JPWO2005088734A6 - 薄膜光電変換装置 - Google Patents
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Abstract
多接合型薄膜光電変換装置における薄膜光電変換ユニット間の界面の漏れ電流を低減し、Voc及びFFを改善すること等により、変換効率の高い多接合型薄膜光電変換装置を提供する。
本発明による薄膜光電変換装置は、薄膜光電変換ユニットが二つ以上積層された多接合型薄膜光電変換装置であって、薄膜光電変換ユニット間の界面に10nm以下の膜厚を有しかつ導電率が1.0×10-9S/cm以下であるシリコン酸化物高抵抗層が形成されている。
本発明による薄膜光電変換装置は、薄膜光電変換ユニットが二つ以上積層された多接合型薄膜光電変換装置であって、薄膜光電変換ユニット間の界面に10nm以下の膜厚を有しかつ導電率が1.0×10-9S/cm以下であるシリコン酸化物高抵抗層が形成されている。
Description
本発明は、薄膜光電変換装置の変換効率の改善に関し、特に多接合型薄膜光電変換装置の変換効率の改善に関するものである。
今日、薄膜光電変換装置は多様化し、従来の非晶質シリコン光電変換ユニットを含む非晶質シリコン光電変換装置の他に結晶質シリコン光電変換ユニットを含む結晶質シリコン光電変換装置も開発され、これらのユニットを積層した多接合型薄膜光電変換装置も実用化されている。なお、ここで使用する用語「結晶質」は、多結晶及び微結晶を包含する。
また、用語「結晶質」及び「微結晶」は、部分的に非晶質を含むものをも意味するものとする。
また、用語「結晶質」及び「微結晶」は、部分的に非晶質を含むものをも意味するものとする。
薄膜光電変換装置としては、透明基板上に順に積層された透明電極膜、1以上の薄膜光電変換ユニット、および裏面電極膜からなるものが一般的である。そして、1つの薄膜光電変換ユニットはp型層とn型層でサンドイッチされたi型層を含んでいる。
薄膜光電変換ユニットの厚さの大部分を占めるi型層は実質的に真性の半導体層であって、光電変換作用は主としてのこのi型層内で生じるので光電変換層と呼ばれる。このi型層は光吸収を大きくし光電流を大きくするためには厚い方が好ましい。
他方、p型層やn型層は導電型層と呼ばれ、薄膜光電変換ユニット内に拡散電位を生じさせる役目を果たしており、この拡散電位の大きさによって薄膜光電変換装置の特性の1つである開放電圧(Voc)の値が左右される。しかし、これらの導電型層は光電変換に直接寄与しない不活性な層であり、導電型層にドープされた不純物によって吸収される光は発電に寄与しない損失となる。さらに、導電型層の導電率が低いと直列抵抗が大きくなり薄膜光電変換装置の光電変換特性を低下させる。したがって、p型層とn型層の導電型層は、十分な拡散電位を生じさせ得る範囲内であれば、できるだけ小さな厚さを有し、か
つ導電率が高い事が好ましい。
つ導電率が高い事が好ましい。
このようなことから、薄膜光電変換ユニットまたは薄膜光電変換装置は、それに含まれる導電型層の材料が非晶質か結晶質かにかかわらず、その主要部を占めるi型層の材料が非晶質シリコンのものは非晶質シリコン光電変換ユニットまたは非晶質シリコン薄膜光電変換装置と称され、i型層の材料が結晶質シリコンのものは結晶質シリコン光電変換ユニットまたは結晶質シリコン光電変換装置と称される。
ところで、薄膜光電変換装置の変換効率を向上させる方法として、2以上の薄膜光電変換ユニットを積層して多接合型にする方法がある。この方法において、薄膜光電変換装置の光入射側に大きなバンドギャップを有する光電変換層を含む前方ユニットを配置し、その後に順に小さなバンドギャップを有する(たとえばSi−Ge合金などの)光電変換層を含む後方ユニットを配置することにより、入射光の広い波長範囲にわたって光電変換を可能にし、これによって薄膜光電変換装置全体としての変換効率の向上を図ることができる。
たとえば非晶質シリコン光電変換ユニットと結晶質シリコン光電変換ユニットとを積層した2接合型薄膜光電変換装置の場合、i型の非晶質シリコンが光電変換し得る光の波長は長波長側において800nm程度までであるが、i型の結晶質シリコンはそれより長い1100nm程度の波長の光までを光電変換することができる。ここで、光吸収係数の大きな非晶質シリコンからなる非晶質シリコン光電変換層では光電変換に充分な光吸収のためには0.3μm以下の厚さでも十分であるが、比較して光吸収係数の小さな結晶質シリコンからなる結晶質シリコン光電変換層では長波長の光をも十分に吸収するためには2〜3μm程度以上の厚さを有することが好ましい。すなわち、結晶質シリコン光電変換層は、通常は、非晶質シリコン光電変換層に比べて10倍程度の大きな厚さが必要となる。
なお、この2接合型薄膜光電変換装置の場合、光入射側にある非晶質シリコン光電変換ユニットをトップ層、後方にある結晶質シリコン光電変換ユニットをボトム層と呼ぶ事とする。
ところで非晶質シリコン光電変換ユニットは、光照射によってその性能が若干量低下する光劣化と呼ばれる性質を有しており、この光劣化は非晶質シリコン光電変換層の膜厚が薄いほど抑えることができる。しかし非晶質シリコン光電変換層の膜厚が薄くなるとそれだけ光電流も小さくなる。多接合型薄膜光電変換装置では、薄膜光電変換ユニット同士が直列に接合されているため、最も光電流の小さい薄膜光電変換ユニットの電流値がその多接合型薄膜光電変換装置の電流値を決定する。そのため光劣化を抑えるために非晶質シリコン光電変換ユニットを薄くすると、全体の電流が小さくなり変換効率が低下してしまう
。これを解決するために、前記2接合型薄膜光電反感装置のトップ層とボトム層の間に更に結晶質シリコン光電変換ユニットを挿入した3接合型薄膜光電変換装置も用いられる。
。これを解決するために、前記2接合型薄膜光電反感装置のトップ層とボトム層の間に更に結晶質シリコン光電変換ユニットを挿入した3接合型薄膜光電変換装置も用いられる。
この際このトップ層とボトム層の間にある結晶質光電変換ユニットをミドル層と呼ぶ事とする。
薄膜光電変換装置の変換効率の向上には、上述した薄膜光電変換ユニットを複数積層する方法のほかに、凹凸を有する基体上に薄膜光電変換ユニットを形成する方法がある。この方法は光散乱による光路長の増加により、薄膜光電変換ユニット中に光の閉じ込めを行い光電流を増加させるものである。これは光吸収係数が非晶質シリコンより小さい結晶質シリコンからなる結晶質シリコン光電変換ユニットを有する薄膜光電変換装置には特に有効である。
以上述べてきたように、凹凸を有する基体上に多接合型薄膜光電変換装置を形成することは変換効率の向上に有効である。しかし、入射した光を散乱させる事を目的に基体の凹凸の山と谷の高低差(以降は単に凹凸の深さと表記する)を大きくした場合、薄い導電型層の膜厚に分布ができ、開放電圧(Voc)が低下し、また結晶質シリコン光電変換ユニットを用いた薄膜光電変換装置 の場合は、凹凸の深さが大きいと、凹部から結晶粒界が発生しやすくなり、光電変換層の膜質の低下や内部短絡を起こしやすくなり曲線因子(FF)が低下するという問題が発生する。また更に多接合型薄膜光電変換装置の場合、薄膜光電変換ユニット同士の界面は導電型層同士の逆接合になっているが、凹凸の深さが大きい基体上に薄膜光電変換ユニットを複数形成する場合、薄膜光電変換ユニット間の界面にキャリアである電子及び正孔を捕獲するエネルギー準位(界面トラップ)が多数形成され、漏れ電流の原因となり、開放電圧(Voc)及び曲線因子(FF)を低下させる。これは基体に接している薄膜光電変換ユニットの膜厚が薄いほど顕著に表れる。
特開2003−298088では、基体の凹凸の深さを大きくした場合の前記問題を回避するため、光閉じ込め効果を高めるために基体の凹凸の深さを大きくするのではなく、基体と薄膜光電変換ユニットを挟んだ反対側に、屈折率1.7以下の材料を含んで構成された光散乱層を設ける事で光閉じ込め効果を大きくし、変換効率を向上させることが記載されている。つまり、基体の凹凸の深さが大きい場合に生ずる開放電圧(Voc)と曲線因子(FF)の低下の問題を解決するのではなく、その問題を避けるために凹凸の深さを大きくせずにそれ以外の方法で変換効率の向上を図っているのであり、基体の凹凸の深さが大きい場合の開放電圧(Voc)と曲線因子(FF)の改善に関する記述はない。
また特開平10―117005では、ABC2(A=Cu,Agのうちの少なくとも1元素、B=In,Ga,Alのうちの少なくとも1元素、C=S,Se,Teのうちの少なくとも1元素)型カルコパイライト半導体薄膜とnタイプの半導体薄膜よりなるpn接合を有し、その上に透明電極を設けてなる太陽電池 において、ABC2型カルコパイライト半導体薄膜とnタイプの半導体薄膜の間に、局部的に好ましくはABC2型カルコパイライト半導体薄膜の表面上の結晶粒界にそってあるいは表面を100オングストローム以下の膜厚で表面を覆うように高抵抗薄膜を形成することにより接合部の漏れ電流を減少させ太陽電池の高性能化を行う事が記載されているが、多接合型薄膜光電変換装置における薄膜光電変換ユニット間の界面における漏れ電流を減少させる記載は無い。
上述のような状況に鑑み、本発明は、多接合型薄膜光電変換装置における薄膜光電変換ユニット間の界面の漏れ電流を低減し、変換効率の高い多接合型薄膜光電変換装置を提供することを目的としている。
本発明による薄膜光電変換装置は、薄膜光電変換ユニットが二つ以上積層された多接合型薄膜光電変換装置であって、前記薄膜光電変換ユニット間の界面に10nm以下、望ましくは3nm以下の膜厚を有しかつ導電率が1.0×10-9S/cm以下、望ましくは1.0×10-11S/cm以下であるシリコン酸化物高抵抗層が形成されている事を特徴としている。
この様な構成を有することにより、界面トラップを低減し、薄膜光電変換ユニット間の界面での漏れ電流を低減させる事が可能となる。しかし、シリコン酸化物高抵抗層の膜厚が10nmより大きくなると、膜厚方向の抵抗が直列抵抗となり曲線因子(FF)を低下させて変換効率を低下させる。また導電率が1.0×10-9S/cmより大きいと導電型層の一部分となり、界面トラップの低減効果が極端に低下する。
また本発明におけるシリコン酸化物高抵抗層が、被形成基体の温度が300℃以下におけるプラズマCVD法により形成される事が好ましい。また、該被形成基体は主表面に凹凸を有する基体であることが好ましい。
特開2003−298088において、薄膜光電変換ユニット間に透明導電性薄膜と透明絶縁性薄膜を含んで構成されている光散乱層をもつ構造が記載されているが、該先行技術は該透明絶縁性薄膜の表面被覆率30〜70%で配置されていることを特徴とするとの記載もあり、透明絶縁性薄膜を有する場合の実施の形態としては膜厚方向の導電性確保の為に透明絶縁性薄膜に隙間を規定している。本発明においては全面に10nm以下という薄いシリコン酸化物高抵抗層が存在する事を特徴としており、該先行技術とは異なる。
また、本発明の効果は該多接合型光電変換装置が凹凸を持つ導電性基体上に形成されている場合に特に明確になり、凹凸の深さを大きくせずに変換効率の向上を図っている特開2003−298088に記載されている先行技術とは本質的に異なる。
また本発明の一つの態様によれば、該多接合型薄膜光電変換装置が、透明基板の一方の面上に、少なくとも一方の主面上に凹凸を有する透明電極膜を形成した構造の導電性基体に、非晶質シリコン光電変換ユニット、結晶質シリコン光電変換ユニット及び裏面電極膜が順に形成されている2接合型薄膜光電変換装置である事を特徴とする。
さらに本発明の一つの態様によれば、前記2接合型薄膜光電変換装置のトップ層とボトム層の間に、少なくとも一層の結晶質シリコン光電変換ユニットを形成した多層接合型薄膜光電変換装置、好ましくはミドル層を有する3接合型薄膜光電変換装置であることを特徴としている。
本発明の一つの実施の形態による多接合型薄膜光電変換装置 の模式的な断面図を図1に示す。以下、図1を用いて本発明を詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
本発明の多接合型薄膜光電変換装置の各構成要素について説明する。
透明基板1としては、例えば、ガラス板や透明樹脂フィルムなどを用いることができる。ガラス板としては、大面積な板が安価に入手可能で透明性、絶縁性が高い、SiO2、Na2O及びCaOを主成分とする両主面が平滑なフロート板ガラスを用いることができる。
透明電極膜2は、ITO膜、SnO2膜、或いはZnO膜のような透明導電性酸化物層等で構成することができる。透明電極膜2は単層構造でも多層構造であっても良い。透明電極膜2は、蒸着法、CVD法、或いはスパッタリング法等それ自体既知の気相堆積法を用いて形成することができる。透明電極膜2の表面には、微細な凹凸を含む表面テクスチャ構造を形成することが好ましい。この凹凸の深さは0.1μm以上5.0μm以下である事が好ましく、更に一つの山と山の間隔は0.1μm以上5.0μm以下である事が好ましい。透明電極膜2の表面にこのようなテクスチャ構造を形成することにより、光閉じ込め効果を増大させる事が可能となる。
図1に示す本発明における2接合型薄膜光電変換装置においては、薄膜光電変換ユニット3は非晶質シリコン光電変換ユニット3a、結晶質シリコン光電変換ユニット3bを備えており、3aと3bの間に本発明の特徴となるシリコン酸化物高抵抗層4aを有している。
非晶質シリコン光電変換ユニット3aは非晶質シリコン光電変換層を備えており、透明電極膜2側からp型層、非晶質シリコン光電変換層、及びn型層を順次積層した構造を有する。これらp型層、非晶質シリコン光電変換層、及びn型層はいずれもプラズマCVD法により形成することができる。
一方、結晶質シリコン光電変換ユニット3bは結晶質シリコン光電変換層を備えており、例えば、シリコン酸化物高抵抗層4a側からp型層、結晶質シリコン光電変換層、及びn型層を順次積層した構造を有する。これらp型層、結晶質シリコン光電変換層、及びn型層はいずれもプラズマCVD法により形成することができる。
これら薄膜光電変換ユニット3a、3bを構成するp型層は、例えば、シリコン、シリコンカーバイド、シリコン酸化物またはシリコンゲルマニウム等のシリコン合金に、ボロンやアルミニウム等のp導電型決定不純物原子をドープすることにより形成することができる。また、非晶質シリコン光電変換層及び結晶質シリコン光電変換層は、非晶質シリコン系半導体材料及び結晶質シリコン系半導体材料でそれぞれ形成することができ、そのような材料としては、真性半導体のシリコン(水素化シリコン等)やシリコンカーバイド及びシリコンゲルマニウム等のシリコン合金等を拳げることができる。また、光電変換機能
を十分に備えていれば、微量の導電型決定不純物を含む弱p型もしくは弱n型のシリコン系半導体材料も用いられ得る。さらに、n型層は、シリコン、シリコンカーバイド、シリコン酸化物またはシリコンゲルマニウム等のシリコン合金に、燐や窒素等のn導電型決定不純物原子をドープすることにより形成することができる。
を十分に備えていれば、微量の導電型決定不純物を含む弱p型もしくは弱n型のシリコン系半導体材料も用いられ得る。さらに、n型層は、シリコン、シリコンカーバイド、シリコン酸化物またはシリコンゲルマニウム等のシリコン合金に、燐や窒素等のn導電型決定不純物原子をドープすることにより形成することができる。
以上のように構成される非晶質シリコン光電変換ユニット3aと結晶質シリコン光電変換ユニット3bとでは互いに吸収波長域が異なっている。非晶質シリコン光電変換ユニット3aの光電変換層は非晶質シリコンで構成され、結晶質シリコン光電変換ユニット3bの光電変換層は結晶質シリコンで構成されているので、前者に550nm程度の光成分を最も効率的に吸収させ、後者に900nm程度の光成分を最も効率的に吸収させることができる。
非晶質シリコン光電変換ユニット3aの厚さは、0.01μm〜0.5μmの範囲内にあることが好ましく、0.1μm〜0.3μmの範囲内にあることがより好ましい。
一方、結晶質シリコン光電変換ユニット3bの厚さは、0.1μm〜10μmの範囲内にあることが好ましく、0.1μm〜5μmの範囲内にあることがより好ましい。
本発明の特徴であるシリコン酸化物高抵抗層4aは微量にボロンやアルミ、窒素や燐などの導電型決定不純物を含む場合もある。シリコン酸化物高抵抗層4aは被形成基体の温度が300℃以下におけるプラズマCVD法により形成することができる。
シリコン酸化物高抵抗層4aは10nm以下、望ましくは3nm以下の膜厚を有しかつ導電率が1.0×10-9S/cm以下、望ましくは1.0×10-11S/cm以下である。10nm以下という膜厚の決定は以下の方法にて行われる。ガラス基板のような透明でかつ絶縁性の基体上にシリコン酸化物高抵抗層4aを0.3〜0.4μm程度形成する。この膜厚は分光エリプソメトリーにより測定される。この膜厚と形成時間から算出した形成速度を一定とし、3nm以下の膜厚を規定する。また導電率は0.3〜0.4μm程度形成されたシリコン酸化物高抵抗層4a上に真空蒸着法により1mm×15mmのアルミ電極を1mmの間隔を空けて形成し、100Vの電圧をその2電極間に印加した時の電流値から算出される。この時の計算に用いられるシリコン酸化物高抵抗層4aの膜厚は分光エリプソメトリーにて得られた値を用いる。
裏面電極膜5は電極としての機能を有するだけでなく、透明基板1から薄膜光電変換ユニット3に入射し裏面電極膜5に到着した光を反射して薄膜光電変換ユニット3内に再入射させる反射層としての機能も有している。裏面電極膜5は、銀やアルミニウム等を用いて、蒸着法やスパッタリング法等により、例えば200nm〜400nm程度の厚さに形成することができる。
なお、裏面電極膜5と薄膜光電変換ユニット3との間には、例えば両者の間の接着性を向上させるために、ZnOのような非金属材料からなる透明電導性薄膜(図示せず)を設けることができる。
本発明のもう一つの実施の形態による多接合型薄膜光電変換装置 の模式的な断面図を図2に示すが、本発明はこれに限定されるものではない。
図2に示す多接合型薄膜光電変換装置は、透明基板1、透明電極膜2、非晶質光電変換ユニット3a、シリコン酸化物高抵抗層4a、結晶質光電変換ユニット3b、第2シリコン酸化物高抵抗層4b、第2結晶質シリコン光電変換ユニット3c及び裏面電極5をこの順に積層された構造を有している。
第2結晶質シリコン光電変換ユニット3cは、結晶質シリコン光電変換ユニット3bと同様な構造を有しているが、導電型層及び光電変換層が同じ材料である必要は無い。
第2シリコン酸化物高抵抗層4bはシリコン酸化物高抵抗層4aと同様、被形成基体の温度が300℃以下におけるプラズマCVD法により形成されているが、同じ形成条件である必要は無い。
本発明による薄膜光電変換装置は、薄膜光電変換ユニットが二つ以上積層された多接合型薄膜光電変換装置であって、薄膜光電変換ユニット間の界面に10nm以下、望ましくは3nm以下の膜厚を有しかつ導電率が1.0×10-9S/cm以下、望ましくは1.0×10-11S/cm以下であるシリコン酸化物高抵抗層が形成されている事で、薄膜光電変換ユニット間の界面における漏れ電流を低減し、Voc及びFFを改善し変換効率を向上させる。
1 透明基板
2 透明電極膜
3a、3b、3c 薄膜光電変換ユニット
4a,4b シリコン酸化物高抵抗層
5 裏面電極膜
6 実施例1の出力特性
7 比較例1の出力特性
8 比較例2の出力特性
9 実施例2の出力特性
10 比較例3の出力特性
11 比較例4の出力特性
2 透明電極膜
3a、3b、3c 薄膜光電変換ユニット
4a,4b シリコン酸化物高抵抗層
5 裏面電極膜
6 実施例1の出力特性
7 比較例1の出力特性
8 比較例2の出力特性
9 実施例2の出力特性
10 比較例3の出力特性
11 比較例4の出力特性
以下、本発明を比較例とともにいくつかの実施例に基づいて詳細に説明するが、本発明はその趣旨を超えない限り以下の記載例に限定されるものではない。
実施例1として、図1に示される非晶質シリコン光電変換ユニット3aと結晶質シリコン光電変換ユニット3bを有する多接合型薄膜光電変換装置を作製した。
厚み0.7mmのガラス基板1上に、透明電極膜2として厚さ1μmで凹凸を有するZnO膜2をCVD法にて形成した。この時の凹凸の深さは0.1μm以上0.5μm以下の範囲で、山と山の間隔は0.1μm以上0.5μm以下の範囲であった。この透明電極膜2の上に、反応ガスとしてシラン、水素、メタン及びジボランを導入しp型層15nm形成後、反応ガスとしてシランを導入し非晶質シリコン光電変換層を150nm形成し、その後反応ガスとしてシラン、水素及びホスフィンを導入しn型層を10nm形成することで非晶質シリコン光電変換ユニット3aを形成した。非晶質シリコン光電変換ユニット
3a形成後、反応ガスとしてシラン、水素、ホスフィン及び二酸化炭素を導入しシリコン酸化物高抵抗層4aを2nm形成した。その後反応ガスとしてシラン、水素及びジボランを導入しp型層10nm形成後、反応ガスとして水素とシランを導入し結晶質シリコン光電変換層を1.8μm形成し、その後反応ガスとしてシラン、水素及びホスフィンを導入しn型層を15nm形成することで結晶質シリコン光電変換ユニット3bを形成した。非晶質シリコン光電変換ユニット3a、結晶質シリコン光電変換ユニット3b及びシリコン酸化物層4aはいずれもプラズマCVD法により形成した。
3a形成後、反応ガスとしてシラン、水素、ホスフィン及び二酸化炭素を導入しシリコン酸化物高抵抗層4aを2nm形成した。その後反応ガスとしてシラン、水素及びジボランを導入しp型層10nm形成後、反応ガスとして水素とシランを導入し結晶質シリコン光電変換層を1.8μm形成し、その後反応ガスとしてシラン、水素及びホスフィンを導入しn型層を15nm形成することで結晶質シリコン光電変換ユニット3bを形成した。非晶質シリコン光電変換ユニット3a、結晶質シリコン光電変換ユニット3b及びシリコン酸化物層4aはいずれもプラズマCVD法により形成した。
その後、裏面電極5との密着性向上のため、スパッタ法にてZnO膜を90nm形成後、同じくスパッタ法にて裏面電極5としてAg膜5を形成した。
なお、表1の条件Aにこの時のシリコン酸化物高抵抗層4aのガス流量条件を示す。この条件におけるシリコン酸化物高抵抗層4aの導電率は以下のように測定した。ガラス基板1上に、表1の条件Aで形成した膜を分光エリプソメトリーで膜厚を測定し、399nmという値を得た。その後この高抵抗シリコン酸化物層4a上に真空蒸着法により1mm×15mmのアルミ電極を1mmの間隔を空けて形成し、100Vの電圧をその2電極間に印加し電流値を測定した。電流値が1.10×10-13Aであり、これらの値から導電率を算出すると1.84×10-12S/cmであった。
以上のようにして得られた多接合型薄膜光電変換装置 (受光面積1cm2)にAM1.5の光を100mW/cm2の光量で照射して出力特性を測定したところ、表2の実施例1に示すように、開放電圧(Voc)が1.35V、短絡電流密度(Jsc)が9.92mA/cm2、曲線因子(F.F.)が72.2%、そして変換効率が9.67%であった。図3の実線6に出力特性を示す。
実施例1の構造で、非晶質シリコン光電変換ユニット3aと結晶質シリコン光電変換ユニット3bの間にシリコン酸化物高抵抗層4aを形成していない多接合型薄膜光電変換装置を形成し、実施例1と同様に出力特性を測定したところ、表2の比較例1に示すように、開放電圧(Voc)が1.27V、短絡電流密度(Jsc)が10.5mA/cm2、曲線因子(FF)が48.1%、そして変換効率が6.42%であった。図3の点線7に出力特性を示す。
実施例1の構造で、シリコン酸化物高抵抗層4aの膜厚が15nmとした多接合型薄膜光電変換装置を形成し、実施例1と同様に出力特性を測定したところ、表2の比較例2に示すように、開放電圧(Voc)が1.32V、短絡電流密度(Jsc)が9.93mA/cm2、曲線因子(FF)が38.6%、そして変換効率が5.04%であった。図3の鎖線8に出力特性を示す。
実施例2として、実施例1の構造で非晶質シリコン光電変換ユニット3aのn型層の反応ガスとしてシラン、水素、ホスフィン及び二酸化炭素を導入しn型の導電性シリコン酸化物層を58nm形成した。表1の条件Bにこの時のn型導電性シリコン酸化物層のガス流量条件を示す。このn型層は特許文献1でいうところの光散乱層の役割も持つ。このn型導電性シリコン酸化物層の導電率は1.33×10-8S/cmであった。導電率の測定は実施例1と同様の方法で実施した。
その後、実施例1と全く同条件でシリコン酸化物高抵抗層4aを2nm、結晶質シリコン光電変換ユニット3b、ZnO膜及びAg膜5の順で形成した。
以上のようにして得られた多接合型薄膜光電変換装置 (受光面積1cm2)にAM1.5の光を100mW/cm2の光量で照射して出力特性を測定したところ、表2の実施例2に示すように、開放電圧(Voc)が1.36V、短絡電流密度(Jsc)が11.9mA/cm2、曲線因子(FF)が68.0%、そして変換効率が11.0%であった。図4の実線9に出力特性を示す。
実施例2の構造で、非晶質シリコン光電変換ユニット3aのn型導電性シリコン酸化物層の膜厚を60nmとし、シリコン酸化物高抵抗層4aが存在しない多接合型薄膜光電変換装置を形成し、実施例1と同様に出力特性を測定したところ、表2の比較例3に示すように、開放電圧(Voc)が1.28V、短絡電流密度(Jsc)が11.7mA/cm2、曲線因子(FF)が52.9%、そして変換効率が7.95%であった。図3の点線10に出力特性を示す。
実施例2の構造で、非晶質シリコン光電変換ユニット3aのn型導電性シリコン酸化物層とシリコン酸化物高抵抗層4aの形成順序が逆転している構造、つまり、シリコン酸化物高抵抗層4aが薄膜光電変換ユニット間の界面にあるのではなく、非晶質シリコン光電変換ユニット3a内の非晶質シリコン光電変換層とn型層との間に存在する構造を持つ多接合型薄膜光電変換装置を形成し、実施例1と同様に出力特性を測定したところ、表2の比較例4に示すように、開放電圧(Voc)が0.587V、短絡電流密度(Jsc)が0.987mA/cm2、曲線因子(FF)が13.8%、そして変換効率が0.08%
であった。図3の鎖線11に出力特性を示す。
であった。図3の鎖線11に出力特性を示す。
実施例3として、図2に示される非晶質シリコン光電変換ユニット3a、結晶質シリコン光電変換ユニット3b及び第2結晶質シリコン光電変換ユニット3cを有する多接合型薄膜光電変換装置を作製した。
厚み0.7mmのガラス基板1上に、透明電極膜2として厚さ1μmで凹凸を有するZnO膜2をCVD法にて形成した。この時の凹凸の深さは0.1μm以上0.5μm以下の範囲で、山と山の間隔は0.1μm以上0.5μm以下の範囲であった。この透明電極膜2の上に、反応ガスとしてシラン、水素、メタン及びジボランを導入しp型層15nm形成後、反応ガスとしてシランを導入し非晶質シリコン光電変換層を150nm形成し、その後反応ガスとしてシラン、水素及びホスフィンを導入しn型層を10nm形成することで非晶質シリコン光電変換ユニット3aを形成した。非晶質シリコン光電変換ユニット
3a形成後、反応ガスとしてシラン、水素、ホスフィン及び二酸化炭素を導入しシリコン酸化物高抵抗層4aを2nm形成した。その後反応ガスとしてシラン、水素及びジボランを導入しp型層10nm形成後、反応ガスとして水素とシランを導入し結晶質シリコン光電変換層を2.3μm形成し、その後反応ガスとしてシラン、水素及びホスフィンを導入しn型層を15nm形成することで結晶質シリコン光電変換ユニット3bを形成した。結晶質シリコン光電変換ユニット3b形成後、反応ガスとしてシラン、水素、ホスフィン及び二酸化炭素を導入し第2シリコン酸化物高抵抗層4bを2nm形成した。その後反応ガ
スとしてシラン、水素及びジボランを導入しp型層10nm形成後、反応ガスとして水素とシランを導入し結晶質シリコン光電変換層を5.4μm形成し、その後反応ガスとしてシラン、水素及びホスフィンを導入しn型層を15nm形成することで第2結晶質シリコン光電変換ユニット3cを形成した。非晶質シリコン光電変換ユニット3a、結晶質シリコン光電変換ユニット3b、第2結晶質シリコン光電変換ユニット3c、シリコン酸化物高抵抗層4a及び第2高抵抗シリコン酸化物層4bはいずれもプラズマCVD法により形成した。
3a形成後、反応ガスとしてシラン、水素、ホスフィン及び二酸化炭素を導入しシリコン酸化物高抵抗層4aを2nm形成した。その後反応ガスとしてシラン、水素及びジボランを導入しp型層10nm形成後、反応ガスとして水素とシランを導入し結晶質シリコン光電変換層を2.3μm形成し、その後反応ガスとしてシラン、水素及びホスフィンを導入しn型層を15nm形成することで結晶質シリコン光電変換ユニット3bを形成した。結晶質シリコン光電変換ユニット3b形成後、反応ガスとしてシラン、水素、ホスフィン及び二酸化炭素を導入し第2シリコン酸化物高抵抗層4bを2nm形成した。その後反応ガ
スとしてシラン、水素及びジボランを導入しp型層10nm形成後、反応ガスとして水素とシランを導入し結晶質シリコン光電変換層を5.4μm形成し、その後反応ガスとしてシラン、水素及びホスフィンを導入しn型層を15nm形成することで第2結晶質シリコン光電変換ユニット3cを形成した。非晶質シリコン光電変換ユニット3a、結晶質シリコン光電変換ユニット3b、第2結晶質シリコン光電変換ユニット3c、シリコン酸化物高抵抗層4a及び第2高抵抗シリコン酸化物層4bはいずれもプラズマCVD法により形成した。
その後、裏面電極5との密着性向上のため、スパッタ法にてZnO膜を90nm形成後、同じくスパッタ法にて裏面電極5としてAg膜5を形成した。
なお、シリコン酸化物高抵抗層4a及び第2シリコン酸化物高抵抗層4bの形成条件は同じであり、表1の条件Aにガス流量条件を示す。
以上のようにして得られた多接合型薄膜光電変換装置 (受光面積1cm2)にAM1.5の光を100mW/cm2の光量で照射して出力特性を測定したところ、表2の実施例3に示すように、開放電圧(Voc)が1.72V、短絡電流密度(Jsc)が9.44mA/cm2、曲線因子(FF)が65.1%、そして変換効率が10.6%であった。
実施例3の構造で、シリコン酸化物高抵抗層4a及び第2シリコン酸化物高抵抗層4bを形成していない多接合型薄膜光電変換装置を形成し、実施例1と同様に出力特性を測定したところ、表2の比較例5に示すように、開放電圧(Voc)が1.53V、短絡電流密度(Jsc)が9.51mA/cm2、曲線因子(FF)が57.4%、そして変換効率が8.33%であった。
本発明は、薄膜光電変換ユニット間の界面における漏れ電流を低減し、Voc及びFFを改善し変換効率が向上した多接合型薄膜光電変換装置を提供する。
Claims (5)
- 薄膜光電変換ユニットが二つ以上積層され、前記薄膜光電変換ユニット間の界面に10nm以下の膜厚を有しかつ導電率が1.0×10-9S/cm以下であるシリコン酸化物高抵抗層が形成されている事を特徴とする多接合型薄膜光電変換装置。
- 前記シリコン酸化物高抵抗層が、被形成基体の温度が300℃以下においてプラズマCVD法により形成される事を特徴とする請求項1に記載の多接合型薄膜光電変換装置。
- 主面上に凹凸を持つ導電性基体上に、前記光電変換ユニットが形成されている事を特徴とする請求項1または2記載の多接合型薄膜光電変換装置。
- 前記主面上に凹凸を持つ導電性基体が、透明基板の一方の面上に、少なくとも一方の主面上に凹凸を有する透明電極膜を形成した構造であり、前記光電変換ユニットが非晶質シリコン光電変換ユニット、結晶質シリコン光電変換ユニットの順に形成されている事を特徴とする請求項3に記載の多接合型薄膜光電変換装置。
- 前記非晶質シリコン光電変換ユニットおよび結晶質シリコン光電変換ユニットに、更に結晶質シリコン光電変換ユニットを形成した少なくとも3層の光電変換ユニットを有する請求項4に記載の多接合型薄膜光電変換装置。
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