ抵抗測定器、ヘイズメーター、分光光度計を用いて測定した。その結果、抵抗率は3×10-3Ω・cm、C光源で測定したヘイズ率は19%、波長1000nmでの透過率は76%であった。この透明電極膜12の上に、プラズマCVD法を用いて、p型半導体層として膜厚15nmのp型非晶質シリコンカーバイド層13p、i型半導体層として膜厚300nmのi型非晶質シリコン層13i、及びn型半導体層として膜厚30nmのn型微結晶シリコン層13nからなる光電変換ユニット13を形成した。その後、裏面電極層14としてアルミニウムがドープされた、膜厚90nmの酸化亜鉛層141と、膜厚300nmの銀142をスパッタ法にて順次形成した。以上のようにして得られた光電変換装置(受光面積1cm2)にAM1.5の光を100mW/cm2の光量で照射して25℃で出力特性を測定したところ、開放電圧(Voc)が0.833V、短絡電流密度(Jsc)が15.6mA/cm2、曲線因子(FF)が0.685、そして変換効率(Eff)が8.90%であった。
(実施例1)
実施例1として、図2に示すような光電変換装置を作製した。比較例1と同様の条件にて厚さ0.7mmのガラス基板21の上に酸化亜鉛膜からなる透明導電膜22を堆積した。その後、この透明導電膜22の上に、プラズマCVD法を用いてp型半導体層23pの第1の非晶質半導体層として膜厚1nmのp型の非晶質シリコンカーバイド層23p1を形成した。続けてp型半導体層23pの結晶質半導体層として膜厚5nmのp型の微結晶シリコン層23p2を形成した。最後にp型半導体層の第2の非晶質半導体層として膜厚5nmのp型の非晶質シリコンカーバイド層23p3を形成した。なお第1の非晶質半導体層であるp型の非晶質シリコンカーバイド層23p1と、第2の非晶質半導体層であるp型の非晶質シリコンカーバイド層23p3は、比較例1と同様の条件にて形成した。
実施例1として、図2に示すような光電変換装置を作製した。比較例1と同様の条件にて厚さ0.7mmのガラス基板21の上に酸化亜鉛膜からなる透明導電膜22を堆積した。その後、この透明導電膜22の上に、プラズマCVD法を用いてp型半導体層23pの第1の非晶質半導体層として膜厚1nmのp型の非晶質シリコンカーバイド層23p1を形成した。続けてp型半導体層23pの結晶質半導体層として膜厚5nmのp型の微結晶シリコン層23p2を形成した。最後にp型半導体層の第2の非晶質半導体層として膜厚5nmのp型の非晶質シリコンカーバイド層23p3を形成した。なお第1の非晶質半導体層であるp型の非晶質シリコンカーバイド層23p1と、第2の非晶質半導体層であるp型の非晶質シリコンカーバイド層23p3は、比較例1と同様の条件にて形成した。
また結晶質半導体層であるp型の微結晶シリコン層23p2は、製膜室内に水素で1000ppmに希釈したジボランを10sccm、水素を600sccm、シランを3sccm導入し、電源周波数13.56MHz、パワー密度100mW/cm2、圧力450Pa、基板温度170℃で形成した。その後は比較例1と同様の条件にてi型半導体層として膜厚300nmのi型非晶質シリコン層23i、及びn型半導体層として膜厚30nmのn型微結晶シリコン層23nからなる光電変換ユニット23を形成した。その後、裏面電極層24としてアルミニウムがドープされた、膜厚90nmの酸化亜鉛層241と、膜厚300nmの銀242をスパッタ法にて順次形成した。以上のようにして得られた光電変換装置(受光面積1cm2)にAM1.5の光を100mW/cm2の光量で照射して25℃で出力特性を測定したところ、開放電圧(Voc)が0.886V、短絡電流密度(Jsc)が16.0mA/cm2、曲線因子(FF)が0.713、そして変換効率(Eff)が10.10%となった。比較例1と実施例1の比較により、開放電圧、短絡電流密度、曲線因子、及び変換効率の全てに関して特性の改善が見られた。
(比較例2)
比較例2として、図1と同様の構成を有する光電変換装置を作製した。厚さ0.7mmのガラス基板11を製膜室内に搬入し、透明電極層12として膜厚が800nmのピラミッド状酸化錫膜を熱CVD法にて形成した。なお膜厚はエリプソメーターで測定した。作製された酸化錫膜について、シート抵抗、ヘイズ率を、それぞれ抵抗測定器、ヘイズメーターを用いて測定した。その結果、シート抵抗は約9Ω/□であった。またC光源で測定したヘイズ率は12%であった。この透明電極層12の上に、プラズマCVD法を用いて、p型半導体層として膜厚15nmのp型非晶質シリコンカーバイド層13p、i型半導体層として膜厚300nmのi型非晶質シリコン層13i、及びn型半導体層として膜厚30nmのn型微結晶シリコン層13nからなる光電変換ユニット13を形成した。その後、裏面電極層14としてアルミニウムがドープされた、膜厚90nmの酸化亜鉛層141と、膜厚300nmの銀142をスパッタ法にて順次形成した。以上のようにして得られた光電変換装置(受光面積1cm2)にAM1.5の光を100mW/cm2の光量で照射して25℃で出力特性を測定したところ、開放電圧(Voc)が0.852V、短絡電流密度(Jsc)が15.5mA/cm2、曲線因子(FF)が0.710、そして変換効率(Eff)が9.37%であった。
比較例2として、図1と同様の構成を有する光電変換装置を作製した。厚さ0.7mmのガラス基板11を製膜室内に搬入し、透明電極層12として膜厚が800nmのピラミッド状酸化錫膜を熱CVD法にて形成した。なお膜厚はエリプソメーターで測定した。作製された酸化錫膜について、シート抵抗、ヘイズ率を、それぞれ抵抗測定器、ヘイズメーターを用いて測定した。その結果、シート抵抗は約9Ω/□であった。またC光源で測定したヘイズ率は12%であった。この透明電極層12の上に、プラズマCVD法を用いて、p型半導体層として膜厚15nmのp型非晶質シリコンカーバイド層13p、i型半導体層として膜厚300nmのi型非晶質シリコン層13i、及びn型半導体層として膜厚30nmのn型微結晶シリコン層13nからなる光電変換ユニット13を形成した。その後、裏面電極層14としてアルミニウムがドープされた、膜厚90nmの酸化亜鉛層141と、膜厚300nmの銀142をスパッタ法にて順次形成した。以上のようにして得られた光電変換装置(受光面積1cm2)にAM1.5の光を100mW/cm2の光量で照射して25℃で出力特性を測定したところ、開放電圧(Voc)が0.852V、短絡電流密度(Jsc)が15.5mA/cm2、曲線因子(FF)が0.710、そして変換効率(Eff)が9.37%であった。
(実施例2)
実施例2として、図2と同様の構成を有する光電変換装置を作製した。比較例2と同様の条件にてガラス基板21の上に酸化錫膜からなる透明導電膜22を堆積した。その後、この透明導電膜22の上に、プラズマCVD法を用いてp型半導体層23pの第1の非晶質半導体層として膜厚1nmのp型の非晶質シリコンカーバイド層23p1を形成した。続けてp型半導体層23pの結晶質半導体層として膜厚3nmのp型の微結晶シリコン層23p2を形成した。最後にp型半導体層の第2の非晶質半導体層として膜厚5nmのp型の非晶質シリコンカーバイド層23p3を形成した。なお第1の非晶質半導体層であるp型の非晶質シリコンカーバイド層23p1と、結晶質半導体層であるp型の微結晶シリコン層23p2、及び第2の非晶質半導体層であるp型の非晶質シリコンカーバイド層23p3は、実施例1と同様の条件にて形成した。その後は比較例2と同様の条件にてi型半導体層として膜厚300nmのi型非晶質シリコン層23i、及びn型半導体層として膜厚30nmのn型微結晶シリコン層23nからなる光電変換ユニット23を形成した。その後、裏面電極層24としてアルミニウムがドープされた、膜厚90nmの酸化亜鉛層241と、膜厚300nmの銀242をスパッタ法にて順次形成した。以上のようにして得られた光電変換装置(受光面積1cm2)にAM1.5の光を100mW/cm2の光量で照射して25℃で出力特性を測定したところ、開放電圧(Voc)が0.871V、短絡電流密度(Jsc)が15.8mA/cm2、曲線因子(FF)が0.713、そして変換効率(Eff)が9.81%となり、比較例2と実施例2の比較により、開放電圧、短絡電流密度、曲線因子、及び変換効率の全てに関して特性の改善が見られた。特に比較例2に比べて実施例2はp型半導体層の膜厚が薄いこと、第1の非晶質半導体層の存在により結晶質半導体層の形成時に酸化錫膜が還元されないことによりi型半導体層に入射する光量が増大し、短絡電流密度が改善した。またp型半導体層中に結晶質半導体層を積層することで、透明導電膜と光電変換ユニットの接合界面における接触抵抗が低減し、曲線因子の改善が見られた。
実施例2として、図2と同様の構成を有する光電変換装置を作製した。比較例2と同様の条件にてガラス基板21の上に酸化錫膜からなる透明導電膜22を堆積した。その後、この透明導電膜22の上に、プラズマCVD法を用いてp型半導体層23pの第1の非晶質半導体層として膜厚1nmのp型の非晶質シリコンカーバイド層23p1を形成した。続けてp型半導体層23pの結晶質半導体層として膜厚3nmのp型の微結晶シリコン層23p2を形成した。最後にp型半導体層の第2の非晶質半導体層として膜厚5nmのp型の非晶質シリコンカーバイド層23p3を形成した。なお第1の非晶質半導体層であるp型の非晶質シリコンカーバイド層23p1と、結晶質半導体層であるp型の微結晶シリコン層23p2、及び第2の非晶質半導体層であるp型の非晶質シリコンカーバイド層23p3は、実施例1と同様の条件にて形成した。その後は比較例2と同様の条件にてi型半導体層として膜厚300nmのi型非晶質シリコン層23i、及びn型半導体層として膜厚30nmのn型微結晶シリコン層23nからなる光電変換ユニット23を形成した。その後、裏面電極層24としてアルミニウムがドープされた、膜厚90nmの酸化亜鉛層241と、膜厚300nmの銀242をスパッタ法にて順次形成した。以上のようにして得られた光電変換装置(受光面積1cm2)にAM1.5の光を100mW/cm2の光量で照射して25℃で出力特性を測定したところ、開放電圧(Voc)が0.871V、短絡電流密度(Jsc)が15.8mA/cm2、曲線因子(FF)が0.713、そして変換効率(Eff)が9.81%となり、比較例2と実施例2の比較により、開放電圧、短絡電流密度、曲線因子、及び変換効率の全てに関して特性の改善が見られた。特に比較例2に比べて実施例2はp型半導体層の膜厚が薄いこと、第1の非晶質半導体層の存在により結晶質半導体層の形成時に酸化錫膜が還元されないことによりi型半導体層に入射する光量が増大し、短絡電流密度が改善した。またp型半導体層中に結晶質半導体層を積層することで、透明導電膜と光電変換ユニットの接合界面における接触抵抗が低減し、曲線因子の改善が見られた。
(比較例3)
比較例3として、図3に示すように2つの光電変換ユニットを積層した光電変換装置を作製した。最初に比較例1と同様の条件にて、ガラス基板31の上に酸化亜鉛膜からなる透明導電膜32を堆積した。その後、透明導電膜32の上にプラズマCVD法を用いて、p型半導体層として膜厚15nmのp型非晶質シリコンカーバイド層33p、i型半導体層として膜厚300nmのi型非晶質シリコン層33i、及びn型半導体層として膜厚30nmのn型微結晶シリコン層33nからなる第1の光電変換ユニット33を形成した。さらに、膜厚15nmのp型微結晶シリコン層34p、厚さ2500nmのi型結晶質シリコン層34i、及び厚さ15nmのn型微結晶シリコン層34nからなる第2の光電変換ユニット34を順次形成した。その後、裏面電極層35としてアルミニウムがドープされた、膜厚90nmの酸化亜鉛層351と、膜厚300nmの銀352をスパッタ法にて順次形成した。以上のようにして得られた光電変換装置(受光面積1cm2)にAM1.5の光を100mW/cm2の光量で照射して25℃で出力特性を測定したところ、開放電圧(Voc)が1.336V、短絡電流密度(Jsc)が11.87mA/cm2、曲線因子(FF)が0.653、そして変換効率(Eff)が10.35%であった。
比較例3として、図3に示すように2つの光電変換ユニットを積層した光電変換装置を作製した。最初に比較例1と同様の条件にて、ガラス基板31の上に酸化亜鉛膜からなる透明導電膜32を堆積した。その後、透明導電膜32の上にプラズマCVD法を用いて、p型半導体層として膜厚15nmのp型非晶質シリコンカーバイド層33p、i型半導体層として膜厚300nmのi型非晶質シリコン層33i、及びn型半導体層として膜厚30nmのn型微結晶シリコン層33nからなる第1の光電変換ユニット33を形成した。さらに、膜厚15nmのp型微結晶シリコン層34p、厚さ2500nmのi型結晶質シリコン層34i、及び厚さ15nmのn型微結晶シリコン層34nからなる第2の光電変換ユニット34を順次形成した。その後、裏面電極層35としてアルミニウムがドープされた、膜厚90nmの酸化亜鉛層351と、膜厚300nmの銀352をスパッタ法にて順次形成した。以上のようにして得られた光電変換装置(受光面積1cm2)にAM1.5の光を100mW/cm2の光量で照射して25℃で出力特性を測定したところ、開放電圧(Voc)が1.336V、短絡電流密度(Jsc)が11.87mA/cm2、曲線因子(FF)が0.653、そして変換効率(Eff)が10.35%であった。
(実施例3)
実施例3として、図4に示すように2つの光電変換ユニットを積層した光電変換装置を作製した。比較例3と同様の条件にてガラス基板41の上に酸化亜鉛膜からなる透明導電膜42を堆積した。その後、この透明導電膜42の上に、プラズマCVD法を用いてp型半導体層43pの第1の非晶質半導体層として膜厚0.5nmのp型の非晶質シリコンカーバイド層43p1を形成した。続けてp型半導体層43pの結晶質半導体層として膜厚4nmのp型の微結晶シリコン層43p2を形成した。最後にp型半導体層43pの第2の非晶質半導体層として膜厚7nmのp型の非晶質シリコンカーバイド層43p3を形成した。なお第1の非晶質半導体層であるp型の非晶質シリコンカーバイド層43p1と、結晶質半導体層であるp型の微結晶シリコン層43p2、及び第2の非晶質半導体層であるp型の非晶質シリコンカーバイド層43p3は、実施例1と同様の条件にて形成した。その後は比較例3と同様に、i型半導体層として膜厚300nmのi型非晶質シリコン層43i、及びn型半導体層として膜厚30nmのn型微結晶シリコン層43nからなる第1の光電変換ユニット43を形成した。さらに比較例3と同様の条件にて膜厚15nmのp型微結晶シリコン層44p、厚さ2500nmのi型結晶質シリコン層44i、及び厚さ15nmのn型微結晶シリコン層44nからなる第2の光電変換ユニット44を順次形成した。その後、裏面電極層45としてアルミニウムがドープされた、膜厚90nmの酸化亜鉛層451と、膜厚300nmの銀452をスパッタ法にて順次形成した。以上のようにして得られた光電変換装置(受光面積1cm2)にAM1.5の光を100mW/cm2の光量で照射して25℃で出力特性を測定したところ、開放電圧(Voc)が1.364V、短絡電流密度(Jsc)が12.35mA/cm2、曲線因子(FF)が0.721、そして変換効率(Eff)が12.14%であった。比較例3と実施例3の比較により、積層型の薄膜光電変換装置においても、開放電圧、短絡電流密度、曲線因子、及び変換効率の全てに関して特性の改善が見られた。
実施例3として、図4に示すように2つの光電変換ユニットを積層した光電変換装置を作製した。比較例3と同様の条件にてガラス基板41の上に酸化亜鉛膜からなる透明導電膜42を堆積した。その後、この透明導電膜42の上に、プラズマCVD法を用いてp型半導体層43pの第1の非晶質半導体層として膜厚0.5nmのp型の非晶質シリコンカーバイド層43p1を形成した。続けてp型半導体層43pの結晶質半導体層として膜厚4nmのp型の微結晶シリコン層43p2を形成した。最後にp型半導体層43pの第2の非晶質半導体層として膜厚7nmのp型の非晶質シリコンカーバイド層43p3を形成した。なお第1の非晶質半導体層であるp型の非晶質シリコンカーバイド層43p1と、結晶質半導体層であるp型の微結晶シリコン層43p2、及び第2の非晶質半導体層であるp型の非晶質シリコンカーバイド層43p3は、実施例1と同様の条件にて形成した。その後は比較例3と同様に、i型半導体層として膜厚300nmのi型非晶質シリコン層43i、及びn型半導体層として膜厚30nmのn型微結晶シリコン層43nからなる第1の光電変換ユニット43を形成した。さらに比較例3と同様の条件にて膜厚15nmのp型微結晶シリコン層44p、厚さ2500nmのi型結晶質シリコン層44i、及び厚さ15nmのn型微結晶シリコン層44nからなる第2の光電変換ユニット44を順次形成した。その後、裏面電極層45としてアルミニウムがドープされた、膜厚90nmの酸化亜鉛層451と、膜厚300nmの銀452をスパッタ法にて順次形成した。以上のようにして得られた光電変換装置(受光面積1cm2)にAM1.5の光を100mW/cm2の光量で照射して25℃で出力特性を測定したところ、開放電圧(Voc)が1.364V、短絡電流密度(Jsc)が12.35mA/cm2、曲線因子(FF)が0.721、そして変換効率(Eff)が12.14%であった。比較例3と実施例3の比較により、積層型の薄膜光電変換装置においても、開放電圧、短絡電流密度、曲線因子、及び変換効率の全てに関して特性の改善が見られた。
(実施例4)
実施例4として、実施例1と同様に図2の構成を有する光電変換装置を作製した。実施例4が実施例1と異なるのは、p型半導体層23pの第2の非晶質半導体層として膜厚5nmのp型の非晶質シリコン層23p3を形成した点にある。第2の非晶質半導体層であるp型の非晶質シリコン層23p3は、第1の非晶質半導体層である非晶質シリコンカーバイド層23p1の製膜条件と比較して、製膜時に用いるガスからメタンガスを除いた以外は同一の条件にて製膜した。以上のようにして得られた光電変換装置(受光面積1cm2)にAM1.5の光を100mW/cm2の光量で照射して25℃で出力特性を測定したところ、開放電圧(Voc)が0.872V、短絡電流密度(Jsc)が15.9mA/cm2、曲線因子(FF)が0.705、そして変換効率(Eff)が9.77%となり、比較例1と実施例4の比較により、開放電圧、短絡電流密度、曲線因子、及び変換効率の全てに関して特性の改善が見られた。
実施例4として、実施例1と同様に図2の構成を有する光電変換装置を作製した。実施例4が実施例1と異なるのは、p型半導体層23pの第2の非晶質半導体層として膜厚5nmのp型の非晶質シリコン層23p3を形成した点にある。第2の非晶質半導体層であるp型の非晶質シリコン層23p3は、第1の非晶質半導体層である非晶質シリコンカーバイド層23p1の製膜条件と比較して、製膜時に用いるガスからメタンガスを除いた以外は同一の条件にて製膜した。以上のようにして得られた光電変換装置(受光面積1cm2)にAM1.5の光を100mW/cm2の光量で照射して25℃で出力特性を測定したところ、開放電圧(Voc)が0.872V、短絡電流密度(Jsc)が15.9mA/cm2、曲線因子(FF)が0.705、そして変換効率(Eff)が9.77%となり、比較例1と実施例4の比較により、開放電圧、短絡電流密度、曲線因子、及び変換効率の全てに関して特性の改善が見られた。
Claims (6)
- 光入射側に位置する透明導電膜上に、p型半導体層、i型半導体層、及びn型半導体層が順次積層された光電変換ユニットを少なくとも1つ以上有する光電変換装置であって、光入射側に最も近い光電変換ユニットの、前記透明導電膜に隣接するp型半導体層が、前記透明導電膜に近い側より、第1の非晶質半導体層、結晶質半導体層、及び第2の非晶質半導体層が順次積層された構成を有することを特徴とする光電変換装置。
- 前記第1の非晶質半導体層が、非晶質のシリコンカーバイドからなることを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
- 前記第2の非晶質半導体層が、非晶質のシリコンカーバイド、または非晶質シリコンからなることを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
- 前記光入射側に最も近い光電変換ユニットのi型半導体層が、非晶質シリコンからなることを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
- 前記透明導電膜が、酸化錫からなることを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
- 前記透明導電膜が、酸化亜鉛からなることを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
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