JPWO2004068154A1 - TCP handling device and misalignment correction method in the device - Google Patents

TCP handling device and misalignment correction method in the device Download PDF

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Abstract

ＴＣＰハンドラ２の実稼動中に、吸着プレート３４によって吸着したキャリアテープ５をＸ軸−Ｙ軸方向に移動させることができるとともに、垂直軸回りに回転移動させることのできるプッシャステージ４と、ＴＣＰハンドラ２の実稼動中に、プローブカード８をＸ軸−Ｙ軸方向に移動させることができるとともに、垂直軸回りに回転移動させることのできるプローブカードステージ７とをＴＣＰハンドラ２に設ける。 このような構成を有するＴＣＰハンドラ２によれば、ＴＣＰとプローブカード８との位置合わせを正確に行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。During the actual operation of the TCP handler 2, the pusher stage 4 can move the carrier tape 5 sucked by the suction plate 34 in the X-axis to Y-axis directions and can be rotated about the vertical axis, and the TCP handler. During the actual operation of 2, the TCP card 2 is provided with a probe card stage 7 that can move the probe card 8 in the X-axis-Y-axis direction and can be rotated about the vertical axis. According to the TCP handler 2 having such a configuration, it is possible to accurately align the TCP and the probe card 8 and reduce the occurrence of contact failure.

Description

本発明は、ＩＣデバイスの１種であるＴＣＰ（Ｔａｐｅ Ｃａｒｒｉｅｒ Ｐａｃｋａｇｅ）やＣＯＦ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｆｉｌｍ）（以下、ＴＣＰ、ＣＯＦ、その他ＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ）実装技術によって製造されたデバイスを纏めて「ＴＣＰ」という。）を試験するのに用いられるＴＣＰハンドリング装置、およびＴＣＰハンドリング装置におけるＴＣＰとコンタクト部との位置ずれ補正方法に関するものである。  The present invention collects devices manufactured by TCP (Tape Carrier Package) and COF (Chip On Film) (hereinafter, TCP, COF, and other TAB (Tape Automated Bonding) mounting technologies, which are one type of IC device. The present invention relates to a TCP handling device used for testing and a method for correcting misalignment between a TCP and a contact portion in the TCP handling device.

ＩＣデバイス等の電子部品の製造過程においては、最終的に製造されたＩＣデバイスやその中間段階にあるデバイス等の性能や機能を試験する電子部品試験装置が必要であり、ＴＣＰの場合には、ＴＣＰ用の試験装置が使用される。
ＴＣＰ用の試験装置は、一般的にテスタ本体と、テストヘッドと、ＴＣＰハンドリング装置（以下「ＴＣＰハンドラ」という場合がある。）とから構成される。このＴＣＰハンドラは、テープ（フィルムの概念も含むものとする。以下同じ。）上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているプローブカードのプローブにキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子をプローブにコンタクトさせることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付す機能を備えている。
このようなＴＣＰハンドラを使用して効率良く正確に試験を行うためには、ＴＣＰの外部端子とプローブカードの各プローブとを確実にコンタクトさせることが必要である。
従来、ＴＣＰとプローブとの位置合わせ方法として、キャリアテープをプッシャおよびクランプまたはコンタクトプレスとともにＸＹ方向に移動させる方法（実公平６−２２７１号公報，特開平９−９２６９５号公報，特開平８−２９４８４号公報）や、プローブカードをＸＹ方向に移動させる方法（特開平１０−１８５９９６号公報，特開２００２−１８１８８８号公報）が知られている。
しかしながら、このようなＸＹ方向のみの２軸制御では、ＴＣＰとプローブとの位置合わせを必ずしも正確に行うことができず、コンタクト不良が発生することが少なからずあった。特に、将来的なデバイスの多ピン・狭ピッチ化に伴い、かかるコンタクト不良の発生頻度は大きくなると予想される。
一方、特開２００２−１８１８８９号公報には、回転ステージに搭載したプローブカードをＴＣＰに対して補正角度θだけ回転させることにより、ＴＣＰとプローブカードとの角度のずれを補正する発明が記載されている。
しかしながら、特開２００２−１８１８８９号公報に記載の発明は、あくまでも初期設定時にプローブカードを回転させて位置合わせを行うものであるため、ＴＣＰ試験装置の実稼動中にＴＣＰとプローブカードとにずれが生じた場合、または初期設定自体が不正確で、それがＴＣＰ試験装置の実稼動中に発見された場合には対応することができなった。In the manufacturing process of electronic components such as IC devices, an electronic component testing apparatus that tests the performance and functions of the finally manufactured IC devices and devices in its intermediate stage is necessary. In the case of TCP, A test apparatus for TCP is used.
A test apparatus for TCP is generally composed of a tester body, a test head, and a TCP handling apparatus (hereinafter also referred to as “TCP handler”). This TCP handler transports a carrier tape on which a plurality of TCPs are formed on a tape (including the concept of film; the same applies hereinafter), and the carrier tape is attached to a probe of a probe card that is electrically connected to a test head. Is provided, and a plurality of TCPs are sequentially subjected to a test by contacting the external terminals of the TCP with the probe.
In order to perform an efficient and accurate test using such a TCP handler, it is necessary to reliably contact the external terminal of the TCP and each probe of the probe card.
Conventionally, as a method for aligning a TCP and a probe, a method of moving a carrier tape in the XY direction together with a pusher and a clamp or a contact press (Japanese Utility Model Publication No. 6-2271, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-92695, Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-29484). And a method of moving the probe card in the XY direction (Japanese Patent Laid-Open Nos. 10-185996 and 2002-181888) are known.
However, in such two-axis control only in the XY directions, the alignment between the TCP and the probe cannot always be performed accurately, and contact failures often occur. In particular, the frequency of occurrence of such contact failures is expected to increase with the future increase in the number of pins and narrowing of devices.
On the other hand, Japanese Patent Laid-Open No. 2002-181889 describes an invention that corrects an angle deviation between a TCP and a probe card by rotating a probe card mounted on a rotary stage by a correction angle θ with respect to the TCP. Yes.
However, since the invention described in Japanese Patent Laid-Open No. 2002-181889 is intended to perform alignment by rotating the probe card at the time of initial setting, there is a difference between the TCP and the probe card during actual operation of the TCP test apparatus. If it occurs, or if the initial settings themselves are inaccurate and are discovered during actual operation of the TCP test equipment, it has not been possible to cope.

本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、ＴＣＰとコンタクト部との位置合わせを正確に行い、コンタクト不良の発生を低減させることのできるＴＣＰハンドリング装置、およびＴＣＰハンドリング装置における位置ずれ補正方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、第１に本発明は、テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その垂直軸回りに回転移動させることのできるテープ垂直軸回転装置を備えたことを特徴とするＴＣＰハンドリング装置を提供する（１）。
本明細書における「コンタクト部」には、ＴＣＰの外部端子が接続される接続端子（例えばプローブ）そのものと、そのような接続端子を備えた部材（例えばプローブカード）の双方の概念が含まれるものとする。
上記発明（１）によれば、テープ垂直軸回転装置によってキャリアテープを垂直軸回りに回転移動させることにより、垂直軸回りにずれているＴＣＰとコンタクト部との位置合わせを行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。
上記発明（１）に係るＴＣＰハンドリング装置は、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その平面方向に移動させることのできるテープ平面移動装置をさらに備えているのが好ましい（２）。
上記発明（２）によれば、テープ垂直軸回転装置および／またはテープ平面移動装置によってキャリアテープを垂直軸回りに回転移動および／または平面方向に移動させることにより、ＴＣＰとコンタクト部との位置合わせを確実に行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。
上記発明（２）において、前記テープ垂直軸回転装置および／または前記テープ平面移動装置は、キャリアテープを前記コンタクト部に押圧する押圧装置とともに、キャリアテープを垂直軸回りに回転移動および／または平面方向に移動させるのが好ましい（３）。
なお、ここでいう「押圧装置」は、キャリアテープを押圧するだけでなく、キャリアテープを保持する機能を有するものであってもよい。
上記発明（３）によれば、キャリアテープとそれを押圧する押圧装置との間に位置ずれが生じない。
上記発明（２，３）に係る前記ＴＣＰハンドリング装置は、ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得することのできる位置ずれ情報取得装置をさらに備えており、前記位置ずれ情報取得装置によって取得した位置ずれ情報に基づいて、前記テープ垂直軸回転装置および／または前記テープ平面移動装置を駆動し、前記位置ずれを自動補正するのが好ましい（４）。
本明細書における「位置ずれ情報」には、位置ずれの方向（Ｘ・Ｙ・θ）および位置ずれの量が含まれるものとする。
位置ずれ情報取得装置としては、例えば、キャリアテープおよびコンタクト部を撮像することのできるカメラと画像処理装置との組合せ等を挙げることができる。
上記発明（４）によれば、オペレータの技量等にかかわらず、ＴＣＰとコンタクト部との位置ずれを自動的に確実に補正することが可能となる。
第２に本発明は、テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得することのできる位置ずれ情報取得装置と、前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動させることのできるコンタクト部垂直軸回転装置とを備えており、実稼動中（初期設定時ではなく、実際に試験を行うために稼動している最中）に、前記位置ずれ情報取得装置によって取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部垂直軸回転装置を駆動して前記コンタクト部を垂直軸回りに回転移動させ、前記位置ずれを自動補正することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置を提供する（５）。
上記発明（５）によれば、ＴＣＰハンドリング装置の実稼動中に、コンタクト部垂直軸回転装置によってコンタクト部を垂直軸回りに回転移動させることにより、垂直軸回りにずれている被試験ＴＣＰとコンタクト部との位置合わせを被試験ＴＣＰ毎に行うことができるため、コンタクト不良の発生を著しく低減させることができる。
上記発明（５）に係るＴＣＰハンドリング装置は、前記コンタクト部を、その平面方向に移動させることのできるコンタクト部平面移動装置をさらに備えており、実稼動中に、前記位置ずれ情報取得装置によって取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部垂直軸回転装置および／または前記コンタクト部平面移動装置を駆動して前記コンタクト部を垂直軸回りに回転移動および／または平面方向に移動させ、前記位置ずれを自動補正するのが好ましい（６）。
上記発明（６）によれば、ＴＣＰハンドリング装置の実稼動中に、コンタクト部垂直軸回転装置および／またはコンタクト部平面移動装置によってコンタクト部を垂直軸回りに回転移動および／または平面方向に移動させることにより、被試験ＴＣＰとコンタクト部との位置合わせを被試験ＴＣＰ毎に確実に行うことができるため、コンタクト不良の発生を著しく低減させることができる。
第３に本発明は、テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得することのできる位置ずれ情報取得装置と、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その垂直軸回りに回転移動させることのできるテープ垂直軸回転装置と、前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動させることのできるコンタクト部垂直軸回転装置とを備えており、前記位置ずれ情報取得装置によって取得した位置ずれ量が所定の値より大きい場合または所定の値以上の場合には、前記コンタクト部垂直軸回転装置を駆動して前記コンタクト部を垂直軸回りに回転移動させ、前記位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定の値未満の場合には、前記テープ垂直軸回転装置を駆動して前記キャリアテープを垂直軸回りに回転移動させることにより、前記位置ずれを自動補正することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置を提供する（７）。
上記発明（７）によれば、テープ垂直軸回転装置またはコンタクト部垂直軸回転装置を駆動することにより、垂直軸回りにずれているＴＣＰとコンタクト部との位置合わせを行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。
ここで、ＴＣＰハンドリング装置の構造上、テスタ本体に繋がるコードを多数備えたコンタクト部を移動させるコンタクト部垂直軸回転装置と比較して、テープ垂直軸回転装置は短時間で位置ずれ補正を行うことが可能である。しかしながら、テープ垂直軸回転装置は、ガイドローラやスプロケット等によって支持されたキャリアテープを移動させるものであるため、その移動量が大きいとキャリアテープに応力がかかり、キャリアテープ上のＴＣＰ（特にリードまたはテストパッド）やキャリアテープ自体（特にスプロケットの爪が入る穴部またはその周辺部）を損傷してしまうおそれがある。
したがって、上記発明（７）によれば、位置ずれ量が大きい場合には、コンタクト部垂直軸回転装置を駆動してＴＣＰやキャリアテープの損傷を防止し、位置ずれ量が小さい場合には、テープ垂直軸回転装置を駆動して位置ずれ補正の時間、ひいてはインデックスタイムを短くすることができる。
上記発明（７）に係るＴＣＰハンドリング装置は、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その平面方向に移動させることのできるテープ平面移動装置と、前記コンタクト部を、その平面方向に移動させることのできるコンタクト部平面移動装置とをさらに備えており、前記位置ずれ情報取得装置によって取得した位置ずれ量が所定の値より大きい場合または所定の値以上の場合には、前記コンタクト部垂直軸回転装置および／または前記コンタクト部平面移動装置を駆動して前記コンタクト部を垂直軸回りに回転移動および／または平面方向に移動させ、前記位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定の値未満の場合には、前記テープ垂直軸回転装置および／または前記テープ平面移動装置を駆動して前記キャリアテープを垂直軸回りに回転移動および／または平面方向に移動させることにより、前記位置ずれを自動補正するのが好ましい（８）。
上記発明（８）によれば、テープ垂直軸回転装置および／もしくはテープ平面移動装置、またはコンタクト部垂直軸回転装置および／もしくはコンタクト部平面移動装置によってキャリアテープまたはコンタクト部を垂直軸回りに回転移動および／または平面方向に移動させることにより、ＴＣＰとコンタクト部との位置合わせを確実に行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。また、上記発明（８）によれば、位置ずれ量が大きい場合には、コンタクト部垂直軸回転装置および／またはコンタクト部平面移動装置を駆動してＴＣＰやキャリアテープの損傷を防止し、位置ずれ量が小さい場合には、テープ垂直軸回転装置および／またはテープ平面移動装置を駆動して位置ずれ補正の時間、ひいてはインデックスタイムを短くすることができる。
第４に本発明は、テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置におけるＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その垂直軸回りに回転移動させることにより、ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれを補正することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置における位置ずれ補正方法を提供する（９）。
上記発明（９）によれば、キャリアテープを垂直軸回りに回転移動させることにより、垂直軸回りにずれているＴＣＰとコンタクト部との位置合わせを行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。
第５に本発明は、テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置におけるＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その垂直軸回りに回転移動および／またはその平面方向に移動させることにより、ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれを補正することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置における位置ずれ補正方法を提供する（１０）。
上記発明（１０）によれば、キャリアテープを垂直軸回りに回転移動および／または平面方向に移動させることにより、ＴＣＰとコンタクト部との位置合わせを確実に行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。
第６に本発明は、テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置におけるＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、前記取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その垂直軸回りに回転移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置における位置ずれ補正方法を提供する（１１）。
上記発明（１１）によれば、取得した位置ずれ情報に基づいてキャリアテープを垂直軸回りに回転移動させることにより、垂直軸回りにずれているＴＣＰとコンタクト部との位置ずれを確実に補正することが可能となる。
第７に本発明は、テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置におけるＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、前記取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その垂直軸回りに回転移動および／またはその平面方向に移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置における位置ずれ補正方法を提供する（１２）。
上記発明（１２）によれば、取得した位置ずれ情報に基づいてキャリアテープを垂直軸回りに回転移動および／または平面方向に移動させることにより、ＴＣＰとコンタクト部との位置ずれを確実に補正することが可能となる。
第８に本発明は、テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置におけるＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、ＴＣＰハンドリング装置の実稼動中に、ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、前記取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置における位置ずれ補正方法を提供する（１３）。
上記発明（１３）によれば、ＴＣＰハンドリング装置の実稼動中にコンタクト部を垂直軸回りに回転移動させることにより、垂直軸回りにずれている被試験ＴＣＰとコンタクト部との位置合わせを被試験ＴＣＰ毎に行うことができるため、コンタクト不良の発生を著しく低減させることができる。
第９に本発明は、テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置におけるＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、ＴＣＰハンドリング装置の実稼動中に、ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、前記取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動および／またはその平面方向に移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置における位置ずれ補正方法を提供する（１４）。
上記発明（１４）によれば、ＴＣＰハンドリング装置の実稼動中に、コンタクト部を垂直軸回りに回転移動および／または平面方向に移動させることにより、被試験ＴＣＰとコンタクト部との位置合わせを被試験ＴＣＰ毎に確実に行うことができるため、コンタクト不良の発生を著しく低減させることができる。
第１０に本発明は、テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置におけるＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、取得した位置ずれ量が所定の値より大きい場合または所定の値以上の場合には、前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動させ、取得した位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定の値未満の場合には、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その垂直軸回りに回転移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置における位置ずれ補正方法を提供する（１５）。
上記発明（１５）によれば、垂直軸回りにずれているＴＣＰとコンタクト部との位置合わせを行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。
ここで、ＴＣＰハンドリング装置の構造上、テスタ本体に繋がるコードを多数備えたコンタクト部を移動させて位置ずれ補正を行う時間よりも、キャリアテープを移動させて位置ずれ補正を行う時間の方が短くできるのが通常である。しかしながら、キャリアテープは通常ガイドローラやスプロケット等によって支持されているため、キャリアテープの移動量が大きいとキャリアテープに応力がかかり、キャリアテープ上のＴＣＰ（特にリードまたはテストパッド）やキャリアテープ自体（特にスプロケットの爪が入る穴部またはその周辺部）を損傷してしまうおそれがある。
したがって、上記発明（１５）によれば、位置ずれ量が大きい場合には、コンタクト部を垂直軸回りに回転移動させてＴＣＰやキャリアテープの損傷を防止し、位置ずれ量が小さい場合には、キャリアテープを垂直軸回りに回転移動させて位置ずれ補正の時間、ひいてはインデックスタイムを短くすることができる。
第１１に本発明は、テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置におけるＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、取得した位置ずれ量が所定の値より大きい場合または所定の値以上の場合には、前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動および／またはその平面方向に移動させ、取得した位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定の値未満の場合には、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その垂直軸回りに回転移動および／またはその平面方向に移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置における位置ずれ補正方法を提供する（１６）。
上記発明（１６）によれば、コンタクト部またはキャリアテープを垂直軸回りに回転移動および／または平面方向に移動させることにより、ＴＣＰとコンタクト部との位置合わせを行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。また、上記発明（１６）によれば、位置ずれ量が大きい場合には、コンタクト部を垂直軸回りに回転移動および／または平面方向に移動させてＴＣＰやキャリアテープの損傷を防止し、位置ずれ量が小さい場合には、キャリアテープを垂直軸回りに回転移動および／または平面方向に移動させて位置ずれ補正の時間、ひいてはインデックスタイムを短くすることができる。The present invention has been made in view of such a situation, and a TCP handling device capable of accurately aligning the TCP and the contact portion and reducing the occurrence of contact failure, and a position in the TCP handling device. An object is to provide a deviation correction method.
In order to achieve the above object, first, the present invention conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, and presses the carrier tape against a contact portion electrically connected to the test head, A TCP handling device capable of sequentially testing a plurality of TCPs by connecting an external terminal of the TCP to the contact part, and a carrier tape pressed against the contact part is rotated around its vertical axis. Provided is a TCP handling device comprising a tape vertical axis rotating device that can be operated (1).
The “contact part” in this specification includes the concept of both a connection terminal (for example, a probe) to which an external terminal of TCP is connected and a member (for example, a probe card) provided with such a connection terminal. And
According to the invention (1), the carrier tape is rotated and moved around the vertical axis by the tape vertical axis rotating device, thereby aligning the TCP and the contact portion which are shifted around the vertical axis, and generating a contact failure. Can be reduced.
The TCP handling device according to the invention (1) preferably further includes a tape plane moving device capable of moving the carrier tape pressed against the contact portion in the plane direction (2).
According to the invention (2), the TCP and the contact portion are aligned by rotating and / or moving the carrier tape around the vertical axis by the tape vertical axis rotating device and / or the tape plane moving device. Thus, the occurrence of contact failure can be reduced.
In the above invention (2), the tape vertical axis rotating device and / or the tape plane moving device may rotate and / or move the carrier tape around the vertical axis together with a pressing device that presses the carrier tape against the contact portion. It is preferable to move to (3).
The “pressing device” here may have a function of holding the carrier tape as well as pressing the carrier tape.
According to the said invention (3), position shift does not arise between a carrier tape and the press apparatus which presses it.
The TCP handling device according to the invention (2, 3) further includes a misalignment information acquisition device capable of acquiring misalignment information between the TCP and the contact portion, and the misalignment information acquisition device It is preferable to drive the tape vertical axis rotation device and / or the tape plane moving device based on the acquired positional deviation information to automatically correct the positional deviation (4).
“Position displacement information” in this specification includes the direction of displacement (X · Y · θ) and the amount of displacement.
Examples of the positional deviation information acquisition device include a combination of a camera capable of imaging the carrier tape and the contact portion and an image processing device.
According to the said invention (4), it becomes possible to correct | amend the position shift of TCP and a contact part automatically and reliably irrespective of an operator's skill etc.
Second, the present invention conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, presses the carrier tape against a contact part electrically connected to a test head, and connects the external terminal of the TCP to the contact part. A TCP handling device capable of sequentially attaching a plurality of TCPs to a test by connecting them to a misalignment information acquisition device capable of obtaining information on misalignment between the TCP and the contact portion; and the contact It is equipped with a contact part vertical axis rotation device that can rotate the part around its vertical axis, and is in actual operation (not during initial setting but during actual operation) Further, based on the positional deviation information acquired by the positional deviation information acquisition device, the contact unit vertical axis rotation device is driven to Rotate moved immediately axis, to provide a TCP handling apparatus, characterized in that said positional deviation to automatic correction (5).
According to the invention (5), the TCP under test and the contact which are displaced around the vertical axis by rotating the contact part around the vertical axis by the contact part vertical axis rotating device during the actual operation of the TCP handling device. Since the alignment with the portion can be performed for each TCP under test, the occurrence of contact failure can be significantly reduced.
The TCP handling device according to the invention (5) further comprises a contact part plane moving device capable of moving the contact part in the plane direction, and is acquired by the misalignment information acquiring device during actual operation. Based on the positional deviation information, the contact portion vertical axis rotation device and / or the contact portion plane movement device is driven to rotate the contact portion around the vertical axis and / or move in the plane direction. Is preferably automatically corrected (6).
According to the invention (6), during the actual operation of the TCP handling device, the contact portion is rotated around the vertical axis and / or moved in the plane direction by the contact portion vertical axis rotating device and / or the contact portion plane moving device. As a result, the alignment of the TCP under test and the contact portion can be reliably performed for each TCP under test, so that the occurrence of contact failure can be significantly reduced.
Third, the present invention conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, presses the carrier tape against a contact part electrically connected to a test head, and connects the external terminal of the TCP to the contact part. A TCP handling device capable of sequentially attaching a plurality of TCPs to a test by connecting them to a misalignment information acquisition device capable of obtaining information on misalignment between the TCP and the contact portion; and the contact A tape vertical axis rotation device capable of rotating the carrier tape pressed by the portion around its vertical axis, and a contact portion vertical axis rotation device capable of rotating the contact portion around its vertical axis; The positional deviation amount acquired by the positional deviation information acquisition device is greater than a predetermined value or predetermined If the value is greater than or equal to the value, the contact part vertical axis rotation device is driven to rotate the contact part about the vertical axis, and if the amount of positional deviation is less than a predetermined value or less than a predetermined value And providing a TCP handling device that automatically corrects the misalignment by driving the tape vertical axis rotation device and rotating the carrier tape about the vertical axis (7).
According to the invention (7), by driving the tape vertical axis rotating device or the contact portion vertical axis rotating device, the TCP and the contact portion which are displaced around the vertical axis are aligned, and the occurrence of contact failure is caused. Can be reduced.
Here, due to the structure of the TCP handling device, the tape vertical axis rotation device performs the positional deviation correction in a short time compared to the contact portion vertical axis rotation device that moves the contact portion having many cords connected to the tester body. Is possible. However, since the tape vertical axis rotating device moves the carrier tape supported by guide rollers, sprockets, etc., if the amount of movement is large, stress is applied to the carrier tape, and TCP (especially lead or There is a risk of damaging the test pad) and the carrier tape itself (especially the hole where the sprocket claw is inserted or its periphery).
Therefore, according to the invention (7), when the displacement amount is large, the contact part vertical axis rotating device is driven to prevent the TCP and the carrier tape from being damaged. When the displacement amount is small, the tape is By driving the vertical axis rotating device, it is possible to shorten the time for correction of misalignment, and hence the index time.
The TCP handling device according to the invention (7) is a tape plane moving device capable of moving the carrier tape pressed against the contact portion in the plane direction, and the contact portion is moved in the plane direction. And a contact part plane moving device, and when the positional deviation amount acquired by the positional deviation information acquisition apparatus is larger than a predetermined value or more than a predetermined value, the contact part vertical axis rotating device And / or driving the contact portion plane moving device to rotate and / or move the contact portion about a vertical axis in a case where the displacement amount is equal to or less than a predetermined value or less than a predetermined value. In this case, the carrier tape is suspended by driving the tape vertical axis rotating device and / or the tape plane moving device. By moving around the axis rotational movement and / or the planar direction, it is preferable to automatically correct the positional deviation (8).
According to the invention (8), the carrier tape or the contact portion is rotated about the vertical axis by the tape vertical axis rotating device and / or the tape plane moving device, or the contact portion vertical axis rotating device and / or the contact portion plane moving device. By moving in the planar direction, the alignment between the TCP and the contact portion can be ensured, and the occurrence of contact failure can be reduced. According to the invention (8), when the amount of displacement is large, the contact portion vertical axis rotating device and / or the contact portion plane moving device is driven to prevent damage to the TCP and the carrier tape, and the displacement. When the amount is small, it is possible to shorten the time for correcting misalignment, and hence the index time, by driving the tape vertical axis rotating device and / or the tape plane moving device.
Fourth, the present invention conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, presses the carrier tape against a contact part electrically connected to a test head, and connects the external terminal of the TCP to the contact part. In a TCP handling apparatus capable of sequentially attaching a plurality of TCPs to a test by connecting them to each other, a method of correcting misalignment between the TCP and the contact part, wherein the carrier tape pressed against the contact part has its vertical axis A misalignment correction method in a TCP handling device is provided, wherein misalignment between the TCP and the contact portion is corrected by rotationally moving around (9).
According to the invention (9), by rotating the carrier tape around the vertical axis, the TCP and the contact portion that are displaced around the vertical axis can be aligned, and the occurrence of contact failure can be reduced. .
Fifth, the present invention conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, presses the carrier tape against a contact part electrically connected to a test head, and connects the external terminal of the TCP to the contact part. In a TCP handling apparatus capable of sequentially attaching a plurality of TCPs to a test by connecting them to each other, a method of correcting misalignment between the TCP and the contact part, wherein the carrier tape pressed against the contact part has its vertical axis Provided is a method for correcting misalignment in a TCP handling device, wherein misalignment between the TCP and the contact portion is corrected by rotational movement around and / or in the plane direction (10).
According to the invention (10), the carrier tape is rotationally moved around the vertical axis and / or moved in the plane direction, thereby reliably aligning the TCP and the contact portion and reducing the occurrence of contact failure. Can do.
Sixth, the present invention conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, presses the carrier tape against a contact part electrically connected to a test head, and connects the external terminal of the TCP to the contact part. Is a method for correcting misalignment between a TCP and the contact part in a TCP handling apparatus capable of sequentially attaching a plurality of TCPs to a test, and acquires information on misalignment between the TCP and the contact part. In the TCP handling device, the positional deviation is corrected by rotating the carrier tape pressed against the contact portion around its vertical axis based on the acquired positional deviation information. A correction method is provided (11).
According to the above invention (11), the carrier tape is rotated around the vertical axis based on the acquired positional deviation information, thereby reliably correcting the positional deviation between the TCP and the contact portion that are displaced about the vertical axis. It becomes possible.
Seventh, the present invention conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, presses the carrier tape against a contact part electrically connected to a test head, and connects the external terminal of the TCP to the contact part. Is a method for correcting misalignment between a TCP and the contact part in a TCP handling apparatus capable of sequentially attaching a plurality of TCPs to a test, and acquires information on misalignment between the TCP and the contact part. Based on the acquired positional deviation information, the positional deviation is corrected by rotating and / or moving the carrier tape pressed against the contact portion around its vertical axis in the plane direction. A misalignment correction method in the TCP handling device is provided (12).
According to the invention (12), the positional deviation between the TCP and the contact portion is reliably corrected by rotating and / or moving the carrier tape around the vertical axis based on the obtained positional deviation information. It becomes possible.
Eighth, the present invention conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, presses the carrier tape against a contact part electrically connected to a test head, and connects the external terminal of the TCP to the contact part. A method of correcting misalignment between a TCP and the contact unit in a TCP handling device capable of sequentially attaching a plurality of TCPs to a test by connecting to the TCP and the contact unit during actual operation of the TCP handling device The TCP handling apparatus is characterized in that the positional deviation is corrected by rotating the contact portion about its vertical axis based on the obtained positional deviation information. (13).
According to the above invention (13), the alignment of the TCP under test and the contact that are displaced around the vertical axis is tested by rotating the contact around the vertical axis during the actual operation of the TCP handling device. Since this can be done for each TCP, the occurrence of contact failure can be significantly reduced.
Ninth, the present invention conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, presses the carrier tape against a contact part electrically connected to a test head, and connects the external terminal of the TCP to the contact part. A method of correcting misalignment between a TCP and the contact unit in a TCP handling device capable of sequentially attaching a plurality of TCPs to a test by connecting to the TCP and the contact unit during actual operation of the TCP handling device The positional deviation is corrected by rotating and / or moving the contact portion around its vertical axis based on the acquired positional deviation information. A method for correcting misalignment in a TCP handling device is provided (14).
According to the invention (14), during the actual operation of the TCP handling device, the contact portion is rotated and / or moved in the plane direction around the vertical axis, thereby aligning the TCP under test with the contact portion. Since it can be performed reliably for each test TCP, the occurrence of contact failure can be significantly reduced.
Tenth aspect of the present invention conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, presses the carrier tape against a contact portion electrically connected to a test head, and connects an external terminal of the TCP to the contact portion. Is a method for correcting misalignment between a TCP and the contact part in a TCP handling apparatus capable of sequentially attaching a plurality of TCPs to a test, and acquires information on misalignment between the TCP and the contact part. When the acquired positional deviation amount is larger than a predetermined value or more than a predetermined value, the contact portion is rotated around its vertical axis, and the acquired positional deviation amount is less than a predetermined value or If it is less than a predetermined value, the carrier tape pressed against the contact portion is rotated around its vertical axis, Providing the positional deviation correcting process in the TCP handling apparatus characterized by correcting the location shift (15).
According to the above invention (15), it is possible to perform the alignment between the TCP and the contact portion which are shifted around the vertical axis, and reduce the occurrence of contact failure.
Here, due to the structure of the TCP handling device, the time for correcting the misalignment by moving the carrier tape is shorter than the time for correcting the misalignment by moving the contact portion having many cords connected to the tester body. It is usually possible. However, since the carrier tape is normally supported by a guide roller, a sprocket, etc., if the amount of movement of the carrier tape is large, stress is applied to the carrier tape, and TCP (particularly lead or test pad) on the carrier tape or the carrier tape itself ( In particular, there is a risk of damaging the hole where the sprocket claw is inserted or its periphery.
Therefore, according to the above invention (15), when the displacement amount is large, the contact portion is rotated around the vertical axis to prevent damage to the TCP and the carrier tape, and when the displacement amount is small, By rotating the carrier tape around the vertical axis, it is possible to shorten the misalignment correction time, and hence the index time.
Eleventh, the present invention conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, presses the carrier tape against a contact part electrically connected to the test head, and connects the external terminal of the TCP to the contact part. Is a method for correcting misalignment between a TCP and the contact part in a TCP handling apparatus capable of sequentially attaching a plurality of TCPs to a test, and acquires information on misalignment between the TCP and the contact part. When the obtained positional deviation amount is larger than a predetermined value or more than a predetermined value, the contact portion is rotated around its vertical axis and / or moved in the plane direction to obtain the obtained positional deviation amount. Is less than a predetermined value or less than a predetermined value, the carrier tape pressed against the contact portion is moved around its vertical axis. By moving the rotational movement and / or the planar direction, to provide a positional deviation correction method in the TCP handling apparatus characterized by correcting the positional deviation (16).
According to the invention (16), the contact portion or the carrier tape is rotationally moved around the vertical axis and / or moved in the plane direction, thereby aligning the TCP and the contact portion, thereby reducing the occurrence of contact failure. be able to. Further, according to the invention (16), when the amount of displacement is large, the contact portion is rotated and / or moved in the plane direction around the vertical axis to prevent damage to the TCP and the carrier tape. When the amount is small, the carrier tape can be rotationally moved around the vertical axis and / or moved in the plane direction to shorten the misalignment correction time, and hence the index time.

図１は、本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を示す正面図である。
図２は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニットの側面図である。
図３は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャステージの平面図である。
図４は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードステージの平面図である。
図５は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードステージの正面図である。
図６は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラの主動作を説明するフローチャートである。FIG. 1 is a front view showing a TCP test apparatus using a TCP handler according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view of the pusher unit in the TCP handler according to the embodiment.
FIG. 3 is a plan view of a pusher stage in the TCP handler according to the embodiment.
FIG. 4 is a plan view of the probe card stage in the TCP handler according to the embodiment.
FIG. 5 is a front view of the probe card stage in the TCP handler according to the embodiment.
FIG. 6 is a flowchart for explaining the main operation of the TCP handler according to the embodiment.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を図１に示す。
ＴＣＰ試験装置１は、図示しないテスタ本体と、テスタ本体に電気的に接続されたテストヘッド１０と、テストヘッド１０の上側に設けられたＴＣＰハンドラ２とから構成される。
ＴＣＰハンドラ２は、キャリアテープ５上に複数形成された各ＴＣＰを順次試験に付すものであり、本実施形態では、説明の簡略化のためにＴＣＰを１個ごと試験に付すものとする。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、キャリアテープ５上において直列方向および／または並列方向に並んだ複数のＴＣＰを同時に試験に付すようにしてもよい。
ＴＣＰハンドラ２は、巻出リール２１と巻取リール２２とを備えており、巻出リール２１には試験前のキャリアテープ５が巻き取られている。キャリアテープ５は、巻出リール２１から巻き出され、試験に付された後に巻取リール２２に巻き取られる。
巻出リール２１と巻取リール２２との間には、キャリアテープ５から剥離した保護テープ５１を巻出リール２１から巻取リール２２に架け渡す３個のスペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃが設けられている。各スペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃは、保護テープ５１の張力を調整することができるように、それぞれ上下可動となっている。
巻出リール２１の下側には、テープガイド２４ａ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃが設けられており、巻出リール２１から巻き出されたキャリアテープ５は、テープガイド２４ａによってガイドされつつ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃを経てプッシャユニット３に搬送される。
また、巻取リール２２の下側には、テープガイド２４ｂ、巻取リミットローラ２５ｆ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよびアウト側ガイドローラ２５ｄが設けられており、試験に付された後のキャリアテープ５は、アウト側ガイドローラ２５ｄ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよび巻取リミットローラ２５ｆを経て、テープガイド２４ｂによってガイドされつつ、巻取リール２２に巻き取られる。
イン側ガイドローラ２５ｃと、アウト側ガイドローラ２５ｄとの間には、プッシャユニット３が設けられており、プッシャユニット３の前段側（図１中左側）には第１カメラ６ａが、プッシャユニット３の下側（後述するプローブカードステージ７の内側）には第２カメラ６ｂが、プッシャユニット３の後段側（図１中右側）には第３カメラ６ｃが設けられている。また、プッシャユニット３と第３カメラ６ｃとの間には、マークパンチ２６ａおよびリジェクトパンチ２６ｂが設けられている。
マークパンチ２６ａは、試験の結果に基づいて、該当するＴＣＰにつき所定の位置に１個または複数個の孔を開けるものであり、リジェクトパンチ２６ｂは、試験の結果不良品であると判断されたＴＣＰを打ち抜くものである。
各カメラ６ａ，６ｂ，６ｃは、図示しない画像処理装置に接続されており、第１カメラ６ａおよび第３カメラ６ｃは、キャリアテープ５上におけるＴＣＰの有無やマークパンチ２６ａによる孔の位置や数を判断するためのものであり、第２カメラ６ｂは、キャリアテープ５上のＴＣＰとプローブとの位置ずれの情報を取得するためのものである。本実施形態における第２カメラ６ｂは、視野内の複数の対象についての位置ずれ情報を取得することができるようになっている。
第２カメラ６ｂは、カメラステージ６１上に搭載されており、カメラステージ６１が有するアクチュエータによって平面視縦横方向（Ｘ軸−Ｙ軸方向）および上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能となっている。
図１および図２に示すように、プッシャユニット３のフレーム（プッシャフレーム）３６には、ボールねじ３２を回転させることのできるサーボモータ３１がブラケット３６１を介して取り付けられているとともに、ボールねじ３２が螺合しているプッシャ本体部３３が２本のＺ軸方向のリニアモーションガイド（以下「ＬＭガイド」という。）３７を介して取り付けられている。このプッシャ本体部３３は、サーボモータ３１を駆動させることにより、リニアモーションガイド３７にガイドされながら上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能となっている。
このプッシャ本体部３３の下端部には、エアを吸引することによりキャリアテープ５を吸着保持することのできる吸着プレート３４が設けられている。
プッシャ本体部３３の前段側（図１中左側）には、テンションスプロケット３５ａが設けられており、プッシャ本体部３３の後段側（図１中右側）には、メインスプロケット３５ｂが設けられている。
図２および図３に示すように、プッシャフレーム３６におけるプッシャ本体部３３の背面側には、基台３８に載せられるようにしてプッシャステージ４が設置されており、プッシャステージ４の回転台であるトップテーブル４８はプッシャフレーム３６に固定されている。
プッシャステージ４のベース４０上には、Ｘ軸方向に軸を有するボールねじ４２ａを回転させるサーボモータ４１ａと、Ｙ軸方向に軸を有するボールねじ４２ｂを回転させるサーボモータ４１ｂと、Ｙ軸方向に軸を有するボールねじ４２ｃを回転させるサーボモータ４１ｃとが設けられており、サーボモータ４１ｂおよびサーボモータ４１ｃは、それぞれベース４０上の両端部に位置している。
ボールねじ４２ａには、Ｘ軸方向のＬＭガイド４３ａ，４３ａにガイドされてＸ軸方向に摺動可能な摺動ブロック４４ａが螺合している。摺動ブロック４４ａには、Ｙ軸方向のＬＭガイド４５ａを介して摺動板４６ａがＹ軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板４６ａの上側には、内部にローラリングを有する回転部材４７ａが固定されており、回転部材４７ａは、トップテーブル４８に回転自在に取り付けられている。
ボールねじ４２ｂには、Ｙ軸方向のＬＭガイド４３ｂ，４３ｂにガイドされてＹ軸方向に摺動可能な摺動ブロック４４ｂが螺合している。摺動ブロック４４ｂには、Ｘ軸方向のＬＭガイド４５ｂを介して摺動板４６ｂがＸ軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板４６ｂの上側には、内部にローラリングを有する回転部材４７ｂが固定されており、回転部材４７ｂは、トップテーブル４８に回転自在に取り付けられている。
ボールねじ４２ｃには、Ｙ軸方向のＬＭガイド４３ｃ，４３ｃにガイドされてＹ軸方向に摺動可能な摺動ブロック４４ｃが螺合している。摺動ブロック４４ｃには、Ｘ軸方向のＬＭガイド４５ｃを介して摺動板４６ｃがＸ軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板４６ｃの上側には、内部にローラリングを有する回転部材４７ｃが固定されており、回転部材４７ｃは、トップテーブル４８に回転自在に取り付けられている。
このような構成を有するプッシャステージ４においては、サーボモータ４１ａを駆動して、摺動ブロック４４ａ、摺動板４６ｂおよび摺動板４６ｃをＸ軸方向に摺動させることにより、トップテーブル４８をＸ軸方向に移動させることができる。また、サーボモータ４１ｂおよびサーボモータ４１ｃを駆動して、摺動ブロック４４ｂ、摺動ブロック４４ｃおよび摺動板４６ａをＹ軸同方向に摺動させることにより、トップテーブル４８をＹ軸方向に移動させることができる。さらには、サーボモータ４１ａを駆動して、摺動ブロック４４ａをＸ軸方向に摺動させるとともに、サーボモータ４１ｂおよびサーボモータ４１ｃを駆動して、摺動ブロック４４ｂおよび摺動ブロック４４ｃを互いにＹ軸反対方向に摺動させ、そして各回転部材４７ａ，４５ｂ，４５ｃを回転させることにより、トップテーブル４８をその垂直軸回りに回転させることができる。
このプッシャステージ４によれば、プッシャユニット３をＸ軸−Ｙ軸方向に移動させること、および垂直軸回りに回転移動させることができる。なお、本実施形態におけるプッシャステージ４は、その構造上Ｘ軸−Ｙ軸方向の移動および垂直軸回りの回転移動を同時に行うことができ、また、移動対象であるプッシャユニット３は比較的軽量であるため、短時間で位置ずれを補正することができるという特徴がある。
一方、図１に示すように、プッシャユニット３の下側であって、テストヘッド１０の上部には、プローブカード８を搭載したプローブカードステージ７が設置されている。
図４および図５に示すように、プローブカードステージ７の基台７１上には、Ｘ軸方向に軸を有するボールねじ７１２を回転させるサーボモータ７１１と、４つのＸ軸方向のＬＭガイド７１３とが設けられている。それら４つのＬＭガイド７１３上には、各ＬＭガイド７１３によりＸ軸方向に摺動可能にガイドされる矩形のＸベース７２が設けられている。このＸベース７２の一側部には、ボールねじ７１２が螺合している螺合部７２１が形成されている。
Ｘベース７２上には、Ｙ軸方向に軸を有するボールねじ７２３を回転させるサーボモータ７２２と、２本のＹ軸方向のＬＭガイド７２４とが設けられている。それら２本のＬＭガイド７２４上には、各ＬＭガイド７２４によりＹ軸方向に摺動可能にガイドされる矩形のＹベース７３が設けられている。このＹベース７３の一側部には、ボールねじ７２３が螺合している螺合部７３１が形成されている。
Ｙベース７３上には、Ｙ軸方向に軸を有するボールねじ７３３を回転させるサーボモータ７３２と、カードリング７３５を回転自在に支持する接続リング７３４とが設けられている。カードリング７３５の一部には、ボールねじ７３３が螺合している螺合部７３６が形成されている。複数のプローブ８１を備えたプローブカード８は、４本のピン８２によってカードリング７３５に着脱自在に取り付けられている。
なお、図４および図５には示さないが、プローブカード８の各プローブ８１は、テストヘッド１０を介してテスタ本体に電気的に接続されており、プローブカード８の下側であって、プローブカードステージ７の内側には第２カメラ６ｂが位置している。
このような構成を有するプローブカードステージ７においては、サーボモータ７１１を駆動することにより、Ｘベース７２、ひいてはプローブカード８をＸ軸方向に移動させることができ、サーボモータ７２２を駆動することにより、Ｙベース７３、ひいてはプローブカード８をＹ軸方向に移動させることができる。また、サーボモータ７３２を駆動してボールねじ７３３を回転させ、螺合部７３６を移動させることにより、カードリング７３５およびプローブカード８をその垂直軸回りに回転させることができる。
ここで、前述したプッシャステージ３は、構造的に短時間で位置ずれ補正を行うことができるが、平面方向に多数の部材を備えており、平面方向のサイズが大きくなってしまうものである。プローブカードステージ７は、平面方向のスペースが限られているため、プッシャステージ３と同じ構造とすることは困難であり、仮にプッシャステージ３と同様の構造にするためにサーボモータ７１１，７２２，７３２を小型化すると、サーボモータ７１１，７２２，７３３の駆動力が弱くなり、テスタ本体に繋がるコードを多数備えたプローブカード８を確実に移動させることができなくなってしまう。すなわち、本実施形態におけるプローブカードステージ７は、その構造上、Ｘ軸−Ｙ軸方向の移動と垂直軸回りの回転移動とを別々に行わなくてはならず、プッシャステージ３よりも位置ずれ補正に時間を要するが、狭いスペースで確実にプローブカード８を移動させることができるという特徴を有する。
次に、ＴＣＰハンドラ２の使用方法および動作について説明する。
ＴＣＰハンドラ２を使用する場合には、ＴＣＰハンドラ２を実稼動させる前に、あらかじめ初期設定を行う必要がある。すなわち、ＴＣＰの品種や、それに伴ってプローブカード８を変更した場合には、ＴＣＰの外部端子（以下「テストパッド」ということがある。）とプローブカード８のプローブ８１とがコンタクトするように、プッシャステージ４およびプローブカードステージ７の基準位置を決定し、登録する必要がある（この位置を「登録位置」という）。
例えば、マニュアル操作にて、複数箇所（例えば３箇所）のプローブ８１とそれに対応するテストパッドとを選択して粗位置を定め、次いで、第２カメラ６ｂおよび画像処理装置を利用して、それぞれのプローブ８１ができる限り各テストパッドの中央に位置するように、プッシャステージ４および／またはプローブカードステージ７を自動制御で移動させることにより、基準位置を決定し登録することができる。なお、所望により、上記粗位置の決定についても、マニュアル操作ではなく自動制御により行ってもよい。
このとき、第２カメラ６ｂの視野内における所定の対象の位置座標を併せて登録する。位置座標は複数箇所、特にカメラの視野内にて離れた対象について３箇所以上登録するのが好ましい。それにより、位置ずれ情報を高い精度で取得することが可能となる。所定の対象としては、例えば、キャリアテープ５におけるアライメントマーク、ＴＣＰの対角線上にある２つ以上のテストパッドまたは特徴のあるリード、それらに対応する２つ以上のプローブ８１先端部等を選択することができる。
ＴＣＰハンドラ２を実稼動させるときのＴＣＰハンドラ２の主動作を、図６のフローチャートを参照しながら説明する。
ＴＣＰハンドラ２が主動作を開始すると、プッシャステージ４およびプローブカードステージ７は登録位置に移動する（ステップＳ０１）。そして、巻出リール２１および巻取リール２２が所定角度回転することによりキャリアテープ５を移動させ、１個目のＴＣＰを吸着プレート３４の下側の所定位置まで搬送する（ステップＳ０２）。
ＴＣＰが吸着プレート３４の下側まで搬送されてきたら、プッシャユニット３のサーボモータ３１が駆動し、プッシャ本体部３３を介して吸着プレート３４をＺ軸下方向に移動させる。吸着プレート３４は、キャリアテープ５を吸着し、撮像位置まで下降する（ステップＳ０３）。なお、テンションスプロケット３５ａは、キャリアテープ５の走行方向と逆方向に回転することによりキャリアテープ５に所定のテンションをかけ、キャリアテープ５の位置精度を向上させる。
この状態で第２カメラ６ｂは撮像を行い（ステップＳ０４）、画像情報を画像処理装置に送信する。画像処理装置は、受信した画像情報から、あらかじめ登録された所定の対象の位置座標と、実際に撮像した対象の位置座標との位置ずれの情報（位置ずれの方向（Ｘ・Ｙ・θ）および位置ずれの量）を取得する。例えば、アライメントマーク、２つ以上のテストパッドおよびそれらに対応する２つ以上のプローブ先端部の位置座標が登録されていれば、それら登録されている位置座標と、実際に撮像したアライメントマーク、２つ以上のテストパッドおよびそれらに対応する２つ以上のプローブ先端部の位置座標との位置ずれの情報を取得する。
画像処理装置は、取得した位置ずれ情報に基づいて、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向および垂直軸回りの位置ずれ量を演算する（ステップＳ０５）。
なお、複数のＴＣＰを同時に試験する場合には、各ＴＣＰについての位置ずれ量の平均値を出すものとする。
演算の結果、位置ずれ補正の必要がないと判断された場合（ステップＳ０６−Ｎｏ）には、後述するステップＳ１０にスキップする。
演算の結果、位置ずれ補正の必要があると判断された場合（ステップＳ０６−Ｙｅｓ）には、位置ずれ量が所定の値Ｔ以上であるか否かを判断する（ステップＳ０７）。この場合における「位置ずれ量」は、垂直軸回りの位置ずれ量だけを対象としてもよいし、垂直軸回りの位置ずれ量およびＹ軸方向の位置ずれ量を対象としてもよいし、垂直軸回りの位置ずれ量、Ｙ軸方向の位置ずれ量およびＸ軸方向の位置ずれ量を対象としてもよい。位置ずれ量の要素が複数ある場合には、それらを適宜組み合わせて判断すればよい。
位置ずれ量が所定の値Ｔ以上である場合（ステップＳ０７−Ｙｅｓ）には、プローブカードステージ７のサーボモータ７１１，７２２，７３２が駆動してＸベース７２、Ｙベース７３またはカードリング７３５を動かし、プローブカード８をＸ軸−Ｙ軸方向に移動および／または垂直軸回りに回転移動させることにより位置ずれを補正する（ステップＳ０８）。
それに対し、位置ずれ量が所定の値Ｔ未満である場合（ステップＳ０７−Ｎｏ）には、プッシャステージ４のサーボモータ４１ａ，４１ｂ，４１ｃが駆動してトップテーブル４８、ひいてはプッシャユニット３を動かし、吸着プレート３４で吸着しているキャリアテープ５をＸ軸−Ｙ軸方向に移動および／または垂直軸回りに回転移動させることにより位置ずれを補正する（ステップＳ０９）。
位置ずれ量が大きい場合に、プッシャステージ４によりキャリアテープ５を移動させると、イン側ガイドローラ２５ｃ、テンションスプロケット３５ａ、メインスプロケット３５ｂおよびアウト側ガイドローラ２５ｄによって支持されているキャリアテープ５に応力がかかり、キャリアテープ５上のＴＣＰ、特にリードまたはテストパッドや、キャリアテープ自体、特にテンションスプロケット３５ａおよびメインスプロケット３５ｂの爪が入る穴部またはその周辺部を損傷してしまうおそれがある。このような問題は、特にキャリアテープ５を垂直軸回りに回転移動させた場合に発生し易く、またキャリアテープ５をＹ軸方向に移動させた場合にも発生することがある。
本実施形態では、位置ずれ量が大きい場合（Ｔ以上の場合）には、プローブカードステージ７によりプローブカード８を移動させて位置ずれ補正を行うため、上記のような問題がない。Ｔの値は、ＴＣＰのサイズ（特にＸ軸方向のパーフォレーションサイズやテストパッドサイズ）等によって異なってくるが、上記のようにＴＣＰやキャリアテープ５の損傷リスクを考慮して適宜設定すればよい。通常、垂直軸回りの位置ずれ量（度）としてのＴの値は０．１（度）以内となる。
一方、位置ずれ量が小さい場合（Ｔ未満の場合）には、位置ずれ補正に要する時間が短いプッシャステージ４によりキャリアテープ５を移動させることによって、インデックスタイム（テストエンドからテストスタートまでの時間）を短縮することができる。
ステップＳ０８またはステップＳ０９により位置ずれ補正が行われたら、プッシャユニット３のサーボモータ３１が駆動し、プッシャ本体部３３を介して吸着プレート３４をさらにＺ軸下方向に移動させる。キャリアテープ５を吸着した吸着プレート３４は、コンタクト位置まで下降し、ＴＣＰをプローブカード８のプローブ８１に対して押圧する（ステップＳ１０）。
ＴＣＰのテストパッドがプローブ８１にコンタクトしたら、ＴＣＰにはテスタ本体からテストヘッド１０を通じてテスト信号が印加され、ＴＣＰから読み出された応答信号は、テストヘッド１０を通じてテスタ本体に送られる。これによりＴＣＰの性能や機能等が試験され、その試験結果に基づいてマークパンチ２６ａまたはリジェクトパンチ２６ｂが駆動することとなる。
ＴＣＰハンドラ２は、試験を行ったＴＣＰが最後のデバイスであるか否かを判断し（ステップＳ１１）、最後のデバイスであると判断した場合には（ステップＳ１１−Ｙｅｓ）、主動作を終了する。一方、最後のデバイスでないと判断した場合には（ステップＳ１１−Ｎｏ）、プッシャユニット３のサーボモータ３１が駆動し、プッシャ本体部３３を介して吸着プレート３４をＺ軸上方向に移動させるとともに、プッシャステージ４およびプローブカードステージ７が登録位置に移動する（ステップＳ１２）。そして、吸着プレート３４は、キャリアテープ５の吸着を停止してキャリアテープ５を解放するとともに、さらにＺ軸上方向に移動する（ステップＳ１３）。その後はステップＳ０２に戻る。
本実施形態に係るＴＣＰハンドラ２によれば、プッシャステージ４および／またはプローブカードステージ７によって、ＴＣＰハンドラ２の実稼動中に、キャリアテープ５および／またはプローブカード８をＸ軸−Ｙ軸方向のみならず、垂直軸回りに移動させて位置ずれ補正を行うことができるため、ＴＣＰとプローブ８１との位置合わせを確実に行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。また、プッシャステージ４およびプローブカードステージ７を使い分けることにより、ＴＣＰやキャリアテープを損傷することなく、インデックスタイムを可能な限り短縮することができる。
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
例えば、プッシャステージ４およびプローブカードステージ７の構造は特に限定されるものではなく、両者の構造が入れ替わってもよいし、両者とも同様の構造とされてもよい。
また、上記ＴＣＰハンドラ２においては、プローブカードステージ７が省略され、プッシャステージ４のみによって位置ずれ補正を行ってもよい。この場合であっても、プッシャステージ４によりキャリアテープ５を垂直回りに回転移動させることができるため、Ｘ軸−Ｙ軸方向のみの２軸制御と比較して、ＴＣＰとプローブ８１との位置合わせを正確に行うことが可能である。
さらに、上記ＴＣＰハンドラ２においては、プッシャステージ４が省略され、プローブカードステージ７のみによって位置ずれ補正を行ってもよい。この場合であっても、プローブカードステージ７により、ＴＣＰハンドラ２の実稼動中にプローブカード８をＸ軸−Ｙ軸方向に移動および垂直軸回りに回転移動させることができるため、ＴＣＰとプローブ８１とのコンタクト不良の発生を低減させることが可能である。
さらに、上記ＴＣＰハンドラ２のプローブカードステージ７においては、垂直軸回りの回転移動機構のみを、第２カメラ６ｂおよび画像処理装置を使用した自動制御にし、Ｘ軸−Ｙ軸方向の移動機構は、第２カメラ６ｂで撮像した画像を見ながらのマニュアル操作式にしてもよい。またこの場合において、プッシャステージ３は、垂直軸回りの回転移動機構が省略され、Ｘ軸−Ｙ軸方向の移動機構のみが自動制御されるようにしてもよい。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
A TCP test apparatus using a TCP handler according to an embodiment of the present invention is shown in FIG.
The TCP test apparatus 1 includes a tester main body (not shown), a test head 10 electrically connected to the tester main body, and a TCP handler 2 provided on the upper side of the test head 10.
The TCP handler 2 sequentially attaches a plurality of TCPs formed on the carrier tape 5 to the test. In the present embodiment, the TCP handler 2 is assumed to be attached to the test for simplification of explanation. However, the present invention is not limited to this, and a plurality of TCPs arranged in the series direction and / or the parallel direction on the carrier tape 5 may be subjected to the test simultaneously.
The TCP handler 2 includes an unwinding reel 21 and a take-up reel 22, and a carrier tape 5 before the test is wound on the unwinding reel 21. The carrier tape 5 is unwound from the unwinding reel 21 and is wound around the winding reel 22 after being subjected to the test.
Between the unwinding reel 21 and the take-up reel 22, three spacer rolls 23 a, 23 b, and 23 c are provided that bridge the protective tape 51 peeled from the carrier tape 5 from the unwinding reel 21 to the take-up reel 22. ing. Each spacer roll 23a, 23b, 23c is vertically movable so that the tension of the protective tape 51 can be adjusted.
A tape guide 24a, an unwinding limit roller 25a, an in-side sub sprocket 25b, and an in-side guide roller 25c are provided below the unwinding reel 21, and the carrier tape 5 unwound from the unwinding reel 21 is While being guided by the tape guide 24a, it is conveyed to the pusher unit 3 through the unwinding limit roller 25a, the in-side sub sprocket 25b, and the in-side guide roller 25c.
A tape guide 24b, a take-up limit roller 25f, an out-side sub-sprocket 25e, and an out-side guide roller 25d are provided below the take-up reel 22, and the carrier tape 5 after being subjected to the test is After being guided by the tape guide 24b through the out-side guide roller 25d, the out-side sub-sprocket 25e, and the take-up limit roller 25f, the take-up reel 22 is wound.
A pusher unit 3 is provided between the in-side guide roller 25c and the out-side guide roller 25d, and the first camera 6a is connected to the pusher unit 3 on the front side (left side in FIG. 1) of the pusher unit 3. A second camera 6b is provided on the lower side (inside a probe card stage 7 to be described later), and a third camera 6c is provided on the rear stage side (right side in FIG. 1) of the pusher unit 3. A mark punch 26a and a reject punch 26b are provided between the pusher unit 3 and the third camera 6c.
The mark punch 26a is one in which one or a plurality of holes are formed at a predetermined position for the corresponding TCP based on the test result, and the reject punch 26b is a TCP that is determined to be a defective product as a result of the test. It is something that punches out.
Each camera 6a, 6b, 6c is connected to an image processing device (not shown), and the first camera 6a and the third camera 6c determine the presence or absence of TCP on the carrier tape 5 and the position and number of holes by the mark punch 26a. The second camera 6b is for obtaining information on positional deviation between the TCP on the carrier tape 5 and the probe. The second camera 6b in the present embodiment can acquire positional deviation information for a plurality of objects in the field of view.
The second camera 6b is mounted on the camera stage 61, and can be moved in the vertical and horizontal directions (X-axis / Y-axis direction) and in the vertical direction (Z-axis direction) in plan view by an actuator of the camera stage 61. .
As shown in FIGS. 1 and 2, a servo motor 31 capable of rotating a ball screw 32 is attached to a frame (pusher frame) 36 of the pusher unit 3 via a bracket 361, and the ball screw 32. The pusher main body 33 is engaged with two linear motion guides (hereinafter referred to as “LM guides”) 37 in the Z-axis direction. The pusher body 33 is movable in the vertical direction (Z-axis direction) while being guided by the linear motion guide 37 by driving the servo motor 31.
A suction plate 34 is provided at the lower end of the pusher body 33 to suck and hold the carrier tape 5 by sucking air.
A tension sprocket 35a is provided on the front side (left side in FIG. 1) of the pusher main body 33, and a main sprocket 35b is provided on the rear side (right side in FIG. 1) of the pusher main body 33.
As shown in FIGS. 2 and 3, the pusher stage 4 is installed on the back side of the pusher body 33 in the pusher frame 36 so as to be placed on the base 38, and is a turntable for the pusher stage 4. The top table 48 is fixed to the pusher frame 36.
On the base 40 of the pusher stage 4, a servo motor 41a for rotating a ball screw 42a having an axis in the X-axis direction, a servo motor 41b for rotating a ball screw 42b having an axis in the Y-axis direction, and a Y-axis direction A servo motor 41c that rotates a ball screw 42c having a shaft is provided, and the servo motor 41b and the servo motor 41c are located at both ends on the base 40, respectively.
A sliding block 44a that is guided by LM guides 43a and 43a in the X-axis direction and that can slide in the X-axis direction is screwed into the ball screw 42a. A sliding plate 46a is attached to the sliding block 44a via a Y-axis LM guide 45a so as to be slidable in the Y-axis direction. A rotating member 47a having a roller ring inside is fixed to the upper side of the sliding plate 46a, and the rotating member 47a is rotatably attached to the top table 48.
A sliding block 44b that is guided by LM guides 43b and 43b in the Y-axis direction and is slidable in the Y-axis direction is screwed into the ball screw 42b. A sliding plate 46b is attached to the sliding block 44b so as to be slidable in the X-axis direction via an LM guide 45b in the X-axis direction. A rotating member 47b having a roller ring inside is fixed on the upper side of the sliding plate 46b, and the rotating member 47b is rotatably attached to the top table 48.
A sliding block 44c that is guided by LM guides 43c, 43c in the Y-axis direction and that can slide in the Y-axis direction is screwed into the ball screw 42c. A sliding plate 46c is attached to the sliding block 44c so as to be slidable in the X-axis direction via an LM guide 45c in the X-axis direction. A rotating member 47c having a roller ring inside is fixed on the upper side of the sliding plate 46c, and the rotating member 47c is rotatably attached to the top table 48.
In the pusher stage 4 having such a configuration, the servo motor 41a is driven to slide the sliding block 44a, the sliding plate 46b, and the sliding plate 46c in the X-axis direction, so that the top table 48 is moved to the X direction. It can be moved in the axial direction. In addition, the top table 48 is moved in the Y-axis direction by driving the servo motor 41b and the servo motor 41c to slide the sliding block 44b, the sliding block 44c, and the sliding plate 46a in the same Y-axis direction. be able to. Furthermore, the servo motor 41a is driven to slide the sliding block 44a in the X-axis direction, and the servo motor 41b and the servo motor 41c are driven so that the sliding block 44b and the sliding block 44c are mutually connected to the Y axis. The top table 48 can be rotated about its vertical axis by sliding in the opposite direction and rotating each rotating member 47a, 45b, 45c.
According to the pusher stage 4, the pusher unit 3 can be moved in the X-axis-Y-axis directions and rotated around the vertical axis. Note that the pusher stage 4 in the present embodiment can move in the X-axis and Y-axis directions and rotate around the vertical axis simultaneously due to its structure, and the pusher unit 3 to be moved is relatively lightweight. Therefore, there is a feature that the positional deviation can be corrected in a short time.
On the other hand, as shown in FIG. 1, a probe card stage 7 on which a probe card 8 is mounted is installed below the pusher unit 3 and above the test head 10.
4 and 5, on the base 71 of the probe card stage 7, a servo motor 711 that rotates a ball screw 712 having an axis in the X-axis direction, and four LM guides 713 in the X-axis direction, Is provided. On these four LM guides 713, rectangular X bases 72 are provided that are guided by the LM guides 713 so as to be slidable in the X-axis direction. A threaded portion 721 into which a ball screw 712 is threaded is formed on one side of the X base 72.
On the X base 72, a servo motor 722 for rotating a ball screw 723 having an axis in the Y-axis direction and two LM guides 724 in the Y-axis direction are provided. On these two LM guides 724, a rectangular Y base 73 is provided that is slidably guided in the Y-axis direction by the LM guides 724. A threaded portion 731 into which a ball screw 723 is threaded is formed on one side of the Y base 73.
On the Y base 73, a servo motor 732 that rotates a ball screw 733 having an axis in the Y-axis direction and a connection ring 734 that rotatably supports the card ring 735 are provided. A part of the card ring 735 is formed with a threaded portion 736 into which the ball screw 733 is threaded. The probe card 8 having a plurality of probes 81 is detachably attached to the card ring 735 by four pins 82.
Although not shown in FIGS. 4 and 5, each probe 81 of the probe card 8 is electrically connected to the tester body via the test head 10, and is located below the probe card 8. A second camera 6b is located inside the card stage 7.
In the probe card stage 7 having such a configuration, by driving the servo motor 711, the X base 72, and hence the probe card 8, can be moved in the X-axis direction, and by driving the servo motor 722, The Y base 73 and thus the probe card 8 can be moved in the Y-axis direction. Further, by driving the servo motor 732 to rotate the ball screw 733 and moving the screwing portion 736, the card ring 735 and the probe card 8 can be rotated around the vertical axis.
Here, the pusher stage 3 described above can structurally correct the positional deviation in a short time, but has a large number of members in the plane direction, and the size in the plane direction becomes large. Since the probe card stage 7 has a limited space in the plane direction, it is difficult to have the same structure as the pusher stage 3, and the servo motors 711, 722, and 732 are assumed to have the same structure as the pusher stage 3. If the size is reduced, the driving force of the servo motors 711, 722, 733 becomes weak, and the probe card 8 having a large number of cords connected to the tester body cannot be moved reliably. That is, the probe card stage 7 according to the present embodiment must be moved separately in the X-axis and Y-axis directions and in the rotational movement around the vertical axis because of its structure. However, the probe card 8 can be reliably moved in a narrow space.
Next, the usage method and operation of the TCP handler 2 will be described.
When the TCP handler 2 is used, it is necessary to make initial settings before the TCP handler 2 is actually operated. That is, when the TCP type or the probe card 8 is changed accordingly, the TCP external terminal (hereinafter also referred to as “test pad”) and the probe 81 of the probe card 8 are in contact with each other. It is necessary to determine and register the reference positions of the pusher stage 4 and the probe card stage 7 (this position is referred to as “registered position”).
For example, by manual operation, a plurality of (for example, three) probes 81 and corresponding test pads are selected to determine a rough position, and then each of the probes is selected using the second camera 6b and the image processing apparatus. The reference position can be determined and registered by moving the pusher stage 4 and / or the probe card stage 7 by automatic control so that the probe 81 is located in the center of each test pad as much as possible. If desired, the rough position may be determined by automatic control instead of manual operation.
At this time, the position coordinates of a predetermined target in the field of view of the second camera 6b are also registered. It is preferable to register the position coordinates at a plurality of positions, particularly at three or more positions with respect to an object separated within the field of view of the camera. As a result, it is possible to acquire positional deviation information with high accuracy. As the predetermined target, for example, an alignment mark on the carrier tape 5, two or more test pads or characteristic leads on the diagonal line of TCP, and two or more probe 81 tips corresponding to them are selected. Can do.
The main operation of the TCP handler 2 when the TCP handler 2 is actually operated will be described with reference to the flowchart of FIG.
When the TCP handler 2 starts the main operation, the pusher stage 4 and the probe card stage 7 move to the registration position (step S01). Then, the take-up reel 21 and the take-up reel 22 rotate by a predetermined angle to move the carrier tape 5 and convey the first TCP to a predetermined position below the suction plate 34 (step S02).
When the TCP is conveyed to the lower side of the suction plate 34, the servo motor 31 of the pusher unit 3 is driven to move the suction plate 34 downward through the pusher main body 33. The suction plate 34 sucks the carrier tape 5 and descends to the imaging position (step S03). The tension sprocket 35a applies a predetermined tension to the carrier tape 5 by rotating in the direction opposite to the traveling direction of the carrier tape 5 and improves the positional accuracy of the carrier tape 5.
In this state, the second camera 6b performs imaging (step S04), and transmits image information to the image processing apparatus. From the received image information, the image processing apparatus obtains information on the position shift between the position coordinates of a predetermined target registered in advance and the position coordinates of the target actually captured (the direction of the position shift (X, Y, θ) and Get the amount of displacement. For example, if position coordinates of two or more test pads and two or more probe tip portions corresponding to them are registered, the registered position coordinates and the alignment mark actually captured, 2 Information on a positional deviation from the position coordinates of two or more test pads and two or more probe tip portions corresponding to them is acquired.
The image processing apparatus calculates a positional shift amount about the X-axis direction, the Y-axis direction, and the vertical axis based on the acquired positional shift information (step S05).
When a plurality of TCPs are tested at the same time, an average value of misalignment amounts for each TCP is taken out.
As a result of the calculation, when it is determined that there is no need to correct misalignment (step S06-No), the process skips to step S10 described later.
As a result of the calculation, if it is determined that the positional deviation correction is necessary (step S06-Yes), it is determined whether the positional deviation amount is equal to or greater than a predetermined value T (step S07). In this case, the “positional deviation amount” may include only the positional deviation amount about the vertical axis, may be the positional deviation amount about the vertical axis and the positional deviation amount in the Y-axis direction, or may be about the vertical axis. The amount of misalignment, the amount of misalignment in the Y-axis direction, and the amount of misalignment in the X-axis direction may be targeted. In the case where there are a plurality of elements of the amount of misalignment, it may be determined by combining them appropriately.
When the amount of displacement is equal to or greater than the predetermined value T (step S07-Yes), the servo motors 711, 722, 732 of the probe card stage 7 are driven to move the X base 72, Y base 73 or card ring 735. Then, the positional deviation is corrected by moving the probe card 8 in the X axis-Y axis direction and / or rotating around the vertical axis (step S08).
On the other hand, when the amount of positional deviation is less than the predetermined value T (step S07-No), the servo motors 41a, 41b, 41c of the pusher stage 4 are driven to move the top table 48 and eventually the pusher unit 3, The positional deviation is corrected by moving the carrier tape 5 sucked by the suction plate 34 in the X-axis and Y-axis directions and / or rotating around the vertical axis (step S09).
If the carrier tape 5 is moved by the pusher stage 4 when the displacement is large, stress is applied to the carrier tape 5 supported by the in-side guide roller 25c, the tension sprocket 35a, the main sprocket 35b, and the out-side guide roller 25d. As a result, the TCP on the carrier tape 5, particularly the lead or test pad, and the carrier tape itself, particularly the hole portion where the claws of the tension sprocket 35a and the main sprocket 35b are inserted or the peripheral portion thereof may be damaged. Such a problem is likely to occur particularly when the carrier tape 5 is rotated around the vertical axis, and may also occur when the carrier tape 5 is moved in the Y-axis direction.
In this embodiment, when the amount of misalignment is large (when it is T or more), the probe card 8 is moved by the probe card stage 7 to perform misalignment correction. The value of T varies depending on the size of TCP (particularly the perforation size and test pad size in the X-axis direction), but may be set as appropriate in consideration of the risk of damage to TCP and carrier tape 5 as described above. Usually, the value of T as a positional deviation amount (degree) around the vertical axis is within 0.1 (degree).
On the other hand, when the amount of misalignment is small (less than T), the index time (time from the test end to the test start) is determined by moving the carrier tape 5 by the pusher stage 4 that requires a short time for misalignment correction. Can be shortened.
When the positional deviation correction is performed in step S08 or step S09, the servo motor 31 of the pusher unit 3 is driven, and the suction plate 34 is further moved downward in the Z axis via the pusher body 33. The suction plate 34 that has sucked the carrier tape 5 descends to the contact position and presses the TCP against the probe 81 of the probe card 8 (step S10).
When the TCP test pad contacts the probe 81, a test signal is applied to the TCP from the tester body through the test head 10, and a response signal read from the TCP is sent to the tester body through the test head 10. As a result, the performance, function, and the like of the TCP are tested, and the mark punch 26a or the reject punch 26b is driven based on the test result.
The TCP handler 2 determines whether or not the tested TCP is the last device (step S11). If it is determined that the TCP is the last device (step S11-Yes), the main operation is terminated. . On the other hand, if it is determined that the device is not the last device (step S11-No), the servo motor 31 of the pusher unit 3 is driven to move the suction plate 34 in the Z-axis upward direction via the pusher body 33, The pusher stage 4 and the probe card stage 7 move to the registration position (step S12). Then, the suction plate 34 stops the suction of the carrier tape 5 to release the carrier tape 5, and further moves in the Z-axis upward direction (step S13). Thereafter, the process returns to step S02.
According to the TCP handler 2 according to this embodiment, the pusher stage 4 and / or the probe card stage 7 allows the carrier tape 5 and / or the probe card 8 to be moved only in the X-axis-Y-axis direction during the actual operation of the TCP handler 2. In addition, since the displacement can be corrected by moving around the vertical axis, it is possible to reliably align the TCP and the probe 81 and reduce the occurrence of contact failure. Further, by properly using the pusher stage 4 and the probe card stage 7, the index time can be shortened as much as possible without damaging the TCP and the carrier tape.
The embodiment described above is described for facilitating understanding of the present invention, and is not described for limiting the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present invention.
For example, the structures of the pusher stage 4 and the probe card stage 7 are not particularly limited, and the structures of both may be interchanged, or both may have the same structure.
In the TCP handler 2, the probe card stage 7 may be omitted, and the positional deviation correction may be performed only by the pusher stage 4. Even in this case, the carrier tape 5 can be rotated in the vertical direction by the pusher stage 4, so that the alignment of the TCP and the probe 81 is compared with the two-axis control only in the X-axis-Y-axis direction. Can be performed accurately.
Further, in the TCP handler 2, the pusher stage 4 may be omitted, and the positional deviation correction may be performed only by the probe card stage 7. Even in this case, the probe card stage 7 can move the probe card 8 in the X-axis and Y-axis directions and rotate around the vertical axis during the actual operation of the TCP handler 2. It is possible to reduce the occurrence of contact failure.
Further, in the probe card stage 7 of the TCP handler 2, only the rotational movement mechanism around the vertical axis is automatically controlled using the second camera 6b and the image processing apparatus, and the movement mechanism in the X axis-Y axis direction is A manual operation type may be used while viewing an image captured by the second camera 6b. In this case, the pusher stage 3 may be configured such that the rotational movement mechanism around the vertical axis is omitted and only the movement mechanism in the X-axis-Y-axis direction is automatically controlled.

産業上の利用の可能性Industrial applicability

以上説明したように、本発明に係るＴＣＰハンドリング装置または位置ずれ補正方法によれば、ＴＣＰとコンタクト部との位置合わせを正確に行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。すなわち、本発明に係るＴＣＰハンドリング装置および位置ずれ補正方法は、正確・確実に効率良くＴＣＰの試験を行うのに有用である。  As described above, according to the TCP handling device or the positional deviation correction method according to the present invention, it is possible to accurately align the TCP and the contact portion and reduce the occurrence of contact failure. That is, the TCP handling device and the misalignment correction method according to the present invention are useful for accurately and reliably performing TCP tests efficiently.

Claims (16)

テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、
前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その垂直軸回りに回転移動させることのできるテープ垂直軸回転装置を備えたことを特徴とするＴＣＰハンドリング装置。By transporting a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape against a contact part electrically connected to the test head, and connecting an external terminal of the TCP to the contact part, a plurality of A TCP handling device capable of sequentially attaching the TCPs to the test,
A TCP handling device comprising a tape vertical axis rotating device capable of rotating and moving a carrier tape pressed by the contact portion around its vertical axis. 前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その平面方向に移動させることのできるテープ平面移動装置をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。The TCP handling device according to claim 1, further comprising a tape plane moving device capable of moving a carrier tape pressed against the contact portion in a plane direction thereof. 前記テープ垂直軸回転装置および／または前記テープ平面移動装置は、キャリアテープを前記コンタクト部に押圧する押圧装置とともに、キャリアテープを垂直軸回りに回転移動および／または平面方向に移動させることを特徴とする請求項２に記載のＴＣＰハンドリング装置。The tape vertical axis rotating device and / or the tape plane moving device is characterized in that the carrier tape is rotated around the vertical axis and / or moved in the plane direction together with a pressing device that presses the carrier tape against the contact portion. The TCP handling device according to claim 2. 前記ＴＣＰハンドリング装置は、ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得することのできる位置ずれ情報取得装置をさらに備えており、
前記位置ずれ情報取得装置によって取得した位置ずれ情報に基づいて、前記テープ垂直軸回転装置および／または前記テープ平面移動装置を駆動し、前記位置ずれを自動補正することを特徴とする請求項２または３に記載のＴＣＰハンドリング装置。The TCP handling device further includes a misalignment information acquisition device capable of acquiring misalignment information between the TCP and the contact part,
3. The position deviation information is automatically corrected based on the position deviation information acquired by the position deviation information acquisition device by driving the tape vertical axis rotation device and / or the tape plane moving device. 3. The TCP handling device according to 3. テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、
ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得することのできる位置ずれ情報取得装置と、
前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動させることのできるコンタクト部垂直軸回転装置とを備えており、
実稼動中に、前記位置ずれ情報取得装置によって取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部垂直軸回転装置を駆動して前記コンタクト部を垂直軸回りに回転移動させ、前記位置ずれを自動補正することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置。By transporting a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape against a contact part electrically connected to the test head, and connecting an external terminal of the TCP to the contact part, a plurality of A TCP handling device capable of sequentially attaching the TCPs to the test,
A positional deviation information acquisition device capable of acquiring information on positional deviation between the TCP and the contact part;
A contact part vertical axis rotating device capable of rotating the contact part around its vertical axis;
During actual operation, based on the positional deviation information acquired by the positional deviation information acquisition device, the contact part vertical axis rotation device is driven to rotate the contact part about the vertical axis, and the positional deviation is automatically corrected. A TCP handling device characterized in that: 前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記コンタクト部を、その平面方向に移動させることのできるコンタクト部平面移動装置をさらに備えており、
実稼動中に、前記位置ずれ情報取得装置によって取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部垂直軸回転装置および／または前記コンタクト部平面移動装置を駆動して前記コンタクト部を垂直軸回りに回転移動および／または平面方向に移動させ、前記位置ずれを自動補正することを特徴とする請求項５に記載のＴＣＰハンドリング装置。The TCP handling device further includes a contact part plane moving device capable of moving the contact part in the plane direction thereof,
During actual operation, based on the positional deviation information acquired by the positional deviation information acquisition device, the contact portion vertical axis rotation device and / or the contact portion plane moving device is driven to rotate the contact portion about the vertical axis. 6. The TCP handling apparatus according to claim 5, wherein the positional deviation is automatically corrected by moving and / or moving in a plane direction. テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、
ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得することのできる位置ずれ情報取得装置と、
前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その垂直軸回りに回転移動させることのできるテープ垂直軸回転装置と、
前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動させることのできるコンタクト部垂直軸回転装置とを備えており、
前記位置ずれ情報取得装置によって取得した位置ずれ量が所定の値より大きい場合または所定の値以上の場合には、前記コンタクト部垂直軸回転装置を駆動して前記コンタクト部を垂直軸回りに回転移動させ、前記位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定の値未満の場合には、前記テープ垂直軸回転装置を駆動して前記キャリアテープを垂直軸回りに回転移動させることにより、前記位置ずれを自動補正することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置。By transporting a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape against a contact part electrically connected to the test head, and connecting an external terminal of the TCP to the contact part, a plurality of A TCP handling device capable of sequentially attaching the TCPs to the test,
A positional deviation information acquisition device capable of acquiring information on positional deviation between the TCP and the contact part;
A tape vertical axis rotating device capable of rotating the carrier tape pressed against the contact part around its vertical axis;
A contact part vertical axis rotating device capable of rotating the contact part around its vertical axis;
When the displacement amount acquired by the displacement information acquisition device is larger than a predetermined value or more than a predetermined value, the contact portion vertical axis rotating device is driven to rotate the contact portion around the vertical axis. When the amount of misalignment is less than or equal to a predetermined value or less than a predetermined value, the misalignment is caused by driving the tape vertical axis rotating device to rotate the carrier tape around the vertical axis. Is a TCP handling device that automatically corrects. 前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その平面方向に移動させることのできるテープ平面移動装置と、前記コンタクト部を、その平面方向に移動させることのできるコンタクト部平面移動装置とをさらに備えており、
前記位置ずれ情報取得装置によって取得した位置ずれ量が所定の値より大きい場合または所定の値以上の場合には、前記コンタクト部垂直軸回転装置および／または前記コンタクト部平面移動装置を駆動して前記コンタクト部を垂直軸回りに回転移動および／または平面方向に移動させ、前記位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定の値未満の場合には、前記テープ垂直軸回転装置および／または前記テープ平面移動装置を駆動して前記キャリアテープを垂直軸回りに回転移動および／または平面方向に移動させることにより、前記位置ずれを自動補正することを特徴とする請求項７に記載のＴＣＰハンドリング装置。The TCP handling device includes a tape plane moving device capable of moving the carrier tape pressed against the contact portion in the plane direction, and a contact portion plane movement capable of moving the contact portion in the plane direction. And further comprising a device,
When the displacement amount acquired by the displacement information acquisition device is larger than a predetermined value or greater than a predetermined value, the contact portion vertical axis rotation device and / or the contact portion plane moving device is driven to When the contact portion is rotationally moved around the vertical axis and / or moved in the plane direction, and the amount of displacement is less than a predetermined value or less than a predetermined value, the tape vertical axis rotating device and / or the tape 8. The TCP handling device according to claim 7, wherein the positional deviation is automatically corrected by driving a plane moving device to rotate and / or move the carrier tape around a vertical axis. テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置におけるＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、
前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その垂直軸回りに回転移動させることにより、ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれを補正することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置における位置ずれ補正方法。By transporting a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape against a contact part electrically connected to the test head, and connecting an external terminal of the TCP to the contact part, a plurality of In the TCP handling apparatus capable of sequentially applying the TCPs of the TCP, a method for correcting misalignment between the TCP and the contact part,
A misalignment correction method in a TCP handling device, wherein a misalignment between the TCP and the contact portion is corrected by rotating and moving a carrier tape pressed against the contact portion around a vertical axis thereof. テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置におけるＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、
前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その垂直軸回りに回転移動および／またはその平面方向に移動させることにより、ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれを補正することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置における位置ずれ補正方法。By transporting a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape against a contact part electrically connected to the test head, and connecting an external terminal of the TCP to the contact part, a plurality of In the TCP handling apparatus capable of sequentially applying the TCPs of the TCP, a method for correcting misalignment between the TCP and the contact part,
A TCP handling device that corrects a positional deviation between the TCP and the contact portion by rotating and / or moving the carrier tape pressed by the contact portion about a vertical axis thereof in a plane direction. Misalignment correction method. テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置におけるＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、
ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、前記取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その垂直軸回りに回転移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置における位置ずれ補正方法。By transporting a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape against a contact part electrically connected to the test head, and connecting an external terminal of the TCP to the contact part, a plurality of In the TCP handling apparatus capable of sequentially applying the TCPs of the TCP, a method for correcting misalignment between the TCP and the contact part,
By acquiring information on misalignment between the TCP and the contact portion, and rotating the carrier tape pressed against the contact portion around its vertical axis based on the obtained misalignment information, the misalignment is achieved. A method for correcting misalignment in a TCP handling device, wherein: テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置におけるＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、
ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、前記取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その垂直軸回りに回転移動および／またはその平面方向に移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置における位置ずれ補正方法。By transporting a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape against a contact part electrically connected to the test head, and connecting an external terminal of the TCP to the contact part, a plurality of In the TCP handling apparatus capable of sequentially applying the TCPs of the TCP, a method for correcting misalignment between the TCP and the contact part,
Information on the positional deviation between the TCP and the contact part is acquired, and based on the acquired positional deviation information, the carrier tape pressed against the contact part is rotated around its vertical axis and / or in the plane direction. A method of correcting misalignment in a TCP handling device, wherein the misalignment is corrected by moving. テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置におけるＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、
ＴＣＰハンドリング装置の実稼動中に、ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、前記取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置における位置ずれ補正方法。By transporting a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape against a contact part electrically connected to the test head, and connecting an external terminal of the TCP to the contact part, a plurality of In the TCP handling apparatus capable of sequentially applying the TCPs of the TCP, a method for correcting misalignment between the TCP and the contact part,
During actual operation of the TCP handling device, the information on the positional deviation between the TCP and the contact part is acquired, and the contact part is rotated around its vertical axis based on the acquired positional deviation information. A method of correcting misalignment in a TCP handling device, wherein the misalignment is corrected. テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置におけるＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、
ＴＣＰハンドリング装置の実稼動中に、ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、前記取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動および／またはその平面方向に移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置における位置ずれ補正方法。By transporting a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape against a contact part electrically connected to the test head, and connecting an external terminal of the TCP to the contact part, a plurality of In the TCP handling apparatus capable of sequentially applying the TCPs of the TCP, a method for correcting misalignment between the TCP and the contact part,
During actual operation of the TCP handling device, information on positional deviation between the TCP and the contact part is acquired, and based on the acquired positional deviation information, the contact part is rotated and / or moved around its vertical axis. A positional deviation correction method in a TCP handling device, wherein the positional deviation is corrected by moving in a plane direction. テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置におけるＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、
ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、取得した位置ずれ量が所定の値より大きい場合または所定の値以上の場合には、前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動させ、取得した位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定の値未満の場合には、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その垂直軸回りに回転移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置における位置ずれ補正方法。By transporting a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape against a contact part electrically connected to the test head, and connecting an external terminal of the TCP to the contact part, a plurality of In the TCP handling apparatus capable of sequentially applying the TCPs of the TCP, a method for correcting misalignment between the TCP and the contact part,
Information on the positional deviation between the TCP and the contact part is acquired, and when the obtained positional deviation amount is larger than a predetermined value or larger than a predetermined value, the contact part is rotated around its vertical axis. When the obtained positional deviation amount is less than or equal to a predetermined value or less than a predetermined value, the positional deviation is corrected by rotating the carrier tape pressed against the contact portion about its vertical axis. A method of correcting misalignment in a TCP handling device. テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置におけるＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、
ＴＣＰと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、取得した位置ずれ量が所定の値より大きい場合または所定の値以上の場合には、前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動および／またはその平面方向に移動させ、取得した位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定の値未満の場合には、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その垂直軸回りに回転移動および／またはその平面方向に移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置における位置ずれ補正方法。By transporting a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape against a contact part electrically connected to the test head, and connecting an external terminal of the TCP to the contact part, a plurality of In the TCP handling apparatus capable of sequentially applying the TCPs of the TCP, a method for correcting misalignment between the TCP and the contact part,
Information on positional deviation between the TCP and the contact portion is acquired, and when the obtained positional deviation amount is larger than a predetermined value or larger than a predetermined value, the contact portion is rotated and moved around its vertical axis. When the acquired positional deviation amount is less than or equal to a predetermined value or less than a predetermined value, the carrier tape pressed against the contact portion is rotated and moved around its vertical axis. A misalignment correction method in a TCP handling device, wherein the misalignment is corrected by moving in the plane direction.
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