KR100737281B1 - TCP handling device and positional deviation correcting method for the same - Google Patents

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KR100737281B1
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니혼엔지니어링 가부시키가이샤
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Abstract

TCP 핸들러(2)의 실제 가동 중에 흡착 플레이트(34)에 의해 흡착한 캐리어 테이프(5)를 X축-Y축 방향으로 이동시킬 수 있는 동시에, 수직축 둘레로 회전 이동시킬 수 있는 푸셔 스테이지(4)와, TCP 핸들러(2)의 실제 가동 중에, 프로브 카드(8)를 X축-Y축 방향으로 이동시킬 수 있는 동시에, 수직축 둘레로 회전 이동시킬 수 있는 프로브 카드 스테이지(7)를 TCP 핸들러(2)에 설치한다.The pusher stage 4 capable of moving the carrier tape 5 adsorbed by the adsorption plate 34 in the X-axis and Y-axis directions while rotating the TCP handler 2 in actual operation. In addition, during the actual operation of the TCP handler 2, the probe card stage 7 capable of moving the probe card 8 in the X-Y-axis direction and rotating the probe card around the vertical axis is provided with the TCP handler 2 Install).

이와 같은 구성을 갖는 TCP 핸들러(2)에 의하면, TCP와 프로브 카드(8)와의 위치 맞춤을 정확하게 행하여 접촉 불량 발생을 줄일 수 있다.According to the TCP handler 2 having such a configuration, it is possible to precisely align the TCP with the probe card 8 to reduce the occurrence of contact failure.

TCP 핸들링 장치, 캐리어 테이프 TCP handling unit, carrier tape

Description

ＴＣＰ 핸들링 장치 및 해당 장치에서의 위치 어긋남 보정 방법{TCP handling device and positional deviation correcting method for the same}TCP handling device and positional deviation correcting method for the same}

본 발명은, IC 디바이스의 일종인 TCP(Tape Carrier Package)나 COF(Chip On Film)(이하, TCP, COF, 그 외 TAB(Tape Automated Bonding) 실장(實裝) 기술에 의해 제조된 디바이스를 하나로 정리하여 "TCP"라고 한다.)를 시험할 때에 이용되는 TCP 핸들링 장치 및 TCP 핸들링 장치에서의 TCP와 접촉부와의 위치 어긋남 보정 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a device manufactured by a tape carrier package (TCP) or a chip on film (COF) (hereinafter referred to as TCP, COF, or other tape automated bonding (TAB) mounting technology), which is a type of IC device. In summary, the present invention relates to a TCP handling apparatus used for testing the " TCP ") and a method for correcting the positional misalignment between the TCP and the contact portion in the TCP handling apparatus.

IC 디바이스 등의 전자 부품의 제조 과정에 있어서는, 최종적으로 제조된 IC디바이스나 그 중간 단계에 있는 디바이스 등의 성능이나 기능을 시험하는 전자 부품 시험 장치가 필요하고, TCP의 경우에는 TCP용의 시험 장치가 사용된다. In the manufacturing process of an electronic component such as an IC device, an electronic component test apparatus for testing the performance and function of a finally manufactured IC device or a device in an intermediate stage thereof is required, and in the case of TCP, a test apparatus for TCP. Is used.

TCP용의 시험 장치는 일반적으로 테스터 본체와, 테스트 헤드와, TCP 핸들링 장치(이하 "TCP 핸들러" 라고 하는 경우가 있다.)로 구성된다. 이 TCP 핸들러는 테이프(필름의 개념도 포함하는 것으로 한다. 이하 동일) 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 프로브 카드의 프로브에 캐리어 테이프를 눌러, TCP의 외부단자를 프로브에 접촉시킴으로써 복수의 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 기능을 구비하고 있다. The test apparatus for TCP generally consists of a tester main body, a test head, and a TCP handling apparatus (henceforth a "TCP handler"). This TCP handler conveys a carrier tape in which a plurality of TCPs are formed on a tape (the concept of film. The same will be described below), presses the carrier tape to the probe of the probe card electrically connected to the test head, and the outside of TCP It is equipped with the function which can test a some TCP sequentially by making a terminal contact a probe.

이와 같은 TCP 핸들러를 사용하여 높은 효율로 정확하게 시험하기 위해서는, TCP의 외부단자와 프로브 카드의 각 프로브를 확실하게 접촉시킬 필요가 있다.In order to accurately test with high efficiency using such a TCP handler, it is necessary to make sure that the external terminal of TCP and each probe of a probe card are made to contact reliably.

종래, TCP와 프로브와의 위치 맞춤 방법으로서, 캐리어 테이프를 푸셔 및 클램프 또는 접촉 프레스와 함께 XY방향으로 이동시키는 방법(실공평6-2271호 공보, 특개평9-92695호 공보, 특개평8-29484호 공보)이나, 프로브 카드를 XY방향으로 이동시키는 방법(특개평10-185996호 공보, 특개2002-181888호 공보)이 알려져 있다.Conventionally, as a method of aligning a TCP with a probe, a method of moving a carrier tape in the XY direction together with a pusher and a clamp or a contact press (Patents 6-2271, 9-92695, 8-8). 29484) or a method of moving the probe card in the XY direction (Japanese Patent Laid-Open Nos. 10-185996 and 2002-181888) are known.

그렇지만, 이와 같은 XY방향 뿐인 2축 제어로는, TCP와 프로브와의 위치 맞춤을 반드시 정확하게 수행할 수 없어 접촉 불량이 적지 않게 발생되었다. 특히, 미래 지향적인 디바이스는 많은 핀과 피치가 협소하게 됨에 따라, 이러한 접촉 불량의 발생 빈도는 커진다고 예상된다.However, in this two-axis control only in the XY direction, the alignment between the TCP and the probe cannot be accurately performed, resulting in a small number of contact failures. In particular, future-oriented devices are expected to increase in frequency of such contact failures as many pins and pitches become narrower.

한편, 특개 2002-181889호 공보에는, 회전 스테이지에 탑재된 프로브 카드를 TCP에 대하여 보정 각도 θ만큼 회전시킴으로써 TCP와 프로브 카드와의 각도 어긋남을 보정하는 발명이 기재되어 있다. On the other hand, Unexamined-Japanese-Patent No. 2002-181889 describes invention which correct | amends the angle shift | offset | difference of TCP and a probe card by rotating the probe card mounted in the rotating stage by the correction angle (theta) with respect to TCP.

그렇지만, 특개 2002-181889호 공보에 기재된 발명은, 어디까지나 초기 설정시에 프로브 카드를 회전시켜 위치 맞춤을 행하는 것이기 때문에, TCP 시험 장치의 실제 가동 중에 TCP와 프로브 카드에 어긋남이 생긴 경우, 또는 초기 설정 자체가 부정확하고, 이것이 TCP 시험 장치의 실제 가동 중에 발견된 경우에는 대응하는 것이 불가능했다. However, the invention described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-181889 is intended to rotate and position the probe card at the time of initial setting. Thus, when the TCP test probe is misaligned during the actual operation of the TCP test apparatus, or the initial stage, If the settings themselves were incorrect and were found during the actual operation of the TCP test equipment, it was impossible to respond.

본 발명은, 이와 같은 실상을 감안하여 이루어진 것으로, TCP와 접촉부와의 위치 맞춤을 정확하게 수행하여, 접촉 불량의 발생을 줄일 수 있는 TCP 핸들링 장치 및 TCP 핸들링 장치에서의 위치 어긋남 보정 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and provides a TCP handling device and a method for correcting misalignment in a TCP handling device capable of precisely performing alignment between the TCP and the contact portion, thereby reducing the occurrence of contact failure. The purpose.

상기 목적을 달성하기 위하여, 첫번째로 본 발명은 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 캐리어 테이프를 눌러, TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써, 복수 의 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서, 상기 접촉부에 눌려지는 캐리어 테이프를 그 수직축 둘레로 회전 이동시킬 수 있는 테이프 수직축 회전 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치를 제공한다(1).In order to achieve the above object, the present invention firstly conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, presses the carrier tape to a contact portion electrically connected to the test head, and connects an external terminal of the TCP to the contact portion. And a TCP handling device capable of sequentially testing a plurality of TCPs, the TCP handling device comprising a tape vertical axis rotating device capable of rotating and moving a carrier tape pressed against the contact portion about its vertical axis. (One).

본 명세서에서의 "접촉부"는 TCP의 외부단자가 접속되는 접속단자(예를 들면 프로브) 그 자체와, 이와 같은 접속 단자를 구비한 부재(예를 들면 프로브 카드)의 쌍방의 개념이 포함되는 것으로 한다.The term " contacting portion " in this specification includes the concept of both a connection terminal (for example, a probe) itself to which an external terminal of TCP is connected, and a member (for example, a probe card) having such a connection terminal. do.

상기 발명(1)에 의하면, 테이프 수직축 회전 장치에 의해 캐리어 테이프를 수직축 둘레로 회전 이동시킴으로써, 수직축 둘레로 어긋나 있는 TCP와 접촉부와의 위치 맞춤을 수행하여, 접촉 불량의 발생을 줄일 수 있다.According to the above invention (1), by rotating the carrier tape around the vertical axis by the tape vertical axis rotating device, it is possible to perform the alignment between the TCP and the contact portion deviated around the vertical axis, thereby reducing the occurrence of contact failure.

상기 발명(1)에 따른 TCP 핸들링 장치는, 상기 접촉부에 눌러지는 캐리어 테이프를 그 평면 방향으로 이동시킬 수 있는 테이프 평면 이동 장치를 더 구비하는 것이 바람직하다(2). It is preferable that the TCP handling apparatus concerning the said invention (1) further includes the tape plane moving apparatus which can move the carrier tape pressed by the said contact part to the plane direction (2).

상기 발명(2)에 의하면, 테이프 수직축 회전 장치 및 / 또는 테이프 평면 이동 장치에 의해 캐리어 테이프를 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 평면 방향으로 이동시킴으로써 TCP와 접촉부와의 위치 맞춤을 확실하게 행하여, 접촉 불량의 발생을 줄일 수 있다.According to the above invention (2), the alignment between the TCP and the contact portion is securely performed by rotating the carrier tape around the vertical axis and / or in the planar direction by the tape vertical axis rotating device and / or the tape plane moving device. The occurrence of defects can be reduced.

상기 발명(2)에 있어서, 상기 테이프 수직축 회전 장치 및 / 또는 상기 테이프 평면 이동 장치는, 캐리어 테이프를 상기 접촉부로 누르는 누름 장치와 함께, 캐리어 테이프를 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 평면 방향으로 이동시키는 것이 바람직하다(3).In the above invention (2), the tape vertical axis rotating device and / or the tape plane moving device, along with the pressing device for pressing the carrier tape to the contact portion, rotates the carrier tape around the vertical axis and / or in the plane direction. It is preferable to make it (3).

또한, 여기에서 말하는 "누름 장치"는 캐리어 테이프를 누를 뿐만 아니라, 캐리어 테이프를 유지하는 기능을 갖는 것이어도 된다.In addition, the "pressing device" here may not only press a carrier tape, but may have a function of holding a carrier tape.

상기 발명(3)에 의하면, 캐리어 테이프와 이것을 누르는 누름 장치와의 사이에 위치 어긋남이 생기지 않는다.According to the said invention (3), position shift does not arise between a carrier tape and the press device which presses this.

상기 발명(2,3)에 따른 상기 TCP 핸들링 장치는, TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 정보를 취득할 수 있는 위치 어긋남 정보 취득 장치를 더 구비하되, 상기 위치 어긋남 정보 취득 장치로 취득한 위치 어긋남 정보에 기초하여, 상기 테이프 수직축 회전 장치 및 / 또는 상기 테이프 평면 이동 장치를 구동하고, 상기 위치 어긋남을 자동으로 보정하는 것이 바람직하다(4).The TCP handling apparatus according to the invention (2,3) further includes a position shift information acquisition device capable of acquiring position shift information between TCP and the contact portion, and the position shift information acquired by the position shift information acquisition device. Based on the above, it is preferable to drive the tape vertical axis rotating device and / or the tape plane moving device and to automatically correct the position shift (4).

본 명세서에서의 "위치 어긋남 정보"는, 위치 어긋남의 방향(X·Y·θ) 및 위치 어긋난 분량을 포함하는 것으로 한다."Position shift information" in this specification shall include the direction (X * Y *) of position shift, and the amount of position shift.

위치 어긋남 정보 취득 장치로서는 예를 들면, 캐리어 테이프 및 접촉부를 촬상할 수 있는 카메라와 화상 처리 장치와의 조합 등을 들 수 있다. As a position shift information acquisition apparatus, the combination of the camera which can image a carrier tape and a contact part, and an image processing apparatus, etc. are mentioned, for example.

상기 발명(4)에 의하면, 작업자의 기량 등에 관계없이, TCP와 접촉부와의 위치 어긋남을 자동적으로 확실하게 보정할 수 있게 된다.According to the above invention (4), the positional shift between the TCP and the contact portion can be automatically and reliably corrected regardless of the skill of the operator.

두번째로 본 발명은, 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 캐리어 테이프를 눌러서, TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써 복수의 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서, TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 정보를 취득할 수 있는 위치 어긋남 정보 취득 장치와, 상기 접촉부를 그 수직축 둘레로 회전 이동시킬수 있는 접촉부 수직축 회전 장치를 구비하되, 실제 가동 중(초기 설정시가 아닌, 실제로 시험하기 위하여 가동하고 있는 중)에 상기 위치 어긋남 정보 취득 장치로 취득한 위치 어긋남 정보에 기초하여, 상기 접촉부 수직축 회전 장치를 구동하여 상기 접촉부를 수직축 둘레로 회전 이동시켜, 상기 위치 어긋남을 자동으로 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치를 제공한다(5).Secondly, the present invention conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, presses the carrier tape to a contact portion electrically connected to the test head, and connects a plurality of TCPs sequentially by connecting an external terminal of TCP to the contact portion. A TCP handling apparatus that can be tested, comprising: a position misalignment information acquiring apparatus capable of acquiring position misalignment information between TCP and the contact portion; and a contact portion vertical axis rotating apparatus capable of rotating the contact portion about its vertical axis. Based on the positional shift information acquired by the positional shift information acquisition device during operation (not during initial setting, but operating for actual test), the contact unit vertical axis rotating device is driven to rotate and move the contact unit about the vertical axis. To correct the position shift automatically. TCP provides a handling device (5).

상기 발명(5)에 의하면, TCP 핸들링 장치의 실제 가동 중에, 접촉부 수직축 회전 장치로 접촉부를 수직축 둘레로 회전 이동시킴으로써, 수직축 둘레로 어긋나 있는 피시험 TCP와 접촉부와의 위치 맞춤을 피시험 TCP마다 수행할 수 있기 때문에 접촉 불량 발생을 현저하게 줄일 수 있다. According to the above invention (5), during actual operation of the TCP handling apparatus, the contact portion is rotated about the vertical axis by the contact portion vertical axis rotation device, thereby performing the alignment of the contact portion with the test TCP and the contact portion which are shifted around the vertical axis for each test TCP. In this way, the occurrence of poor contact can be significantly reduced.

상기 발명(5)에 따른 TCP 핸들링 장치는, 상기 접촉부를 그 평면 방향으로 이동시킬 수 있는 접촉부 평면 이동 장치를 더 구비하되, 실제 가동 중에 상기 위치 어긋남 정보 취득 장치로 취득한 위치 어긋남 정보에 기초하여, 상기 접촉부 수직축 회전 장치 및 / 또는 상기 접촉부 평면 이동 장치를 구동하여 상기 접촉부를 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 평면 방향으로 이동시켜, 상기 위치 어긋남을 자동으로 보정하는 것이 바람직하다(6). The TCP handling apparatus according to the invention (5) further comprises a contact plane moving device capable of moving the contact part in its planar direction, based on the position shift information acquired by the position shift information acquisition device during actual operation. Preferably, the position shift is automatically corrected by driving the contact portion vertical axis rotating device and / or the contact portion plane moving device to move the contact portion in the rotational and / or planar direction about the vertical axis (6).

상기 발명(6)에 의하면, TCP 핸들링 장치의 실제 가동 중에, 접촉부 수직축 회전 장치 및 / 또는 접촉부 평면 이동 장치에 의해 접촉부를 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 평면 방향으로 이동시킴으로써 피시험 TCP와 접촉부와의 위치 맞춤을 피시험 TCP마다 확실하게 수행할 수 있기 때문에, 접촉 불량의 발생을 현저하게 줄일 수 있다.According to the invention (6), during the actual operation of the TCP handling device, the TCP and the contact portion under test are moved by rotating the contact portion about the vertical axis and / or in the planar direction by the contact portion vertical axis rotating device and / or the contact plane moving device. Since the positioning of can be surely performed for each TCP under test, the occurrence of poor contact can be significantly reduced.

세번째로 본 발명은, 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 캐리어 테이프를 눌러서, TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써 복수의 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서, TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 정보를 취득할 수 있는 위치 어긋남 정보 취득 장치와, 상기 접촉부에 눌려지는 캐리어 테이프를 그 수직축 둘레로 회전 이동시킬 수 있는 테이프 수직축 회전 장치와, 상기 접촉부를 그 수직축 둘레로 회전 이동시킬 수 있는 접촉부 수직축 회전 장치를 구비하되, 상기 위치 어긋남 정보 취득 장치로 취득한 위치 어긋남 분량이 소정 값 보다 큰 경우 또는 소정 값 이상인 경우에는, 상기 접촉부 수직축 회전 장치를 구동하여 상기 접촉부를 수직축 둘레로 회전 이동시키고, 상기 위치 어긋남 분량이 소정 값 이하인 경우 또는 소정 값 미만인 경우에는, 상기 테이프 수직축 회전 장치를 구동하여 상기 캐리어 테이프를 수직축 둘레로 회전 이동시킴으로써 상기 위치 어긋남을 자동으로 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치를 제공한다(7).Thirdly, the present invention conveys a carrier tape in which a plurality of TCPs are formed on the tape, presses the carrier tape to a contact portion electrically connected to the test head, and connects a plurality of TCPs sequentially by connecting an external terminal of TCP to the contact portion. A TCP handling apparatus that can be tested, comprising: a position misalignment information acquisition apparatus capable of acquiring position misalignment information between TCP and the contact portion, and a tape vertical axis rotation capable of rotating the carrier tape pressed by the contact portion about its vertical axis. And a contact portion vertical axis rotating device capable of rotating the contact portion about the vertical axis, wherein the position shift amount acquired by the position shift information acquisition device is larger than a predetermined value or is greater than or equal to a predetermined value. Driving a rotating device around the vertical axis of the contact portion The position shift amount is less than or equal to the predetermined value or less than the predetermined value, the position shift is automatically corrected by driving the tape vertical axis rotating device to rotate the carrier tape around the vertical axis. It provides a TCP handling device (7).

상기 발명(7)에 의하면, 테이프 수직축 회전 장치 또는 접촉부 수직축 회전 장치를 구동함으로써, 수직축 둘레로 어긋나 있는 TCP와 접촉부와의 위치 맞춤을 행하여, 접촉 불량 발생을 줄일 수 있다. According to the above invention (7), by driving the tape vertical axis rotating device or the contact portion vertical axis rotating device, the contact between the TCP and the contact portion which are displaced around the vertical axis can be aligned, thereby reducing the occurrence of contact failure.

여기에서, TCP 핸들링 장치의 구조 상, 테스터 본체로 이어지는 코드를 다수 구비한 접촉부를 이동시키는 접촉부 수직축 회전 장치와 비교하여, 테이프 수직축 회전 장치는 단시간에 위치 어긋남 보정을 수행할 수 있다. 그렇지만, 테이프 수직축 회전 장치는 가이드 롤러나 스프로켓 등에 의해 지지된 캐리어 테이프를 이동시키는 것이기 때문에, 그 이동량이 크면 캐리어 테이프에 응력이 걸려, 캐리어 테이프 상의 TCP(특히 리드 또는 테스트 패드)나 캐리어 테이프 자체(특히 스프로켓의 톱니가 들어 가는 구멍부 또는 그 주변부)를 손상시킬 우려가 있다.Here, in the structure of the TCP handling device, the tape vertical axis rotating device can perform positional deviation correction in a short time as compared with the contact vertical axis rotating device for moving the contact portion provided with a plurality of codes leading to the tester main body. However, since the tape vertical axis rotating device moves the carrier tape supported by the guide roller, the sprocket, etc., when the movement amount is large, the carrier tape is stressed, and the TCP (especially the lead or test pad) on the carrier tape or the carrier tape itself ( In particular, the sprocket teeth or the periphery thereof may be damaged.

따라서, 상기 발명(7)에 의하면, 위치 어긋남 분량이 큰 경우에는, 접촉부 수직축 회전 장치를 구동하여 TCP나 캐리어 테이프의 손상을 방지하고, 위치 어긋남 분량이 적은 경우에는, 테이프 수직축 회전 장치를 구동하여 위치 어긋남 보정 시간, 나아가서는 인덱스 타임을 짧게 할 수 있다.Therefore, according to the invention (7), when the displacement amount is large, the contact portion vertical axis rotation device is driven to prevent damage to TCP or the carrier tape, and when the displacement amount is small, the tape vertical axis rotation device is driven. Position shift correction time, and also index time can be shortened.

상기 발명(7)에 따른 TCP 핸들링 장치는, 상기 접촉부에 눌려지는 캐리어 테이프를 그 평면 방향으로 이동시킬 수 있는 테이프 평면 이동 장치와, 상기 접촉부를 그 평면 방향으로 이동시킬 수 있는 접촉부 평면 이동 장치를 더 구비하되, 상기 위치 어긋남 정보 취득 장치로 취득한 위치 어긋남 분량이 소정 값 보다 큰 경우 또는 소정 값 이상인 경우에는, 상기 접촉부 수직축 회전 장치 및 / 또는 상기 접촉부 평면 이동 장치를 구동하여 상기 접촉부를 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 평면 방향으로 이동시키고, 상기 위치 어긋남 분량이 소정 값 이하인 경우 또는 소정 값 미만인 경우에는, 상기 테이프 수직축 회전 장치 및 / 또는 상기 테이프 평면 이동 장치를 구동하여 상기 캐리어 테이프를 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 평면 방향으로 이동시킴으로써 상기 위치 어긋남을 자동으로 보정하는 것이 바람직하다(8).The TCP handling apparatus according to the invention (7) includes a tape plane moving device capable of moving the carrier tape pressed by the contact part in its planar direction, and a contact part plane moving device capable of moving the contact part in its planar direction. Further, when the positional displacement amount obtained by the positional deviation information acquisition device is larger than a predetermined value or more than a predetermined value, the contact portion vertical axis rotation device and / or the contact portion plane moving device is driven to the contact portion around the vertical axis In the case of the rotational movement and / or the movement in the planar direction and the displacement amount is less than or equal to the predetermined value or less than the predetermined value, the tape vertical axis rotating device and / or the tape plane moving device are driven to move the carrier tape around the vertical axis. Rotational movement and / or in a planar direction It is preferable to automatically correct the position shift by means of (8).

상기 발명(8)에 의하면, 테이프 수직축 회전 장치 및 / 또는 테이프 평면 이동 장치, 또는 접촉부 수직축 회전 장치 및 / 또는 접촉부 평면 이동 장치에 의해 캐리어 테이프 또는 접촉부를 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 평면 방향으로 이동시킴으로써 TCP와 접촉부와의 위치 맞춤을 확실하게 수행하여, 접촉 불량의 발생을 줄일 수 있다. 또한 상기 발명(8)에 의하면, 위치 어긋남 분량이 큰 경우에는, 접촉부 수직축 회전 장치 및 / 또는 접촉부 평면 이동 장치를 구동하여 TCP나 캐리어 테이프의 손상을 방지하고, 위치 어긋남 분량이 적은 경우에는, 테이프 수직축 회전 장치 및 / 또는 테이프 평면 이동 장치를 구동하여 위치 어긋남 보정 시간, 나아가서는 인덱스 타임을 단축할 수 있다.According to the invention (8), the carrier tape or the contact portion is rotated around the vertical axis and / or in the planar direction by a tape vertical axis rotating device and / or tape plane moving device, or a contact vertical axis rotating device and / or a contact plane moving device. By moving, the position alignment of a TCP and a contact part can be performed reliably, and the occurrence of a bad contact can be reduced. According to the above invention (8), when the displacement amount is large, the contact portion vertical axis rotation device and / or the contact portion plane moving device are driven to prevent damage to the TCP or the carrier tape, and when the displacement amount is small, the tape By shifting the vertical axis rotating device and / or the tape plane moving device, the misalignment correction time, and also the index time can be shortened.

네번째로 본 발명은, 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 캐리어 테이프를 눌러서, TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써 복수의 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치에서의 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 보정 방법으로서, 상기 접촉부에 눌려지는 캐리어 테이프를 그 수직축 둘레로 회전 이동시킴으로써 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남을 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치에서의 위치 어긋남 보정 방법을 제공한다(9).Fourthly, the present invention conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, presses the carrier tape to a contact portion electrically connected to the test head, and connects a plurality of TCPs sequentially by connecting an external terminal of TCP to the contact portion. A position misalignment correction method between TCP and the contact portion in a testable TCP handling device, comprising: correcting position misalignment between TCP and the contact portion by rotating a carrier tape pressed against the contact portion about its vertical axis. A misalignment correction method in a TCP handling apparatus is provided (9).

상기 발명(9)에 의하면, 캐리어 테이프를 수직축 둘레로 회전 이동시킴으로써 수직축 둘레로 어긋나 있는 TCP와 접촉부와의 위치 맞춤을 행하여, 접촉 불량의 발생을 줄일 수 있다.According to the above invention (9), by moving the carrier tape around the vertical axis, the alignment between the TCP and the contact portion deviated around the vertical axis can be performed, thereby reducing the occurrence of contact failure.

다섯번째로 본 발명은, 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 케리어 테이프를 눌러서, TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써 복수의 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치에서의 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 보정 방법으로서, 상기 접촉부에 눌려지는 캐리어 테이프를 그 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 그 평면 방향으로 이동시킴으로써, TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남을 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치에서의 위치 어긋남 보정 방법을 제공한다(10).Fifthly, the present invention conveys a carrier tape in which a plurality of TCPs are formed on a tape, presses a carrier tape to a contact portion electrically connected to a test head, and connects a plurality of TCPs by connecting an external terminal of TCP to the contact portion. A position misalignment correction method between TCP and the contact portion in a TCP handling apparatus that can be tested by using a method, comprising: a carrier tape pressed against the contact portion by rotating and / or moving in a planar direction about the vertical axis thereof. A position shift correction method in a TCP handling apparatus, characterized in that for correcting a position shift with an offset (10).

상기 발명(10)에 의하면, 캐리어 테이프를 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 평면 방향으로 이동시킴으로써 TCP와 접촉부와의 위치 맞춤을 확실하게 행하여, 접촉 불량의 발생을 줄일 수 있다. According to the said invention (10), by carrying out rotation movement and / or planar direction about a vertical axis, alignment of TCP and a contact part can be performed reliably, and generation | occurrence | production of a contact failure can be reduced.

여섯번째로 본 발명은, 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 캐리어 테이프를 눌러서, TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써, 복수의 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치에서의 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 보정 방법으로서, TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 정보를 취득하고, 상기 취득한 위치 어긋남 정보에 기초하여, 상기 접촉부에 눌려지는 캐리어 테이프를 그 수직축 둘레로 회전 이동시킴으로써 상기 위치 어긋남을 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치에서의 위치 어긋남 보정 방법을 제공한다(11).Sixthly, the present invention conveys a plurality of TCPs by conveying a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing a carrier tape to a contact portion electrically connected to a test head, and connecting an external terminal of TCP to the contact portion. A position misalignment correction method between TCP and the contact portion in a TCP handling apparatus that can be tested sequentially, wherein position misalignment information between the TCP and the contact portion is acquired and pressed against the contact portion based on the acquired position misalignment information. The position shift correction method in the TCP handling apparatus characterized by correcting the said position shift by rotating a carrier tape around the vertical axis (11).

상기 발명(11)에 의하면, 취득한 위치 어긋남 정보에 의하여 캐리어 테이프를 수직축 둘레로 회전 이동시킴으로써 수직축 둘레로 어긋나 있는 TCP와 접촉부와의 위치 어긋남을 확실하게 보정할 수 있게 된다.According to the said invention (11), by shifting a carrier tape around a vertical axis | shaft by the acquired position shift information, the position shift | offset | difference with TCP and a contact part which were shifted about the vertical axis | shaft can be reliably corrected.

일곱번째로 본 발명은, 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 캐리어 테이프를 눌러서, TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써 복수의 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치에서의 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 보정 방법으로서, TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 정보를 취득하고, 상기 취득한 위치 어긋남 정보에 기초하여, 상기 접촉부에 눌려지는 캐리어 테이프를 그 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 그 평면 방향으로 이동시킴으로써 상기 위치 어긋남을 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치에서의 위치 어긋남 보정 방법을 제공한다(12). Seventhly, the present invention conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, presses the carrier tape to a contact portion electrically connected to the test head, and connects a plurality of TCPs by connecting an external terminal of TCP to the contact portion. A position misalignment correction method between TCP and the contact portion in a TCP handling apparatus that can be tested by using the apparatus, wherein the carrier is pressed by the contact portion based on the position misalignment information between the TCP and the contact portion, based on the acquired position misalignment information. A position misalignment correction method in a TCP handling apparatus is provided (12), characterized in that the position misalignment is corrected by rotating the tape about its vertical axis and / or by moving it in its planar direction.

상기 발명(12)에 의하면, 취득한 위치 어긋남 정보에 의하여 캐리어 테이프를 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 평면 방향으로 이동시킴으로써 TCP와 접촉부와의 위치 어긋남을 확실하게 보정할 수 있게 된다. According to the said invention (12), position shift of a TCP and a contact part can be reliably corrected by rotating a carrier tape about a vertical axis, and / or moving in a planar direction by the acquired position shift information.

여덟번째로 본 발명은, 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 캐리어 테이프를 눌러서, TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써 복수의 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치에서의 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 보정 방법으로서, TCP 핸들링 장치의 실제 가동 중에 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 정보를 취득하고, 상기 취득한 위치 어긋남 정보에 기초하여, 상기 접촉부를 그 수직축 둘레로 회전 이동시킴으로써 상기 위치 어긋남을 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치에서의 위치 어긋남 보정 방법을 제공한다(13). Eighthly, the present invention conveys a carrier tape in which a plurality of TCPs are formed on a tape, presses a carrier tape to a contact portion electrically connected to a test head, and connects a plurality of TCPs by connecting an external terminal of TCP to the contact portion. A position misalignment correction method between TCP and the contact portion in a TCP handling apparatus that can be tested by using the apparatus, wherein position misalignment information between the TCP and the contact portion is acquired during actual operation of the TCP handling apparatus, and based on the acquired position misalignment information. And (13) providing a position shift correction method in the TCP handling device, characterized in that the position shift is corrected by rotating the contact unit about its vertical axis.

상기 발명(13)에 의하면, TCP 핸들링 장치의 실제 가동 중에 접촉부를 수직축 둘레로 회전 이동시킴으로써 수직축 둘레로 어긋나 있는 피시험 TCP와 접촉부와의 위치 맞춤을 피시험 TCP마다 수행할 수 있기 때문에, 접촉 불량의 발생을 현저하게 줄일 수 있다.According to the above invention (13), poor contact is possible because the positioning of the TCP under test and the contact with each other under test can be performed by rotating the contact around the vertical axis during the actual operation of the TCP handling device. The occurrence of can be significantly reduced.

아홉번째로 본 발명은, 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 캐리어 테이프를 눌러서, TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써 복수의 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치에서의 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 보정 방법으로서, TCP 핸들링 장치의 실제 가동 중에 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 정보를 취득하고, 상기 취득한 위치 어긋남 정보에 기초하여, 상기 접촉부를 그 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 그 평면 방향으로 이동시킴으로써 상기 위치 어긋남을 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치에서의 위치 어긋남 보정 방법을 제공한다(14). Ninthly, the present invention conveys a carrier tape in which a plurality of TCPs are formed on a tape, presses a carrier tape to a contact portion electrically connected to a test head, and connects a plurality of TCPs by connecting an external terminal of TCP to the contact portion. A position misalignment correction method between TCP and the contact portion in a TCP handling apparatus that can be tested by using the apparatus, wherein position misalignment information between the TCP and the contact portion is acquired during actual operation of the TCP handling apparatus, and based on the acquired position misalignment information. And correcting the position shift by rotating the contact around the vertical axis and / or in the planar direction thereof (14).

상기 발명(14)에 의하면, TCP 핸들링 장치의 실제 가동 중에, 접촉부를 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 평면 방향으로 이동시킴으로써, 피시험 TCP와 접촉부와의 위치 맞춤을 피시험 TCP마다 확실하게 수행할 수 있기 때문에 접촉 불량의 발생을 현저하게 줄일 수 있다.According to the invention (14), during the actual operation of the TCP handling apparatus, the contact between the TCP under test and the contact can be reliably performed for each TCP under test by moving the contact portion in a rotational direction and / or in a planar direction about the vertical axis. This can significantly reduce the occurrence of contact failure.

열번째로 본 발명은, 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 캐리어 테이프를 눌러서, TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써 복수의 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치에서의 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 보정 방법으로서, TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 정보를 취득하고, 취득한 위치 어긋남 분량이 소정 값 보다 큰 경우 또는 소정 값 이상인 경우에는, 상기 접촉부를 그 수직축 둘레로 회전 이동시키고, 취득한 위치 어긋남 분량이 소정 값 이하인 경우 또는 소정 값 미만인 경우에는, 상기 접촉부에 눌려지는 캐리어 테이프를 그 수직축 둘레로 회전 이동시킴으로써 상기 위치 어긋남을 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치에서의 위치 어긋남 보정 방법을 제공한다(15).Tenthly, the present invention conveys a carrier tape in which a plurality of TCPs are formed on a tape, presses a carrier tape to a contact portion electrically connected to a test head, and connects a plurality of TCPs by connecting an external terminal of TCP to the contact portion. A position misalignment correction method between TCP and the contact portion in a TCP handling apparatus that can be tested by using the method, wherein position misalignment information between the TCP and the contact portion is obtained, and the acquired position misalignment amount is larger than a predetermined value or more than a predetermined value. The contact portion is rotated about its vertical axis, and when the acquired position shift amount is less than or equal to a predetermined value or less than a predetermined value, the position shift is corrected by rotating the carrier tape pressed by the contact portion about its vertical axis. Positioner in the TCP handling device, characterized in that It provides a south correction method (15).

상기 발명(15)에 의하면, 수직축 둘레로 어긋나 있는 TCP와 접촉부와의 위치 맞춤을 수행하여 접촉 불량의 발생을 줄일 수 있다. According to the invention (15), it is possible to reduce the occurrence of contact failure by performing the alignment between the contact portion and the TCP is shifted around the vertical axis.

여기에서, TCP 핸들링 장치의 구조 상, 테스터 본체로 이어지는 코드를 다수 구비한 접촉부를 이동시켜 위치 어긋남 보정을 수행하는 시간보다도, 캐리어 테이프를 이동시켜 위치 어긋남 보정을 수행하는 시간 쪽이 짧게 되는 것이 통상적이다. 그렇지만, 캐리어 테이프는 통상적으로 가이드 롤러나 스프로켓 등에 의해 지지되어 있기 때문에, 캐리어 테이프의 이동량이 크면 캐리어 테이프에 응력이 걸려, 캐리어 테이프 상의 TCP(특히 리드 또는 테스트 패드)나 캐리어 테이프 자체(특히 스프로켓의 톱니가 들어 가는 구멍부 또는 그 주변부)를 손상시킬 우려가 있다.Here, due to the structure of the TCP handling apparatus, it is usual to shorten the time for moving the carrier tape to perform position shift correction rather than the time for moving the contact portion provided with a plurality of codes leading to the tester body to perform position shift correction. to be. However, since the carrier tape is usually supported by a guide roller, a sprocket, or the like, when the amount of movement of the carrier tape is large, the carrier tape is stressed, and TCP (especially a lead or test pad) on the carrier tape or the carrier tape itself (especially a sprocket) There is a risk of damaging the teeth or the periphery thereof.

따라서, 상기 발명(15)에 의하면, 위치 어긋남 분량이 큰 경우에는, 접촉부를 수직축 둘레로 회전 이동시켜 TCP나 캐리어 테이프의 손상을 방지하고, 위치 어긋남 분량이 적은 경우에는, 캐리어 테이프를 수직축 둘레로 회전 이동시켜 위치 어긋남 보정 시간, 나아가서는 인덱스 타임을 짧게 할 수 있다.Therefore, according to the said invention (15), when a displacement amount is large, a contact part is rotated around a vertical axis, and damage to a TCP or a carrier tape is prevented, and when a displacement amount is small, a carrier tape is moved around a vertical axis. Rotational movement can shorten the position shift correction time, and further, the index time.

열한번째로 본 발명은, 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 캐리어 테이프를 눌러서, TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써 복수의 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치에서의 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 보정 방법으로서, TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 정보를 취득하고, 취득한 위치 어긋남 분량이 소정 값 보다 큰 경우 또는 소정 값 이상인 경우에는, 상기 접촉부를 그 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 그 평면 방향으로 이동시키고, 취득한 위치 어긋남 분량이 소정 값 이하인 경우 또는 소정 값 미만인 경우에는, 상기 접촉부에 눌려지는 캐리어 테이프를 그 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 그 평면 방향으로 이동시킴으로써 상기 위치 어긋남을 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치에서의 위치 어긋남 보정 방법을 제공한다(16). Eleventh, the present invention transfers a plurality of TCPs sequentially by conveying a carrier tape having a plurality of TCPs formed on a tape, pressing a carrier tape to a contact portion electrically connected to a test head, and connecting an external terminal of TCP to the contact portion. In the TCP handling apparatus which can be tested, the position misalignment correction method of TCP and the said contact part WHEREIN: When the position misalignment information of TCP and the said contact part is acquired, and the acquired position shift amount is larger than predetermined value, or more than predetermined value, And, when the contact portion is rotated about its vertical axis and / or moved in its planar direction, and the acquired position shift amount is less than or equal to a predetermined value, or less than a predetermined value, the carrier tape pressed by the contact portion is rotated about its vertical axis. And / or said position by moving in its planar direction Provided is a position misalignment correction method in a TCP handling apparatus characterized by correcting a misalignment (16).

상기 발명(16)에 의하면, 접촉부 또는 캐리어 테이프를 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 평면 방향으로 이동시킴으로써 TCP와 접촉부와의 위치 맞춤을 수행하여, 접촉 불량의 발생을 줄일 수 있다. 또한, 상기 발명(16)에 의하면, 위치 어긋남 분량이 큰 경우에는, 접촉부를 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 평면 방향으로 이동시켜 TCP나 캐리어 테이프의 손상을 방지하고, 위치 어긋남 분량이 적은 경우에는, 캐리어 테이프를 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 평면 방향으로 이동시켜 위치 어긋남 보정 시간, 나아가서는 인덱스 타임을 짧게 할 수 있다.According to the invention (16), it is possible to reduce the occurrence of contact failure by performing the alignment between the contact portion and the TCP by moving the contact portion or the carrier tape around the vertical axis and / or in the planar direction. Further, according to the invention (16), when the displacement amount is large, the contact portion is rotated around the vertical axis and / or moved in the planar direction to prevent damage to the TCP or the carrier tape, and when the displacement amount is small The carrier tape can be rotated around the vertical axis and / or moved in the planar direction to shorten the misalignment correction time, and thus the index time.

도 1은 본 발명의 일실시 형태에 따른 TCP 핸들러를 이용한 TCP 시험 장치를 나타내는 정면도.1 is a front view showing a TCP test apparatus using a TCP handler according to an embodiment of the present invention.

도 2는 동실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 푸셔 유닛의 측면도.2 is a side view of the pusher unit in the TCP handler according to the embodiment;

도 3은 동실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 푸셔 스테이지의 평면도. 3 is a plan view of the pusher stage in the TCP handler according to the embodiment;

도 4는 동실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 프로브 카드 스테이지의 평면도.4 is a plan view of a probe card stage in a TCP handler according to the embodiment;

도 5는 동실시 형태에 따른 TCP 핸들러에서의 프로브 카드 스테이지의 정면도. Fig. 5 is a front view of the probe card stage in the TCP handler according to the embodiment.

도 6은 동실시 형태에 따른 TCP 핸들러의 주동작을 설명하는 플로우 챠트. 6 is a flowchart for explaining the main operation of the TCP handler according to the embodiment;

이하, 본 발명 실시 형태를 도면에 의거하여 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described in detail based on drawing.

본 발명의 일실시 형태에 따른 TCP 핸들러를 이용한 TCP 시험장치를 도 1에 나타낸다.1 shows a TCP test apparatus using a TCP handler according to an embodiment of the present invention.

TCP 시험장치(1)는, 테스터 본체(미도시)와 테스터 본체에 전기적으로 접속된 테스트 헤드(10)와 테스트 헤드(10)의 상부측에 설치된 TCP 핸들러(2)로 구성된 다.The TCP test apparatus 1 consists of a tester main body (not shown), the test head 10 electrically connected to the tester main body, and the TCP handler 2 provided in the upper side of the test head 10.

TCP 핸들러(2)는, 캐리어 테이프(5) 상에 복수 형성된 각 TCP를 순차적으로 시험하는 것이고, 본 실시 형태에서는 설명의 간략화를 위해서 TCP를 1개 마다 시험하는 것으로 한다. 단, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니고, 캐리어 테이프(5) 상에서 직렬 방향 및 / 또는 병렬 방향으로 늘어선 복수의 TCP를 동시에 시험하도록 해도 된다.The TCP handler 2 tests each TCP formed in multiple numbers on the carrier tape 5 sequentially, In this embodiment, it shall test TCP for every one for the sake of simplicity of description. However, the present invention is not limited to this, and a plurality of TCPs arranged in the serial direction and / or the parallel direction on the carrier tape 5 may be simultaneously tested.

TCP 핸들러(2)는 권출(卷出)릴(21)과 권취(卷取)릴(22)을 구비하고, 권출릴(21)에는 시험 전의 캐리어 테이프(5)가 권취되어 있다. 캐리어 테이프(5)는 권출 릴(21)로부터 권출되어, 시험된 후에 권취릴(22)로 권취된다.The TCP handler 2 is equipped with the unwinding reel 21 and the winding reel 22, and the carrier tape 5 before a test is wound in the unwinding reel 21. As shown in FIG. The carrier tape 5 is unwound from the unwinding reel 21 and wound up by the winding reel 22 after being tested.

권출릴(21)과 권취릴(22)과의 사이에는, 캐리어 테이프(5)에서 박리된 보호 테이프(51)를 권출릴(21)로부터 권취릴(22)을 건너지르는 3개의 스페이서롤(23a) (23b)(23c)이 설치되어 있다. 각 스페이서롤(23a)(23b)(23c)은 보호테이프(51)의 장력을 조정할 수 있도록, 각각 상하로 가동하도록 되어 있다.Between the unwinding reel 21 and the unwinding reel 22, three spacer rolls 23a for crossing the unwinding reel 22 from the unwinding reel 21 with the protective tape 51 peeled off from the carrier tape 5 are provided. 23b and 23c are provided. Each spacer roll 23a, 23b, 23c is moved up and down, respectively, so that the tension of the protective tape 51 can be adjusted.

권출릴(21)의 하부 측에는, 테이프 가이드(24a), 권출 리미트 롤러(25a), 입구측 서브 스프로켓(25b) 및 입구측 가이드 롤러(25c)가 설치되어 있고, 권출릴(21)로부터 권출된 캐리어 테이프(5)는 테이프 가이드(24a)에 의해 안내되면서, 권출 리미트 롤러(25a), 입구측 서브 스프로켓(25b) 및 입구측 가이드 롤러(25c)를 거쳐 푸셔 유닛(3)으로 반송된다.On the lower side of the unwinding reel 21, a tape guide 24a, a unwinding limit roller 25a, an inlet side sub-sprocket 25b and an inlet side guide roller 25c are provided, and unrolled from the unwinding reel 21. The carrier tape 5 is guided by the tape guide 24a, and is conveyed to the pusher unit 3 via the unwinding limit roller 25a, the inlet side sprocket 25b, and the inlet side guide roller 25c.

또한, 권취릴(22)의 하부측에는, 테이프 가이드(24b), 권취 리미트 롤러(25f), 출구측 서브 스프로켓(25e) 및 출구측 가이드 롤러(25d)가 설치되어 있고, 시험출구 후의 캐리어 테이프(5)는, 출구측 가이드 롤러(25d), 출구측 서브 스프로켓(25e) 및 권취 리미트 롤러(25f)를 거쳐, 테이프 가이드(24b)에 의해 안내되면서, 권취릴(22)에 권취된다.Moreover, the tape guide 24b, the winding limit roller 25f, the exit side sprocket 25e, and the exit side guide roller 25d are provided in the lower side of the winding reel 22, and the carrier tape after a test exit ( 5) is wound around the winding reel 22 while being guided by the tape guide 24b through the exit guide roller 25d, the exit sub-sprocket 25e, and the winding limit roller 25f.

입구측 가이드 롤러(25c)와, 출구측 가이드 롤러(25d)와의 사이에는, 푸셔 유닛(3)이 설치되어 있고, 푸셔 유닛(3)의 전단측(도 1 중 좌측)에는 제 1카메라(6a)가, 푸셔 유닛(3)의 하부측(후술하는 프로브 카드 스테이지(7)의 내측)에는 제 2카메라(6b)가, 푸셔 유닛(3)의 후단측(도 1 중 우측)에는 제 3카메라(6c)가 설치되어 있다. 또한, 푸셔 유닛(3)과 제 3카메라(6c)와의 사이에는, 마크 펀치(26a) 및 리젝트 펀치(26b)가 설치되어 있다. The pusher unit 3 is provided between the inlet side guide roller 25c and the outlet side guide roller 25d, and the 1st camera 6a is provided in the front end side (left side in FIG. 1) of the pusher unit 3. ), The second camera 6b is located on the lower side of the pusher unit 3 (inside of the probe card stage 7 described later), and the third camera is located on the rear end side (right side in FIG. 1) of the pusher unit 3. 6c is provided. In addition, a mark punch 26a and a reject punch 26b are provided between the pusher unit 3 and the third camera 6c.

마크 펀치(26a)는 시험 결과에 의하여, 해당하는 TCP에 대해 소정의 위치에 1개 또는 복수개의 구멍을 만드는 것이고, 리젝트 펀치(26b)는 시험 결과 불량품이라고 판단된 TCP를 구멍을 뚫는 것이다.The mark punch 26a is to make one or a plurality of holes at a predetermined position with respect to the corresponding TCP according to the test result, and the reject punch 26b is to punch the TCP determined as defective as a result of the test.

각 카메라(6a)(6b)(6c)는 화상 처리 장치(미도시)에 접속되어 있고, 제 1 카메라(6a) 및 제 3 카메라(6c)는 캐리어 테이프(５) 상에서의 TCP의 유무나 마크 펀치(26a)에 의한 구멍의 위치나 수를 판단하기 위한 것이고, 제 2카메라(6b)는 캐리어 테이프(5) 상의 TCP와 프로브와의 위치 어긋남 정보를 취득하기 위한 것이다. 본 실시 형태에서의 제 2카메라(6b)는 시야 내의 복수의 대상에 관한 위치 어긋남 정보를 취득할 수 있도록 되어 있다.Each camera 6a, 6b, 6c is connected to an image processing apparatus (not shown), and the 1st camera 6a and the 3rd camera 6c have the presence or absence of TCP on the carrier tape 5, and a mark. It is for determining the position and number of holes by the punch 26a, and the 2nd camera 6b is for acquiring the position shift information of the TCP on a carrier tape 5, and a probe. The 2nd camera 6b in this embodiment is able to acquire the position shift information regarding the some object in a visual field.

제 2카메라(6b)는 카메라 스테이지(61) 상에 탑재되어 있고, 카메라 스테이지(61)가 갖는 액츄에이터에 의해 평면에서 봐서 종횡 방향(X축-Y축 방향) 및 상하 방향(Z축 방향)으로 이동 가능하게 되어 있다.The 2nd camera 6b is mounted on the camera stage 61, and is actuated by the actuator which the camera stage 61 has in the horizontal direction (X-Y-axis direction), and up-down direction (Z-axis direction). It is movable.

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 푸셔 유닛(3)의 프레임(퓨셔 프레임)(36)에는, 볼 나사(32)를 회전시킬 수 있는 서보 모터(31)가 브래킷(361)을 끼워 부착되어 있는 동시에, 볼 나사(32)가 나사결합되어 있는 푸셔 본체부(33)가2개의 Z축 방향의 리니어 모션 가이드(이하 "LM 가이드"라고 한다.)(37)를 끼워 부착되어 있다. 이 푸셔 본체부(33)는 서보 모터(31)를 구동시킴으로써 리니어 모션 가이드(37)로 안내되면서 상하 방향(Z축 방향)으로 이동 가능하게 되어 있다.1 and 2, a servo motor 31 capable of rotating the ball screw 32 is fitted with a bracket 361 to the frame (pusher frame) 36 of the pusher unit 3. At the same time, the pusher main body portion 33 to which the ball screw 32 is screwed is fitted with two linear motion guides (hereinafter referred to as "LM guides") 37 in two Z-axis directions. The pusher main body 33 is moved to the vertical direction (Z-axis direction) while being guided to the linear motion guide 37 by driving the servo motor 31.

이 푸셔 본체부(33)의 하단부에는, 공기를 흡인함으로써 캐리어 테이프(5)를 흡착 유지할 수 있는 흡착 플레이트(34)가 설치되어 있다.At the lower end of the pusher main body portion 33, an adsorption plate 34 capable of adsorbing and holding the carrier tape 5 by sucking air is provided.

푸셔 본체부(33)의 전단측(도1 중 좌측)에는 텐션 스프로켓(35a)이 설치되어 있고, 푸셔 본체부(33)의 후단측(도1 중 우측)에는 메인 스프로켓(35b)이 설치되어 있다.A tension sprocket 35a is provided on the front end side (left side in Fig. 1) of the pusher main body part 33, and a main sprocket 35b is installed on the rear end side (right side in Fig. 1) of the pusher body part 33. have.

도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 푸셔 프레임(36)에서의 푸셔 본체부(33)의 배면측에는, 기반(38)에 얹을 수 있도록 하여 푸셔 스테이지(4)가 설치되어 있고, 푸셔 스테이지(4)의 회전대인 톱테이블(48)은 푸셔 프레임(36)으로 고정되어 있다.As shown in FIG.2 and FIG.3, the pusher stage 4 is provided in the back side of the pusher main-body part 33 in the pusher frame 36 so that it may be mounted to the base 38, and the pusher stage 4 The top table 48, which is a rotating table of), is fixed to the pusher frame 36.

푸셔 스테이지(4)의 베이스(40) 상에는, X축 방향으로 축을 갖는 볼 나사(42a)를 회전시키는 서보 모터(41a)와, Y축 방향으로 축을 갖는 볼 나사(42b)를 회전시키는 서보 모터(41b)와, Y축 방향으로 축을 갖는 볼 나사(42c)를 회전시키는 서보 모터(41c)가 설치되어 있고, 서보 모터(41b) 및 서보 모터(41c)는, 각각 베이 스(40) 상의 양단부에 위치하고 있다.On the base 40 of the pusher stage 4, the servo motor 41a which rotates the ball screw 42a which has an axis in an X-axis direction, and the servo motor which rotates the ball screw 42b which has an axis in a Y-axis direction ( The servo motor 41c which rotates 41b) and the ball screw 42c which has an axis in a Y-axis direction is provided, and the servomotor 41b and the servomotor 41c are respectively provided in the both ends on the base 40, respectively. Is located.

볼 나사(42a)에는, X축 방향의 LM 가이드(43a)(43a)로 안내되어 X축 방향으로 슬라이딩 가능한 슬라이딩 블록(44a)이 나사 결합되어 있다. 슬라이딩 블록(44a)에는, Y축 방향의 LM 가이드(45a)를 끼워 슬라이딩 판(46a)이 Y축 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되어 있다. 슬라이딩 판(46a)의 상부측에는, 내부에 롤러 링을 갖는 회전부재(47a)가 고정되어 있고, 회전부재(47a)는 톱테이블(48)에 회전 가능하게 부착되어 있다. A sliding block 44a guided by the LM guides 43a and 43a in the X-axis direction and slidable in the X-axis direction is screwed to the ball screw 42a. The sliding plate 46a is provided in the sliding block 44a so that the sliding plate 46a can slide in the Y-axis direction. On the upper side of the sliding plate 46a, a rotating member 47a having a roller ring therein is fixed, and the rotating member 47a is rotatably attached to the top table 48.

볼 나사(42b)에는, Y축 방향의 LM 가이드(43b)(43b)로 안내되어 Y축 방향으로 슬라이딩 가능한 슬라이딩 블록(44b)이 나사 결합되어 있다. 슬라이딩 블록(44b)에는, X축 방향의 LM 가이드(45b)를 끼워 슬라이딩 판(46b)이 X축 방향으로 슬라이딩 가능하게 부착되어 있다. 슬라이딩 판(46b)의 상부측에는, 내부에 롤러 링을 갖는 회전부재(47b)가 고정되어 있고, 회전부재(47b)는 톱테이블(48)에 회전 가능하게 부착되어 있다. A sliding block 44b guided to the LM guides 43b and 43b in the Y-axis direction and slidable in the Y-axis direction is screwed to the ball screw 42b. The sliding plate 46b is attached to the sliding block 44b so that the sliding plate 46b can slide in the X-axis direction. On the upper side of the sliding plate 46b, a rotating member 47b having a roller ring therein is fixed, and the rotating member 47b is rotatably attached to the top table 48.

볼 나사(42c)에는, Y축 방향의 LM 가이드(43c)(43c)로 안내되어 Y축 방향으로 슬라이딩 가능한 슬라이딩 블록(44c)이 나사 결합되어 있다. 슬라이딩 블록(44c)에는 X축 방향의 LM 가이드(45c)를 끼워 슬라이딩 판(46c)이 X축 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되어 있다. 슬라이딩 판(46c)의 상부측에는 내부에 롤러 링을 갖는 회전부재(47c)가 고정되어 있고, 회전부재(47c)는 톱테이블(48)에 회전 가능하게 부착되어 있다. A sliding block 44c which is guided to the LM guides 43c and 43c in the Y-axis direction and slides in the Y-axis direction is screwed to the ball screw 42c. The sliding plate 46c is provided in the sliding block 44c so that the sliding plate 46c can slide in the X-axis direction by sandwiching the LM guide 45c in the X-axis direction. On the upper side of the sliding plate 46c, a rotating member 47c having a roller ring therein is fixed, and the rotating member 47c is rotatably attached to the top table 48.

이와 같은 구성을 갖는 푸셔 스테이지(4)에 있어서는, 서보 모터(41a)를 구 동하여 슬라이딩 블록(44a), 슬라이딩 판(46b) 및 슬라이딩 판(46c)을 X축 방향으로 슬라이딩시킴으로써 톱테이블(48)을 X축 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한, 서보 모터(41b) 및 서보 모터(41c)를 구동하여, 슬라이딩 블록(44b), 슬라이딩 블록(44c) 및 슬라이딩 판(46a)을 같은 Y축 방향으로 슬라이딩시킴으로써 톱테이블(48)을 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한, 서보 모터(41a)를 구동하여, 슬라이딩 블록(44a)을 X축 방향으로 슬라이딩시키는 동시에, 서보 모터(41b) 및 서보 모터(41c)를 구동하여, 슬라이딩 블록(44b) 및 슬라이딩 블록(44c)을 서로 Y축 반대 방향으로 슬라이딩시키고, 그리고 각 회전부재(47a)(47b)(47c)를 회전시킴으로써 톱테이블(48)을 그 수직축 둘레로 회전시킬 수 있다.In the pusher stage 4 having such a configuration, the top table 48 is driven by sliding the sliding block 44a, the sliding plate 46b, and the sliding plate 46c in the X-axis direction by driving the servomotor 41a. ) Can be moved in the X-axis direction. In addition, the top table 48 is Y-axis by driving the servo motor 41b and the servo motor 41c to slide the sliding block 44b, the sliding block 44c, and the sliding plate 46a in the same Y-axis direction. Can be moved in a direction. Furthermore, the servo motor 41a is driven to slide the sliding block 44a in the X-axis direction, and the servo motor 41b and the servo motor 41c are driven to drive the sliding block 44b and the sliding block 44c. The top table 48 can be rotated around its vertical axis by sliding the < RTI ID = 0.0 >) < / RTI >

이 푸셔 스테이지(4)에 의하면, 퓨셔 유닛(3)을 X축-Y축 방향으로 이동시키는 것, 및 수직축 둘레로 회전 이동시킬 수 있다. 또한, 본 실시 형태에서의 푸셔 스테이지(4)는 그 구조상 X축-Y축 방향의 이동 및 수직축 둘레의 회전 이동을 동시에 수행할 수 있고, 또한 이동 대상인 퓨셔 유닛(3)은 비교적 경량이기 때문에, 단시간에 위치 어긋남을 보정할 수 있는 특징이 있다.According to the pusher stage 4, the pusher unit 3 can be moved in the X-Y-axis direction, and can be rotated about the vertical axis. In addition, since the pusher stage 4 in this embodiment can simultaneously perform the movement in the X-axis and Y-axis directions, and the rotational movement around the vertical axis, and the pusher unit 3 to be moved is relatively lightweight, There is a characteristic that the position shift can be corrected in a short time.

한편, 도 1에 나타낸 바와 같이, 퓨셔 유닛(3)의 하부측이고, 테스트 헤드(10)의 상부에는 프로브 카드(8)를 탑재한 프로브 카드 스테이지(7)가 설치되어 있다.On the other hand, as shown in FIG. 1, the probe card stage 7 which is the lower side of the pusher unit 3 and mounts the probe card 8 in the upper part of the test head 10 is provided.

도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 프로브 카드 스테이지(7)의 기반(71) 상에는 X축 방향으로 축을 갖는 볼 나사(712)를 회전시키는 서보 모터(711)와, 4개의 X축 방향의 LM 가이드(713)가 설치되어 있다. 이들 4개의 LM 가이드(713) 상에는, 각 LM 가이드(713)에 의해 X축 방향으로 슬라이딩 가능하게 안내되는 직사각형의 X베이스(72)가 설치되어 있다. 이 X베이스(72)의 일측부에는 볼 나사(712)가 나사 결합되어 있는 나사 결합부(721)가 형성되어 있다.4 and 5, on the base 71 of the probe card stage 7, a servo motor 711 for rotating the ball screw 712 having an axis in the X axis direction, and an LM in the four X axis directions. The guide 713 is provided. On these four LM guides 713, the rectangular X base 72 guided so that sliding to the X-axis direction by each LM guide 713 is provided. One side of the X base 72 is formed with a screw engaging portion 721 in which a ball screw 712 is screwed.

X베이스(72) 상에는, Y축 방향으로 축을 갖는 볼 나사(723)를 회전시키는 서보 모터(722)와, 2개의 Y축 방향의 LM 가이드(724)가 설치되어 있다. 이들 2개의 LM 가이드(724) 상에는, 각 LM 가이드(724)에 의해 Y축 방향으로 슬라이딩 가능하게 안내되는 직사각형의 Y베이스(73)가 설치되어 있다. 이 Y베이스(73)의 일측부에는 볼 나사(723)가 나사 결합되어 있는 나사 결합부(731)가 형성되어 있다. On the X base 72, the servo motor 722 which rotates the ball screw 723 which has an axis in a Y-axis direction, and the LM guide 724 of two Y-axis directions are provided. On these two LM guides 724, a rectangular Y base 73 guided to be slidable in the Y-axis direction by each LM guide 724 is provided. One side portion of the Y base 73 is provided with a screw engaging portion 731 in which a ball screw 723 is screwed.

Y베이스(73) 상에는, Y축 방향으로 축을 갖는 볼 나사(733)를 회전시키는 서보 모터(732)와, 카드링(735)을 회전 가능하게 지지하는 접속링(734)이 설치되어 있다. 카드링(735)의 일부에는, 볼 나사(733)가 나사 결합되어 있는 나사 결합부(736)가 형성되어 있다. 복수의 프로브(81)를 구비한 프로브 카드(8)는 4개의 핀(82)으로 카드 링(735)에 착탈 가능하게 부착되어 있다.On the Y base 73, a servo motor 732 for rotating the ball screw 733 having an axis in the Y-axis direction and a connection ring 734 for rotatably supporting the card ring 735 are provided. A part of the card ring 735 is formed with a screw engaging portion 736 where the ball screw 733 is screwed. The probe card 8 including the plurality of probes 81 is detachably attached to the card ring 735 by four pins 82.

또한, 도 4 및 도 5에는 미도시되어 있으나, 프로브 카드(8)의 각 프로브(81)는 테스트 헤드(10)를 끼워서 테스터 본체에 전기적으로 접속되어 있고, 프로브 카드(8)의 하부측이고, 프로브 카드 스테이지(7)의 내측에는 제 2카메라(6b)가 위치되어 있다.In addition, although not shown in FIGS. 4 and 5, each probe 81 of the probe card 8 is electrically connected to the tester body by inserting the test head 10, and is a lower side of the probe card 8. The second camera 6b is located inside the probe card stage 7.

이와 같은 구성을 갖는 프로브 카드 스테이지(7)에 있어서는, 서보 모터(711)를 구동함으로써 X베이스(72) 나아가서는 프로브 카드(8)를 X축 방향으로 이동시킬 수 있고, 서보 모터(722)를 구동함으로써 Y베이스(73), 나아가서는 프로브 카드(8)를 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한, 서보 모터(732)를 구동하여 볼 나사(733)를 회전시켜, 나사 결합부(736)를 이동시킴으로써 카드링(735) 및 프로브 카드(8)를 그 수직축 둘레로 회전시킬 수 있다.In the probe card stage 7 having such a configuration, by driving the servo motor 711, the X base 72 and the probe card 8 can be moved in the X-axis direction, and the servo motor 722 is moved. By driving, the Y base 73 and further the probe card 8 can be moved to a Y-axis direction. Further, by driving the servo motor 732 to rotate the ball screw 733 and moving the screw engaging portion 736, the card ring 735 and the probe card 8 can be rotated about their vertical axis.

여기에서, 상술한 푸셔 스테이지(3)는 구조적으로 짧은 시간에 위치 어긋남 보정을 수행할 수 있으나, 평면 방향에 다수의 부재를 구비하고 있어 평면 방향의 사이즈가 커져 버린다. 프로브 카드 스테이지(7)는 평면 방향의 스페이스가 제한되어 있기 때문에, 푸셔 스테이지(3)와 같은 구조로 하는 것은 곤란하고, 만일 푸셔 스테이지(3)와 같은 구조로 하기 위하여 서보 모터(711)(722)(732)를 소형화하면, 서보 모터(711)(722)(732)의 구동력이 약해지고, 테스터 본체로 이어지는 코드를 다수 구비한 프로브 카드(8)를 확실하게 이동시킬 수 없게 되어 버린다. 즉, 본실시 형태에서의 프로브 카드 스테이지(7)는, 그 구조 상 X축-Y축 방향의 이동과 수직축 둘레의 회전 이동을 따로따로 수행해야 하고, 푸셔 스테이지(3)보다도 위치 어긋남 보정에 시간이 요구되나, 협소한 스페이스에서 확실하게 프로브 카드(8)를 이동시킬 수 있는 특징을 갖는다.Here, the above-described pusher stage 3 can perform positional displacement correction in a structurally short time. However, the pusher stage 3 includes a plurality of members in the planar direction, which increases the size in the planar direction. Since the space in the planar direction of the probe card stage 7 is limited, it is difficult to have the same structure as the pusher stage 3, and in order to have the same structure as the pusher stage 3, the servo motors 711 and 722 are used. If the 732 is downsized, the driving force of the servo motors 711, 722 and 732 is weakened, and the probe card 8 provided with a large number of codes leading to the tester body cannot be moved reliably. That is, the probe card stage 7 according to the present embodiment must separately perform the movement in the X-axis and Y-axis directions and the rotational movement around the vertical axis according to its structure, and time for correcting the position shift than the pusher stage 3 is different. Although this is required, the probe card 8 can be reliably moved in a narrow space.

다음으로, TCP 핸들러(2)의 사용 방법 및 동작에 대해서 설명한다. Next, the usage and operation of the TCP handler 2 will be described.

TCP 핸들러(2)를 사용하는 경우에는, TCP 핸들러(2)를 실제로 가동시키기 전에, 미리 초기 설정해야 한다. 즉, TCP의 품종이나 이것에 동반하여 프로브 카드(8)를 변경할 경우에는, TCP의 외부단자(이하 "테스트 패드"라고 하는 경우가 있다.)와 프로브 카드(8)의 프로브(81)가 접촉되도록, 푸셔 스테이지(4) 및 프로브 카드 스테이지(7)의 기준 위치를 결정하여 등록해야 한다(이 위치를 "등록 위치"라 고 한다).In the case of using the TCP handler 2, the initial setting must be made in advance before the TCP handler 2 is actually started. That is, when changing the probe card 8 in conjunction with the varieties of TCP and this, the external terminal of the TCP (hereinafter sometimes referred to as "test pad") and the probe 81 of the probe card 8 are in contact with each other. If possible, the reference positions of the pusher stage 4 and the probe card stage 7 should be determined and registered (this position is referred to as a "registration position").

예를 들면, 메뉴얼 조작에서 복수 장소(예를 들면 3군데)의 프로브(81)와 이것에 대응하는 테스트 패드를 선택하여 대충 위치를 정하고, 다음으로 제 2카메라(6b) 및 화상 처리 장치를 이용하여 각각의 프로브(81)가 가능한한 각 테스트 패드의 중앙에 위치하도록, 푸셔 스테이지(4) 및 / 또는 프로브 카드 스테이지(7)를 자동 제어로 이동시킴으로써 기준 위치를 결정하여 등록할 수 있다. 또한, 소망에 의해 상기 대충 결정한 위치에 대해서도, 메뉴얼 조작이 아닌 자동제어에 의해 수행해도 된다. For example, in manual operation, the probe 81 of a plurality of places (for example, three places) and the test pad corresponding to it are selected, and roughly position is set, Next, the 2nd camera 6b and the image processing apparatus are used, The reference position can be determined and registered by moving the pusher stage 4 and / or the probe card stage 7 with automatic control so that each probe 81 is as centered on each test pad as possible. In addition, you may perform the said roughly determined position by automatic control instead of manual operation.

이 때, 제 2카메라(6b)의 시야 내에서의 소정 대상의 위치 좌표를 아울러 등록한다. 위치 좌표는 복수 장소, 특히 카메라의 시야 내에서 떨어진 대상에 대해서 3군데 이상 등록하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 위치 어긋남 정보를 높은 정밀도로 취득할 수 있게 된다. 소정의 대상으로서는, 예를 들면 캐리어 테이프(5)에서의 배열 마크, TCP의 대각선 상에 있는 2개 이상의 테스트 패드 또는 특징이 있는 리드, 이들에 대응하는 2개 이상의 프로브(81) 선단부 등을 선택할 수 있다.At this time, the position coordinates of the predetermined object in the field of view of the second camera 6b are also registered. It is preferable to register the position coordinates three or more places with respect to plural places, especially the object which fell in the field of view of a camera. Thereby, position shift information can be acquired with high precision. As a predetermined object, for example, an alignment mark on the carrier tape 5, two or more test pads or characteristic leads on a diagonal line of the TCP, a tip corresponding to two or more probes 81 corresponding thereto, and the like are selected. Can be.

TCP 핸들러(2)를 실제로 가동시킬 때의 TCP 핸들러(2)의 주동작을, 도 6의 플로우 챠트를 참조하면서 설명한다.The main operation of the TCP handler 2 when the TCP handler 2 is actually operated will be described with reference to the flowchart of FIG. 6.

TCP 핸들러(2)가 주동작을 개시하면, 푸셔 스테이지(4) 및 프로브 카드 스테이지(7)는 등록 위치로 이동된다(스텝S01). 그리고, 권출릴(21) 및 권취릴(22)이 소정 각도로 회전함으로써 캐리어 테이프(5)를 이동시켜, 1개의 TCP를 흡착 플레이트(34)의 하부측의 소정 위치까지 반송한다(스텝S02).When the TCP handler 2 starts the main operation, the pusher stage 4 and the probe card stage 7 are moved to the registration position (step S01). The carrier tape 5 is moved by the unwinding reel 21 and the winding reel 22 rotating at a predetermined angle, and one TCP is conveyed to a predetermined position on the lower side of the suction plate 34 (step S02). .

TCP가 흡착 플레이트(34)의 하부측까지 반송되어 오면, 퓨셔 유닛(3)의 서보 모터(31)가 구동되어, 푸셔 본체부(33)를 끼워 흡착 플레이트(34)를 Z축 하부방향으로 이동시킨다. 흡착 플레이트(34)는 캐리어 테이프(5)를 흡착하여 촬상위치까지 하강한다(스텝S03). 또한, 텐션 스프로켓(35a)은 캐리어 테이프(5)의 주행 방향과 역방향으로 회전함으로써 캐리어 테이프(5)로 소정의 텐션을 걸어, 캐리어 테이프(5)의 위치 정밀도를 향상시킨다.When TCP is conveyed to the lower side of the suction plate 34, the servo motor 31 of the pusher unit 3 is driven to insert the pusher main body 33 to move the suction plate 34 in the Z-axis lower direction. Let's do it. The adsorption plate 34 adsorb | sucks the carrier tape 5, and it descend | falls to an imaging position (step S03). In addition, the tension sprocket 35a rotates in a direction opposite to the traveling direction of the carrier tape 5 to apply a predetermined tension to the carrier tape 5 to improve the positional accuracy of the carrier tape 5.

이 상태에서 제 2카메라(6b)는 촬상을 수행하고(스텝S04), 화상 정보를 화상 처리 장치로 송신한다. 화상 처리 장치는 수신된 화상 정보로부터 사전에 등록된 소정 대상의 위치 좌표와, 실제로 촬상한 대상의 위치 좌표와의 위치 어긋남 정보(위치 어긋남 방향(X·Y·θ) 및 위치 어긋남 분량)를 취득한다. 예를 들면, 배열 마크, 2개 이상의 테스트 패드 및 이것에 대응하는 2개 이상의 프로브 선단부의 위치 좌표가 등록되어 있으면, 이들 등록되어 있는 위치 좌표와, 실제로 촬상한 배열 마크, 2개 이상의 테스트 패드 및 이것에 대응하는 2개 이상의 프로브 선단부의 위치 좌표와의 위치 어긋남 정보를 취득한다.In this state, the second camera 6b performs imaging (step S04) and transmits image information to the image processing apparatus. The image processing apparatus acquires position shift information (position shift direction (X · Y · θ) and position shift amount) between the position coordinates of the predetermined target registered in advance and the position coordinates of the target image actually captured from the received image information. do. For example, if an alignment mark, two or more test pads, and position coordinates of two or more probe tip portions corresponding thereto are registered, these registered position coordinates, an actually captured array mark, two or more test pads, and Position shift information with the position coordinates of two or more probe tip parts corresponding to this is acquired.

화상 처리 장치는, 취득한 위치 어긋남 정보에 의하여, X축 방향, Y축 방향 및 수직축 둘레의 위치 어긋남 분량을 연산한다(스텝S05).The image processing apparatus calculates the position shift amount of the X-axis direction, the Y-axis direction, and the periphery of the vertical axis | shaft based on the acquired position shift information (step S05).

또한, 복수의 TCP를 동시에 시험하는 경우에는, 각 TCP에 대한 위치 어긋남 분량의 평균치를 낸다.In the case where a plurality of TCPs are tested at the same time, the average value of the displacement amounts for each TCP is given.

연산 결과, 위치 어긋남 보정이 필요없다고 판단된 경우(스텝S06-No)에는, 후술하는 스텝(S10)으로 건너뛴다. If it is determined that the position shift correction is not necessary (step S06-No), the operation skips to step S10 described later.

연산 결과, 위치 어긋남 보정이 필요하다고 판단된 경우(스텝S06-Yes)에는, 위치 어긋남 분량이 소정 값(T) 이상인지 아닌지를 판단한다(스텝S07). 이 경우에서의 "위치 어긋남 분량"은, 수직축 둘레의 위치 어긋남 분량 만큼을 대상으로 해도 되고, 수직축 둘레의 위치 어긋남 분량 및 Y축 방향의 위치 어긋남 분량을 대상으로 해도 되며, 수직축 둘레의 위치 어긋남 분량, Y축 방향의 위치 어긋남 분량 및 X축 방향의 위치 어긋남 분량을 대상으로 해도 된다. 위치 어긋남 분량의 요소가 복수인 경우에는, 이것을 적당하게 조합해서 판단하면 된다. When it is determined that the position shift correction is necessary as a result of the calculation (steps S06-Yes), it is judged whether or not the position shift amount is greater than or equal to the predetermined value T (step S07). In this case, the "position shift amount" may be as much as the position shift amount around the vertical axis, and may be the position shift amount around the vertical axis and the position shift amount in the Y axis direction, and the position shift amount around the vertical axis. The position shift amount in the Y-axis direction and the position shift amount in the X-axis direction may be targeted. What is necessary is just to combine together and determine suitably when there are multiple elements of a position shift amount.

위치 어긋남 분량이 소정 값(T) 이상인 경우(스텝S07-Yes)에는, 프로브 카드 스테이지(7)의 서보 모터(711)(722)(732)가 구동하여 X베이스(72), Y베이스(73) 또는 카드링(735)을 작동시켜 프로브 카드(8)를 X축-Y축 방향으로 이동 및 / 또는 수직축 둘레로 회전 이동시킴으로써 위치 어긋남을 보정한다(스텝S08).When the displacement amount is more than or equal to the predetermined value T (step S07-Yes), the servo motors 711, 722 and 732 of the probe card stage 7 are driven to drive the X base 72 and the Y base 73. ) Or the card ring 735 is operated to correct the position shift by moving the probe card 8 in the X-Y-axis direction and / or by rotating it about the vertical axis (step S08).

이에 비해, 위치 어긋남 분량이 소정 값(T) 미만인 경우(스텝S07-No)에는 푸셔 스테이지(4)의 서보 모터(41a)(41b)(41c)가 구동하여 톱테이블(48), 나아가서는 퓨셔 유닛(3)을 작동시키고, 흡착 플레이트(34)에서 흡착하고 있는 캐리어 테이프(5)를 X축-Y축 방향으로 이동 및 / 또는 수직축 둘레로 회전 이동시킴으로써 위치 어긋남을 보정한다(스텝S09).On the other hand, when the displacement amount is less than the predetermined value T (step S07-No), the servo motors 41a, 41b, 41c of the pusher stage 4 are driven to drive the top table 48, and then the pusher. The unit 3 is operated and the position shift is corrected by moving the carrier tape 5 adsorbed by the adsorption plate 34 in the X-Y-axis direction and / or rotationally around the vertical axis (step S09).

위치 어긋남 분량이 큰 경우에, 푸셔 스테이지(4)에 의해 캐리어 테이프(5)를 이동시키면, 입구측 가이드 롤러(25c), 텐션 스프로켓(35a), 메인 스프로켓(35b) 및 출구측 가이드 롤러(25d)에 의해 지지되어 있는 캐리어 테이프(5)에 응력이 걸려, 캐리어 테이프(5) 상의 TCP, 특히 리드 또는 테스트 패드나, 캐리어 테이 프 자체, 특히 텐션 스프로켓(35a) 및 메인 스프로켓(35b)의 톱니가 들어 가는 구멍부 또는 그 주변부가 손상될 우려가 있다. 이와 같은 문제는 특히 캐리어 테이프(5)를 수직축 둘레로 회전 이동시키는 경우에 발생되기 쉽고, 또한 캐리어 테이프(5)를 Y축 방향으로 이동시키는 경우에도 발생되는 경우가 있다.In the case where the displacement amount is large, when the carrier tape 5 is moved by the pusher stage 4, the inlet guide roller 25c, the tension sprocket 35a, the main sprocket 35b, and the outlet side guide roller 25d The stress is applied to the carrier tape 5 which is supported by) and the teeth of the TCP on the carrier tape 5, in particular the lead or test pad, or the carrier tape itself, in particular the tension sprocket 35a and the main sprocket 35b. There is a risk of damaging the hole or its periphery. Such a problem is particularly likely to occur when the carrier tape 5 is rotated about the vertical axis, and may also occur when the carrier tape 5 is moved in the Y-axis direction.

본 실시 형태에서는 위치 어긋남 분량이 큰 경우(T 이상인 경우)에는, 프로브 카드 스테이지(7)에 의해 프로브 카드(8)를 이동시켜 위치 어긋남 보정을 수행하기 때문에 상기와 같은 문제는 없다. T의 값은 TCP의 사이즈(특히 X축 방향의 퍼포레이션 사이즈나 테스트 패드 사이즈) 등에 의하여 다르게 되나, 상기한 바와 같이 TCP나 캐리어 테이프(5)의 손상 위험을 고려하여 적당하게 설정하면 된다. 통상적으로, 수직축 둘레의 위치 어긋남 분량(정도)으로서의 T 값은 0.1(정도) 이내가 된다.In this embodiment, when the displacement amount is large (more than T), the displacement is corrected by moving the probe card 8 by the probe card stage 7 so that there is no problem as described above. The value of T varies depending on the size of TCP (especially the perforation size and test pad size in the X-axis direction) and the like, but may be appropriately set in consideration of the risk of damage to TCP or the carrier tape 5 as described above. Usually, the T value as the displacement amount (degree) around the vertical axis is within 0.1 (degree).

한편, 위치 어긋남 분량이 적은 경우(T 미만인 경우)에는, 위치 어긋남 보정에 요구되는 시간이 짧은 푸셔 스테이지(4)에 의해 캐리어 테이프(5)를 이동시킴으로써, 인덱스 타임(테스트종료로 부터 테스트 시작까지의 시간)을 단축할 수 있다. On the other hand, when the amount of misalignment is small (less than T), the index tape (from the end of the test to the start of the test) is moved by moving the carrier tape 5 by the shorter pusher stage 4 required for the misalignment correction. Time can be shortened.

스텝S08 또는 스텝S09에 의해 위치 어긋남 보정이 수행되면, 퓨셔 유닛(3)의 서보 모터(31)가 구동되고, 푸셔 본체부(33)를 끼워 흡착 플레이트(34)를 또한 Z축 하부방향으로 이동시킨다. 캐리어 테이프(5)를 흡착한 흡착 플레이트(34)는 접촉 위치까지 하강하고, TCP를 프로브 카드(8)의 프로브(81)에 대해 누른다(스텝S10).When the position shift correction is performed by step S08 or step S09, the servo motor 31 of the pusher unit 3 is driven, and the pusher main body portion 33 is fitted to move the suction plate 34 in the lower Z-axis direction. Let's do it. The adsorption plate 34 which adsorb | sucked the carrier tape 5 descends to a contact position, and presses TCP against the probe 81 of the probe card 8 (step S10).

TCP의 테스트 패드가 프로브(81)에 접촉되면, TCP에는 테스터 본체로부터 테스트 헤드(10)를 통하여 테스트 신호가 인가되고, TCP로부터 독출된 응답 신호는, 테스트 헤드(10)를 통하여 테스터 본체로 보내진다. 이에 의해 TCP의 성능이나 기능 등이 시험되고, 그 시험 결과에 의하여 마크 펀치(26a) 또는 리젝트 펀치(26b)가 구동하게 된다.When the test pad of TCP is in contact with the probe 81, a test signal is applied to the TCP from the tester main body through the test head 10, and the response signal read out from the TCP is sent to the tester main body through the test head 10. Lose. Thereby, the performance, function, etc. of TCP are tested, and the mark punch 26a or the reject punch 26b is driven by the test result.

TCP 핸들러(2)는, 시험을 행한 TCP가 최종 디바이스인지 아닌지를 판단하며 (스텝S11), 최종 디바이스라고 판단된 경우에는(스텝S11-Yes), 주동작을 종료한다. 한편, 최종 디바이스가 아니라고 판단된 경우에는(스텝S11-No), 퓨셔 유닛(3)의 서보 모터(31)가 구동하고, 푸셔 본체부(33)를 끼워 흡착 플레이트(34)를 Z축 상부방향으로 이동시키는 동시에, 푸셔 스테이지(4) 및 프로브 카드 스테이지(7)가 등록 위치로 이동한다(스텝S12). 그리고, 흡착 플레이트(34)는 캐리어 테이프(5)의 흡착을 정지하여 캐리어 테이프(5)를 해방하는 동시에, 또한 Z축 상방향으로 이동한다(스텝S13). 그 후는 스텝S02으로 되돌아 온다.The TCP handler 2 judges whether or not the tested TCP is the last device (step S11). When it is determined that the final device is the last device (step S11-Yes), the main operation is terminated. On the other hand, when it is judged that it is not a final device (step S11-No), the servo motor 31 of the pusher unit 3 drives, and the pusher main-body part 33 is inserted, and the adsorption plate 34 is Z-axis upper direction. At the same time, the pusher stage 4 and the probe card stage 7 move to the registration position (step S12). And the adsorption plate 34 stops adsorption of the carrier tape 5, releases the carrier tape 5, and moves to a Z-axis upward direction (step S13). Thereafter, the flow returns to step S02.

본 실시 형태에 따른 TCP 핸들러(2)에 의하면, 푸셔 스테이지(4) 및 / 또는 프로브 카드 스테이지(7)에 의해 TCP 핸들러(2)의 실제 가동 중에, 캐리어 테이프(5) 및 / 또는 프로브 카드(8)를 X축-Y축 방향뿐만 아니라, 수직축 둘레로 이동시켜 위치 어긋남 보정을 수행할 수 있기 때문에, TCP와 프로브(81)와의 위치 맞춤을 확실하게 행하여 접촉 불량의 발생을 줄일 수 있다. 또한, 푸셔 스테이지(4) 및 프로브 카드 스테이지(7)를 적절하게 사용함으로써 TCP나 캐리어 테이프를 손상시키는 일 없이, 인덱스 타임을 가능한 한 단축할 수 있다.According to the TCP handler 2 according to the present embodiment, the carrier tape 5 and / or the probe card (during the actual operation of the TCP handler 2 by the pusher stage 4 and / or the probe card stage 7). Since the misalignment correction can be performed by moving 8) not only in the X-Y-axis direction, but also around the vertical axis, the alignment between the TCP and the probe 81 can be reliably performed to reduce the occurrence of contact failure. In addition, by appropriately using the pusher stage 4 and the probe card stage 7, the index time can be reduced as much as possible without damaging the TCP or the carrier tape.

이상 설명한 실시 형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위하여 기재된 것으로, 본 발명을 한정하기 위하여 기재된 것은 아니다. 따라서, 상기 실시 형태 에 개시된 각 요소는, 본 발명의 기술적 범위에 속하는 모든 설계 변경이나 균등물을 포함하는 취지이다.The embodiments described above have been described in order to facilitate understanding of the present invention, and are not described to limit the present invention. Therefore, each element disclosed in the said embodiment is intended to include all the design changes and equivalents which belong to the technical scope of this invention.

예를 들면, 푸셔 스테이지(4) 및 프로브 카드 스테이지(7)의 구조는 특별히 한정되는 것은 아니고, 양자의 구조가 서로 바뀌어도 되고, 양자 모두 같은 구조가 되어도 된다. For example, the structures of the pusher stage 4 and the probe card stage 7 are not particularly limited, and the structures of the pusher stage 4 and the probe card stage 7 may be interchanged with each other, or both may have the same structure.

또한, 상기 TCP 핸들러(2)에 있어서는, 프로브 카드 스테이지(7)를 생략하고, 푸셔 스테이지(4)만으로 위치 어긋남 보정을 해도 된다. 이런 경우에도, 푸셔 스테이지(4)에 의해 캐리어 테이프(5)를 수직 둘레로 회전 이동시킬 수 있기 때문에, X축-Y축 방향 만의 2축 제어와 비교하여, TCP와 프로브(81)와의 위치 맞춤을 정확하게 수행할 수 있다.In the TCP handler 2, the probe card stage 7 may be omitted, and the position shift correction may be performed only by the pusher stage 4. Even in this case, since the carrier tape 5 can be rotated about the vertical circumference by the pusher stage 4, the alignment between the TCP and the probe 81 is compared with the two-axis control only in the X-Y-axis direction. Can be done accurately.

더욱이, 상기 TCP 핸들러(2)에 있어서는, 푸셔 스테이지(4)를 생략하고, 프로브카드 스테이지(7)만으로 위치 어긋남 보정을 해도 된다. 이런 경우라도, 프로브 카드 스테이지(7)에 의해 TCP 핸들러(2)의 실제 가동 중에 프로브 카드(8)를 X축-Y축 방향으로 이동 및 수직축 둘레로 회전 이동시킬 수 있기 때문에, TCP와 프로브(81)와의 접촉 불량의 발생을 줄일 수 있다.Further, in the TCP handler 2, the pusher stage 4 may be omitted, and the position shift correction may be performed only by the probe card stage 7. Even in this case, since the probe card stage 7 can move the probe card 8 in the X-Y-axis direction and rotate around the vertical axis during the actual operation of the TCP handler 2, the TCP and the probe ( 81) It is possible to reduce the occurrence of poor contact with.

더욱이, 상기 TCP 핸들러(2)의 프로브 카드 스테이지(7)에 있어서는, 수직축 둘레의 회전 이동 기구만을, 제 2카메라(6b) 및 화상 처리 장치를 사용한 자동제어로 하고, X축-Y축 방향의 이동 기구는 제 2카메라(6b)에서 촬상한 화상을 보면서 하는 메뉴얼 조작식으로 해도 된다. 또한 이런 경우에 있어서, 푸셔 스테이지(3)는 수직축 둘레의 회전 이동 기구를 생략하고, X축-Y축 방향의 이동 기구만이 자동제 어 되도록 해도 된다. Further, in the probe card stage 7 of the TCP handler 2, only the rotary movement mechanism around the vertical axis is set to automatic control using the second camera 6b and the image processing apparatus, and the X-axis Y-axis direction The moving mechanism may be a manual operation type which looks at the image picked up by the second camera 6b. In this case, the pusher stage 3 may omit the rotational movement mechanism around the vertical axis, and only the movement mechanism in the X-Y-axis direction may be controlled automatically.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 TCP 핸들링 장치 또는 위치 어긋남 보정 방법에 의하면, TCP와 접촉부와의 위치 맞춤을 정확하게 행하여 접촉 불량의 발생을 줄일 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 TCP 핸들링 장치 및 위치 어긋남 보정 방법은 정확하고 확실하게 효율적인 TCP의 시험을 수행하는데 유용하다.As described above, according to the TCP handling apparatus or the misalignment correction method according to the present invention, the occurrence of contact failure can be reduced by precisely aligning the TCP with the contact portion. In other words, the TCP handling apparatus and the misalignment correction method according to the present invention are useful for accurately and reliably performing a test of TCP.

Claims (16)

테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 상기 캐리어 테이프를 눌러, 상기 TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써 복수의 상기 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서,A plurality of TCPs can be tested sequentially by conveying a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape to a contact portion electrically connected to a test head, and connecting the external terminal of the TCP to the contact portion. TCP handling device, 푸셔유니트에 상기 접촉부에 눌려지는 상기 캐리어 테이프를 상기 캐리어 테이프를 포함한 평면에 대하여 수직축 둘레로 회전 이동시킬 수 있는 테이프 수직축 회전 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.And a tape vertical axis rotating device capable of rotating the carrier tape pressed by the contact portion in the pusher unit about a vertical axis with respect to the plane including the carrier tape. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 TCP 핸들링 장치는, 상기 푸셔유니트에 상기 접촉부에 눌려지는 상기 캐리어 테이프를 그 평면 방향으로 이동시킬 수 있는 테이프 평면 이동 장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치. And the TCP handling apparatus further comprises a tape plane moving apparatus capable of moving the carrier tape pressed in the contact portion to the pusher unit in a planar direction thereof. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 테이프 수직축 회전 장치 및/또는 상기 테이프 평면 이동 장치는, 상기 캐리어 테이프를 상기 접촉부로 누르는 누름 장치와 함께, 상기 캐리어 테이프를 상기 캐리어 테이프를 포함한 평면에 대하여 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 평면 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.The tape vertical axis rotating device and / or the tape plane moving device, along with the pressing device for pressing the carrier tape to the contact portion, rotate the carrier tape about a plane including the carrier tape and / or in a planar direction. TCP handling apparatus, characterized in that for moving to. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,The method of claim 2 or 3, 상기 TCP 핸들링 장치는, 상기 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 정보를 취득할 수 있는 위치 어긋남 정보 취득 장치를 더 구비하되,The TCP handling apparatus further includes a position misalignment information obtaining apparatus capable of acquiring position misalignment information between the TCP and the contact portion, 상기 위치 어긋남 정보 취득 장치로 취득한 상기 위치 어긋남 정보에 기초하여, 상기 테이프 수직축 회전 장치 및 / 또는 상기 테이프 평면 이동 장치를 구동하여, 상기 위치 어긋남을 자동으로 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치. The TCP handling apparatus characterized by driving the said tape vertical-axis rotation apparatus and / or the said tape plane moving apparatus automatically based on the said position shift information acquired with the said position shift information acquisition apparatus, and correcting the said position shift automatically. 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 상기 캐리어 테이프를 눌러서, 상기 TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써 복수의 상기 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서,A plurality of TCPs can be tested in sequence by conveying a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape to a contact portion electrically connected to a test head, and connecting the external terminal of the TCP to the contact portion. TCP handling device, 상기 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 정보를 취득할 수 있는 위치 어긋남 정보 취득 장치와,A position shift information acquisition device capable of acquiring position shift information between the TCP and the contact portion; 상기 테스트 헤드상에 상기 접촉부를 상기 캐리어 테이프를 포함한 평면에 대하여 수직축 둘레로 회전 이동시킬 수 있는 접촉부 수직축 회전장치를 구비하되,A contact part vertical axis rotating device capable of rotationally moving the contact part about a plane including the carrier tape on the test head, 실제 가동 중에 상기 위치 어긋남 정보 취득 장치로 취득한 위치 어긋남 정보에 기초하여 상기 접촉부 수직축 회전 장치를 구동하여 상기 접촉부를 상기 캐리어 테이프를 포함한 평면에 대하여 수직축 둘레로 회전 이동시켜서, 사익 위치 어긋남을 자동으로 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.Based on the position shift information acquired by the position shift information acquisition device during actual operation, the contact unit vertical axis rotating device is driven to rotate the contact unit about the plane including the carrier tape to rotate about the vertical axis, thereby automatically correcting the wing position shift. TCP handling apparatus, characterized in that. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 TCP 핸들링 장치는 상기 접촉부를 그 평면 방향으로 이동시킬수 있는 접촉부 평면 이동 장치를 더 구비하되,The TCP handling device further comprises a contact plane moving device capable of moving the contact part in its planar direction, 실제 가동중에 상기 위치 어긋남 정보 취득 장치로 취득한 상기 위치 어긋남 정보에 기초하여, 상기 접촉부 수직축 회전 장치 및/또는 상기 접촉부 평면 이동 장치를 구동하여 상기 접촉부를 상기 캐리어 테이프를 포함한 평면에 대하여 수직축 둘레로 회전 및/또는 평면 방향으로 이동시켜, 상기 위치 어긋남을 자동으로 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.Based on the position misalignment information acquired by the position misalignment information acquisition device during actual operation, the contact part vertical axis rotating device and / or the contact part plane moving device are driven to rotate the contact part about the plane including the carrier tape about the vertical axis. And / or moving in the plane direction to automatically correct the position shift. 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 상기 캐리어 테이프를 눌러, 상기 TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써 복수의 상기 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서,A plurality of TCPs can be tested sequentially by conveying a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape to a contact portion electrically connected to a test head, and connecting the external terminal of the TCP to the contact portion. TCP handling device, 상기 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남의 정보를 취득할 수 있는 위치 어긋남 정보 취득 장치와,A position shift information acquisition device capable of acquiring position shift information between the TCP and the contact portion; 푸셔 유니트에 상기 접촉부에 눌려지는 상기 캐리어 테이프를 상기 캐리어 테이프를 포함한 평면에 대하여 수직축 둘레로 회전 이동시킬 수 있는 테이프 수직축 회전 장치와,A tape vertical axis rotating device capable of rotating the carrier tape pressed against the contact portion by the pusher unit about a plane including the carrier tape about a vertical axis; 상기 테스트 헤드상에 상기 접촉부를 상기 캐리어 테이프를 포함한 평면에 대하여 수직축 둘레로 회전 이동시킬 수 있는 접촉부 수직축 회전 장치를 구비하되,A contact part vertical axis rotating device capable of rotationally moving the contact part about a plane including the carrier tape on the test head, 상기 위치 어긋남 정보 취득 장치로 취득한 위치 어긋남 분량이 소정 값 보다 큰 경우 또는 소정값 이상인 경우에는 상기 접촉부 수직축 회전장치를 구동하여 상기 접촉부를 상기 캐리어 테이프를 포함한 평면에 대하여 수직축 둘레로 회전 이동시키고, 상기 위치 어긋남 분량이 소정값 이하인 경우 또는 소정값 미만인 경우에는 상기 테이프 수직축 회전장치를 구동하여 상기 캐리어 테이프를 상기 캐리어 테이프를 포함한 평면에 대하여 수직축 둘레로 회전 이동시킴으로써 상기 위치 어긋남을 자동으로 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.When the position shift amount acquired by the position shift information acquisition device is larger than a predetermined value or higher than a predetermined value, the contact unit vertical axis rotating device is driven to rotate and move the contact portion about a plane including the carrier tape about a vertical axis. When the amount of misalignment is less than or equal to a predetermined value or less than a predetermined value, the position misalignment is automatically corrected by driving the tape vertical axis rotating device to rotate the carrier tape around the vertical axis with respect to the plane including the carrier tape. TCP handling device. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 TCP 핸들링 장치는, 상기 접촉부에 눌려지는 상기 캐리어 테이프를 그 평면 방향으로 이동시킬 수 있는 테이프 평면 이동 장치와, 상기 접촉부를 그 평면 방향으로 이동시킬 수 있는 접촉부 평면 이동 장치를 더 구비하되,The TCP handling apparatus further includes a tape plane moving device capable of moving the carrier tape pressed in the contact part in its planar direction, and a contact part plane moving device capable of moving the contact part in its planar direction, 상기 위치 어긋남 정보 취득 장치로 취득한 위치 어긋남 분량이 소정 값 보다 큰 경우 또는 소정 값 이상인 경우에는, 상기 접촉부 수직축 회전 장치 및 / 또는 상기 접촉부 평면 이동 장치를 구동하여 상기 접촉부를 상기 캐리어 테이프를 포함한 평면에 대하여 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 평면 방향으로 이동시키고, 상기 위치 어긋남 분량이 소정 값 이하인 경우 또는 소정 값 미만인 경우에는, 상기 테이프 수직축 회전 장치 및 / 또는 상기 테이프 평면 이동 장치를 구동하여 상기 캐리어 테이프를 상기 캐리어 테이프를 포함한 평면에 대하여 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 평면 방향으로 이동시킴으로써 상기 위치 어긋남을 자동으로 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.When the displacement amount acquired by the displacement information acquisition device is larger than a predetermined value or more than a predetermined value, the contact portion vertical axis rotating device and / or the contact portion plane moving device is driven to cause the contact portion to be flat on the plane including the carrier tape. The tape is rotated about the vertical axis and / or moved in the planar direction, and when the displacement amount is less than or equal to a predetermined value or less than a predetermined value, the tape vertical axis rotating device and / or the tape planar moving device are driven to drive the carrier tape. And the positional shift is automatically corrected by rotating and / or moving in a planar direction about a vertical axis with respect to a plane including the carrier tape. 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 상기 캐리어 테이프를 눌러서, 상기 TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써 복수의 상기 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치에서의 상기 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 보정 방법으로서,A plurality of TCPs can be tested in sequence by conveying a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape to a contact portion electrically connected to a test head, and connecting the external terminal of the TCP to the contact portion. A position shift correction method of the TCP and the contact portion in a TCP handling device, 상기 접촉부에 눌려지는 상기 캐리어 테이프를 상기 캐리어 테이프를 포함한 평면에 대하여 수직축 둘레로 회전 이동시킴으로써, 상기 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남을 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치에서의 위치 어긋남 보정 방법. The position shift correction method of the TCP handling apparatus characterized by correcting the position shift of the said TCP and the said contact part by rotating the said carrier tape pressed by the said contact part about the plane containing the said carrier tape about a vertical axis. 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 상기 캐리어 테이프를 눌러서, 상기 TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써 복수의 상기 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치에서의 상기 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 보정 방법으로서,A plurality of TCPs can be tested in sequence by conveying a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape to a contact portion electrically connected to a test head, and connecting the external terminal of the TCP to the contact portion. A position shift correction method of the TCP and the contact portion in a TCP handling device, 상기 접촉부에 눌려지는 상기 캐리어 테이프를 상기 캐리어 테이프를 포함한 평면에 대하여 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 그 평면 방향으로 이동시킴으로써, 상기 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남을 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치에서의 위치 어긋남 보정 방법.TCP handling characterized in that the position shift between the TCP and the contact portion is corrected by moving the carrier tape pressed against the contact portion in a rotational movement about a vertical axis with respect to the plane including the carrier tape and / or in the plane direction thereof. Method of correcting misalignment in the device. 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 상기 캐리어 테이프를 눌러서, 상기 TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써 복수의 상기 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치에서의 상기 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 보정 방법으로서,A plurality of TCPs can be tested in sequence by conveying a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape to a contact portion electrically connected to a test head, and connecting the external terminal of the TCP to the contact portion. A position shift correction method of the TCP and the contact portion in a TCP handling device, 상기 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 정보를 취득하고, 상기 취득한 위치 어긋남 정보에 기초하여, 상기 접촉부에 눌려지는 상기 캐리어 테이프를 상기 캐리어 테이프를 포함한 평면에 대하여 수직축 둘레로 회전 이동시킴으로써 상기 위치 어긋남을 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치에서의 위치 어긋남 보정 방법.The positional shift is obtained by acquiring positional shift information between the TCP and the contact portion, and rotating the carrier tape pressed against the contact portion about a plane including the carrier tape based on the obtained positional shift information. A position shift correction method in a TCP handling device, characterized in that for correcting. 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 상기 캐리어 테이프를 눌러서, 상기 TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써 복수의 상기 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치에서의 상기 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 보정 방법으로서,A plurality of TCPs can be tested in sequence by conveying a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape to a contact portion electrically connected to a test head, and connecting the external terminal of the TCP to the contact portion. A position shift correction method of the TCP and the contact portion in a TCP handling device, 상기 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 정보를 취득하고, 상기 취득한 위치 어긋남 정보에 기초하여, 상기 접촉부에 눌려지는 상기 캐리어 테이프를 상기 캐리어 테이프를 포함한 평면에 대하여 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 그 평면 방향으로 이동시킴으로써 상기 위치 어긋남을 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치에서의 위치 어긋남 보정 방법. The position shift information between the TCP and the contact portion is obtained, and based on the obtained position shift information, the carrier tape pressed against the contact portion is rotated about a plane including the carrier tape and / or the plane thereof. The position shift correction method in the TCP handling apparatus characterized by correcting the position shift by moving in the direction. 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 상기 캐리어 테이프를 눌러서, 상기 TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써 복수의 상기 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치에서의 상기 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 보정 방법으로서, A plurality of TCPs can be tested in sequence by conveying a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape to a contact portion electrically connected to a test head, and connecting the external terminal of the TCP to the contact portion. A position shift correction method of the TCP and the contact portion in a TCP handling device, 상기 TCP 핸들링 장치의 실제 가동 중에 상기 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 정보를 취득하고, 취득한 상기 위치 어긋남 정보에 기초하여, 상기 접촉부를 상기 캐리어 테이프를 포함한 평면에 대하여 수직축 둘레로 회전 이동시킴으로써 상기 위치 어긋남을 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치에서의 위치 어긋남 보정 방법.The position by acquiring positional displacement information between the TCP and the contact portion during actual operation of the TCP handling device, and rotating the contact portion about a plane including the carrier tape about a vertical axis based on the positional displacement information obtained. A misalignment correction method in a TCP handling device, characterized in that the misalignment is corrected. 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 상기 캐리어 테이프를 눌러서, 상기 TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써 복수의 상기 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치에서의 상기 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 보정 방법으로서,A plurality of TCPs can be tested in sequence by conveying a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape to a contact portion electrically connected to a test head, and connecting the external terminal of the TCP to the contact portion. A position shift correction method of the TCP and the contact portion in a TCP handling device, 상기 TCP 핸들링 장치의 실제 가동 중에 상기 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 정보를 취득하고, 취득한 상기 위치 어긋남 정보에 기초하여, 상기 접촉부를 상기 캐리어 테이프를 포함한 평면에 대하여 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 그 평면 방향으로 이동시킴으로써 상기 위치 어긋남을 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치에서의 위치 어긋남 보정 방법. Acquisition of positional shift information between the TCP and the contact portion during actual operation of the TCP handling device, and based on the positional shift information obtained, the contact portion is rotationally moved about a vertical axis with respect to the plane including the carrier tape and / or The position shift correction method in the TCP handling apparatus characterized by correcting the position shift by moving in the plane direction. 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 상기 캐리어 테이프를 눌러서, 상기 TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써 복수의 상기 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치에서의 상기 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 보정 방법으로서, A plurality of TCPs can be tested in sequence by conveying a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape to a contact portion electrically connected to a test head, and connecting the external terminal of the TCP to the contact portion. A position shift correction method of the TCP and the contact portion in a TCP handling device, 상기 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 정보를 취득하고, 취득한 상기 위치 어긋남 분량이 소정 값 보다 큰 경우 또는 소정 값 이상인 경우에는, 상기 접촉부를 상기 캐리어 테이프를 포함한 평면에 대하여 수직축 둘레로 회전 이동시키고, 취득한 상기 위치 어긋남 분량이 소정 값 이하인 경우 또는 소정 값 미만인 경우에는, 상기 접촉부에 눌려지는 캐리어 테이프를 상기 캐리어 테이프를 포함한 평면에 대하여 수직축 둘레로 회전 이동시킴으로써 상기 위치 어긋남을 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치에서의 위치 어긋남 보정 방법. When the position shift information between the TCP and the contact portion is acquired, and the acquired position shift amount is larger than a predetermined value or more than a predetermined value, the contact portion is rotated about a plane including the carrier tape about a vertical axis, When the acquired position shift amount is below a predetermined value or below a predetermined value, the position shift is corrected by rotating the carrier tape pressed by the contact portion about the plane including the carrier tape about the vertical axis. Method of correcting misalignment in the handling device. 테이프 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 접촉부에 상기 캐리어 테이프를 눌러서, 상기 TCP의 외부단자를 상기 접촉부에 접속시킴으로써 복수의 상기 TCP를 순차적으로 시험할 수 있는 TCP 핸들링 장치에서의 상기 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 보정 방법으로서, A plurality of TCPs can be tested in sequence by conveying a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, pressing the carrier tape to a contact portion electrically connected to a test head, and connecting the external terminal of the TCP to the contact portion. A position shift correction method of the TCP and the contact portion in a TCP handling device, 상기 TCP와 상기 접촉부와의 위치 어긋남 정보를 취득하고, 취득한 상기 위치 어긋남 분량이 소정 값 보다 큰 경우 또는 소정 값 이상인 경우에는, 상기 접촉부를 상기 캐리어 테이프를 포함한 평면에 대하여 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 그 평면 방향으로 이동시키고, 취득한 상기 위치 어긋남 분량이 소정 값 이하인 경우 또는 소정 값 미만인 경우에는, 상기 접촉부에 눌려지는 상기 캐리어 테이프를 상기 캐리어 테이프를 포함한 평면에 대하여 수직축 둘레로 회전 이동 및 / 또는 그 평면 방향으로 이동시킴으로써 상기 위치 어긋남을 보정하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치에서의 위치 어긋남 보정 방법. When the position shift information between the TCP and the contact portion is acquired and the position shift amount acquired is larger than a predetermined value or more than a predetermined value, the contact portion is rotationally moved about a vertical axis with respect to the plane including the carrier tape and / Or the carrier tape pressed against the contact portion when the acquired position shift amount is less than or equal to a predetermined value or is acquired in the planar direction about a plane including the carrier tape, and / or The position shift correction method in the TCP handling apparatus characterized by correcting the position shift by moving in the plane direction.
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