JPWO2004096681A1 - 警告装置、輸送装置及び輸送方法、露光装置 - Google Patents
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Abstract
警告装置KSは、輸送中の露光装置本体EX又はその近傍に取り付けられ、露光装置本体EXに作用する衝撃値を検出する衝撃センサ1Aと、衝撃センサ1Aの検出値が予め設定された許容値を越えたか否かを判別する制御装置CNTと、制御装置CNTの判別結果に基づいて警告を発する警告灯2Aとを備える。このような構成により、露光装置等の精密機器を輸送する際、精密機器の輸送状態や輸送環境をリアルタイムで警告する警告装置を提供することができる。
Description
本願は2003年4月25日付けで日本国特許庁へ出願された特許出願(特願2003−121790号)を基礎とし、その内容を援用するものとする。
[技術分野]
本発明は、警告装置、輸送装置及び輸送方法、露光装置に関するものである。
[技術分野]
本発明は、警告装置、輸送装置及び輸送方法、露光装置に関するものである。
フォトリソグラフィ工程で使用される露光装置を露光装置製造メーカーから半導体デバイス製造メーカー等に輸送する際、露光装置は梱包材で梱包され(特開2000−203678号公報参照)、トラックや航空機等で輸送されるが、輸送中に衝撃が作用して露光装置に影響を与えるおそれがある。そのため従来では、輸送される露光装置に衝撃センサを取り付け、衝撃センサに内蔵されたメモリ部に輸送中の衝撃データを蓄積し、輸送作業終了後に前記衝撃センサを露光装置から取り外し、メモリに蓄積されている衝撃データを抽出してデータ解析し、輸送工程のどの段階で許容値以上の衝撃が作用したかどうかを把握するといったことが行われていた。
ところが、上記従来技術では、メモリに蓄積された衝撃データは輸送作業終了後に解析されるため、輸送中に許容値以上の衝撃が露光装置に作用したとしても、輸送作業者は、露光装置に衝撃が作用したことをリアルタイムで把握できず、適切な処置を行うことができないという問題が存在した。
ところが、上記従来技術では、メモリに蓄積された衝撃データは輸送作業終了後に解析されるため、輸送中に許容値以上の衝撃が露光装置に作用したとしても、輸送作業者は、露光装置に衝撃が作用したことをリアルタイムで把握できず、適切な処置を行うことができないという問題が存在した。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、露光装置等の精密機器を輸送する際、精密機器の輸送状態や輸送環境をリアルタイムで警告する警告装置、及びこの警告装置を用いた輸送装置及び輸送方法、露光装置を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するため本発明は、実施の形態に示す図1〜図11に対応付けした以下の構成を採用している。
本発明の警告装置(KS)は、輸送中の精密機器(EX)又はその近傍に取り付けられ、該精密機器(EX)の輸送状態及び輸送環境のうち少なくともいずれか一方を検出する検出装置(1A〜1E)と、検出装置(1A〜1E)の検出値が予め設定された所定値を越えたか否かを判別する判別装置(CNT)と、判別装置(CNT)の判別結果に基づいて警告を発する報知装置(2A〜2E)とを備えたことを特徴とする。
本発明の輸送装置(T、22)は、精密機器(EX)を輸送する輸送装置であって、上記記載の警告装置(KS)を備えたことを特徴とする。
本発明の輸送方法は、精密機器(EX)を輸送する輸送方法であって、上記記載の警告装置(KS)を用いて輸送することを特徴とする。
本発明の露光装置(EX)は、上記記載の輸送方法により輸送されることを特徴とする。
本発明によれば、輸送中の精密機器又はその近傍に、精密機器の輸送状態あるいは輸送環境を検出する検出装置を設置し、検出装置の検出値が所定値(許容値)を越えたか否かを判別し、この判別結果に基づいて警告を発するようにしたので、輸送中の精密機器の輸送状態や輸送環境をリアルタイムで把握できる。したがって、例えば許容値以上の衝撃が精密機器に作用した場合であっても、作業者は適切な処置を迅速に行うことができ、精密機器に与える影響を最小限に抑えることができる。ここで、上記輸送状態は、精密機器に作用する衝撃(加速度)、及び輸送中の精密機器の姿勢などを含み、上記輸送環境は、輸送中の精密機器がおかれている環境であって、温度、湿度、及び酸素濃度等の所定の物質濃度などを含む。そして、上記検出装置は、精密機器に作用する衝撃を検出する衝撃センサの他に、温度を検出する温度センサ、湿度を検出する湿度センサ、例えば酸素濃度など所定の物質濃度を検出する濃度センサ、及び輸送中の精密機器の姿勢を検出する姿勢センサなどを含む。
上記の課題を解決するため本発明は、実施の形態に示す図1〜図11に対応付けした以下の構成を採用している。
本発明の警告装置(KS)は、輸送中の精密機器(EX)又はその近傍に取り付けられ、該精密機器(EX)の輸送状態及び輸送環境のうち少なくともいずれか一方を検出する検出装置(1A〜1E)と、検出装置(1A〜1E)の検出値が予め設定された所定値を越えたか否かを判別する判別装置(CNT)と、判別装置(CNT)の判別結果に基づいて警告を発する報知装置(2A〜2E)とを備えたことを特徴とする。
本発明の輸送装置(T、22)は、精密機器(EX)を輸送する輸送装置であって、上記記載の警告装置(KS)を備えたことを特徴とする。
本発明の輸送方法は、精密機器(EX)を輸送する輸送方法であって、上記記載の警告装置(KS)を用いて輸送することを特徴とする。
本発明の露光装置(EX)は、上記記載の輸送方法により輸送されることを特徴とする。
本発明によれば、輸送中の精密機器又はその近傍に、精密機器の輸送状態あるいは輸送環境を検出する検出装置を設置し、検出装置の検出値が所定値(許容値)を越えたか否かを判別し、この判別結果に基づいて警告を発するようにしたので、輸送中の精密機器の輸送状態や輸送環境をリアルタイムで把握できる。したがって、例えば許容値以上の衝撃が精密機器に作用した場合であっても、作業者は適切な処置を迅速に行うことができ、精密機器に与える影響を最小限に抑えることができる。ここで、上記輸送状態は、精密機器に作用する衝撃(加速度)、及び輸送中の精密機器の姿勢などを含み、上記輸送環境は、輸送中の精密機器がおかれている環境であって、温度、湿度、及び酸素濃度等の所定の物質濃度などを含む。そして、上記検出装置は、精密機器に作用する衝撃を検出する衝撃センサの他に、温度を検出する温度センサ、湿度を検出する湿度センサ、例えば酸素濃度など所定の物質濃度を検出する濃度センサ、及び輸送中の精密機器の姿勢を検出する姿勢センサなどを含む。
図1は、本発明の警告装置の第1実施形態を示す概略構成図である。
図2は、第1実施形態に係る警告装置のシステム構成図である。
図3は、本発明の警告装置の第2実施形態を示す概略構成図である。
図4は、第2実施形態に係る警告装置のシステム構成図である。
図5は、本発明の警告装置の第3実施形態を示す概略構成図である。
図6は、本発明の輸送装置の一実施形態を示す模式図である。
図7A〜7Eは、本発明の輸送方法の一実施形態を示す模式図である。
図8は、本発明の警告装置に係る表示装置を示す模式図である。
図9は、本発明の警告装置の第4実施形態を示す模式図である。
図10は、本発明の露光装置の一実施形態を示す概略構成図である。
図11は、半導体デバイス製造工程の一例を示すフローチャート図である。
図2は、第1実施形態に係る警告装置のシステム構成図である。
図3は、本発明の警告装置の第2実施形態を示す概略構成図である。
図4は、第2実施形態に係る警告装置のシステム構成図である。
図5は、本発明の警告装置の第3実施形態を示す概略構成図である。
図6は、本発明の輸送装置の一実施形態を示す模式図である。
図7A〜7Eは、本発明の輸送方法の一実施形態を示す模式図である。
図8は、本発明の警告装置に係る表示装置を示す模式図である。
図9は、本発明の警告装置の第4実施形態を示す模式図である。
図10は、本発明の露光装置の一実施形態を示す概略構成図である。
図11は、半導体デバイス製造工程の一例を示すフローチャート図である。
以下、本発明の警告装置及び輸送装置について図面を参照しながら説明する。図1は本発明の警告装置の第1実施形態を示す模式図である。ここで、警告装置は輸送中の精密機器の輸送状態及び輸送環境のうち少なくともいずれか一方に関する情報について警告を発するものであって、本実施形態では、精密機器として露光装置を例にして説明する。
図1において、警告装置KSは、輸送される露光装置100(露光装置本体EX)に取り付けられ、露光装置100に作用する衝撃を検出する検出装置を構成する衝撃センサ1Aと、衝撃センサ1Aの検出値が予め設定された許容値(所定値)を越えたかどうかを判別する判別装置を構成する制御装置CNTと、制御装置CNTの判別結果に基づいて警告を発する報知装置2Aとを備えている。
精密機器としての露光装置100(露光装置本体EX)は、マスクを支持するマスクステージMSTと、感光基板を支持する基板ステージPSTと、マスクステージMSTに支持されているマスクのパターンの像を基板ステージPSTに支持されている感光基板に投影する投影光学系PLと、マスクステージMST、投影光学系PL、及び基板ステージPSTを支持する本体コラム14とを備えている。本体コラム14は、投影光学系PLの鏡筒をフランジ部FLGを介して支持する鏡筒定盤44と、鏡筒定盤44上に設けられた第1コラム48及び第2コラム52と、鏡筒定盤44に吊り下げられるように設けられた吊り下げコラム46とを備えている。本体コラム14はフレームキャスタBP上に支持されている。フレームキャスタBPは腰板7上に支持されている。腰板7は例えば鉄板により構成されている。
なお、露光装置100は、後述するように、マスクステージMSTに支持されたマスクを露光光で照明する照明光学系を含む照明ユニット、露光装置100全体の動作を統括制御する制御系を含む制御系ユニット、露光装置を収容するチャンバ装置を含むチャンバユニット、及びチャンバ装置内部の温度調整を行う温調ユニット等の複数の機能ユニットで構成されているが、本実施形態では、複数の機能ユニットのうち、マスクステージMST、基板ステージPST、及び投影光学系PLを含む露光装置本体ユニット(以下、「露光装置本体EX」と称する)を輸送する場合を例にして説明する。
衝撃センサ1Aは、輸送中の露光装置本体EXに作用する衝撃を検出するものであって、本実施形態では投影光学系PLのフランジ部FLGに取り付けられている。衝撃センサ1Aは加速度センサにより構成されており、輸送中の露光装置本体EXの加速度情報を検出することで、露光装置本体EXに作用する衝撃情報を検出する。また、衝撃センサ1Aは、タイマ機能とメモリ機能(内蔵メモリ部)とを有しており、衝撃値(加速度)、その衝撃発生時刻、及び衝撃作用時間等を記憶可能である。
ここで、本実施形態の衝撃センサ1Aは、所定のサンプリング周期(例えば2msec.)で衝撃値をサンプリングし、所定時間(例えば2分間)のうちの最大衝撃値を内蔵メモリ部に記憶する構成である。これにより小電力化が実現され、比較的長期間の輸送工程(例えば1週間)での衝撃値データを記憶することができる。
報知装置2Aは警告灯により構成されており、制御装置CNTの判別結果に基づいて光を発することにより警告する。衝撃センサ1Aと制御装置CNTとはケーブル3で接続されている。
輸送される露光装置本体EXは、第1の梱包材4で梱包され、更に第1の梱包材4はその外側を第2の梱包材5で梱包されており、露光装置本体EXの投影光学系PLのフランジ部FLGに取り付けられている衝撃センサ1Aは第1の梱包材4の内側に取り付けられた構成となっている。一方、報知装置2Aは第1の梱包材4の外側、具体的には第1の梱包材4を梱包する第2の梱包材5の外側に取り付けられている。本実施形態において、報知装置2Aは制御装置CNTとともに、第2の梱包材5の外側面上部の所定位置に取り付けられている。
第1の梱包材4は、第2の梱包材5よりも有機系ガスの発生が少ない材料で形成されている。第1の梱包材4はシート材であって、例えば四フッ化エチレン、テトラフルオロエチレン−テルフルオロ(アルキルビニールエーテル)、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロペン共重合体等の各種フッ素ポリマー、あるいはナイロン(ONY重合)−片面シリカコートペット樹脂(PET12)−ポリエチレン(PEF60)からなる三層構造のいわゆるハイバリアシートで構成されている。第1の梱包材4は露光装置本体EXを覆うように設けられ、その端部を露光装置本体EX(本体コラム14)を支持するフレームキャスタBPに対して熱溶着されている。これにより、第1の梱包材4の内側は密閉空間となっている。そして、露光装置本体EXを配置する第1の梱包材4の内側の密閉空間は例えば窒素ガス等の不活性ガスで満たされている。これにより、投影光学系PLの光学素子等、露光光が通過する光学素子に対する有機系ガス等の汚染物質の付着が防止されている。第2の梱包材5は例えば木材で構成されており、腰板7に固定されている。また、第1の梱包材4と第2の梱包材5との間には、緩衝材及び保温材(不図示)が配置される。
第1の梱包材4の内側に設けられた衝撃センサ1Aと、第2の梱包材5の外側に設けられた制御装置CNTとを接続するケーブル3は、衝撃センサ1Aの検出信号を制御装置CNTに伝達するものであって、フレームキャスタBPと第1の梱包材4との間に挟まれるようにして配置される。このケーブル3を挟みつつフレームキャスタBPに対して第1の梱包材4を熱溶着することで、ケーブル3とフレームキャスタBP及び第1の梱包材4とを密着させることができ、これにより第1の梱包材4の内部空間の密閉性が維持される。また、第1の梱包材4の所定の位置にケーブル3を保持可能な穴部を形成し、この穴部にケーブル3を配置した後、この穴部をシールするとともに、第1の梱包材4の内部空間を不活性ガスで置換するようにしてもよい。また、第2の梱包材5の所定位置にはケーブル3を保持可能な貫通孔5Aが形成されており、ケーブル3はこの貫通孔5Aを介して、第2の梱包材5の外側面に取り付けられた制御装置CNTまで延びている。そして、露光装置本体EXは、第1及び第2の梱包材4、5に梱包された状態で輸送される。
図2は衝撃センサ1A、制御装置CNT、及び報知装置2Aを含む制御系のブロック図である。衝撃センサ1Aは、輸送中の露光装置本体EXに作用する衝撃(加速度)を検出し、この検出信号をケーブル3を介して制御装置CNTに出力する。制御装置CNTは、衝撃センサ1Aの検出値(加速度値)が、予め設定されている許容値を越えたかどうかを判別する。ここで、許容値とは、露光装置本体EXに対して影響を及ぼさない衝撃値(加速度値)であって、例えば実験により予め求められた値である。そして、この許容値データは制御装置CNT(あるいは制御装置CNTに接続された記憶装置)に予め記憶されている。制御装置CNTは、衝撃センサ1Aの検出値と、記憶されている許容値とを比較し、検出値が許容値を超えたかどうかを判別し、検出値が許容値を超えたと判断した場合に、報知装置2Aを駆動する。警告灯からなる報知装置2Aは、制御装置CNTの判別結果に基づいて、具体的には検出値が許容値を超えたと判断された場合に、光を発することで、周囲の作業者(輸送作業者)等に、衝撃値の検出値が許容値を超えた旨の警告を発する。警告装置KS(報知装置2A)により警告を受けた作業者は、露光装置本体EXに許容値以上の衝撃が作用した旨や露光装置本体EXの状況を、輸送業務を請け負う輸送業者、輸送業務を依頼した依頼者、あるいは露光装置本体EXの輸送先である受取者等に連絡したり、あるいは露光装置本体EXや梱包材を目視で確認する等の処置を迅速に行うことができる。なお、報知装置2Aにはリセット機構(リセットボタン)が設けられており、報知装置2Aの警告を確認した作業者は、リセットボタンを作動することで報知装置2Aの駆動を停止することができる。
以上説明したように、輸送中の露光装置本体EXに衝撃センサ1Aを取り付け、衝撃センサ1Aの検出値が予め設定された許容値を越えたかどうかを制御装置CNTで判別し、この判別結果を梱包材の外側に設けられた報知装置2Aで報知するようにしたので、作業者は、輸送中の露光装置本体EXに許容値以上の衝撃が作用したかどうかをリアルタイムで把握することができる。したがって、適切な処置を迅速に行うことができ、露光装置本体EXに与える影響を最小限に抑えることができる。
また、衝撃センサ1Aを露光装置本体EXに取り付けたことにより、露光装置本体EXに作用する衝撃値を精度良く検出することができる。また、報知装置2Aを梱包材の外側に取り付けたことにより、報知装置2Aは警告を周囲の作業者に確実に知らせることができる。
本実施形態において、衝撃センサ1Aは投影光学系PLの近傍位置であるフランジ部FLGに取り付けられている。投影光学系PLは露光装置100の露光性能を決定する重要部分の1つであって、衝撃を受けてその結像特性を変化させた場合、精度良い露光処理を行うことができなくなるが、この投影光学系PLの近傍位置に衝撃センサ1Aを取り付けることにより、投影光学系PLに作用する衝撃を精度良く検出し、適切な処置を行うことができる。なお、衝撃センサ1Aを投影光学系PLの鏡筒に取り付けたり、あるいは本体コラム14のうち投影光学系PLの近傍位置(例えば鏡筒定盤44)に取り付けてもよい。もちろん、衝撃センサ1Aを投影光学系PL及びその近傍以外の位置(例えばマスクステージ近傍や基板ステージ近傍)に取り付けてもよい。あるいは、衝撃センサ1Aを露光装置本体EXに直接取り付けずに、例えば腰板7上など露光装置本体EXの近傍に取り付ける構成であってもよい。
本実施形態において、衝撃センサ1Aは1つ設けられている構成であるが、所定の複数位置のそれぞれに取り付けてもよい。あるいは、複数(例えば2つ)の衝撃センサ1Aを互いに近接して配置してもよい。これにより、一方の衝撃センサ1Aが故障しても他方の衝撃センサ1Aで露光装置本体EXに作用する衝撃を検出することができる。また、複数のセンサを取り付けた際、例えば各センサの検出値を平均し、この平均値を前記許容値と比較するようにしてもよいし、複数のセンサの検出値のうち最大値を許容値と比較するようにしてもよい。また、振動モードによっては衝撃センサ1Aの取り付け位置によって振動(衝撃)を感度良く検出できない場合が考えられるが、複数の所定位置のそれぞれに衝撃センサ1Aを取り付けることにより、露光装置本体EXに作用する衝撃を感度良く検出することができる。
上述したように、衝撃センサ1Aはメモリ部を内蔵している。したがって、例えば露光装置本体EXの搬送終了後、この衝撃センサ1Aを露光装置本体EXから取り外し、メモリ部に記憶されている衝撃値情報(加速度情報)を抽出し、データ解析するようにしてもよい。なお、メモリ部を梱包材の外側に設けられた制御装置CNTに設けるようにしてもよい。一方、メモリ部を衝撃センサ1Aに内蔵(あるいは近接配置)することにより、衝撃センサ1Aの検出信号はケーブルを伝達しなくてすむので、メモリ部に記憶される衝撃データに対するノイズの影響を低減できる。
なお、本実施形態では、衝撃センサ1Aは検出値をリアルタイムで制御装置CNTに出力する構成であるが、例えば許容値以上の衝撃が作用した際にON信号を出力し、それ以外のときは信号を出力しない(OFF信号を出力する)形態である2値出力型センサであってもよい。こうすることにより、小電力化を実現できる。
なお、本実施形態では、露光装置本体EXを梱包する第1の梱包材4を第2の梱包材5で梱包し、この第2の梱包材5の外側面に報知装置2Aを取り付ける構成であるが、更にその外側を第3の梱包材で梱包することができる。この場合、第3の梱包材の外側に報知装置2Aを設ける。すなわち、露光装置本体EXを複数の梱包材で重ねて梱包する場合、報知装置2Aは、警告灯から発する光が周囲から見えるように最も外側の梱包材の外面に取り付けられる。一方、第1の梱包材4を第2の梱包材5で梱包しない形態であってもよい。この場合、報知装置2Aは第1の梱包材4の外面に取り付けられる。また、報知装置2Aは梱包材の外側面に設けられる必要はなく、ケーブル3を引き回して梱包材と離れた所定位置(作業者が確認しやすい位置等)に設けることが可能である。
なお、報知装置2Aは、音を発する警報機により構成されていてもよい。報知装置2Aが音を発する警報機である場合、梱包材の内側にこの警報機を取り付けても、警報機から発した音は梱包材を介して外部に報知可能なので、警報機からなる報知装置2Aを梱包材の内側に設ける構成であってもよい。
なお、本実施形態では、輸送する精密機器として露光装置を例にして説明したが、半導体製造装置を構成する例えば塗布装置や現像装置、CVD装置やCMP装置等の他の半導体製造装置であってもよく、あるいは精密測定機器といった半導体製造装置以外の精密機器であってもよい。
次に、図3を参照しながら本発明の警告装置KSの第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述した第1実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略もしくは省略する。
図3において、露光装置本体EXを覆う第1の梱包材4の内部には、露光装置本体EXがおかれている環境の温度を検出する温度センサ1Bと、湿度を検出する湿度センサ1Cと、露光装置本体EXの周囲における酸素濃度(所定の物質濃度)を検出する酸素濃度センサ1Dとが設けられている。また、第1の梱包材4と第2の梱包材5との間の空間であって、腰板7上には、輸送中の露光装置本体EXの姿勢、具体的には水平面に対する傾斜状態を検出する姿勢センサ1Eが設けられている。図3に示す例では、温度センサ1B、湿度センサ1C、及び酸素濃度センサ1Dは鏡筒定盤44に設けられているとともに、衝撃センサ1Aが投影光学系PLの鏡筒のフランジ部FLGと基板ステージPST近傍とに設けられている。ここでは各センサ1B〜1Eのそれぞれは1つずつ設けられているが、上記第1実施形態同様、複数ずつ設けられていてもよい。この場合、各センサ1B〜1Eのそれぞれが設けられた位置に応じて、各センサ1B〜1Eに設定する許容値をそれぞれ異ならせることができる。例えば、投影光学系PL近傍に設置した温度センサ1B、酸素濃度センサ1Eの許容値を、他の位置に設置した温度センサ1B、酸素濃度センサ1Eよりも厳しく設定する。これによりセンサを配置した位置に応じて最適な許容値を設定することができる。また、各センサ1B〜1Eのそれぞれは、上記第1実施形態同様、内蔵メモリ部を備えている。
また、第2の梱包材5の外面には、制御装置CNT及び複数の報知装置2A〜2Eが取り付けられている。報知装置2A〜2Eのそれぞれは露光装置本体EXあるいはその近傍に取り付けられた各センサ1A〜1Eに対応して設けられており、ここでは報知装置2A〜2Eのそれぞれは警告灯により構成されている。また、報知装置2A〜2Eのそれぞれにはリセット機構(リセットボタン)が設けられている。なお、図3には、各センサと各報知装置とを接続するケーブルの図示が省略されている。
図4は、センサ1A〜1E、制御装置CNT、及び報知装置2A〜2Eを含む制御系のブロック図である。温度センサ1Bは、輸送中の露光装置本体EXがおかれている環境の温度を検出し、この検出信号を制御装置CNTに出力する。制御装置CNTは、温度センサ1Bの検出値(温度値)が、予め設定されている許容値を越えたかどうかを判別する。あるいは、温度センサ1Bを複数設けた場合、例えば投影光学系PLの鏡筒の複数箇所に温度センサ1Bを設けた場合には、その複数の温度センサ1Bで検出した検出値の差、すなわち温度勾配があらかじめ設定されている許容値を超えたかどうかを判別する。ここで、許容値とは、露光装置本体EXに対して影響を及ぼさない温度であって、例えば実験により予め求められた値である。そして、この許容値データは制御装置CNT(あるいは記憶装置)に予め記憶されている。制御装置CNTは、温度センサ1Bの検出値と、記憶されている許容値とを比較し、検出値が許容値を超えたかどうかを判別し、検出値が許容値を超えたと判断した場合に、第2警告灯2Bを駆動する。第2警告灯2Bは、制御装置CNTの判別結果に基づいて、具体的には検出値が許容値を超えたと判断された場合に、光を発することで、周囲の作業者(輸送作業者)等に、輸送中の露光装置本体EXの周囲の温度が許容値を超えた旨の警告を発する。第2警告灯2Bにより警告を受けた作業者は、露光装置本体EXの周囲の環境が異常である旨や露光装置本体EXの状況を、輸送業務を請け負う輸送業者、輸送業務を依頼した依頼者、あるいは露光装置本体EXの輸送先である受取者等に連絡したり、あるいは露光装置本体EXのおかれている環境を冷却する等の処置を施すことができる。
同様に、制御装置CNTは、湿度センサ1Cの検出信号に基づいて、輸送中の露光装置本体EXの周囲の湿度が異常となった場合に、第3警告灯2Cを駆動して警告を発し、酸素濃度センサ1Dの検出信号に基づいて、輸送中の露光装置本体EXの周囲の酸素濃度が異常となった場合に、第4警告灯2Dを駆動して警告を発し、傾斜センサ1Eの検出信号に基づいて、輸送中の露光装置本体EXが過剰に傾いた際に、第5警告灯2Eを駆動して警告を発する。
酸素濃度センサ1Dは第1の梱包材4の内部空間の酸素濃度を検出する。すなわち、露光装置100で使う露光光がF2レーザ光等の真空紫外光である場合、酸素が吸光物質となって露光光を吸収し、露光精度に影響を及ぼすため、露光光の光路上に配置される光学素子に対する酸素の付着を防止する必要がある。そのため、輸送中においても酸素濃度センサ1Dで露光装置本体EX周囲の酸素濃度を検出することで、不活性ガス(窒素ガス)で満たされた第1の梱包材4の内部空間に酸素が浸入したかどうかを把握することができる。なおここでは、露光装置本体EX周囲における所定の物質濃度を検出する濃度センサとして酸素濃度センサを例に挙げたが、露光精度に影響を及ぼす例えば有機系ガス濃度を検出可能なセンサであってもよい。
図5は警告装置KSの第3実施形態を示す図である。図5において、警告装置KSは、露光装置本体EXに取り付けられた衝撃センサ1Aと、第2の梱包材5の外面に取り付けられた制御装置CNT及び報知装置2Aと、衝撃センサ1Aと制御装置CNTとの間で無線通信する無線通信部8とを備えている。無線通信部8は、衝撃センサ1Aに接続された無線送信部8Aと、制御装置CNTに接続された無線受信部8Bとを備えている。衝撃センサ1Aの検出信号は無線通信部8により無線で制御装置CNTに送られ、制御装置CNTは、無線通信部8を介して受信した衝撃センサ1Aの検出値が許容値を超えたかどうかを判別する。このように、衝撃センサ(検出装置)1Aと制御装置CNTとをケーブルを用いた有線通信とせずに、無線通信とすることも可能である。
なお、上記各実施形態において、制御装置CNTは、衝撃センサ1Aの検出値が許容値以下であっても、衝撃を受けた時間を積算し、この積算情報に基づいて、衝撃値が許容値を超えたと判断し、報知装置で報知するようにしてもよい。すなわち、衝撃値が許容値以下であっても、この衝撃を所定時間作用され続けることにより、露光装置本体EXに影響を及ぼす可能性が考えられる。そこで、衝撃を受けた時間を積算し、この積算値が所定値以上となったときに警告を発することにより、露光装置本体EXへの影響を未然に防止することができる。もちろん、衝撃に関する積算情報だけでなく、温度に関する積算情報を求め、この積算情報に基づいて、温度が許容値を超えたと判断するようにしてもよい。
図6は、警告装置KSを備えた輸送装置の一部を構成する貨物車(トラック)Tを示す模式図である。図6において、トラックTの荷台TNには、警告装置KSの一部を構成する衝撃センサ1Aが取り付けられた露光装置本体EXが載置されている。更に、荷台TNには露光装置100を構成する複数の機能ユニット、すなわち上述した照明系ユニット、制御系を含む制御系ユニット、チャンバユニット、及びチャンバ装置内部の温度調整を行う温調ユニット等が載置されている。また、トラックTは、露光装置本体EXが載置されている荷台TN(コンテナ)内部の空間の温度及び湿度を調整する温調装置を備えている。
そして、この衝撃センサ1Aには無線通信部8の一部を構成する無線送信部8Aが接続されている。一方、トラックTの運転席TUには、無線受信部8Bが接続された制御装置CNT及び報知装置2Aが設けられている。このような構成とすることにより、運転者は荷台TNの露光装置本体EXに許容値以上の衝撃が作用したかどうかをトラックTの運転中に把握することができる。
なお、トラックTの荷台TNの露光装置本体EXに取り付けられた衝撃センサ1Aと、運転席TUに取り付けられた報知装置2Aとをケーブル(有線)で接続するようにしてももちろん構わない。また、ここでは衝撃センサを例にしているが、上述したように、温度センサや湿度センサの検出信号を運転席TNに設けられた報知装置(制御装置)に送信するようにしてもよい。
本実施形態では、露光装置100を構成する機能ユニット毎に、衝撃値に対する許容値がそれぞれ設定されている。例えば、露光装置本体EXに対する許容値は低く(厳しく)設定されており、チャンバユニットや制御系ユニットに対する許容値は高く(緩やか)に設定されている。このように、作用される衝撃により露光精度が左右される部分に対しては許容値を厳しく設定し、衝撃に対して比較的堅牢な部分に対しては許容値を緩く設定するといったように、露光装置100を構成するユニット毎に、許容値をそれぞれ設定する構成とすることができる。
あるいは、複数の機能ユニットをそれぞれ別のトラックTで搬送するようにしてもよい。そして、ユニット毎に(トラック毎に)、許容値を設定し、輸送するようにしてもよい。こうすることにより、衝撃に比較的堅牢な例えばチャンバユニットを輸送するトラックTはその許容値を緩やかに設定されているので、輸送速度(輸送作業性)を重視して迅速な輸送作業を行うことができる。
図7A〜7Eは、露光装置を露光装置製造メーカーから半導体デバイス製造メーカー等に輸送する手順を説明する模式図である。図7Aに示すように、露光装置製造メーカーで製造された露光装置本体(露光装置)EXは、第1、第2の梱包材4、5で梱包された後、フォークリフト20でトラックT1の荷台(コンテナ)TNに載置される。次いで、図7Bに示すように、露光装置本体EXはトラックT1で空港まで輸送された後、空港近くの保管所(上屋)で所定期間保管される。そして、図7Cに示すように、露光装置本体EXは航空機22に収納されて現地空港まで空輸される。現地空港に到着した露光装置本体EXは、現地空港の保管所(上屋)で保管された後、図7Dに示すように現地トラックT2で納入先である半導体デバイス製造メーカー等に輸送される。そして、図7Eに示すように、クレーン21や不図示のエレベータ等により半導体デバイス製造メーカーの工場敷地内に納入される。
そして、露光装置本体EXが半導体デバイス製造メーカーに納入されたら、この露光装置本体EXに取り付けられていた衝撃センサ1Aが外され、内蔵メモリ部に記憶されている衝撃値データが抽出される。
図8は、内蔵メモリ部に記憶されていた衝撃値データを表示装置9に表示させた状態を示す模式図である。表示装置9は例えば液晶ディスプレイ装置により構成されている。ここで、上述したように、衝撃センサ1Aは内蔵メモリ部とともにタイマ機能を有しているため、内蔵メモリ部には、衝撃値データ及びその衝撃発生時刻が記録されており、表示装置9は図8に示すグラフを表示可能である。ここで、図8のグラフ中、横軸は時間、縦軸は衝撃値(加速度)である。「A」は、露光装置製造メーカーにおいてフォークリフト20でトラックT1に露光装置本体EXを載置した時間における衝撃値データである。「B」は、トラックT1で輸送されている時間における衝撃値データである。「C」は、保管所で保管されている時間における衝撃値データである。「D」は、保管所から航空機に搬送している時間における衝撃値データである。「E」は、航空機で空輸中の時間における衝撃値データである。「F」は、現地空港において航空機から下ろしている時間における衝撃値データである。「G」は、現地空港の保管所で保管されている時間における衝撃値データである。「H」は、現地トラックT2で輸送している時間における衝撃値データである。「J」は、半導体デバイス製造装置メーカーに納入している時間における衝撃値データである。このように、衝撃センサ1Aの検出値を検出する表示装置9が警告装置KSの一部を構成しており、衝撃センサ1Aの内蔵メモリ部に記憶されている衝撃データを表示することができる。また、表示装置9を報知装置2と併設し、輸送中において衝撃センサ1Aの検出値を表示装置9でリアルタイムに表示させる構成とすることも可能である。
図9は本発明の警告装置KSの第4実施形態を示す模式図である。図9において、トラックTで輸送中の露光装置本体EXに対して許容値以上の衝撃が作用した際、警告装置KSの報知装置2A(制御装置CNT)は、通信装置の一部を構成する携帯端末(携帯電話)の基地局30、サーバ31、及びインターネット32を介して、輸送業務を請け負う輸送業者33、輸送業務を依頼する依頼者34、露光装置本体EXの輸送先である受取者35、及び露光装置本体EXを輸送する作業者36に対して、露光装置本体EXに作用した衝撃値が許容値以上である旨の警告を発する。輸送業者33、依頼者34、及び受取者35のそれぞれは通信装置の一部を構成するパーソナルコンピュータを所持しており、ディスプレイの表示により警告が発せられたことを把握可能である。また、作業者36は携帯電話を所持しており、携帯電話のディスプレイの表示により警告が発せられたことを把握可能である。これにより、輸送業者33、依頼者34、受取者35、及び作業者36のそれぞれが、輸送中において露光装置本体EXに許容値以上の衝撃が加わったことを早期に把握でき、適切な処置を迅速に行うことができる。
また、報知装置2A(制御装置CNT)は、輸送する露光装置本体EXの製品情報、露光装置本体EXの輸送先の受取者情報、検出した衝撃値が許容値を越えた時の場所に関する情報、及び検出した衝撃値に関する情報を、前記インターネット32を含む通信装置を介して、輸送業者33、依頼者34、受取者35、及び作業者36に送信(通信)する。製品情報は、その製品(露光装置)の種類や製品番号等の情報を含む。受取者情報は、受取者の名称や所在地、納期(いつまでに送るべきものか)等の情報を含む。場所に関する情報は、例えばGPS(Global Positioning System)等により場所を特定することができ、この特定された場所に関する情報を輸送業者33、依頼者34、受取者35、及び作業者36に通信する。あるいは、この場所に関する情報は、例えば図7A〜7Eを参照して説明したトラックT1での陸送期間中、現地トラックT2での陸送期間中、及び航空機22での空輸期間中であるといったように、ある範囲(期間)を有する場所情報でもよい。また、衝撃値に関する情報は、検出した衝撃値(加速度値)の他、許容値に対してどれだけ越えたかを複数段階(例えば、高レベル、中レベル、低レベル)で示した情報であってもよい。また、これら情報は、輸送業者33、依頼者34、受取者35、及び作業者36どうしの間で通信することも可能である。
図10は、半導体デバイス製造メーカー等に納入され、露光装置本体EXを含む複数の機能ユニットで構成された露光装置100の全体概略構成図である。図10において、露光装置100は、マスクMを支持するマスクステージMSTと、感光基板Pを支持する基板ステージPSTと、マスクステージMSTに支持されたマスクMを露光光で照明する照明系ユニットの一部を構成する照明光学系IOPと、露光光で照明されたマスクMのパターンの像を基板ステージPSTに支持された感光基板Pに投影する投影光学系PLとを備えている。なお、ここでいう「感光基板」は半導体ウエハ上に感光性材料であるフォトレジストを塗布したものを含み、「マスク」は感光基板上に縮小投影されるデバイスパターンを形成されたレチクルを含む。また、本実施形態の露光装置100は、マスクMと感光基板Pとを一次元方向(ここでは、図10におけるY軸方向)に同期移動しつつ、マスクMに形成された回路パターンを投影光学系PLを介して感光基板P上の各ショット領域に転写する、ステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置、いわゆるスキャニング・ステッパである。
更に、露光装置100は、照明光学系IOPの一部、マスクステージMST、投影光学系PL、及び基板ステージPST等を保持する本体コラム14、本体コラム14の振動を抑制あるいは除去する防振ユニット、及びこれらの制御系等を備えている。以下の説明では、投影光学系PLの光軸方向をZ軸方向とし、このZ軸方向と直交する方向でマスクMと感光基板Pとの同期移動方向をY軸方向とし、非同期移動方向をX軸方向とする。また、それぞれの軸周りの回転方向をθZ、θY、θXとする。
光源12としては、ここでは波長192〜194nmの間で酸素の吸収帯を避けるように狭帯化されたパルス紫外光を出力するArFエキシマレーザ光源が用いられており、この光源12の本体は、半導体製造工場のクリーンルーム内の床面FD上に設置されている。なお、光源12として、波長248nmのパルス紫外光を出力するKrFエキシマレーザ光源あるいは波長157nmのパルス紫外光を出力するF2レーザ光源等用いても良い。また、光源12をクリーンルームよりクリーン度が低い別の部屋(サービスルーム)、あるいはクリーンルームの床下に設けられるユーティリティスペースに設置しても構わない。
光源12は、図10では作図の都合上その図示が省略されているが、実際には遮光性のベローズ及びパイプを介してビームマッチングユニットBMUの一端(入射端)に接続されており、このビームマッチングユニットBMUの他端(出射端)は、内部にリレー光学系を内蔵したパイプ16を介して照明光学系IOPの第1照明光学系IOP1に接続されている。ビームマッチングユニットBMU内にはリレー光学系や複数の可動反射鏡等が設けられており、これらの可動反射鏡等を用いて光源12から入射する狭帯化されたパルス紫外光(ArFエキシマレーザ光)の光路を第1照明光学系IOP1との間で位置的にマッチングさせている。
照明光学系IOPは、第1照明光学系IOP1と第2照明光学系IOP2との2部分から構成されている。第1照明光学系IOP1は、床面FDに水平に載置された装置の基準となるベースプレート(フレームキャスタ)BP上に設置されている。また、第2照明光学系IOP2は、本体コラム14を構成する第2の支持コラム52によって下方から支持されている。
第1照明光学系IOP1は、所定の位置関係で配置されたミラー、可変減光器、ビーム成形光学系、オプティカルインテグレータ、集光光学系、振動ミラー、照明系開口絞り板、ビームスプリッタ、リレーレンズ系、及びレチクルブラインド機構を構成する可動視野絞りとしての可動レチクルブラインド28等を備えている。光源12からのパルス紫外光がビームマッチングユニットBMU及びリレー光学系を介して第1照明光学系IOP1内に水平に入射すると、このパルス紫外光は、可変減光器のNDフィルタにより所定のピーク強度に調整された後、ビーム整形光学系により、オプティカルインテグレータに効率よく入射するようにその断面形状が整形される。次いで、このパルス紫外光がオプティカルインテグレータに入射すると、射出端側に面光源、すなわち多数の光源像(点光源)から成る2次光源が形成される。これらの多数の点光源の各々から発散するパルス紫外光は、照明系開口絞り板上のいずれかの開口絞りを通過した後、露光光として可動レチクルブラインド28に到達する。
第2照明光学系IOP2は、照明系ハウジング17内に所定の位置関係で収納された固定レチクルブラインド、レンズ、ミラー、リレーレンズ系、メインコンデンサレンズ等を備えている。固定レチクルブラインドは、照明系ハウジング17の入射端近傍のマスクMのパターン面に対する共役面から僅かにデフォーカスした面に配置され、マスクM上の照明領域を規定する矩形状の開口部を有している。
なお、第1照明光学系IOP1と第2照明光学系IOP2とを強固に接合すると、可動レチクルブラインド28の駆動に起因して露光動作中に第1照明光学系IOP1に生じる振動が第2のコラム52に支持された第2照明光学系IOP2にそのまま伝達されることとなって、好ましくない。このため、本実施形態では、第1照明光学系IOP1と第2照明光学系IOP2との間は、両者の相対変位を可能にし、かつその内部を外気に対して気密状態にすることが可能な接続部材としての伸縮自在の蛇腹状部材94を介して接合されている。
本体コラム14は、ベースプレートBP上に設けられた複数本(ここでは4本)の支持部材40A〜40D(但し、紙面奥側の支柱40C、40Dは図示省略)及びこれらの支持部材40A〜40Dの上部にそれぞれ固定された防振ユニット42A〜42D(但し、図1においては紙面奥側の防振ユニット42C、42Dは図示せず)を介してほぼ水平に支持された鏡筒定盤44と、この鏡筒定盤44の下面から下方に吊り下げられた吊り下げコラム46と、鏡筒定盤44上に設けられた第1、第2の支持コラム48、52とを備えている。
鏡筒定盤44は鋳物等で構成されており、その中央部に平面視円形の開口が形成され、その内部に投影光学系PLがその光軸方向をZ軸方向として上方から挿入されている。投影光学系PLの鏡筒部の外周部には、該鏡筒部に一体化されたフランジFLGが設けられている。このフランジFLGの素材としては、低熱膨張の材質、例えばインバー(Inver;ニッケル36%、マンガン0.25%、及び微量の炭素と他の元素を含む鉄からなる低膨張の合金)が用いられており、このフランジFLGは、投影光学系PLを鏡筒定盤44に対して点と面とV溝とを介して3点で支持するいわゆるキネマティック支持マウントを構成している。
吊り下げコラム46は、基板ベース定盤54と、基板ベース定盤54をほぼ水平に吊り下げ支持する4本の吊り下げ部材56とを備えている。また、第1の支持コラム48は、鏡筒定盤44の上面に投影光学系PLを取り囲んで設けられた4本の脚58(紙面奥側の脚は図示省略)と、これら4本の脚58によってほぼ水平に支持されたマスクベース定盤60とを備えている。同様に、第2の支持コラム52は、鏡筒定盤44の上面に、第1の支持コラム48を取り囲む状態で設けられた4本の支柱62(紙面奥側の支柱は図示省略)と、これら4本の支柱62によってほぼ水平に支持された天板64とによって構成されている。この第2の支持コラム52の天板64によって、前述した第2部分光学系IOP2が支持されている。
マスクステージMSTは、本体コラム14を構成する第1の支持コラム48を構成するマスクベース定盤60上に配置されている。マスクステージMSTは、例えば磁気浮上型の2次元リニアアクチュエータ等から成るマスクステージ駆動系によって駆動され、マスクMをマスクベース定盤60上でY軸方向に大きなストロークで直線駆動するとともに、X軸方向とθZ方向に関しても微小駆動が可能な構成となっている。
マスクステージMSTの一部には、その位置や移動量を計測するための位置検出装置であるマスクレーザ干渉計70からの測長ビームを反射する移動鏡72が取り付けられている。マスクレーザ干渉計70は、マスクベース定盤60に固定され、投影光学系PLの上端部側面に固定された固定鏡Mrを基準として、マスクステージMST(すなわちマスクM)のXY面内の位置(θZ回転を含む)を検出する。
マスクレーザ干渉計70によって計測されるマスクステージMST(マスクM)の位置情報(又は速度情報)は主制御装置に送られる。主制御装置は、マスクレーザ干渉計70から出力される位置情報(或いは速度情報)が指令値(目標位置、目標速度)と一致するように(具体的には基板ステージPSTと追従するように)マスクステージ駆動系を制御する。
投影光学系PLとしては、ここでは、物体面(マスクM)側と像面(感光基板P)側の両方がテレセントリックで円形の投影視野を有し、石英や螢石を光学硝材とした屈折光学素子(レンズ素子)のみから成る1/4、1/5、又は1/6縮小倍率の屈折光学系が使用されている。このため、マスクMにパルス紫外光が照射されると、マスクM上の回路パターン領域のうちのパルス紫外光によって照明された部分からの結像光束が投影光学系PLに入射し、その回路パターンの部分倒立像がパルス紫外光の各パルス照射の度に投影光学系PLの像面側の円形視野の中央にスリット状または矩形状(多角形)に制限されて結像される。これにより、投影された回路パターンの部分倒立像は、投影光学系PLの結像面に配置された感光基板P上の複数のショット領域のうちの1つのショット領域表面のレジスト層に縮小転写される。
基板ステージPSTは、前述した吊り下げコラム46を構成する基板ベース定盤54上に配置され、例えば磁気浮上型の2次元リニアアクチュエータ等から成る基板ステージ駆動系によってXY面内で自在に駆動されるようになっている。
基板ステージPSTの上面に、基板ホルダ76を介して感光基板Pが真空吸着等によって固定されている。基板ステージPSTのXY位置及び回転量(ヨーイング量、ローリング量、ピッチング量)は、投影光学系PLの鏡筒下端に固定された参照鏡Mwを基準として基板ステージPSTの一部に固定された移動鏡78の位置変化を計測する基板レーザ干渉計80によって所定の分解能でリアルタイムに計測される。この基板レーザ干渉計80の計測値は、主制御装置に供給される。主制御装置は、基板レーザ干渉計80の計測結果に基づいて、基板ステージ駆動系を制御する。
そして、上述した露光装置100を輸送する際、露光装置100は、露光装置本体EX、照明系ユニットとしての第1の照明光学系IOP1、第2の照明光学系IOP2、ビームマッチングユニットBMU、ブラインドユニットとしての可動レチクルブラインド28及び固定レチクルブラインド、制御系ユニットとしてのアンプラック、光源ユニットとしてのレーザ光源12、チャンバユニットとしてのチャンバ装置、温調ユニットとしての温調ラック、ローダ系ユニット、及びその他付属品を含む付属品ユニットのそれぞれに分割され、輸送される。そして、上記各ユニットを輸送するに際し、上述したように、各ユニット毎に衝撃や温度に対する許容値がそれぞれ設定され、輸送される。
なお、上記実施形態の感光基板Pとしては、半導体デバイス製造用の半導体ウエハのみならず、ディスプレイデバイス用のガラス基板や、薄膜磁気ヘッド用のセラミックウエハ、あるいは露光装置で用いられるマスクまたはレチクルの原版(合成石英、シリコンウエハ)等が適用される。
露光装置100としては、マスクMと感光基板Pとを同期移動してマスクMのパターンを走査露光するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置(スキャニングステッパ)の他に、マスクMと感光基板Pとを静止した状態でマスクMのパターンを一括露光し、感光基板Pを順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置(ステッパ)にも適用することができる。また、本発明は基板P上で少なくとも2つのパターンを部分的に重ねて転写するステップ・アンド・スティッチ方式の露光装置にも適用できる。
露光装置100の種類としては、基板Pに半導体素子パターンを露光する半導体素子製造用の露光装置に限られず、液晶表示素子製造用又はディスプレイ製造用の露光装置や、薄膜磁気ヘッド、撮像素子(CCD)あるいはレチクル又はマスクなどを製造するための露光装置などにも広く適用できる。
基板ステージPSTやマスクステージMSTにリニアモータ(USP5,623,853またはUSP5,528,118参照)を用いる場合は、エアベアリングを用いたエア浮上型およびローレンツ力またはリアクタンス力を用いた磁気浮上型のどちらを用いてもよい。また、各ステージPST、MSTは、ガイドに沿って移動するタイプでもよく、ガイドを設けないガイドレスタイプであってもよい。
各ステージPST、MSTの駆動機構としては、二次元に磁石を配置した磁石ユニットと、二次元にコイルを配置した電機子ユニットとを対向させ電磁力により各ステージPST、MSTを駆動する平面モータを用いてもよい。この場合、磁石ユニットと電機子ユニットとのいずれか一方をステージPST、MSTに接続し、磁石ユニットと電機子ユニットとの他方をステージPST、MSTの移動面側に設ければよい。
基板ステージPSTの移動により発生する反力は、投影光学系PLに伝わらないように、特開平8−166475号公報(USP5,528,118)に記載されているように、フレーム部材を用いて機械的に床(大地)に逃がしてもよい。
マスクステージMSTの移動により発生する反力は、投影光学系PLに伝わらないように、特開平8−330224号公報(US S/N 08/416,558)に記載されているように、フレーム部材を用いて機械的に床(大地)に逃がしてもよい。
なお、露光装置の輸送に際して露光装置を分割する場合には、その露光装置が有する各種機能ユニットの構成、輸送機器の大きさ、搬入経路に応じて分割する箇所を適宜決定すればよい。そして、分割された各機能ユニットの特性に応じて必要な種類のセンサを設けるとともに、制御装置CNTにはそれぞれの機能ユニットに応じて必要な許容値を設定すればよい。
以上のように、本願実施形態の露光装置100は、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
半導体デバイス等のマイクロデバイスは、図11に示すように、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ201、この設計ステップに基づいたマスク(レチクル)を製作するステップ202、デバイスの基材である基板を製造するステップ203、前述した実施形態の露光装置EXによりマスクのパターンを基板に露光する露光処理ステップ204、デバイス組み立てステップ(ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む)205、検査ステップ206等を経て製造される。
図1において、警告装置KSは、輸送される露光装置100(露光装置本体EX)に取り付けられ、露光装置100に作用する衝撃を検出する検出装置を構成する衝撃センサ1Aと、衝撃センサ1Aの検出値が予め設定された許容値(所定値)を越えたかどうかを判別する判別装置を構成する制御装置CNTと、制御装置CNTの判別結果に基づいて警告を発する報知装置2Aとを備えている。
精密機器としての露光装置100(露光装置本体EX)は、マスクを支持するマスクステージMSTと、感光基板を支持する基板ステージPSTと、マスクステージMSTに支持されているマスクのパターンの像を基板ステージPSTに支持されている感光基板に投影する投影光学系PLと、マスクステージMST、投影光学系PL、及び基板ステージPSTを支持する本体コラム14とを備えている。本体コラム14は、投影光学系PLの鏡筒をフランジ部FLGを介して支持する鏡筒定盤44と、鏡筒定盤44上に設けられた第1コラム48及び第2コラム52と、鏡筒定盤44に吊り下げられるように設けられた吊り下げコラム46とを備えている。本体コラム14はフレームキャスタBP上に支持されている。フレームキャスタBPは腰板7上に支持されている。腰板7は例えば鉄板により構成されている。
なお、露光装置100は、後述するように、マスクステージMSTに支持されたマスクを露光光で照明する照明光学系を含む照明ユニット、露光装置100全体の動作を統括制御する制御系を含む制御系ユニット、露光装置を収容するチャンバ装置を含むチャンバユニット、及びチャンバ装置内部の温度調整を行う温調ユニット等の複数の機能ユニットで構成されているが、本実施形態では、複数の機能ユニットのうち、マスクステージMST、基板ステージPST、及び投影光学系PLを含む露光装置本体ユニット(以下、「露光装置本体EX」と称する)を輸送する場合を例にして説明する。
衝撃センサ1Aは、輸送中の露光装置本体EXに作用する衝撃を検出するものであって、本実施形態では投影光学系PLのフランジ部FLGに取り付けられている。衝撃センサ1Aは加速度センサにより構成されており、輸送中の露光装置本体EXの加速度情報を検出することで、露光装置本体EXに作用する衝撃情報を検出する。また、衝撃センサ1Aは、タイマ機能とメモリ機能(内蔵メモリ部)とを有しており、衝撃値(加速度)、その衝撃発生時刻、及び衝撃作用時間等を記憶可能である。
ここで、本実施形態の衝撃センサ1Aは、所定のサンプリング周期(例えば2msec.)で衝撃値をサンプリングし、所定時間(例えば2分間)のうちの最大衝撃値を内蔵メモリ部に記憶する構成である。これにより小電力化が実現され、比較的長期間の輸送工程(例えば1週間)での衝撃値データを記憶することができる。
報知装置2Aは警告灯により構成されており、制御装置CNTの判別結果に基づいて光を発することにより警告する。衝撃センサ1Aと制御装置CNTとはケーブル3で接続されている。
輸送される露光装置本体EXは、第1の梱包材4で梱包され、更に第1の梱包材4はその外側を第2の梱包材5で梱包されており、露光装置本体EXの投影光学系PLのフランジ部FLGに取り付けられている衝撃センサ1Aは第1の梱包材4の内側に取り付けられた構成となっている。一方、報知装置2Aは第1の梱包材4の外側、具体的には第1の梱包材4を梱包する第2の梱包材5の外側に取り付けられている。本実施形態において、報知装置2Aは制御装置CNTとともに、第2の梱包材5の外側面上部の所定位置に取り付けられている。
第1の梱包材4は、第2の梱包材5よりも有機系ガスの発生が少ない材料で形成されている。第1の梱包材4はシート材であって、例えば四フッ化エチレン、テトラフルオロエチレン−テルフルオロ(アルキルビニールエーテル)、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロペン共重合体等の各種フッ素ポリマー、あるいはナイロン(ONY重合)−片面シリカコートペット樹脂(PET12)−ポリエチレン(PEF60)からなる三層構造のいわゆるハイバリアシートで構成されている。第1の梱包材4は露光装置本体EXを覆うように設けられ、その端部を露光装置本体EX(本体コラム14)を支持するフレームキャスタBPに対して熱溶着されている。これにより、第1の梱包材4の内側は密閉空間となっている。そして、露光装置本体EXを配置する第1の梱包材4の内側の密閉空間は例えば窒素ガス等の不活性ガスで満たされている。これにより、投影光学系PLの光学素子等、露光光が通過する光学素子に対する有機系ガス等の汚染物質の付着が防止されている。第2の梱包材5は例えば木材で構成されており、腰板7に固定されている。また、第1の梱包材4と第2の梱包材5との間には、緩衝材及び保温材(不図示)が配置される。
第1の梱包材4の内側に設けられた衝撃センサ1Aと、第2の梱包材5の外側に設けられた制御装置CNTとを接続するケーブル3は、衝撃センサ1Aの検出信号を制御装置CNTに伝達するものであって、フレームキャスタBPと第1の梱包材4との間に挟まれるようにして配置される。このケーブル3を挟みつつフレームキャスタBPに対して第1の梱包材4を熱溶着することで、ケーブル3とフレームキャスタBP及び第1の梱包材4とを密着させることができ、これにより第1の梱包材4の内部空間の密閉性が維持される。また、第1の梱包材4の所定の位置にケーブル3を保持可能な穴部を形成し、この穴部にケーブル3を配置した後、この穴部をシールするとともに、第1の梱包材4の内部空間を不活性ガスで置換するようにしてもよい。また、第2の梱包材5の所定位置にはケーブル3を保持可能な貫通孔5Aが形成されており、ケーブル3はこの貫通孔5Aを介して、第2の梱包材5の外側面に取り付けられた制御装置CNTまで延びている。そして、露光装置本体EXは、第1及び第2の梱包材4、5に梱包された状態で輸送される。
図2は衝撃センサ1A、制御装置CNT、及び報知装置2Aを含む制御系のブロック図である。衝撃センサ1Aは、輸送中の露光装置本体EXに作用する衝撃(加速度)を検出し、この検出信号をケーブル3を介して制御装置CNTに出力する。制御装置CNTは、衝撃センサ1Aの検出値(加速度値)が、予め設定されている許容値を越えたかどうかを判別する。ここで、許容値とは、露光装置本体EXに対して影響を及ぼさない衝撃値(加速度値)であって、例えば実験により予め求められた値である。そして、この許容値データは制御装置CNT(あるいは制御装置CNTに接続された記憶装置)に予め記憶されている。制御装置CNTは、衝撃センサ1Aの検出値と、記憶されている許容値とを比較し、検出値が許容値を超えたかどうかを判別し、検出値が許容値を超えたと判断した場合に、報知装置2Aを駆動する。警告灯からなる報知装置2Aは、制御装置CNTの判別結果に基づいて、具体的には検出値が許容値を超えたと判断された場合に、光を発することで、周囲の作業者(輸送作業者)等に、衝撃値の検出値が許容値を超えた旨の警告を発する。警告装置KS(報知装置2A)により警告を受けた作業者は、露光装置本体EXに許容値以上の衝撃が作用した旨や露光装置本体EXの状況を、輸送業務を請け負う輸送業者、輸送業務を依頼した依頼者、あるいは露光装置本体EXの輸送先である受取者等に連絡したり、あるいは露光装置本体EXや梱包材を目視で確認する等の処置を迅速に行うことができる。なお、報知装置2Aにはリセット機構(リセットボタン)が設けられており、報知装置2Aの警告を確認した作業者は、リセットボタンを作動することで報知装置2Aの駆動を停止することができる。
以上説明したように、輸送中の露光装置本体EXに衝撃センサ1Aを取り付け、衝撃センサ1Aの検出値が予め設定された許容値を越えたかどうかを制御装置CNTで判別し、この判別結果を梱包材の外側に設けられた報知装置2Aで報知するようにしたので、作業者は、輸送中の露光装置本体EXに許容値以上の衝撃が作用したかどうかをリアルタイムで把握することができる。したがって、適切な処置を迅速に行うことができ、露光装置本体EXに与える影響を最小限に抑えることができる。
また、衝撃センサ1Aを露光装置本体EXに取り付けたことにより、露光装置本体EXに作用する衝撃値を精度良く検出することができる。また、報知装置2Aを梱包材の外側に取り付けたことにより、報知装置2Aは警告を周囲の作業者に確実に知らせることができる。
本実施形態において、衝撃センサ1Aは投影光学系PLの近傍位置であるフランジ部FLGに取り付けられている。投影光学系PLは露光装置100の露光性能を決定する重要部分の1つであって、衝撃を受けてその結像特性を変化させた場合、精度良い露光処理を行うことができなくなるが、この投影光学系PLの近傍位置に衝撃センサ1Aを取り付けることにより、投影光学系PLに作用する衝撃を精度良く検出し、適切な処置を行うことができる。なお、衝撃センサ1Aを投影光学系PLの鏡筒に取り付けたり、あるいは本体コラム14のうち投影光学系PLの近傍位置(例えば鏡筒定盤44)に取り付けてもよい。もちろん、衝撃センサ1Aを投影光学系PL及びその近傍以外の位置(例えばマスクステージ近傍や基板ステージ近傍)に取り付けてもよい。あるいは、衝撃センサ1Aを露光装置本体EXに直接取り付けずに、例えば腰板7上など露光装置本体EXの近傍に取り付ける構成であってもよい。
本実施形態において、衝撃センサ1Aは1つ設けられている構成であるが、所定の複数位置のそれぞれに取り付けてもよい。あるいは、複数(例えば2つ)の衝撃センサ1Aを互いに近接して配置してもよい。これにより、一方の衝撃センサ1Aが故障しても他方の衝撃センサ1Aで露光装置本体EXに作用する衝撃を検出することができる。また、複数のセンサを取り付けた際、例えば各センサの検出値を平均し、この平均値を前記許容値と比較するようにしてもよいし、複数のセンサの検出値のうち最大値を許容値と比較するようにしてもよい。また、振動モードによっては衝撃センサ1Aの取り付け位置によって振動(衝撃)を感度良く検出できない場合が考えられるが、複数の所定位置のそれぞれに衝撃センサ1Aを取り付けることにより、露光装置本体EXに作用する衝撃を感度良く検出することができる。
上述したように、衝撃センサ1Aはメモリ部を内蔵している。したがって、例えば露光装置本体EXの搬送終了後、この衝撃センサ1Aを露光装置本体EXから取り外し、メモリ部に記憶されている衝撃値情報(加速度情報)を抽出し、データ解析するようにしてもよい。なお、メモリ部を梱包材の外側に設けられた制御装置CNTに設けるようにしてもよい。一方、メモリ部を衝撃センサ1Aに内蔵(あるいは近接配置)することにより、衝撃センサ1Aの検出信号はケーブルを伝達しなくてすむので、メモリ部に記憶される衝撃データに対するノイズの影響を低減できる。
なお、本実施形態では、衝撃センサ1Aは検出値をリアルタイムで制御装置CNTに出力する構成であるが、例えば許容値以上の衝撃が作用した際にON信号を出力し、それ以外のときは信号を出力しない(OFF信号を出力する)形態である2値出力型センサであってもよい。こうすることにより、小電力化を実現できる。
なお、本実施形態では、露光装置本体EXを梱包する第1の梱包材4を第2の梱包材5で梱包し、この第2の梱包材5の外側面に報知装置2Aを取り付ける構成であるが、更にその外側を第3の梱包材で梱包することができる。この場合、第3の梱包材の外側に報知装置2Aを設ける。すなわち、露光装置本体EXを複数の梱包材で重ねて梱包する場合、報知装置2Aは、警告灯から発する光が周囲から見えるように最も外側の梱包材の外面に取り付けられる。一方、第1の梱包材4を第2の梱包材5で梱包しない形態であってもよい。この場合、報知装置2Aは第1の梱包材4の外面に取り付けられる。また、報知装置2Aは梱包材の外側面に設けられる必要はなく、ケーブル3を引き回して梱包材と離れた所定位置(作業者が確認しやすい位置等)に設けることが可能である。
なお、報知装置2Aは、音を発する警報機により構成されていてもよい。報知装置2Aが音を発する警報機である場合、梱包材の内側にこの警報機を取り付けても、警報機から発した音は梱包材を介して外部に報知可能なので、警報機からなる報知装置2Aを梱包材の内側に設ける構成であってもよい。
なお、本実施形態では、輸送する精密機器として露光装置を例にして説明したが、半導体製造装置を構成する例えば塗布装置や現像装置、CVD装置やCMP装置等の他の半導体製造装置であってもよく、あるいは精密測定機器といった半導体製造装置以外の精密機器であってもよい。
次に、図3を参照しながら本発明の警告装置KSの第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述した第1実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略もしくは省略する。
図3において、露光装置本体EXを覆う第1の梱包材4の内部には、露光装置本体EXがおかれている環境の温度を検出する温度センサ1Bと、湿度を検出する湿度センサ1Cと、露光装置本体EXの周囲における酸素濃度(所定の物質濃度)を検出する酸素濃度センサ1Dとが設けられている。また、第1の梱包材4と第2の梱包材5との間の空間であって、腰板7上には、輸送中の露光装置本体EXの姿勢、具体的には水平面に対する傾斜状態を検出する姿勢センサ1Eが設けられている。図3に示す例では、温度センサ1B、湿度センサ1C、及び酸素濃度センサ1Dは鏡筒定盤44に設けられているとともに、衝撃センサ1Aが投影光学系PLの鏡筒のフランジ部FLGと基板ステージPST近傍とに設けられている。ここでは各センサ1B〜1Eのそれぞれは1つずつ設けられているが、上記第1実施形態同様、複数ずつ設けられていてもよい。この場合、各センサ1B〜1Eのそれぞれが設けられた位置に応じて、各センサ1B〜1Eに設定する許容値をそれぞれ異ならせることができる。例えば、投影光学系PL近傍に設置した温度センサ1B、酸素濃度センサ1Eの許容値を、他の位置に設置した温度センサ1B、酸素濃度センサ1Eよりも厳しく設定する。これによりセンサを配置した位置に応じて最適な許容値を設定することができる。また、各センサ1B〜1Eのそれぞれは、上記第1実施形態同様、内蔵メモリ部を備えている。
また、第2の梱包材5の外面には、制御装置CNT及び複数の報知装置2A〜2Eが取り付けられている。報知装置2A〜2Eのそれぞれは露光装置本体EXあるいはその近傍に取り付けられた各センサ1A〜1Eに対応して設けられており、ここでは報知装置2A〜2Eのそれぞれは警告灯により構成されている。また、報知装置2A〜2Eのそれぞれにはリセット機構(リセットボタン)が設けられている。なお、図3には、各センサと各報知装置とを接続するケーブルの図示が省略されている。
図4は、センサ1A〜1E、制御装置CNT、及び報知装置2A〜2Eを含む制御系のブロック図である。温度センサ1Bは、輸送中の露光装置本体EXがおかれている環境の温度を検出し、この検出信号を制御装置CNTに出力する。制御装置CNTは、温度センサ1Bの検出値(温度値)が、予め設定されている許容値を越えたかどうかを判別する。あるいは、温度センサ1Bを複数設けた場合、例えば投影光学系PLの鏡筒の複数箇所に温度センサ1Bを設けた場合には、その複数の温度センサ1Bで検出した検出値の差、すなわち温度勾配があらかじめ設定されている許容値を超えたかどうかを判別する。ここで、許容値とは、露光装置本体EXに対して影響を及ぼさない温度であって、例えば実験により予め求められた値である。そして、この許容値データは制御装置CNT(あるいは記憶装置)に予め記憶されている。制御装置CNTは、温度センサ1Bの検出値と、記憶されている許容値とを比較し、検出値が許容値を超えたかどうかを判別し、検出値が許容値を超えたと判断した場合に、第2警告灯2Bを駆動する。第2警告灯2Bは、制御装置CNTの判別結果に基づいて、具体的には検出値が許容値を超えたと判断された場合に、光を発することで、周囲の作業者(輸送作業者)等に、輸送中の露光装置本体EXの周囲の温度が許容値を超えた旨の警告を発する。第2警告灯2Bにより警告を受けた作業者は、露光装置本体EXの周囲の環境が異常である旨や露光装置本体EXの状況を、輸送業務を請け負う輸送業者、輸送業務を依頼した依頼者、あるいは露光装置本体EXの輸送先である受取者等に連絡したり、あるいは露光装置本体EXのおかれている環境を冷却する等の処置を施すことができる。
同様に、制御装置CNTは、湿度センサ1Cの検出信号に基づいて、輸送中の露光装置本体EXの周囲の湿度が異常となった場合に、第3警告灯2Cを駆動して警告を発し、酸素濃度センサ1Dの検出信号に基づいて、輸送中の露光装置本体EXの周囲の酸素濃度が異常となった場合に、第4警告灯2Dを駆動して警告を発し、傾斜センサ1Eの検出信号に基づいて、輸送中の露光装置本体EXが過剰に傾いた際に、第5警告灯2Eを駆動して警告を発する。
酸素濃度センサ1Dは第1の梱包材4の内部空間の酸素濃度を検出する。すなわち、露光装置100で使う露光光がF2レーザ光等の真空紫外光である場合、酸素が吸光物質となって露光光を吸収し、露光精度に影響を及ぼすため、露光光の光路上に配置される光学素子に対する酸素の付着を防止する必要がある。そのため、輸送中においても酸素濃度センサ1Dで露光装置本体EX周囲の酸素濃度を検出することで、不活性ガス(窒素ガス)で満たされた第1の梱包材4の内部空間に酸素が浸入したかどうかを把握することができる。なおここでは、露光装置本体EX周囲における所定の物質濃度を検出する濃度センサとして酸素濃度センサを例に挙げたが、露光精度に影響を及ぼす例えば有機系ガス濃度を検出可能なセンサであってもよい。
図5は警告装置KSの第3実施形態を示す図である。図5において、警告装置KSは、露光装置本体EXに取り付けられた衝撃センサ1Aと、第2の梱包材5の外面に取り付けられた制御装置CNT及び報知装置2Aと、衝撃センサ1Aと制御装置CNTとの間で無線通信する無線通信部8とを備えている。無線通信部8は、衝撃センサ1Aに接続された無線送信部8Aと、制御装置CNTに接続された無線受信部8Bとを備えている。衝撃センサ1Aの検出信号は無線通信部8により無線で制御装置CNTに送られ、制御装置CNTは、無線通信部8を介して受信した衝撃センサ1Aの検出値が許容値を超えたかどうかを判別する。このように、衝撃センサ(検出装置)1Aと制御装置CNTとをケーブルを用いた有線通信とせずに、無線通信とすることも可能である。
なお、上記各実施形態において、制御装置CNTは、衝撃センサ1Aの検出値が許容値以下であっても、衝撃を受けた時間を積算し、この積算情報に基づいて、衝撃値が許容値を超えたと判断し、報知装置で報知するようにしてもよい。すなわち、衝撃値が許容値以下であっても、この衝撃を所定時間作用され続けることにより、露光装置本体EXに影響を及ぼす可能性が考えられる。そこで、衝撃を受けた時間を積算し、この積算値が所定値以上となったときに警告を発することにより、露光装置本体EXへの影響を未然に防止することができる。もちろん、衝撃に関する積算情報だけでなく、温度に関する積算情報を求め、この積算情報に基づいて、温度が許容値を超えたと判断するようにしてもよい。
図6は、警告装置KSを備えた輸送装置の一部を構成する貨物車(トラック)Tを示す模式図である。図6において、トラックTの荷台TNには、警告装置KSの一部を構成する衝撃センサ1Aが取り付けられた露光装置本体EXが載置されている。更に、荷台TNには露光装置100を構成する複数の機能ユニット、すなわち上述した照明系ユニット、制御系を含む制御系ユニット、チャンバユニット、及びチャンバ装置内部の温度調整を行う温調ユニット等が載置されている。また、トラックTは、露光装置本体EXが載置されている荷台TN(コンテナ)内部の空間の温度及び湿度を調整する温調装置を備えている。
そして、この衝撃センサ1Aには無線通信部8の一部を構成する無線送信部8Aが接続されている。一方、トラックTの運転席TUには、無線受信部8Bが接続された制御装置CNT及び報知装置2Aが設けられている。このような構成とすることにより、運転者は荷台TNの露光装置本体EXに許容値以上の衝撃が作用したかどうかをトラックTの運転中に把握することができる。
なお、トラックTの荷台TNの露光装置本体EXに取り付けられた衝撃センサ1Aと、運転席TUに取り付けられた報知装置2Aとをケーブル(有線)で接続するようにしてももちろん構わない。また、ここでは衝撃センサを例にしているが、上述したように、温度センサや湿度センサの検出信号を運転席TNに設けられた報知装置(制御装置)に送信するようにしてもよい。
本実施形態では、露光装置100を構成する機能ユニット毎に、衝撃値に対する許容値がそれぞれ設定されている。例えば、露光装置本体EXに対する許容値は低く(厳しく)設定されており、チャンバユニットや制御系ユニットに対する許容値は高く(緩やか)に設定されている。このように、作用される衝撃により露光精度が左右される部分に対しては許容値を厳しく設定し、衝撃に対して比較的堅牢な部分に対しては許容値を緩く設定するといったように、露光装置100を構成するユニット毎に、許容値をそれぞれ設定する構成とすることができる。
あるいは、複数の機能ユニットをそれぞれ別のトラックTで搬送するようにしてもよい。そして、ユニット毎に(トラック毎に)、許容値を設定し、輸送するようにしてもよい。こうすることにより、衝撃に比較的堅牢な例えばチャンバユニットを輸送するトラックTはその許容値を緩やかに設定されているので、輸送速度(輸送作業性)を重視して迅速な輸送作業を行うことができる。
図7A〜7Eは、露光装置を露光装置製造メーカーから半導体デバイス製造メーカー等に輸送する手順を説明する模式図である。図7Aに示すように、露光装置製造メーカーで製造された露光装置本体(露光装置)EXは、第1、第2の梱包材4、5で梱包された後、フォークリフト20でトラックT1の荷台(コンテナ)TNに載置される。次いで、図7Bに示すように、露光装置本体EXはトラックT1で空港まで輸送された後、空港近くの保管所(上屋)で所定期間保管される。そして、図7Cに示すように、露光装置本体EXは航空機22に収納されて現地空港まで空輸される。現地空港に到着した露光装置本体EXは、現地空港の保管所(上屋)で保管された後、図7Dに示すように現地トラックT2で納入先である半導体デバイス製造メーカー等に輸送される。そして、図7Eに示すように、クレーン21や不図示のエレベータ等により半導体デバイス製造メーカーの工場敷地内に納入される。
そして、露光装置本体EXが半導体デバイス製造メーカーに納入されたら、この露光装置本体EXに取り付けられていた衝撃センサ1Aが外され、内蔵メモリ部に記憶されている衝撃値データが抽出される。
図8は、内蔵メモリ部に記憶されていた衝撃値データを表示装置9に表示させた状態を示す模式図である。表示装置9は例えば液晶ディスプレイ装置により構成されている。ここで、上述したように、衝撃センサ1Aは内蔵メモリ部とともにタイマ機能を有しているため、内蔵メモリ部には、衝撃値データ及びその衝撃発生時刻が記録されており、表示装置9は図8に示すグラフを表示可能である。ここで、図8のグラフ中、横軸は時間、縦軸は衝撃値(加速度)である。「A」は、露光装置製造メーカーにおいてフォークリフト20でトラックT1に露光装置本体EXを載置した時間における衝撃値データである。「B」は、トラックT1で輸送されている時間における衝撃値データである。「C」は、保管所で保管されている時間における衝撃値データである。「D」は、保管所から航空機に搬送している時間における衝撃値データである。「E」は、航空機で空輸中の時間における衝撃値データである。「F」は、現地空港において航空機から下ろしている時間における衝撃値データである。「G」は、現地空港の保管所で保管されている時間における衝撃値データである。「H」は、現地トラックT2で輸送している時間における衝撃値データである。「J」は、半導体デバイス製造装置メーカーに納入している時間における衝撃値データである。このように、衝撃センサ1Aの検出値を検出する表示装置9が警告装置KSの一部を構成しており、衝撃センサ1Aの内蔵メモリ部に記憶されている衝撃データを表示することができる。また、表示装置9を報知装置2と併設し、輸送中において衝撃センサ1Aの検出値を表示装置9でリアルタイムに表示させる構成とすることも可能である。
図9は本発明の警告装置KSの第4実施形態を示す模式図である。図9において、トラックTで輸送中の露光装置本体EXに対して許容値以上の衝撃が作用した際、警告装置KSの報知装置2A(制御装置CNT)は、通信装置の一部を構成する携帯端末(携帯電話)の基地局30、サーバ31、及びインターネット32を介して、輸送業務を請け負う輸送業者33、輸送業務を依頼する依頼者34、露光装置本体EXの輸送先である受取者35、及び露光装置本体EXを輸送する作業者36に対して、露光装置本体EXに作用した衝撃値が許容値以上である旨の警告を発する。輸送業者33、依頼者34、及び受取者35のそれぞれは通信装置の一部を構成するパーソナルコンピュータを所持しており、ディスプレイの表示により警告が発せられたことを把握可能である。また、作業者36は携帯電話を所持しており、携帯電話のディスプレイの表示により警告が発せられたことを把握可能である。これにより、輸送業者33、依頼者34、受取者35、及び作業者36のそれぞれが、輸送中において露光装置本体EXに許容値以上の衝撃が加わったことを早期に把握でき、適切な処置を迅速に行うことができる。
また、報知装置2A(制御装置CNT)は、輸送する露光装置本体EXの製品情報、露光装置本体EXの輸送先の受取者情報、検出した衝撃値が許容値を越えた時の場所に関する情報、及び検出した衝撃値に関する情報を、前記インターネット32を含む通信装置を介して、輸送業者33、依頼者34、受取者35、及び作業者36に送信(通信)する。製品情報は、その製品(露光装置)の種類や製品番号等の情報を含む。受取者情報は、受取者の名称や所在地、納期(いつまでに送るべきものか)等の情報を含む。場所に関する情報は、例えばGPS(Global Positioning System)等により場所を特定することができ、この特定された場所に関する情報を輸送業者33、依頼者34、受取者35、及び作業者36に通信する。あるいは、この場所に関する情報は、例えば図7A〜7Eを参照して説明したトラックT1での陸送期間中、現地トラックT2での陸送期間中、及び航空機22での空輸期間中であるといったように、ある範囲(期間)を有する場所情報でもよい。また、衝撃値に関する情報は、検出した衝撃値(加速度値)の他、許容値に対してどれだけ越えたかを複数段階(例えば、高レベル、中レベル、低レベル)で示した情報であってもよい。また、これら情報は、輸送業者33、依頼者34、受取者35、及び作業者36どうしの間で通信することも可能である。
図10は、半導体デバイス製造メーカー等に納入され、露光装置本体EXを含む複数の機能ユニットで構成された露光装置100の全体概略構成図である。図10において、露光装置100は、マスクMを支持するマスクステージMSTと、感光基板Pを支持する基板ステージPSTと、マスクステージMSTに支持されたマスクMを露光光で照明する照明系ユニットの一部を構成する照明光学系IOPと、露光光で照明されたマスクMのパターンの像を基板ステージPSTに支持された感光基板Pに投影する投影光学系PLとを備えている。なお、ここでいう「感光基板」は半導体ウエハ上に感光性材料であるフォトレジストを塗布したものを含み、「マスク」は感光基板上に縮小投影されるデバイスパターンを形成されたレチクルを含む。また、本実施形態の露光装置100は、マスクMと感光基板Pとを一次元方向(ここでは、図10におけるY軸方向)に同期移動しつつ、マスクMに形成された回路パターンを投影光学系PLを介して感光基板P上の各ショット領域に転写する、ステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置、いわゆるスキャニング・ステッパである。
更に、露光装置100は、照明光学系IOPの一部、マスクステージMST、投影光学系PL、及び基板ステージPST等を保持する本体コラム14、本体コラム14の振動を抑制あるいは除去する防振ユニット、及びこれらの制御系等を備えている。以下の説明では、投影光学系PLの光軸方向をZ軸方向とし、このZ軸方向と直交する方向でマスクMと感光基板Pとの同期移動方向をY軸方向とし、非同期移動方向をX軸方向とする。また、それぞれの軸周りの回転方向をθZ、θY、θXとする。
光源12としては、ここでは波長192〜194nmの間で酸素の吸収帯を避けるように狭帯化されたパルス紫外光を出力するArFエキシマレーザ光源が用いられており、この光源12の本体は、半導体製造工場のクリーンルーム内の床面FD上に設置されている。なお、光源12として、波長248nmのパルス紫外光を出力するKrFエキシマレーザ光源あるいは波長157nmのパルス紫外光を出力するF2レーザ光源等用いても良い。また、光源12をクリーンルームよりクリーン度が低い別の部屋(サービスルーム)、あるいはクリーンルームの床下に設けられるユーティリティスペースに設置しても構わない。
光源12は、図10では作図の都合上その図示が省略されているが、実際には遮光性のベローズ及びパイプを介してビームマッチングユニットBMUの一端(入射端)に接続されており、このビームマッチングユニットBMUの他端(出射端)は、内部にリレー光学系を内蔵したパイプ16を介して照明光学系IOPの第1照明光学系IOP1に接続されている。ビームマッチングユニットBMU内にはリレー光学系や複数の可動反射鏡等が設けられており、これらの可動反射鏡等を用いて光源12から入射する狭帯化されたパルス紫外光(ArFエキシマレーザ光)の光路を第1照明光学系IOP1との間で位置的にマッチングさせている。
照明光学系IOPは、第1照明光学系IOP1と第2照明光学系IOP2との2部分から構成されている。第1照明光学系IOP1は、床面FDに水平に載置された装置の基準となるベースプレート(フレームキャスタ)BP上に設置されている。また、第2照明光学系IOP2は、本体コラム14を構成する第2の支持コラム52によって下方から支持されている。
第1照明光学系IOP1は、所定の位置関係で配置されたミラー、可変減光器、ビーム成形光学系、オプティカルインテグレータ、集光光学系、振動ミラー、照明系開口絞り板、ビームスプリッタ、リレーレンズ系、及びレチクルブラインド機構を構成する可動視野絞りとしての可動レチクルブラインド28等を備えている。光源12からのパルス紫外光がビームマッチングユニットBMU及びリレー光学系を介して第1照明光学系IOP1内に水平に入射すると、このパルス紫外光は、可変減光器のNDフィルタにより所定のピーク強度に調整された後、ビーム整形光学系により、オプティカルインテグレータに効率よく入射するようにその断面形状が整形される。次いで、このパルス紫外光がオプティカルインテグレータに入射すると、射出端側に面光源、すなわち多数の光源像(点光源)から成る2次光源が形成される。これらの多数の点光源の各々から発散するパルス紫外光は、照明系開口絞り板上のいずれかの開口絞りを通過した後、露光光として可動レチクルブラインド28に到達する。
第2照明光学系IOP2は、照明系ハウジング17内に所定の位置関係で収納された固定レチクルブラインド、レンズ、ミラー、リレーレンズ系、メインコンデンサレンズ等を備えている。固定レチクルブラインドは、照明系ハウジング17の入射端近傍のマスクMのパターン面に対する共役面から僅かにデフォーカスした面に配置され、マスクM上の照明領域を規定する矩形状の開口部を有している。
なお、第1照明光学系IOP1と第2照明光学系IOP2とを強固に接合すると、可動レチクルブラインド28の駆動に起因して露光動作中に第1照明光学系IOP1に生じる振動が第2のコラム52に支持された第2照明光学系IOP2にそのまま伝達されることとなって、好ましくない。このため、本実施形態では、第1照明光学系IOP1と第2照明光学系IOP2との間は、両者の相対変位を可能にし、かつその内部を外気に対して気密状態にすることが可能な接続部材としての伸縮自在の蛇腹状部材94を介して接合されている。
本体コラム14は、ベースプレートBP上に設けられた複数本(ここでは4本)の支持部材40A〜40D(但し、紙面奥側の支柱40C、40Dは図示省略)及びこれらの支持部材40A〜40Dの上部にそれぞれ固定された防振ユニット42A〜42D(但し、図1においては紙面奥側の防振ユニット42C、42Dは図示せず)を介してほぼ水平に支持された鏡筒定盤44と、この鏡筒定盤44の下面から下方に吊り下げられた吊り下げコラム46と、鏡筒定盤44上に設けられた第1、第2の支持コラム48、52とを備えている。
鏡筒定盤44は鋳物等で構成されており、その中央部に平面視円形の開口が形成され、その内部に投影光学系PLがその光軸方向をZ軸方向として上方から挿入されている。投影光学系PLの鏡筒部の外周部には、該鏡筒部に一体化されたフランジFLGが設けられている。このフランジFLGの素材としては、低熱膨張の材質、例えばインバー(Inver;ニッケル36%、マンガン0.25%、及び微量の炭素と他の元素を含む鉄からなる低膨張の合金)が用いられており、このフランジFLGは、投影光学系PLを鏡筒定盤44に対して点と面とV溝とを介して3点で支持するいわゆるキネマティック支持マウントを構成している。
吊り下げコラム46は、基板ベース定盤54と、基板ベース定盤54をほぼ水平に吊り下げ支持する4本の吊り下げ部材56とを備えている。また、第1の支持コラム48は、鏡筒定盤44の上面に投影光学系PLを取り囲んで設けられた4本の脚58(紙面奥側の脚は図示省略)と、これら4本の脚58によってほぼ水平に支持されたマスクベース定盤60とを備えている。同様に、第2の支持コラム52は、鏡筒定盤44の上面に、第1の支持コラム48を取り囲む状態で設けられた4本の支柱62(紙面奥側の支柱は図示省略)と、これら4本の支柱62によってほぼ水平に支持された天板64とによって構成されている。この第2の支持コラム52の天板64によって、前述した第2部分光学系IOP2が支持されている。
マスクステージMSTは、本体コラム14を構成する第1の支持コラム48を構成するマスクベース定盤60上に配置されている。マスクステージMSTは、例えば磁気浮上型の2次元リニアアクチュエータ等から成るマスクステージ駆動系によって駆動され、マスクMをマスクベース定盤60上でY軸方向に大きなストロークで直線駆動するとともに、X軸方向とθZ方向に関しても微小駆動が可能な構成となっている。
マスクステージMSTの一部には、その位置や移動量を計測するための位置検出装置であるマスクレーザ干渉計70からの測長ビームを反射する移動鏡72が取り付けられている。マスクレーザ干渉計70は、マスクベース定盤60に固定され、投影光学系PLの上端部側面に固定された固定鏡Mrを基準として、マスクステージMST(すなわちマスクM)のXY面内の位置(θZ回転を含む)を検出する。
マスクレーザ干渉計70によって計測されるマスクステージMST(マスクM)の位置情報(又は速度情報)は主制御装置に送られる。主制御装置は、マスクレーザ干渉計70から出力される位置情報(或いは速度情報)が指令値(目標位置、目標速度)と一致するように(具体的には基板ステージPSTと追従するように)マスクステージ駆動系を制御する。
投影光学系PLとしては、ここでは、物体面(マスクM)側と像面(感光基板P)側の両方がテレセントリックで円形の投影視野を有し、石英や螢石を光学硝材とした屈折光学素子(レンズ素子)のみから成る1/4、1/5、又は1/6縮小倍率の屈折光学系が使用されている。このため、マスクMにパルス紫外光が照射されると、マスクM上の回路パターン領域のうちのパルス紫外光によって照明された部分からの結像光束が投影光学系PLに入射し、その回路パターンの部分倒立像がパルス紫外光の各パルス照射の度に投影光学系PLの像面側の円形視野の中央にスリット状または矩形状(多角形)に制限されて結像される。これにより、投影された回路パターンの部分倒立像は、投影光学系PLの結像面に配置された感光基板P上の複数のショット領域のうちの1つのショット領域表面のレジスト層に縮小転写される。
基板ステージPSTは、前述した吊り下げコラム46を構成する基板ベース定盤54上に配置され、例えば磁気浮上型の2次元リニアアクチュエータ等から成る基板ステージ駆動系によってXY面内で自在に駆動されるようになっている。
基板ステージPSTの上面に、基板ホルダ76を介して感光基板Pが真空吸着等によって固定されている。基板ステージPSTのXY位置及び回転量(ヨーイング量、ローリング量、ピッチング量)は、投影光学系PLの鏡筒下端に固定された参照鏡Mwを基準として基板ステージPSTの一部に固定された移動鏡78の位置変化を計測する基板レーザ干渉計80によって所定の分解能でリアルタイムに計測される。この基板レーザ干渉計80の計測値は、主制御装置に供給される。主制御装置は、基板レーザ干渉計80の計測結果に基づいて、基板ステージ駆動系を制御する。
そして、上述した露光装置100を輸送する際、露光装置100は、露光装置本体EX、照明系ユニットとしての第1の照明光学系IOP1、第2の照明光学系IOP2、ビームマッチングユニットBMU、ブラインドユニットとしての可動レチクルブラインド28及び固定レチクルブラインド、制御系ユニットとしてのアンプラック、光源ユニットとしてのレーザ光源12、チャンバユニットとしてのチャンバ装置、温調ユニットとしての温調ラック、ローダ系ユニット、及びその他付属品を含む付属品ユニットのそれぞれに分割され、輸送される。そして、上記各ユニットを輸送するに際し、上述したように、各ユニット毎に衝撃や温度に対する許容値がそれぞれ設定され、輸送される。
なお、上記実施形態の感光基板Pとしては、半導体デバイス製造用の半導体ウエハのみならず、ディスプレイデバイス用のガラス基板や、薄膜磁気ヘッド用のセラミックウエハ、あるいは露光装置で用いられるマスクまたはレチクルの原版(合成石英、シリコンウエハ)等が適用される。
露光装置100としては、マスクMと感光基板Pとを同期移動してマスクMのパターンを走査露光するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置(スキャニングステッパ)の他に、マスクMと感光基板Pとを静止した状態でマスクMのパターンを一括露光し、感光基板Pを順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置(ステッパ)にも適用することができる。また、本発明は基板P上で少なくとも2つのパターンを部分的に重ねて転写するステップ・アンド・スティッチ方式の露光装置にも適用できる。
露光装置100の種類としては、基板Pに半導体素子パターンを露光する半導体素子製造用の露光装置に限られず、液晶表示素子製造用又はディスプレイ製造用の露光装置や、薄膜磁気ヘッド、撮像素子(CCD)あるいはレチクル又はマスクなどを製造するための露光装置などにも広く適用できる。
基板ステージPSTやマスクステージMSTにリニアモータ(USP5,623,853またはUSP5,528,118参照)を用いる場合は、エアベアリングを用いたエア浮上型およびローレンツ力またはリアクタンス力を用いた磁気浮上型のどちらを用いてもよい。また、各ステージPST、MSTは、ガイドに沿って移動するタイプでもよく、ガイドを設けないガイドレスタイプであってもよい。
各ステージPST、MSTの駆動機構としては、二次元に磁石を配置した磁石ユニットと、二次元にコイルを配置した電機子ユニットとを対向させ電磁力により各ステージPST、MSTを駆動する平面モータを用いてもよい。この場合、磁石ユニットと電機子ユニットとのいずれか一方をステージPST、MSTに接続し、磁石ユニットと電機子ユニットとの他方をステージPST、MSTの移動面側に設ければよい。
基板ステージPSTの移動により発生する反力は、投影光学系PLに伝わらないように、特開平8−166475号公報(USP5,528,118)に記載されているように、フレーム部材を用いて機械的に床(大地)に逃がしてもよい。
マスクステージMSTの移動により発生する反力は、投影光学系PLに伝わらないように、特開平8−330224号公報(US S/N 08/416,558)に記載されているように、フレーム部材を用いて機械的に床(大地)に逃がしてもよい。
なお、露光装置の輸送に際して露光装置を分割する場合には、その露光装置が有する各種機能ユニットの構成、輸送機器の大きさ、搬入経路に応じて分割する箇所を適宜決定すればよい。そして、分割された各機能ユニットの特性に応じて必要な種類のセンサを設けるとともに、制御装置CNTにはそれぞれの機能ユニットに応じて必要な許容値を設定すればよい。
以上のように、本願実施形態の露光装置100は、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
半導体デバイス等のマイクロデバイスは、図11に示すように、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ201、この設計ステップに基づいたマスク(レチクル)を製作するステップ202、デバイスの基材である基板を製造するステップ203、前述した実施形態の露光装置EXによりマスクのパターンを基板に露光する露光処理ステップ204、デバイス組み立てステップ(ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む)205、検査ステップ206等を経て製造される。
本発明によれば、許容値以上の衝撃が精密機器に作用した場合であっても適切な処置を迅速に行うことができるので、精密機器に与える影響を最小限に抑えつつ輸送することができる。
Claims (18)
- 輸送中の精密機器又はその近傍に取り付けられ、該精密機器の輸送状態及び輸送環境のうち少なくともいずれか一方を検出する検出装置と、
前記検出装置の検出値が予め設定された所定値を越えたか否かを判別する判別装置と、
前記判別装置の判別結果に基づいて警告を発する報知装置とを備えたことを特徴とする警告装置。 - 前記検出装置は、前記輸送中の前記精密機器に作用する衝撃を検出する衝撃センサを含むことを特徴とする請求項1記載の警告装置。
- 前記検出装置は、温度センサ及び湿度センサのうち少なくともいずれか一方を含むことを特徴とする請求項1記載の警告装置。
- 前記検出装置は、前記精密機器周囲における所定の物質濃度を検出する濃度センサを含むことを特徴とする請求項1に記載の警告装置。
- 前記検出装置は、前記輸送中の前記精密機器の姿勢を検出する姿勢センサを含むことを特徴とする請求項1に記載の警告装置。
- 前記検出装置は、前記精密機器を梱包する第1の梱包材の内側に取り付けられ、前記報知装置は、前記第1の梱包材の外側に取り付けられることを特徴とする請求項1に記載の警告装置。
- 前記報知装置は、前記第1の梱包材を梱包する第2の梱包材の外側に取り付けられることを特徴とする請求項6記載の警告装置。
- 前記報知装置は、光及び音のうち少なくともいずれか一方を発することを特徴とする請求項1に記載の警告装置。
- 前記検出装置の検出値を表示する表示装置を備えることを特徴とする請求項1に記載の警告装置。
- 前記検出装置と前記判別装置との間で無線通信する無線通信部を備えることを特徴とする請求項1に記載の警告装置。
- 前記報知装置は、前記精密機器を輸送する作業者、前記輸送業務を請け負う輸送業者、前記輸送業務を依頼する依頼者、及び前記精密機器の輸送先である受取者のうち少なくとも1つに対して、通信装置を介して前記警告を発することを特徴とする請求項1に記載の警告装置。
- 前記報知装置は、前記精密機器の製品情報、前記精密機器の輸送先の受取者情報、前記検出値が前記所定値を越えた時の場所に関する情報、及び前記検出値に関する情報のうち少なくとも1つを前記通信装置を介して通信することを特徴とする請求項11記載の警告装置。
- 前記精密機器は半導体製造装置を含むことを特徴とする請求項1に記載の警告装置。
- 前記半導体製造装置は露光装置を含むことを特徴とする請求項13記載の警告装置。
- 精密機器を輸送する輸送装置であって、
請求項1に記載の警告装置を備えたことを特徴とする輸送装置。 - 精密機器を輸送する輸送方法であって、
請求項1に記載の警告装置を用いて輸送することを特徴とする輸送方法。 - 前記精密機器を構成するユニット毎に、前記所定値をそれぞれ設定することを特徴とする請求項16記載の輸送方法。
- 請求項16又は請求項17記載の輸送方法により輸送されることを特徴とする露光装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019034803A (ja) * | 2017-08-10 | 2019-03-07 | 矢崎エナジーシステム株式会社 | 車載器および荷物管理システム |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009133785A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Toshiba Logistics Corp | 警報装置付輸送用衝撃測定器 |
JP5703069B2 (ja) | 2010-09-30 | 2015-04-15 | 株式会社Screenホールディングス | 描画装置および描画方法 |
US8659415B2 (en) * | 2011-07-15 | 2014-02-25 | General Electric Company | Alarm management |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3959787A (en) * | 1975-05-08 | 1976-05-25 | Lawrence Peska Associates, Inc. | Refrigeration alarm |
US4745564B2 (en) * | 1986-02-07 | 2000-07-04 | Us Agriculture | Impact detection apparatus |
US5528228A (en) * | 1994-09-08 | 1996-06-18 | Wilk; Peter J. | Protective device for storage and transport containers |
US5835012A (en) * | 1997-06-18 | 1998-11-10 | Wilk Patent Development Corporation | Protective device for storage and transport containers |
US6341006B1 (en) * | 1995-04-07 | 2002-01-22 | Nikon Corporation | Projection exposure apparatus |
US5623248A (en) * | 1995-06-06 | 1997-04-22 | Min; Byung W. | Miniature electromagnetic impact sensor |
JP2000203678A (ja) * | 1999-01-13 | 2000-07-25 | Nikon Corp | 露光装置本体の梱包方法および梱包構造、並びにその方法または構造で梱包される露光装置 |
JP2001274223A (ja) * | 2000-03-23 | 2001-10-05 | Hitachi Ltd | 移動テーブル装置 |
JP2001325333A (ja) * | 2000-05-18 | 2001-11-22 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 物流管理システム |
JP2002029606A (ja) * | 2000-07-11 | 2002-01-29 | Ngk Insulators Ltd | 荷物の配送方法および荷物位置情報送信装置 |
JP2002029615A (ja) * | 2000-07-14 | 2002-01-29 | Hitachi Maxell Ltd | 物品管理システム及び物品管理方法 |
JP2002128233A (ja) * | 2000-10-25 | 2002-05-09 | Pfu Ltd | 情報収集方法,情報収集システム、および記録媒体 |
JP2002221249A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-08-09 | Canon Inc | 能動制振装置、その制御方法および能動制振装置を備えた露光装置 |
JP2002243755A (ja) * | 2001-02-15 | 2002-08-28 | Casio Comput Co Ltd | 輸送衝撃管理装置、衝撃保証輸送システム、衝撃保証輸送サービス方法、及びプログラム |
JP4867075B2 (ja) * | 2001-03-21 | 2012-02-01 | 宇部興産株式会社 | 庫内の湿度及び/又は酸素ガス濃度を制御可能な収納庫 |
JP2003058611A (ja) * | 2001-08-10 | 2003-02-28 | Fuji Denki Reiki Co Ltd | 統合物流システム |
JP3867594B2 (ja) * | 2002-03-12 | 2007-01-10 | 東海ゴム工業株式会社 | 制振装置の性能評価装置および性能評価方法 |
-
2004
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-
2005
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019034803A (ja) * | 2017-08-10 | 2019-03-07 | 矢崎エナジーシステム株式会社 | 車載器および荷物管理システム |
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US20070241880A1 (en) | 2007-10-18 |
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