WO2009147712A1 - Tcp handling apparatus and tcp test apparatus - Google Patents

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敬 久保
正貴 小野澤
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株式会社アドバンテスト
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    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2891—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks related to sensing or controlling of force, position, temperature

Abstract

A TCP handling apparatus (20) comprises a pusher body (31) capable of holding a carrier tape (80) having TCPs (82) formed thereon, cameras (41-43) capable of imaging at least either one of the carrier tape and a tip of a probe (12), and first and second stages (51, 52) capable of moving the cameras, wherein the cameras (41-43) can capture an image of a fixture (90) attached to the pusher body, the fixture (90) having a mark representing reference coordinates. The TCP handling apparatus further comprises an image processing device (61) and an arithmetic device (62) for recognizing a correction factor for canceling a movement error that occurs during a course of movement of the first and second stages, based on image data of the mark captured by the cameras.

Description

ＴＣＰハンドリング装置及びＴＣＰ試験装置TCP handling device and TCP test device
　本発明は、ＩＣデバイスの一種であるＴＣＰ（Tape Carrier Package）やＣＯＦ（Chip On Film）（以下、ＴＣＰ、ＣＯＦ、その他ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）実装技術によって製造されたデバイスをまとめて「ＴＣＰ」と称する。）を試験するために、テストヘッドのコンタクト部に押圧することが可能なＴＣＰハンドリング装置、及び、ＴＣＰを試験するためのＴＣＰ試験装置に関する。 The present invention collectively refers to devices manufactured by TCP (Tape Carrier Package) and COF (Chip On Film) (hereinafter referred to as TCP, COF, and other TAB (Tape Automated Bonding) mounting technologies) which are types of IC devices. The present invention relates to a TCP handling device that can be pressed against a contact portion of a test head and a TCP test device for testing TCP.
　ＴＣＰ試験装置は、テスタ本体、テストヘッド、及び、ＴＣＰハンドリング装置（以下、単にＴＣＰハンドラとも称する。）から構成されている。このＴＣＰハンドラは、ＴＣＰを順次試験するために、テープ（フィルムの概念も含む。以下同じ。）上に複数のＴＣＰが形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているプローブカードのプローブ針にＴＣＰを押圧して、ＴＣＰのテストパッドをプローブ針に電気的に接続することが可能となっている。 The TCP test device is composed of a tester body, a test head, and a TCP handling device (hereinafter also simply referred to as a TCP handler). This TCP handler transports a carrier tape on which a plurality of TCPs are formed on a tape (including the concept of a film; the same applies hereinafter) to sequentially test TCP, and is electrically connected to a test head. It is possible to electrically connect the TCP test pad to the probe needle by pressing the TCP against the probe needle of the probe card.
　このようなＴＣＰハンドラでは、ＴＣＰの通常の試験を開始する前に、ＴＣＰのテストパッドとプローブ針の先端との位置合わせ（以下、単に位置合わせとも称する。）が行われている。 In such a TCP handler, the TCP test pad and the tip of the probe needle are aligned (hereinafter also simply referred to as alignment) before the normal test of TCP is started.
　ところで、こうしたテストパッドとプローブ先端の位置合わせは、オペレータによる手動操作の他に、カメラを用いて自動的に行ってもよい。この場合、ＴＣＰではテストパッドが複数個所に配置されているため、移動装置によりカメラを移動させる必要がある。しかしながら、この移動により誤差が生じると位置合わせを精度良く行うことができず、延いては実稼働中にミスコンタクト等を招来するおそれがあるという問題があった。 Incidentally, the alignment between the test pad and the probe tip may be automatically performed using a camera in addition to the manual operation by the operator. In this case, since the test pads are arranged at a plurality of locations in TCP, it is necessary to move the camera by the moving device. However, if an error occurs due to this movement, the alignment cannot be performed with accuracy, and there is a problem that miscontact or the like may occur during actual operation.
　また、テストパッドとプローブ先端の位置合わせでは、まず互いの回転成分を一致させ、次いで互いの直線成分を一致させるため、生産性に劣る場合があった。 Also, in aligning the test pad and the probe tip, the rotational components are first matched and then the linear components are matched, which may result in poor productivity.
　本発明が解決しようとする課題は、ＴＣＰ上の端子とコンタクト部とを精度良く位置合わせすることが可能なＴＣＰハンドリング装置及びＴＣＰ試験装置を提供することである。 The problem to be solved by the present invention is to provide a TCP handling device and a TCP test device capable of accurately aligning a terminal on a TCP and a contact portion.
　本発明によれば、ＴＣＰが形成されたキャリアテープを保持可能な保持手段と、前記キャリアテープ又はテストヘッドのコンタクト部の少なくとも一方を撮像可能な撮像手段と、前記撮像手段を移動させることが可能な第１の移動手段と、を備え、前記ＴＣＰの試験のために前記キャリアテープを前記コンタクト部に押圧することが可能なＴＣＰハンドリング装置であって、前記保持手段に装着されていると共に基準座標系を示す特徴を有する治具を、前記撮像手段が撮像可能であり、前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記撮像手段が前記特徴を撮像した第１の画像情報に基づいて、前記第１の移動手段の移動に伴って生じる移動誤差を相殺するための第１の補正係数を認識する認識手段をさらに備えたＴＣＰハンドリング装置が提供される（請求項１参照）。 According to the present invention, holding means capable of holding a carrier tape on which TCP is formed, imaging means capable of imaging at least one of the carrier tape or the contact portion of the test head, and the imaging means can be moved. A first handling means, and a TCP handling device capable of pressing the carrier tape against the contact portion for the TCP test, and is attached to the holding means and has a reference coordinate A jig having a characteristic indicating a system can be captured by the imaging unit, and the TCP handling device is configured to detect the first moving unit based on first image information in which the imaging unit has captured the characteristic. There is provided a TCP handling device further comprising a recognition means for recognizing a first correction coefficient for canceling a movement error caused by movement. (See claim 1).
　上記発明においては特に限定されないが、前記第１の補正係数は、前記第１の移動手段の移動量と、前記第１の画像情報における前記特徴の移動量若しくは前記特徴の間隔と、の第１の比率、又は、前記第１の移動手段が有する第１の座標系の、前記基準座標系に対する第１の回転角、の少なくとも一方を含むことが好ましい（請求項２参照）。 Although not particularly limited in the above invention, the first correction coefficient is a first of a movement amount of the first moving means and a movement amount of the feature or an interval of the feature in the first image information. It is preferable that at least one of the following ratio or the first rotation angle of the first coordinate system of the first moving unit with respect to the reference coordinate system is included (see claim 2).
　上記発明においては特に限定されないが、前記認識手段は、前記第１の座標系の所定座標軸方向に沿った前記第１の移動手段の移動により複数位置で前記撮像手段が撮像した複数の前記第１の画像情報から、複数の前記特徴の第１の座標データを取得する第１の取得部と、前記複数の前記第１の座標データから第１の回帰直線を生成し、当該第１の回帰直線を前記基準座標系の所定座標軸と比較することで、前記第１の回転角を認識する第１の認識部と、を有することが好ましい（請求項３参照）。 Although not particularly limited in the above invention, the recognition means includes a plurality of the first images captured by the imaging means at a plurality of positions by movement of the first movement means along a predetermined coordinate axis direction of the first coordinate system. A first acquisition unit that acquires a plurality of first coordinate data of the features from the image information; and a first regression line generated from the plurality of the first coordinate data, and the first regression line It is preferable to have a first recognition unit for recognizing the first rotation angle by comparing with a predetermined coordinate axis of the reference coordinate system (see claim 3).
　上記発明においては特に限定されないが、前記保持手段又は前記コンタクト部を移動及び回転させることが可能な第２の移動手段をさらに備えており、前記認識手段は、前記撮像手段が前記特徴を撮像した第２の画像情報に基づいて、前記第２の移動手段の移動に伴って生じる移動誤差を相殺するための第２の補正係数を認識することが好ましい（請求項４参照）。 Although not particularly limited in the above invention, the image forming apparatus further includes a second moving unit capable of moving and rotating the holding unit or the contact portion, and the recognizing unit captures the feature by the imaging unit. Based on the second image information, it is preferable to recognize a second correction coefficient for offsetting a movement error caused by the movement of the second moving means (see claim 4).
　上記発明においては特に限定されないが、前記第２の補正係数は、前記第２の移動手段の移動量と、前記第２の画像情報における前記特徴の移動量若しくは前記特徴の間隔と、の第２の比率、又は、前記第２の移動手段が有する第２の座標系の、前記基準座標系に対する第２の回転角、の少なくとも一方を含むことが好ましい（請求項５参照）。 Although not particularly limited in the above invention, the second correction coefficient is a second of the movement amount of the second moving means and the movement amount of the feature or the interval of the feature in the second image information. It is preferable that at least one of the following ratio or the second rotation angle of the second coordinate system of the second moving unit with respect to the reference coordinate system is included (see claim 5).
　上記発明においては特に限定されないが、前記認識手段は、前記第２の座標系の所定座標軸に沿った前記保持手段の移動により複数の相対位置で前記撮像手段が撮像した複数の前記第２の画像情報から、複数の前記特徴の第２の座標データを取得する第２の取得部と、前記複数の前記第２の座標データから第２の回帰直線を生成し、当該第２の回帰直線を前記基準座標系の所定座標軸と比較することで、前記第２の回転角を認識する第２の認識部と、を有することが好ましい（請求項６参照）。 Although not particularly limited in the above invention, the recognizing unit includes a plurality of second images captured by the imaging unit at a plurality of relative positions by movement of the holding unit along a predetermined coordinate axis of the second coordinate system. From the information, a second acquisition unit that acquires a plurality of second coordinate data of the features, a second regression line is generated from the plurality of the second coordinate data, and the second regression line is It is preferable to have a second recognition unit that recognizes the second rotation angle by comparing with a predetermined coordinate axis of a reference coordinate system (see claim 6).
　上記発明においては特に限定されないが、前記認識手段は、前記第２の移動手段が前記保持手段を回転させることにより複数の角度で前記撮像手段が前記特徴を撮像した複数の画像情報に基づいて、前記第２の移動手段の回転中心を推定する推定部を有することが好ましい（請求項７参照）。 Although not particularly limited in the above invention, the recognizing unit is based on a plurality of pieces of image information obtained by the imaging unit capturing the feature at a plurality of angles by the second moving unit rotating the holding unit. It is preferable to have an estimation unit for estimating the rotation center of the second moving means (see claim 7).
　上記発明においては特に限定されないが、前記撮像手段は、前記保持手段と前記コンタクト部との間に配置され、前記保持手段に保持されている前記キャリアテープを撮像可能な第１の撮像手段と、前記保持手段と前記コンタクト部との間に配置され、前記コンタクト部を撮像可能な第２の撮像手段と、を含み、前記治具は、前記保持手段の保持面から所定距離離れた状態で前記保持手段に装着されており、前記第１の撮像手段は、前記治具の一方の面を撮像し、前記第２の撮像手段は、前記治具の他方の面を撮像することが好ましい（請求項８参照）。 Although not particularly limited in the above invention, the imaging means is disposed between the holding means and the contact portion, and a first imaging means capable of imaging the carrier tape held by the holding means; A second imaging unit arranged between the holding unit and the contact part and capable of imaging the contact unit, wherein the jig is separated from the holding surface of the holding unit by a predetermined distance. Preferably, the first imaging unit images one surface of the jig, and the second imaging unit images the other surface of the jig. Item 8).
　上記発明においては特に限定されないが、前記撮像手段は、前記保持手段と前記コンタクト部との間に配置され、前記保持手段に保持されている前記キャリアテープを撮像可能な第１の撮像手段と、前記保持手段と前記コンタクト部との間に配置され、前記コンタクト部を撮像可能な第２の撮像手段と、を含み、前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記第１の撮像手段が前記キャリアテープ上の端子を撮像した画像情報と、前記２の撮像手段が前記コンタクト部を撮像した画像情報と、に基づいて、前記コンタクト部に対する前記端子の第１のズレ量を算出する第１の算出手段をさらに備えており、前記第１の算出手段は、前記第１の補正係数を加味して前記第１のズレ量を算出することが好ましい（請求項９参照）。 Although not particularly limited in the above invention, the imaging means is disposed between the holding means and the contact portion, and a first imaging means capable of imaging the carrier tape held by the holding means; A second imaging unit that is disposed between the holding unit and the contact unit and that can image the contact unit. The TCP handling device includes a terminal on the carrier tape. And a first calculating means for calculating a first shift amount of the terminal with respect to the contact portion based on image information obtained by picking up the contact portion and image information obtained by picking up the contact portion by the second image pickup means. Preferably, the first calculation means calculates the first deviation amount in consideration of the first correction coefficient (see claim 9).
　上記発明においては特に限定されないが、前記第１のズレ量は、所定平面に沿った直進成分と、前記所定平面の垂線を中心とした回転成分と、を含んでおり、前記第１の算出手段は、前記推定部により推定された前記回転中心を基準として、前記回転成分と前記直進成分を同時に算出することが好ましい（請求項１０参照）。 Although not particularly limited in the above invention, the first deviation amount includes a straight traveling component along a predetermined plane and a rotational component centered on a perpendicular to the predetermined plane, and the first calculating means Preferably, the rotation component and the rectilinear component are calculated simultaneously using the rotation center estimated by the estimation unit as a reference (see claim 10).
　上記発明においては特に限定されないが、前記第２の補正係数を加味して、前記第１のズレ量を相殺するように前記第２の移動手段を制御する第１の制御手段をさらに備えていることが好ましい（請求項１１参照）。 Although not particularly limited in the above invention, it further includes first control means for controlling the second moving means so as to cancel out the first shift amount in consideration of the second correction coefficient. It is preferable (see claim 11).
　上記発明においては特に限定されないが、前記第１の制御手段は、前記第２の移動手段が直進移動と同時に回転するように前記第２の移動手段を制御することが好ましい（請求項１２参照）。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable that the first control means controls the second moving means so that the second moving means rotates simultaneously with the rectilinear movement (see claim 12). .
　上記発明においては特に限定されないが、前記コンタクト部に前記端子を合わせた状態で前記第１の撮像手段が前記キャリアテープを撮像した画像情報から、前記キャリアテープの所定部位の座標データを取得して、当該座標データを前記所定部位の基準位置として登録する登録手段をさらに備えていることが好ましい（請求項１３参照）。 Although not particularly limited in the above invention, the first imaging means acquires coordinate data of a predetermined part of the carrier tape from image information obtained by imaging the carrier tape in a state where the terminal is aligned with the contact portion. Preferably, the apparatus further comprises registration means for registering the coordinate data as a reference position of the predetermined part (see claim 13).
　上記発明においては特に限定されないが、順次搬送されるキャリアテープを前記第１の撮像手段が撮像した画像情報に基づいて、前記基準位置に対する前記所定部位の第２のズレ量を算出する第２の算出手段と、前記第２の補正係数を加味して、前記第２のズレ量を相殺するように前記第２の移動手段を制御する第２の制御手段と、を備えたことが好ましい（請求項１４参照）。 Although not particularly limited in the above invention, a second shift amount for calculating the second shift amount of the predetermined portion with respect to the reference position is calculated based on image information obtained by the first image pickup means picking up the sequentially conveyed carrier tape. Preferably, the apparatus includes a calculating unit and a second control unit that controls the second moving unit so as to cancel out the second deviation amount in consideration of the second correction coefficient. Item 14).
　上記発明においては特に限定されないが、前記第２のズレ量は、所定平面に沿った直進成分と、前記所定平面の垂線を中心とした回転成分と、を含んでおり、前記第２の算出手段は、前記推定部により推定された前記回転中心を基準として、前記回転成分と前記直進成分を同時に算出することが好ましい（請求項１５参照）。 Although not particularly limited in the above invention, the second deviation amount includes a straight traveling component along a predetermined plane and a rotational component centered on a perpendicular to the predetermined plane, and the second calculation unit Preferably, the rotation component and the rectilinear component are calculated simultaneously with reference to the center of rotation estimated by the estimation unit (see claim 15).
　また、本発明によれば、ＴＣＰが形成されたキャリアテープを保持可能な保持手段と、前記キャリアテープ又はテストヘッドのコンタクト部の少なくとも一方を撮像可能な撮像手段と、前記保持手段又は前記コンタクト部を移動及び回転させることが可能な移動手段と、を備え、前記ＴＣＰの試験のために前記キャリアテープを前記コンタクト部に押圧することが可能なＴＣＰハンドリング装置であって、前記保持手段に装着されていると共に基準座標系を示す特徴を有する治具を、前記撮像手段が撮像可能であり、前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記撮像手段が前記特徴を撮像した画像情報に基づいて、前記移動手段の移動に伴って生じる移動誤差を相殺するための補正係数を認識する認識手段をさらに備えたＴＣＰハンドリング装置が提供される（請求項１６参照）。 According to the present invention, the holding means capable of holding the carrier tape on which the TCP is formed, the imaging means capable of imaging at least one of the contact portion of the carrier tape or the test head, and the holding means or the contact part. Moving means capable of moving and rotating, a TCP handling device capable of pressing the carrier tape against the contact portion for the TCP test, and is attached to the holding means And the imaging means can image a jig having a characteristic indicating a reference coordinate system, and the TCP handling device can move the moving means based on image information obtained by imaging the characteristic by the imaging means. TCP handling apparatus further comprising recognition means for recognizing a correction coefficient for canceling out a movement error caused by the movement Provided (see claim 16).
　上記発明においては特に限定されないが、前記補正係数は、前記移動手段の移動量と、前記画像情報における前記特徴の移動量若しくは前記特徴の間隔と、の比率、又は、前記移動手段が有する座標系の、前記基準座標系に対する回転角、の少なくとも一方を含むことが好ましい（請求項１７参照）。 Although not particularly limited in the above invention, the correction coefficient is a ratio of the moving amount of the moving unit to the moving amount of the feature or the interval of the feature in the image information, or the coordinate system of the moving unit. It is preferable that at least one of rotation angle with respect to the reference coordinate system is included (see claim 17).
　上記発明においては特に限定されないが、前記認識手段は、前記座標系の所定座標軸に沿った前記保持手段の移動により複数の相対位置で前記撮像手段が撮像した複数の前記画像情報から、複数の前記特徴の座標データを取得する取得部と、前記複数の前記座標データから回帰直線を生成し、当該回帰直線を前記基準座標系の所定座標軸と比較することで、前記回転角を認識する認識部と、を有することが好ましい（請求項１８参照）。 Although not particularly limited in the above invention, the recognizing unit is configured to use a plurality of pieces of the image information captured by the imaging unit at a plurality of relative positions by moving the holding unit along a predetermined coordinate axis of the coordinate system. An acquisition unit that acquires coordinate data of a feature, a recognition unit that generates a regression line from the plurality of coordinate data, and recognizes the rotation angle by comparing the regression line with a predetermined coordinate axis of the reference coordinate system; It is preferable to have (refer to Claim 18).
　上記発明においては特に限定されないが、前記撮像手段は、前記保持手段と前記コンタクト部との間に配置され、前記保持手段に保持されている前記キャリアテープを撮像可能な第１の撮像手段と、前記保持手段と前記コンタクト部との間に配置され、前記コンタクト部を撮像可能な第２の撮像手段と、を含み、前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記第１の撮像手段が前記キャリアテープ上の端子を撮像した画像情報と、前記２の撮像手段が前記コンタクト部を撮像した画像情報と、に基づいて、前記コンタクト部に対する前記端子の第１のズレ量を算出する第１の算出手段と、前記補正係数を加味して、前記第１のズレ量を相殺するように前記移動手段を制御する第１の制御手段と、をさらに備えていることが好ましい（請求項１９参照）。 Although not particularly limited in the above invention, the imaging means is disposed between the holding means and the contact portion, and a first imaging means capable of imaging the carrier tape held by the holding means; A second imaging unit that is disposed between the holding unit and the contact unit and that can image the contact unit. The TCP handling device includes a terminal on the carrier tape. First calculating means for calculating a first shift amount of the terminal with respect to the contact portion, based on image information obtained by imaging the image information obtained by imaging the contact portion by the second imaging means, and It is preferable that the apparatus further includes first control means for controlling the moving means so as to cancel the first deviation amount in consideration of a correction coefficient (see claim 19). .
　上記発明においては特に限定されないが、前記コンタクト部に前記端子を合わせた状態で前記第１の撮像手段が前記キャリアテープを撮像した画像情報から、前記キャリアテープの所定部位の座標データを取得して、当該座標データを前記所定部位の基準位置として登録する登録手段と、順次搬送されるキャリアテープを前記第１の撮像手段が撮像した画像情報に基づいて、前記基準位置に対する前記所定部位の第２のズレ量を算出する第２の算出手段と、前記第２の補正係数を加味して、前記第２のズレ量を相殺するように前記第２の移動手段を制御する第２の制御手段と、を備えていることが好ましい（請求項２０参照）。 Although not particularly limited in the above invention, the first imaging means acquires coordinate data of a predetermined part of the carrier tape from image information obtained by imaging the carrier tape in a state where the terminal is aligned with the contact portion. A second registration unit for registering the coordinate data as a reference position of the predetermined part, and a second part of the predetermined part relative to the reference position based on image information obtained by the first image pickup unit capturing a carrier tape that is sequentially conveyed. Second calculating means for calculating the amount of deviation, and second control means for controlling the second moving means so as to cancel out the second amount of deviation in consideration of the second correction coefficient. Are preferably provided (see claim 20).
　また、本発明によれば、ＴＣＰが形成されたキャリアテープを保持可能な保持手段と、前記保持手段を移動及び回転させることが可能な移動手段と、前記キャリアテープを撮像可能な撮像手段と、を備え、前記ＴＣＰの試験のために前記キャリアテープをテストヘッドのコンタクト部に押圧することが可能なＴＣＰハンドリング装置であって、前記保持手段に装着されていると共に基準座標系を示す特徴を有する治具を、前記撮像手段が撮像可能であり、前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記移動手段が前記保持手段を回転させることにより複数の角度で前記撮像手段が前記特徴を撮像した複数の画像情報に基づいて、前記移動手段の回転中心を推定する推定手段をさらに備えたＴＣＰハンドリング装置が提供される（請求項２１参照）。 According to the present invention, the holding means capable of holding the carrier tape on which the TCP is formed, the moving means capable of moving and rotating the holding means, the imaging means capable of imaging the carrier tape, A TCP handling device capable of pressing the carrier tape against a contact portion of a test head for the TCP test, characterized by being mounted on the holding means and indicating a reference coordinate system The TCP can be picked up by the imaging unit, and the TCP handling device is based on a plurality of pieces of image information obtained by the imaging unit imaging the feature at a plurality of angles by the moving unit rotating the holding unit. Thus, a TCP handling device is further provided, further comprising an estimation means for estimating the center of rotation of the moving means (see claim 21).
　上記発明においては特に限定されないが、前記撮像手段は、前記保持手段に保持されている前記キャリアテープを撮像可能な第１の撮像手段と、前記コンタクト部を撮像可能な第２の撮像手段と、を含み、前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記第１の撮像手段が前記キャリアテープ上の端子を撮像した画像情報と、前記２の撮像手段が前記コンタクト部を撮像した画像情報と、に基づいて、前記コンタクト部に対する前記端子の第１のズレ量を算出する第１の算出手段と、前記第１のズレ量を相殺するように前記移動手段を制御する第１の制御手段と、をさらに備え、前記第１のズレ量は、所定平面に沿った直進量と、前記所定平面の垂線を中心とした回転量と、を含んでおり、前記第１の算出手段は、前記推定手段により推定された前記回転中心を基準として、前記回転量と前記直進量を同時に算出することが好ましい（請求項２２参照）。 Although not particularly limited in the above invention, the imaging means includes a first imaging means capable of imaging the carrier tape held by the holding means, a second imaging means capable of imaging the contact portion, The TCP handling device is based on image information obtained by the first image pickup means picking up the terminal on the carrier tape and image information obtained by picking up the contact portion by the second image pickup means. First calculation means for calculating a first deviation amount of the terminal with respect to the contact portion; and first control means for controlling the moving means so as to cancel the first deviation amount, The first deviation amount includes a straight-ahead amount along a predetermined plane and a rotation amount centered on a perpendicular to the predetermined plane, and the first calculation means is estimated by the estimation means Rolling around a reference, it is preferable to simultaneously calculate the amount of rotation and the linear amount (see claim 22).
　上記発明においては特に限定されないが、前記第１の制御手段は、前記移動手段が直進移動と同時に回転するように、前記移動手段を制御することが好ましい（請求項２３参照）。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable that the first control unit controls the moving unit so that the moving unit rotates simultaneously with the straight movement (see claim 23).
　上記発明においては特に限定されないが、前記コンタクト部に前記端子を合わせた状態で前記第１の撮像手段が前記キャリアテープを撮像した画像情報から、前記キャリアテープの所定部位の座標データを取得して、当該座標データを前記所定部位の基準位置として登録する登録手段と、順次搬送されるキャリアテープを前記第１の撮像手段が撮像した画像情報に基づいて、前記基準位置に対する前記所定部位の第２のズレ量を算出する第２の算出手段と、前記第２のズレ量を相殺するように前記第２の移動手段を制御する第２の制御手段と、を備えており、前記第２のズレ量は、所定平面に沿った直進成分と、前記所定平面の垂線を中心とした回転成分と、を含んでおり、前記第２の算出手段は、前記推定部により推定された前記回転中心を基準として、前記回転成分と前記直進成分を同時に算出することが好ましい（請求項２４参照）。 Although not particularly limited in the above invention, the first imaging means acquires coordinate data of a predetermined part of the carrier tape from image information obtained by imaging the carrier tape in a state where the terminal is aligned with the contact portion. A second registration unit for registering the coordinate data as a reference position of the predetermined part, and a second part of the predetermined part relative to the reference position based on image information obtained by the first image pickup unit capturing a carrier tape that is sequentially conveyed. And second control means for controlling the second moving means so as to cancel out the second deviation amount, and the second deviation means. The amount includes a rectilinear component along a predetermined plane and a rotation component centered on a perpendicular line of the predetermined plane, and the second calculation means performs the rotation during the rotation estimated by the estimation unit. As a reference, it is preferable to simultaneously calculate the rotational component and the straight component (see claim 24).
　また、本発明によれば、キャリアテープに形成されたＴＣＰを試験するためのＴＣＰ試験装置であって、上記のＴＣＰハンドリング装置と、前記キャリアテープに形成された端子と電気的に接触するコンタクト部を有するテストヘッドと、前記テストヘッドに電気的に接続されたテスタと、を備えたＴＣＰ試験装置が提供される（請求項２５参照）。 According to the present invention, there is also provided a TCP test apparatus for testing TCP formed on a carrier tape, wherein the TCP handling apparatus is in contact with a terminal formed on the carrier tape. And a tester electrically connected to the test head (see claim 25).
　本発明では、第１の移動手段や第２の移動手段による移動に伴って生じる移動誤差を相殺することができるので、ＴＣＰの端子とコンタクト部を精度よく位置合わせすることができる。 In the present invention, the movement error caused by the movement by the first moving means and the second moving means can be canceled out, so that the TCP terminal and the contact portion can be accurately aligned.
　また、本発明では、第２の移動手段の回転中心を事前に把握しているので、この第２の移動手段を用いて位置合わせを行う際に、直線成分と回転成分とを同時に認識することができ、生産性の向上を図ることができる。 Further, in the present invention, since the rotation center of the second moving unit is grasped in advance, when performing alignment using the second moving unit, the linear component and the rotational component are recognized simultaneously. And productivity can be improved.
図１は、キャリアテープの一例を示す拡大平面図である。FIG. 1 is an enlarged plan view showing an example of a carrier tape. 図２は、本発明の実施形態に係るＴＣＰ試験装置の全体構成を示す正面図である。FIG. 2 is a front view showing the overall configuration of the TCP test apparatus according to the embodiment of the present invention. 図３は、本発明の実施形態におけるプッシャユニット３０を示す側面図である。FIG. 3 is a side view showing the pusher unit 30 in the embodiment of the present invention. 図４は、本発明の実施形態において治具を装着したプッシャ本体の先端を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing the tip of a pusher body with a jig attached thereto in the embodiment of the present invention. 図５は、本実施形態で用いられる治具を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing a jig used in the present embodiment. 図６は、本発明の実施形態におけるプッシャステージを示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing a pusher stage in the embodiment of the present invention. 図７は、本発明の実施形態に係るＴＣＰハンドリング装置の制御系を示すブロック図である。FIG. 7 is a block diagram showing a control system of the TCP handling device according to the embodiment of the present invention. 図８Ａは、本発明の実施形態におけるプッシャユニット、プローブカード及びカメラの側面図であり、カメラが退出した状態を示す図である。FIG. 8A is a side view of the pusher unit, the probe card, and the camera in the embodiment of the present invention, and shows a state in which the camera has left. 図８Ｂは、本発明の実施形態におけるプッシャユニット、プローブカード及びカメラの側面図であり、カメラが進入した状態を示す図である。FIG. 8B is a side view of the pusher unit, the probe card, and the camera according to the embodiment of the present invention, and shows a state in which the camera has entered. 図９は、本発明の実施形態に係るＴＣＰ試験装置で実施される画像処理を用いた一連の作業を示すフローチャートである。FIG. 9 is a flowchart showing a series of operations using image processing performed by the TCP test apparatus according to the embodiment of the present invention. 図１０は、本発明の実施形態に係るＴＣＰ試験装置におけるキャリブレーションの手順を示すフローチャートである。FIG. 10 is a flowchart showing a calibration procedure in the TCP test apparatus according to the embodiment of the present invention. 図１１は、図１０のステップ１２０における詳細な手順を示すフローチャートである。FIG. 11 is a flowchart showing a detailed procedure in step 120 of FIG. 図１２Ａは、本発明の実施形態におけるプッシャユニット、及びカメラの側面図であり、第２のカメラで治具を撮像している状態を示す図である。FIG. 12A is a side view of the pusher unit and the camera according to the embodiment of the present invention, and shows a state in which the jig is imaged by the second camera. 図１２Ｂは、本発明の実施形態におけるプッシャユニット及びカメラの側面図であり、第３のカメラで治具を撮像している状態を示す図である。FIG. 12B is a side view of the pusher unit and the camera in the embodiment of the present invention, and shows a state in which the jig is imaged by the third camera. 図１３は、図１０のステップＳ１５０における詳細な手順を示すフローチャートである。FIG. 13 is a flowchart showing a detailed procedure in step S150 of FIG. 図１４は、図１０のステップＳ１６０における詳細な手順を示すフローチャートである。FIG. 14 is a flowchart showing a detailed procedure in step S160 of FIG. 図１５は、本発明の実施形態に係るＴＣＰ試験装置における位置合わせの手順を示すフローチャートである。FIG. 15 is a flowchart showing the alignment procedure in the TCP test apparatus according to the embodiment of the present invention. 図１６は、本発明の実施形態に係るＴＣＰ試験装置におけるアライメントの手順を示すフローチャートである。FIG. 16 is a flowchart showing an alignment procedure in the TCP test apparatus according to the embodiment of the present invention.
符号の説明Explanation of symbols
１…ＴＣＰ試験装置
　１０…テストヘッド
　　　１２…プローブ針
　２０…ＴＣＰハンドラ
　　３０…プッシャユニット
　　　３１…プッシャ本体
　　　３３…プッシャステージ
４１～４５…第１～第５のカメラ
５１…第１のステージ
５２…第２のステージ
　　６１…画像処理装置
　　６２…演算装置
　　６３…制御装置
　８０…キャリアテープ
　　８２…ＴＣＰ
　　　８５…テストパッド
　９０…治具
　　９１…プレート
　　Ｍｘ１～Ｍｘ６，Ｍｙ１～Ｍｙ６…マーク
　　Ａｘ、Ａｙ…基準座標系
　Ｎ０…所定距離 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... TCP test apparatus 10 ... Test head 12 ... Probe needle 20 ... TCP handler 30 ... Pusher unit 31 ... Pusher main body 33 ... Pusher stage 41-45 ... 1st-5th camera 51 ... 1st stage 52 ... 2nd Stage 61 ... Image processing device 62 ... Arithmetic device 63 ... Control device 80 ... Carrier tape 82 ... TCP
85 ... Test pad 90 ... Jig 91 ... Plate M x1 to M x6 , M y1 to M y6 ... Mark A x , A y ... Reference coordinate system N 0 ... Predetermined distance
　以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
　先ず、本実施形態において試験対象となるＴＣＰが形成されたキャリアテープについて説明する。図１はキャリアテープを示す部分拡大図である。 First, the carrier tape on which the TCP to be tested in this embodiment is formed will be described. FIG. 1 is a partially enlarged view showing a carrier tape.
　キャリアテープ８０は、図１に示すように、当該キャリアテープ８０の長手方向に沿って所定の長さでそれぞれ区切られたフレーム８１が複数連なって構成されている。本実施形態では、それぞれのフレーム８１にＴＣＰ８２が一つずつ割り当てられている。各ＴＣＰ８２は、同図に示すように、キャリアテープ８０上に設けられたＩＣチップ８３と、ＩＣチップ８３のバンプに一端が接続されたリード８４と、リード８４の他端に設けられたテストパッド８５と、ＩＣチップ８３やリード８４を封止しているモールド８６と、をそれぞれ備えている。なお、一つのフレーム８１に複数のＴＣＰ８２を形成してもよい。 As shown in FIG. 1, the carrier tape 80 includes a plurality of frames 81 each separated by a predetermined length along the longitudinal direction of the carrier tape 80. In this embodiment, one TCP 82 is assigned to each frame 81. As shown in the figure, each TCP 82 includes an IC chip 83 provided on a carrier tape 80, a lead 84 having one end connected to a bump of the IC chip 83, and a test pad provided at the other end of the lead 84. 85 and a mold 86 for sealing the IC chip 83 and the leads 84, respectively. A plurality of TCPs 82 may be formed on one frame 81.
　図１に示すように、各フレーム８１には、ＴＣＰ８２の上部２箇所にアライメントマーク８７ａ，８７ｂが設けられている。ＴＣＰハンドラ２０は、これらのアライメントマーク８７ａ，８７ｂを基準として、ＴＣＰ３２をプローブカード１１に対して位置決めすることが可能となっている。なお、アライメントマークは、ＴＣＰの上下２箇所に設けてもよいし、ＴＣＰの周囲４箇所に設けてもよい。 As shown in FIG. 1, each frame 81 is provided with alignment marks 87 a and 87 b at two upper portions of the TCP 82. The TCP handler 20 can position the TCP 32 with respect to the probe card 11 with reference to the alignment marks 87a and 87b. The alignment marks may be provided at two locations above and below the TCP, or at four locations around the TCP.
　次に、本実施形態に係るＴＣＰ試験装置の構成について説明する。図２は本実施形態に係るＴＣＰ試験装置の全体構成を示す正面図、図３は本実施形態におけるプッシャユニットを示す側面図、図４は本実施形態において治具を装着したプッシャ本体の先端の斜視図、図５は本実施形態で用いられる治具を示す平面図、図６は本実施形態におけるプッシャステージを示す平面図、図７は本実施形態に係るＴＣＰハンドリング装置の制御系を示すブロック図、図８Ａ及び図８Ｂは本実施形態におけるプッシャユニット、プローブカード及びカメラの側面図である。 Next, the configuration of the TCP test apparatus according to this embodiment will be described. 2 is a front view showing the overall configuration of the TCP test apparatus according to the present embodiment, FIG. 3 is a side view showing a pusher unit according to the present embodiment, and FIG. FIG. 5 is a plan view showing a jig used in the present embodiment, FIG. 6 is a plan view showing a pusher stage in the present embodiment, and FIG. 7 is a block diagram showing a control system of the TCP handling device according to the present embodiment. 8A and 8B are side views of the pusher unit, the probe card, and the camera in the present embodiment.
　図２に示すように、本実施形態に係るＴＣＰ試験装置１は、特に図示しないテスタ本体と、テスタ本体に電気的に接続されたテストヘッド１０と、テストヘッド１０の横に隣接して設けられたＴＣＰハンドラ２０と、から構成されている。 As shown in FIG. 2, the TCP test apparatus 1 according to the present embodiment is provided with a tester main body (not shown), a test head 10 electrically connected to the tester main body, and adjacent to the side of the test head 10. TCP handler 20.
　ＴＣＰハンドラ２０は、キャリアテープ８０を搬送することで、キャリアテープ８０上に長手方向に沿って一列に形成されている各ＴＣＰ８２を順次試験することが可能となっている。 The TCP handler 20 can sequentially test each TCP 82 formed in a line along the longitudinal direction on the carrier tape 80 by conveying the carrier tape 80.
　ＴＣＰハンドラ２０は、供給リール２１及び巻取リール２２を備えている。供給リール２１には、試験前のＴＣＰ８２を有するキャリアテープ８０が巻かれている。このキャリアテープ８０は、供給リール２１からプッシャユニット３０に連続的に搬送され、テストヘッド１０によりＴＣＰ８２の試験が実行された後に、巻取リール２２に巻き取られる。 The TCP handler 20 includes a supply reel 21 and a take-up reel 22. A carrier tape 80 having a TCP 82 before the test is wound around the supply reel 21. The carrier tape 80 is continuously conveyed from the supply reel 21 to the pusher unit 30, and after the test of the TCP 82 is executed by the test head 10, the carrier tape 80 is taken up on the take-up reel 22.
　供給リール２１の下流には、第１のガイドローラ２３、及び、第１のテンションローラ２６が配置されている。供給ローラ２１から送り出されたキャリアテープ８０は、第１のガイドローラ２３及び第１のテンションローラ２６を経て、プッシャユニット３０に搬送される。 A first guide roller 23 and a first tension roller 26 are disposed downstream of the supply reel 21. The carrier tape 80 delivered from the supply roller 21 is conveyed to the pusher unit 30 through the first guide roller 23 and the first tension roller 26.
　巻取ローラ２２の上流にも、第２のテンションローラ２７、第２のガイドローラ２４、及び、第３のガイドローラ２５が配置されている。プッシャユニット３０を通過したキャリアテープ８０は、第２のテンションローラ２７、第２のガイドローラ２４及び第３のガイドローラ２５を経て、巻取リール２２に巻き取られる。 A second tension roller 27, a second guide roller 24, and a third guide roller 25 are also arranged upstream of the take-up roller 22. The carrier tape 80 that has passed through the pusher unit 30 is wound around the take-up reel 22 via the second tension roller 27, the second guide roller 24, and the third guide roller 25.
　なお、第１及び第２のテンションローラ２６，２７は、Ｚ軸方向に移動可能となっている。これにより、キャリアテープ８０に適切な張力を付与すると共に、リール２１，２２とスプロケット３７，３８との間に生じる回転のズレを吸収することが可能となっている。 Note that the first and second tension rollers 26 and 27 are movable in the Z-axis direction. Accordingly, it is possible to apply an appropriate tension to the carrier tape 80 and to absorb the rotational deviation generated between the reels 21 and 22 and the sprockets 37 and 38.
　図２及び図３に示すように、プッシャユニット３０は、キャリアテープ８０を保持可能なプッシャ本体３１と、このプッシャ本体３１をＺ軸方向に沿って移動させるためのサーボモータ３２と、プッシャ本体３１をＸＹ平面方向において移動及び回転させるプッシャステージ３３と、を備えている。 As shown in FIGS. 2 and 3, the pusher unit 30 includes a pusher main body 31 capable of holding the carrier tape 80, a servo motor 32 for moving the pusher main body 31 along the Z-axis direction, and the pusher main body 31. And a pusher stage 33 that moves and rotates in the XY plane direction.
　図４に示すように、プッシャ本体３１の先端面３１１（保持面）には、負圧源（不図示）に連通した吸引口３１２が開口しており、プッシャ本体３１はキャリアテープ８０を吸着保持することが可能となっている。このプッシャ本体３１は、２本のリニアガイド３２３を介して、プッシャユニット３０のフレーム３０１に取り付けられており、Ｚ軸方向に移動可能となっている。 As shown in FIG. 4, a suction port 312 communicating with a negative pressure source (not shown) is opened on the distal end surface 311 (holding surface) of the pusher body 31, and the pusher body 31 holds the carrier tape 80 by suction. It is possible to do. The pusher main body 31 is attached to the frame 301 of the pusher unit 30 via two linear guides 323, and is movable in the Z-axis direction.
　サーボモータ３２の駆動軸にはボールネジ３２１の一端が連結されている。また、このサーボモータ３２は、ブラケット３２２を介してフレーム３０１に固定されている。ボールネジ３２１の他端は、プッシャ本体３１の後端に螺合している。サーボモータ３２によりボールネジ２１が回転すると、リニアガイド３２３に案内されながらプッシャ本体３１がＺ軸方向に移動する。 One end of a ball screw 321 is connected to the drive shaft of the servo motor 32. The servo motor 32 is fixed to the frame 301 via a bracket 322. The other end of the ball screw 321 is screwed to the rear end of the pusher body 31. When the ball screw 21 is rotated by the servo motor 32, the pusher body 31 moves in the Z-axis direction while being guided by the linear guide 323.
　また、本実施形態では、図４に示すように、プッシャ本体３１の先端部に治具９０を装着することが可能となっている。 In the present embodiment, as shown in FIG. 4, a jig 90 can be attached to the tip of the pusher body 31.
　治具９０は、図５に示すように、キャリブレーション用の複数のマークＭｘ１～Ｍｘ６,Ｍｙ１～Ｍｙ６，Ｍｃが印刷されたプレート９１から構成されている。マークＭｘ１～Ｍｘ６は、第１及び第２のステージ５１，５２並びにプッシャユニット３０のＸ軸方向のキャリブレーションを行う際に使用されるマークであり、基準座標系のＸ座標軸Ａｘに沿って一列に配置されている。一方、マークＭｙ１～Ｍｙ６は、第１及び第２のステージ５１，５２並びにプッシャユニット３０のＹ軸方向のキャリブレーションのためのマークであり、基準座標系のＹ座標軸Ａｙに沿って一列に配置されている。プレート９１の略中央に配置されているマークＭｃは、第１～第３のカメラ４１～４３のカメラキャリブレーションのためのマークである。 As shown in FIG. 5, the jig 90 includes a plate 91 on which a plurality of calibration marks M x1 to M x6 , M y1 to M y6 , and M c are printed. The marks M x1 to M x6 are marks used when the first and second stages 51 and 52 and the pusher unit 30 are calibrated in the X axis direction, and are along the X coordinate axis A x of the reference coordinate system. Arranged in a row. On the other hand, the marks M y1 to M y6 are marks for calibration in the Y-axis direction of the first and second stages 51 and 52 and the pusher unit 30, and are aligned along the Y-coordinate axis A y of the reference coordinate system. Is arranged. Mark M c disposed substantially at the center of the plate 91 are marks for camera calibration of the first to third cameras 41 to 43.
　プレート９１は、マークＭｘ１～Ｍｘ６,Ｍｙ１～Ｍｙ６，Ｍｃを両側から視認可能なように、例えば透明な板材から構成されている。なお、特にこれに限定されず、マークＭｘ１～Ｍｘ６,Ｍｙ１～Ｍｙ６，Ｍｃを、プレート９０を貫通する貫通孔で構成して、プレートを不透明にしてもよい。 Plate 91 is formed a mark M x1 ~ M x6, M y1 ~ M y6, M c so as to be visible from both sides, for example, a transparent plate material. Incidentally, not limited to this, the mark M x1 ~ M x6, M y1 ~ M y6, M c, constituted by a through hole penetrating the plate 90 may be opaque plate.
　この治具９０は、図４に示すように、プッシャ本体３１の先端に装着されている。この際、治具９０は、４本の取付部材９５を介してプッシャ本体３１に装着されているため、プッシャ本体３１の先端面３１１から所定距離Ｎ０離れている。この所定距離Ｎ０は、治具９０と先端面３１１との間に、後述する第２及び第３のカメラ４２，４３が十分に進入することが可能な長さである。 As shown in FIG. 4, the jig 90 is attached to the tip of the pusher body 31. At this time, since the jig 90 is attached to the pusher body 31 via the four attachment members 95, the jig 90 is separated from the distal end surface 311 of the pusher body 31 by a predetermined distance N 0 . The predetermined distance N 0 is a length that allows the second and third cameras 42 and 43 described later to sufficiently enter between the jig 90 and the tip surface 311.
　以上に説明した治具９０は、ネジ等によりプッシャ本体３１の先端に着脱可能に装着されている。この治具９０は、第１～第３のカメラ４１～４３、第１及び第２のステージ５１，５２、並びに、プッシャユニット３０をキャリブレーションする場合にのみプッシャ本体３１に装着され、それ以外の場合（例えば、位置合わせや通常の試験の際）にはプッシャ本体３１から取り外されている。 The jig 90 described above is detachably attached to the tip of the pusher body 31 with screws or the like. The jig 90 is attached to the pusher main body 31 only when the first to third cameras 41 to 43, the first and second stages 51 and 52, and the pusher unit 30 are calibrated. In some cases (for example, during alignment or normal test), the pusher body 31 is removed.
　プッシャステージ３３は、図３及び図６に示すように、ベース３３１、第１及び第２の移動機構３４，３５、Ｙ軸移動機構３６、並びに、トッププレート３３２を備えている。ベース３３１は、ＴＣＰハンドラ２０の装置基台２０１に固定されており、移動機構３４～３６は、ベース３３１の上に設けられている。トッププレート３３２は、ＸＹ平面において移動及び回転可能に移動機構３４～３６に支持されていると共に、プッシャユニット３０のフレーム３０１に固定されている。 As shown in FIGS. 3 and 6, the pusher stage 33 includes a base 331, first and second moving mechanisms 34, 35, a Y-axis moving mechanism 36, and a top plate 332. The base 331 is fixed to the device base 201 of the TCP handler 20, and the moving mechanisms 34 to 36 are provided on the base 331. The top plate 332 is supported by the moving mechanisms 34 to 36 so as to be movable and rotatable in the XY plane, and is fixed to the frame 301 of the pusher unit 30.
　第１のＸ軸移動機構３４は、サーボモータ３４１、ボールネジ３４２、摺動ブロック３４３、Ｘ軸リニアガイド３４４，３４４、Ｙ軸リニアガイド３４５、摺動板３４６、及び、回転部材３４７から構成されている。 The first X-axis moving mechanism 34 includes a servo motor 341, a ball screw 342, a sliding block 343, an X-axis linear guide 344, 344, a Y-axis linear guide 345, a sliding plate 346, and a rotating member 347. Yes.
　サーボモータ３４１の駆動軸には、Ｘ軸方向に沿った回転軸を持つボールネジ３４２が連結されており、このボールネジ３４２には摺動ブロック３４３が螺合している。この摺動ブロック３４３は、Ｘ軸リニアガイド３４４，３４４にＸ軸方向に沿って移動可能に支持されている。従って、サーボモータ３４１の駆動によりボールねじ３４２が回転すると、摺動ブロック３４３がＸ軸リニアガイド３４４，３４４に支持されながらＸ軸方向に移動する。 A ball screw 342 having a rotation axis along the X-axis direction is connected to the drive shaft of the servo motor 341, and a sliding block 343 is screwed to the ball screw 342. The sliding block 343 is supported by the X-axis linear guides 344 and 344 so as to be movable along the X-axis direction. Accordingly, when the ball screw 342 is rotated by driving the servo motor 341, the sliding block 343 moves in the X-axis direction while being supported by the X-axis linear guides 344 and 344.
　また、摺動ブロック３４３には、Ｙ軸リニアガイド３４５を介して摺動板３４６がＹ軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板３４６の上面には、内部にローラリングを有する回転部材３４７が固定されている。この回転部材３４７は、トップテーブル３３２に回転可能に取り付けられている。 Further, a sliding plate 346 is attached to the sliding block 343 via a Y-axis linear guide 345 so as to be slidable in the Y-axis direction. A rotating member 347 having a roller ring inside is fixed to the upper surface of the sliding plate 346. The rotating member 347 is rotatably attached to the top table 332.
　第２のＸ軸移動機構３５も同様に、サーボモータ３５１、ボールネジ３５２、摺動ブロック３５３、Ｘ軸リニアガイド３５４，３５４、Ｙ軸リニアガイド３５５、摺動板３５６、及び、回転部材３５７から構成されている。 Similarly, the second X-axis moving mechanism 35 includes a servo motor 351, a ball screw 352, a sliding block 353, an X-axis linear guide 354, 354, a Y-axis linear guide 355, a sliding plate 356, and a rotating member 357. Has been.
　Ｙ軸移動機構３６は、サーボモータ３６１、ボールねじ３６２、摺動ブロック３６３、Ｙ軸リニアガイド３６４，３６４、Ｘ軸リニアガイド３６５、摺動板３６６、及び、回転部材３６７から構成されている。 The Y-axis moving mechanism 36 includes a servo motor 361, a ball screw 362, a sliding block 363, Y-axis linear guides 364 and 364, an X-axis linear guide 365, a sliding plate 366, and a rotating member 367.
　サーボモータ３６１の駆動軸には、Ｙ軸方向に沿った回転軸を有するボールネジ３６２が連結されており、このボールネジ３６２には摺動ブロック３６３が螺合している。この摺動ブロック３６３は、Ｙ軸リニアガイド３６４，３６４にＹ軸方向に沿って移動可能に支持されている。従って、サーボモータ３６１の駆動によりボールネジ３６２が回転すると、摺動ブロック３６３がリニアガイド３６４，３６４に支持されながらＹ軸方向に移動する。 A ball screw 362 having a rotation axis along the Y-axis direction is connected to a drive shaft of the servo motor 361, and a sliding block 363 is screwed to the ball screw 362. The sliding block 363 is supported by the Y-axis linear guides 364 and 364 so as to be movable along the Y-axis direction. Therefore, when the ball screw 362 rotates by driving the servo motor 361, the sliding block 363 moves in the Y-axis direction while being supported by the linear guides 364 and 364.
　また、摺動ブロック３６３には、Ｘ軸リニアガイド３６５を介して摺動板３６６がＸ軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板３６６の上面には、内部にローラリングを有する回転部材３６７が固定されている。この回転部材３６７は、トッププレート３３２に回転可能に取り付けられている。 Further, a sliding plate 366 is attached to the sliding block 363 via an X-axis linear guide 365 so as to be slidable in the X-axis direction. A rotating member 367 having a roller ring inside is fixed to the upper surface of the sliding plate 366. The rotating member 367 is rotatably attached to the top plate 332.
　以上のプッシャステージ３３の各サーボモータ３４１，３５１，３６１は、図７に示すように、制御装置６３に接続されており、制御装置６３により制御される。 The servo motors 341, 351, 361 of the above pusher stage 33 are connected to the control device 63 and controlled by the control device 63 as shown in FIG.
　例えば、制御装置６３が第１及び第２のＸ軸移動機構３４，３５のサーボモータ３４１，３５１を駆動させると、摺動ブロック３４３，３５３及び摺動板３６６がＸ軸方向に摺動するので、トッププレート３３２をＸ軸方向に移動させることができる。 For example, when the control device 63 drives the servo motors 341 and 351 of the first and second X-axis moving mechanisms 34 and 35, the sliding blocks 343 and 353 and the sliding plate 366 slide in the X-axis direction. The top plate 332 can be moved in the X-axis direction.
　一方、制御装置６３がＹ軸移動機構３６のサーボモータ３６１を駆動させると、摺動ブロック３６３及び摺動板３４６，３５６がＹ軸方向に摺動するので、トッププレート３３２をＹ軸方向に移動させることができる。 On the other hand, when the control device 63 drives the servo motor 361 of the Y-axis moving mechanism 36, the sliding block 363 and the sliding plates 346 and 356 slide in the Y-axis direction, so that the top plate 332 moves in the Y-axis direction. Can be made.
　また、制御装置６３が全てのサーボモータ３４１，３５１，３６１を同時に駆動させると、ＸＹ平面の任意の垂線を回転中心としてトッププレート３３２を回転させることができる。なお、プッシャ本体３１の回転軸と、プッシャステージ３３の回転駆動軸を合わせてもよい。 Further, when the control device 63 drives all the servo motors 341, 351, 361 at the same time, the top plate 332 can be rotated about an arbitrary perpendicular line on the XY plane. Note that the rotation shaft of the pusher body 31 and the rotation drive shaft of the pusher stage 33 may be aligned.
　図２に戻り、プッシャユニット３０は、プッシャ本体３１の上流及び下流にそれぞれ設けられた２つのスプロケット３７，３８を備えている。スプロケット３７，３８は、特に図示しないサーボモータの駆動軸にそれぞれ連結されている。当該サーボモータの駆動力によりスプロケット３７，３８が回転することで、供給リール２１から巻取リール２２にキャリアテープ８０が順次搬送される。 2, the pusher unit 30 includes two sprockets 37 and 38 provided upstream and downstream of the pusher main body 31, respectively. The sprockets 37 and 38 are respectively connected to a drive shaft of a servo motor (not shown). As the sprockets 37 and 38 are rotated by the driving force of the servo motor, the carrier tape 80 is sequentially conveyed from the supply reel 21 to the take-up reel 22.
　テストヘッド１０は、プローブ針１２が多数実装されたプローブカード１１を備えており、プローブカード１１がプッシャユニット３０と対向するように、ＴＣＰハンドラ２０に隣接して配置されている。サーボモータ３２によりプッシャ本体３１がＺ軸に沿ってプローブカード１１に向かって移動すると、プッシャ本体３１に保持されているキャリアテープ８０がプローブ針１２に押し付けられ、ＴＣＰ８２のテストパッド８５がプローブ針１２の先端に電気的に接触し、テスタ本体によりテストヘッド１０を介してＴＣＰ８２のテストが実行される。 The test head 10 includes a probe card 11 on which a large number of probe needles 12 are mounted, and is arranged adjacent to the TCP handler 20 so that the probe card 11 faces the pusher unit 30. When the pusher body 31 is moved toward the probe card 11 along the Z axis by the servo motor 32, the carrier tape 80 held by the pusher body 31 is pressed against the probe needle 12, and the test pad 85 of the TCP 82 is moved to the probe needle 12. The test of the TCP 82 is executed through the test head 10 by the tester body.
　図２に示すように、プッシャユニット３０と第２のテンションローラ２７との間にはパンチ２８が設けられている。このパンチ２８は、金型及びエアシリンダを備えており、例えば試験結果が不良であったＴＣＰ８２を識別するために、フレーム８１の所定位置に１個又は複数の丸孔を空けることが可能となっている。なお、不良であるＴＣＰ８２自体を、このパンチ２８により打ち抜いてもよい。 As shown in FIG. 2, a punch 28 is provided between the pusher unit 30 and the second tension roller 27. The punch 28 includes a mold and an air cylinder. For example, one or a plurality of round holes can be formed in a predetermined position of the frame 81 in order to identify the TCP 82 whose test result is defective. ing. The defective TCP 82 itself may be punched out by the punch 28.
　さらに、本実施形態に係るＴＣＰハンドラ２０は、例えばＣＣＤデバイスやＣＭＯＳデバイスを有する５つのカメラ４１～４５を備えている。 Furthermore, the TCP handler 20 according to the present embodiment includes five cameras 41 to 45 having, for example, CCD devices and CMOS devices.
　第１のカメラ４１は、通常試験開始前の位置合わせや通常試験時におけるＴＣＰ８２のアライメントに使用される。この第１のカメラ４１は、テストヘッド１０内に設けられており、プッシャ本体３１に保持されているキャリアテープ８０と、プローブカード１１のプローブ針１２と、を撮像することが可能となっている。テストヘッド１０内には、第１のカメラ４１がキャリアテープ８０及びプローブ針１２を撮像可能とする間隙が確保されている。 The first camera 41 is used for alignment before the start of the normal test and for alignment of the TCP 82 during the normal test. The first camera 41 is provided in the test head 10 and can image the carrier tape 80 held by the pusher body 31 and the probe needle 12 of the probe card 11. . A gap is secured in the test head 10 so that the first camera 41 can image the carrier tape 80 and the probe needle 12.
　第１のカメラ４１は、第１のカメラステージ５１上に搭載されている。この第１のカメラステージ５１は、特に図示しないがサーボモータにより駆動可能なボールネジ機構を有しており、第１のカメラ４１をＸ－Ｙ－Ｚ軸方向に移動させることが可能となっている。第１のステージ４１は、図７に示すように、制御装置６３に接続されており、制御装置６３により制御される。 The first camera 41 is mounted on the first camera stage 51. The first camera stage 51 has a ball screw mechanism that can be driven by a servo motor (not shown), and can move the first camera 41 in the XYZ axis directions. . As shown in FIG. 7, the first stage 41 is connected to the control device 63 and is controlled by the control device 63.
　第２及び第３のカメラ４２，４３は、通常試験開始前の位置合わせに使用される。この第２及び第３のカメラ４２，４３は、図８Ａ及び図８Ｂに示すように、第２のカメラステージ５２に支持されたアーム５３の先端に取り付けられている。アーム５３は、特に図示しないアクチュエータにより、第２及び第３のカメラ４２，４３をＹ軸方向に移動させることが可能となっており、これにより第２及び第３のカメラ４２，４３は、プッシャユニット３０とプローブカード１１との間を進退可能となっている。 The second and third cameras 42 and 43 are normally used for alignment before the start of the test. The second and third cameras 42 and 43 are attached to the tip of an arm 53 supported by the second camera stage 52 as shown in FIGS. 8A and 8B. The arm 53 can move the second and third cameras 42 and 43 in the Y-axis direction by an actuator (not shown) in particular, so that the second and third cameras 42 and 43 can be pushed. It can be moved back and forth between the unit 30 and the probe card 11.
　第２のカメラ４２は、その光軸がＺ軸正方向（図８Ａ及び図８Ｂ中において右方向）に向くようにアーム５３に取り付けられており、プッシャ本体３１に保持されているキャリアテープ８０を撮像することが可能となっている。一方、第３のカメラ４３は、その光軸がＺ軸負方向（同図中において左方向）を向くようにアーム５３に取り付けられており、プローブカード１１のプローブ針１２の先端を撮像することが可能となっている。なお、一つのカメラを反転させたり、カメラ内の光路を切り替えることで、キャリアテープ８０とプローブ針１２をそれぞれ撮像してもよい。 The second camera 42 is attached to the arm 53 so that its optical axis is in the positive direction of the Z axis (rightward in FIGS. 8A and 8B), and the carrier tape 80 held by the pusher body 31 is attached to the second camera 42. It is possible to image. On the other hand, the third camera 43 is attached to the arm 53 so that its optical axis faces the negative Z-axis direction (leftward in the figure), and images the tip of the probe needle 12 of the probe card 11. Is possible. The carrier tape 80 and the probe needle 12 may be imaged by inverting one camera or switching the optical path in the camera.
　第２のカメラステージ５２は、特に図示しないがサーボモータにより駆動可能なボールネジ機構を有しており、アーム５２を介して第２及び第３のカメラ４２，４３をＸ－Ｙ軸方向に移動させることが可能となっている。このため、第２のカメラ４２は、ＴＣＰ８２において相互に離れて配置されているテストパッド８５を撮像することが可能となっており、第３のカメラ４３は、プローブカード１１において相互に離れて配置されているプローブ針１２の先端を撮像することが可能となっている。第２のカメラステージ５２は、図７に示すように、制御装置６３に接続されており、制御装置６３により制御される。 The second camera stage 52 has a ball screw mechanism (not shown) that can be driven by a servo motor, and moves the second and third cameras 42 and 43 in the XY axis directions via the arm 52. It is possible. For this reason, the second camera 42 can image the test pads 85 that are arranged away from each other in the TCP 82, and the third camera 43 is arranged away from each other in the probe card 11. It is possible to image the tip of the probe needle 12. As shown in FIG. 7, the second camera stage 52 is connected to the control device 63 and is controlled by the control device 63.
　第４のカメラ４４は、図２に示すように、第１のテンションローラ２６とプッシャユニット３０との間に設けられている。また、第５のカメラ４５は、パンチ２８と第２のテンションローラ２７との間に設けられている。 As shown in FIG. 2, the fourth camera 44 is provided between the first tension roller 26 and the pusher unit 30. The fifth camera 45 is provided between the punch 28 and the second tension roller 27.
　以上に説明した第１～第５のカメラ４１～４５は、図７に示すように、画像処理装置６１に接続されている。画像処理装置６１は、第１～第３のカメラ４１～４３により撮像された画像情報に画像処理を施して、ＴＣＰ８２のテストパッド８５やプローブ針１２の先端、アライメントマーク８７ａ，８７ｂの座標データを取得する。画像処理装置６１は、取得した座標データを演算部６２に送信する。また、画像処理装置６１は、第４及び第５のカメラ４４により撮像された画像情報に画像処理を施して、キャリアテープ８０上のＴＣＰ８２の有無を確認したり、パンチ２８により形成された孔の位置や数を確認する。 The first to fifth cameras 41 to 45 described above are connected to an image processing device 61 as shown in FIG. The image processing device 61 performs image processing on the image information captured by the first to third cameras 41 to 43, and obtains the coordinate data of the test pads 85 of the TCP 82, the tips of the probe needles 12, and the alignment marks 87a and 87b. get. The image processing device 61 transmits the acquired coordinate data to the calculation unit 62. Further, the image processing device 61 performs image processing on the image information picked up by the fourth and fifth cameras 44 to confirm the presence or absence of the TCP 82 on the carrier tape 80, and to check the hole formed by the punch 28. Check the position and number.
　演算装置６２は、画像処理装置６１から送信された座標データに基づいて、各ステージ５１，５２やプッシャステージ３３のキャリブレーションデータを演算したり、通常試験開始前の位置合わせや通常試験時におけるＴＣＰ８２のアライメントに必要な補正量を演算する。演算装置６２は、これらの演算結果を制御部６３に送信する。制御装置６３は、プッシャステージ３３並びに第１及び第２のステージ５１，５２の各サーボモータを、キャリブレーションデータや補正量に基づいて制御する。これらの具体的手法については後に詳述する。なお、画像処理装置６１、演算装置６２及び制御装置６３は、特に図示しないが、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等を備えたコンピュータ等で構成されている。 Based on the coordinate data transmitted from the image processing device 61, the arithmetic device 62 calculates the calibration data of the stages 51, 52 and the pusher stage 33, or performs alignment before starting the normal test or the TCP 82 during the normal test. The amount of correction necessary for the alignment of is calculated. The calculation device 62 transmits these calculation results to the control unit 63. The control device 63 controls the pusher stage 33 and the servo motors of the first and second stages 51 and 52 based on calibration data and correction amounts. These specific methods will be described in detail later. The image processing device 61, the arithmetic device 62, and the control device 63 are configured by a computer or the like having a CPU, a RAM, a ROM, and the like, although not particularly shown.
　次に、以上に説明したＴＣＰ試験装置で実施される一連の作業について説明する。 Next, a series of operations performed by the TCP test apparatus described above will be described.
　図９は本実施形態に係るＴＣＰ試験装置で実施される画像処理を用いた一連の作業を示すフローチャートである。 FIG. 9 is a flowchart showing a series of operations using image processing performed by the TCP test apparatus according to the present embodiment.
　ＴＣＰ試験装置１が工場内等に設置されると、各種のキャリブレーションが実施される（図９のステップＳ１００）。このステップＳ１００では、第１～第３のカメラ４１～４３同士のカメラキャリブレーションの他に、第１及び第２のステージ５１，５２やプッシャステージ３３のキャリブレーションも行われる。このキャリブレーションにより、第１及び第２のステージ５１，５２やプッシャステージ３３の移動に伴って生じる誤差をなくすことができる。なお、このキャリブレーションＳ１００は、設置時の他に、カメラ４１～４３のレンズを交換したような場合にも実施される。 When the TCP test apparatus 1 is installed in a factory or the like, various calibrations are performed (step S100 in FIG. 9). In this step S100, in addition to the camera calibration of the first to third cameras 41 to 43, the first and second stages 51 and 52 and the pusher stage 33 are also calibrated. This calibration can eliminate errors caused by the movement of the first and second stages 51 and 52 and the pusher stage 33. This calibration S100 is performed not only at the time of installation but also when the lenses of the cameras 41 to 43 are replaced.
　次いで、ＴＣＰ試験装置１により通常の試験を開始する前に、キャリアテープ８０をＴＣＰハンドラ２０にセットした状態で、ＴＣＰ８２のテストパッド８５とプローブ針１２の先端との位置合わせを行う（図９のステップＳ２００）。この位置合わせでは、テストパッド８５とプローブ針１２の先端とを合わせた状態で、ＴＣＰ８２のアライメントマーク８７ａ，８７ｂの位置を基準位置として記憶する。この位置合わせＳ２００は、新規なキャリアテープ８０をＴＣＰハンドラ２０にセットする度に実施される。 Next, before the normal test is started by the TCP test apparatus 1, the test pad 85 of the TCP 82 and the tip of the probe needle 12 are aligned with the carrier tape 80 set in the TCP handler 20 (FIG. 9). Step S200). In this alignment, the positions of the alignment marks 87a and 87b of the TCP 82 are stored as reference positions in a state where the test pad 85 and the tip of the probe needle 12 are aligned. This alignment S200 is performed each time a new carrier tape 80 is set in the TCP handler 20.
　次いで、ＴＣＰ試験装置１により通常の試験を開始するが（図９のステップＳ３００）、ＴＣＰ８２がプッシャユニット３０に搬送される度に、ＴＣＰ８２のアライメントマーク８７ａ，８７ｂを基準位置に対してアライメント（位置決め）する。これにより、テストパッド８５をプローブ針１２の先端に対して高精度に位置決めすることができ、実稼働中のミスコンタクト等の発生を抑制することができる。 Next, a normal test is started by the TCP test apparatus 1 (step S300 in FIG. 9), but each time the TCP 82 is transported to the pusher unit 30, the alignment marks 87a and 87b of the TCP 82 are aligned (positioned) with respect to the reference position. ) Thereby, the test pad 85 can be positioned with high accuracy with respect to the tip of the probe needle 12, and the occurrence of miscontact or the like during actual operation can be suppressed.
　以下に、図９に示すキャリブレーションＳ１００の詳細な手順について説明する。 Hereinafter, a detailed procedure of the calibration S100 shown in FIG. 9 will be described.
　図１０は本実施形態に係るＴＣＰ試験装置におけるキャリブレーションの手順を示すフローチャート、図１１は図１０のステップＳ１２０における詳細な手順を示すフローチャート、図１２Ａ及び図１２Ｂは本実施形態におけるプッシャユニット及びカメラの側面図、図１３は図１０のステップＳ１５０における詳細な手順を示すフローチャート、図１４は図１０のステップＳ１６０における詳細な手順を示すフローチャートである。 10 is a flowchart showing a calibration procedure in the TCP test apparatus according to the present embodiment, FIG. 11 is a flowchart showing a detailed procedure in step S120 of FIG. 10, and FIGS. 12A and 12B are a pusher unit and a camera according to the present embodiment. FIG. 13 is a flowchart showing a detailed procedure in step S150 of FIG. 10, and FIG. 14 is a flowchart showing a detailed procedure in step S160 of FIG.
　先ず、図１０に示すように、オペレータが治具９０をプッシャ本体３１の先端に装着する（図１０のステップＳ１１０）。 First, as shown in FIG. 10, the operator attaches the jig 90 to the tip of the pusher body 31 (step S110 in FIG. 10).
　次いで、第１のステージ５１のキャリブレーションを行う（ステップＳ１２０）。 Next, the first stage 51 is calibrated (step S120).
　このキャリブレーションでは、図１１に示すように、先ず、プッシャステージ３３を固定した状態で、第１のカメラ４１がマークＭｘ１～Ｍｘ６上を移動するように、第１のステージ５１がＸ軸方向に沿って移動する（図１１のステップＳ１２１）。この移動の間に、第１のカメラ４１が、基準座標系のＸ座標軸Ａｘ上に並んでいる６個のマークＭｘ１～Ｍｘ６を撮像する。なお、ステップＳ１２１での移動の基準となる座標系は、第１のステージ５１自身が有している座標系である。 In this calibration, as shown in FIG. 11, first, the first stage 51 is moved to the X axis so that the first camera 41 moves on the marks M x1 to M x6 with the pusher stage 33 fixed. It moves along the direction (step S121 in FIG. 11). During this movement, the first camera 41 images six marks M x1 to M x6 arranged on the X coordinate axis A x of the reference coordinate system. Note that the coordinate system serving as a reference for movement in step S121 is the coordinate system of the first stage 51 itself.
　第１のカメラ４１により撮像された複数の画像情報は、画像処理装置６１に順次送信される。画像処理装置６１は、当該複数の画像情報からマークＭｘ１～Ｍｘ６の座標データをそれぞれ取得する（ステップＳ１２２）。次いで、演算装置６２は、マークＭｘ１～Ｍｘ６の座標データを含む回帰直線を生成する（ステップＳ１２３）。次いで、演算装置６２は、基準座標系Ａｘに対する回帰直線の回転角αｘを算出する（ステップＳ１２４）。すなわち、この回転角αｘは、基準座標系のＸ座標軸Ａｘに対する第１のステージ４１のＸ座標軸の傾きである。 A plurality of pieces of image information captured by the first camera 41 are sequentially transmitted to the image processing device 61. The image processing device 61 acquires coordinate data of the marks M x1 to M x6 from the plurality of image information (step S122). Next, the arithmetic unit 62 generates a regression line including the coordinate data of the marks M x1 to M x6 (step S123). Next, the arithmetic unit 62 calculates the rotation angle α x of the regression line with respect to the reference coordinate system A x (step S124). That is, the rotation angle α x is the inclination of the X coordinate axis of the first stage 41 with respect to the X coordinate axis A x of the reference coordinate system.
　次いで、演算装置６２は、ステップＳ１２２で取得されたマークＭｘ１～Ｍｘ６の座標データから、マークＭｘ１と各マークＭｘ２～Ｍｘ６との間隔をそれぞれ算出する(ステップＳ１２５)。例えば、マークＭｘ１とマークＭｘ２との間の間隔Δｘ１は、ステップＳ１２２において取得されたマークＭｘ１の座標データとマークＭｘ２の座標データとの差として計算される。 Next, the arithmetic unit 62 calculates the interval between the mark M x1 and each of the marks M x2 to M x6 from the coordinate data of the marks M x1 to M x6 acquired in step S122 (step S125). For example, the interval Δx 1 between the mark M x1 and the mark M x2 is calculated as a difference between the coordinate data of the mark M x1 and the coordinate data of the mark M x2 acquired in step S122.
　次いで、演算装置６２は、ステップＳ１２５で算出したマークの間隔と、それに対応する第１のステージ４１の移動量と、の比率（以下において、単にスケールとも称する。）を算出する（ステップＳ１２６）。例えば、マークＭｘ１及びマークＭｘ２を例にとると、スケールＳｘ１は、上記の間隔Δｘ１と、第１のカメラ４１がマークＭｘ１を撮像してから次のマークＭｘ２を撮像するまでの第１のステージ５１の移動量Δｍ１と、から算出される（Ｓｘ１＝Δｘ１／Δｍ１）。 Next, the arithmetic unit 62 calculates a ratio (hereinafter also simply referred to as a scale) between the mark interval calculated in step S125 and the corresponding movement amount of the first stage 41 (step S126). For example, taking the mark M x1 and the mark M x2 as an example, the scale S x1 is equal to the interval Δx 1 and from the time when the first camera 41 images the mark M x1 to the next mark M x2. And the amount of movement Δm 1 of the first stage 51 (S x1 = Δx 1 / Δm 1 ).
　マークＭｘ１～Ｍｘ６の間の５つの間隔についてステップＳ１２６をそれぞれ実行することで、５個のスケールＳｘ１～Ｓｘ５を算出する。次いで、演算装置６２は、５個のスケールＳｘ１～Ｓｘ５の平均値を算出することで、第１のステージ５１のＸ軸方向に沿ったスケールの代表値Ｓｘを算出する（ステップＳ１２７）。 By executing step S126 for each of the five intervals between the marks M x1 to M x6 , five scales S x1 to S x5 are calculated. Next, the arithmetic unit 62 calculates the average value of the five scales S x1 to S x5 to calculate the representative value S x of the scale along the X-axis direction of the first stage 51 (step S127). .
　同様に、６個のマークＭｙ１～Ｍｙ６についてもステップＳ１２１～Ｓ１２７を実行することで、基準座標系のＹ座標軸Ａｙに対する第１のステージ５１のＹ座標軸の回転角αｙ、及び、第１のステージ５１のＹ軸方向に沿ったスケールＳｙを算出する。 Similarly, by executing steps S121 to S127 for the six marks M y1 to M y6 , the rotation angle α y of the Y coordinate axis of the first stage 51 with respect to the Y coordinate axis A y of the reference coordinate system, and the A scale S y along the Y-axis direction of one stage 51 is calculated.
　次に、図１０に戻り、第２のカメラ４２のための第２のステージ５２のキャリブレーションを行う（図１０のステップＳ１３０）。このキャリブレーションでは、上述のステップＳ１２１～Ｓ１２７と同様の作業を行って、基準座標系Ａｘ，Ａｙに対する第２のステージ５２の座標系の回転角βｘ、βｙ、及び、第２のステージ５２のスケールＴｘ，Ｔｙを算出する。なお、上述のステップＳ１２０では第１のカメラ４１が治具９０のマークを撮像したが、ステップＳ１３０のキャリブレーションでは、第２のカメラ４２が治具９０のマークを撮像し、当該第２のカメラ４２を第２のステージ５２が移動させる。 Next, returning to FIG. 10, calibration of the second stage 52 for the second camera 42 is performed (step S130 in FIG. 10). In this calibration, the same operations as in steps S121 to S127 described above are performed, and the rotation angles β x , β y of the second stage 52 relative to the reference coordinate systems A x , A y and the second The scales T x and T y of the stage 52 are calculated. In the above-described step S120, the first camera 41 images the mark of the jig 90. However, in the calibration of step S130, the second camera 42 images the mark of the jig 90, and the second camera 42 is moved by the second stage 52.
　次に、第３のカメラ４３のための第２のステージ５２のキャリブレーションを行う（ステップＳ１４０）。このキャリブレーションでも、上述のステップＳ１２１～Ｓ１２７と同様の作業を実行することで、基準座標系Ａｘ、Ａｙに対する第２のステージ５２の座標系の回転角γｘ、γｙ、及び、第２のステージ５２のスケールＵｘ，Ｕｙを算出する。なお、上述のステップＳ１２０では第１のカメラ４１が治具９０のマークを撮像したが、ステップＳ１４０のキャリブレーションでは、第３のカメラ４３が治具９０のマークを撮像し、当該第３のカメラ４３を第２のステージ５２が移動させる。 Next, calibration of the second stage 52 for the third camera 43 is performed (step S140). Also in this calibration, the rotation angle γ x and γ y of the coordinate system of the second stage 52 with respect to the reference coordinate systems A x and A y are performed by performing the same operations as in the above-described steps S121 to S127. The scales U x and U y of the second stage 52 are calculated. In step S120 described above, the first camera 41 images the mark of the jig 90. However, in the calibration of step S140, the third camera 43 images the mark of the jig 90, and the third camera. 43 is moved by the second stage 52.
　なお、ステップＳ１３０では、図１２Ａに示すように、第２のカメラ４２が治具９０を撮像可能なように、同図中において治具９０の左側に第２のカメラ４２が位置している。これに対し、ステップＳ１４０では、図１２Ｂに示すように、第３のカメラ４３が治具９０を撮像可能なように、治具９０とプッシャ本体３１との間（同図において治具９０の右側）に第３のカメラ４３が位置している。なお、第２のカメラ４２と第３のカメラ４３をそれぞれ独立したステージにより移動させてもよい。 In step S130, as shown in FIG. 12A, the second camera 42 is positioned on the left side of the jig 90 in the drawing so that the second camera 42 can image the jig 90. On the other hand, in step S140, as shown in FIG. 12B, between the jig 90 and the pusher body 31 (on the right side of the jig 90 in the figure), the third camera 43 can image the jig 90. ) Is the third camera 43. Note that the second camera 42 and the third camera 43 may be moved by independent stages.
　次に、プッシャステージ３３のキャリブレーションを行う（図１０のステップＳ１５０）。このキャリブレーションでは、治具９０上のマークＭｘ１～Ｍｘ６,Ｍｙ１～Ｍｙ６の何れか一点のみ（例えば、Ｍｘ１）に対して、以下の処理を実行することで、プッシャステージ３３のＸ軸及びＹ軸に沿ったスケールＶｘ，Ｖｙ、及び、基準座標系Ａｘ，Ａｙに対するプッシャステージ３３の座標系の回転角δｘ，δｙを算出する。 Next, the pusher stage 33 is calibrated (step S150 in FIG. 10). In this calibration, the following process is executed only for any one of the marks M x1 to M x6 and M y1 to M y6 on the jig 90 (for example, M x1 ), thereby scale V x, V y along the X-axis and Y-axis, and the reference coordinate system a x, the rotation angle of the coordinate system of the pusher stage 33 for a y [delta] x, calculates the [delta] y.
　このキャリブレーションでは、図１３に示すように、第１のカメラ４１により治具９０上のマークＭｘ１を撮像しながら（図１３のステップＳ１５１）、プッシャステージ３３がＸ軸方向に沿って所定量移動する（ステップＳ１５２）。なお、この移動の際の基準となる座標系は、プッシャステージ３３自身が有している座標系である。 In this calibration, as shown in FIG. 13, the pusher stage 33 moves a predetermined amount along the X-axis direction while imaging the mark M x1 on the jig 90 by the first camera 41 (step S151 in FIG. 13). Move (step S152). In addition, the coordinate system used as the reference | standard at the time of this movement is a coordinate system which pusher stage 33 itself has.
　第１のカメラ４１により連続的に撮像された複数の画像情報は、画像処理装置６１に送信される。画像処理装置６１は、当該複数の画像情報からマークＭｘ１の座標データをそれぞれ取得する。演算装置６２は、これらの複数の座標データから、第１のステージ５１の移動に伴うマークＭｘ１の軌跡（回帰直線）を生成する（ステップＳ１５３）。 A plurality of pieces of image information continuously captured by the first camera 41 are transmitted to the image processing device 61. The image processing device 61 acquires the coordinate data of the mark M x1 from the plurality of pieces of image information. The computing device 62 generates a trajectory (regression line) of the mark M x1 accompanying the movement of the first stage 51 from the plurality of coordinate data (step S153).
　次いで、演算装置６２は、軌跡の長さを計測し、上記の所定量と長さとの比率からスケールＶｘを算出する（ステップＳ１５４）。次いで、演算装置６２は、基準座標系のＸ座標軸Ａｘに対する軌跡の傾き（回転角）δｘを演算する（ステップＳ１５５）。 Next, the computing device 62 measures the length of the trajectory, and calculates the scale V x from the ratio between the predetermined amount and the length (step S154). Next, the computing device 62 computes the inclination (rotation angle) δ x of the locus with respect to the X coordinate axis A x of the reference coordinate system (step S155).
　同様に、Ｙ軸方向についてもステップＳ１５１～Ｓ１５５を実行することで、プッシャステージ３３のＹ軸方向に沿ったスケールＶｙ、及び、基準座標系のＹ座標軸Ａｙに対するプッシャステージ３３の座標軸の回転角δｙを算出する。 Similarly, by executing steps S151 to S155 also in the Y-axis direction, the scale V y along the Y-axis direction of the pusher stage 33 and the rotation of the coordinate axis of the pusher stage 33 with respect to the Y coordinate axis A y of the reference coordinate system The angle δ y is calculated.
　なお、第１のカメラ４１が高倍率のレンズを備えている場合には、プッシャステージ３３の移動に同期して第１のステージ５１が移動してもよい。この場合には、ステップＳ１２０で算出された回転角αｘ，αｙ及びスケールＳｘ，Ｓｙが、スケールＶｘ，Ｖｙ及び回転角δｘ，δｙの算出に加味される。 When the first camera 41 includes a high-magnification lens, the first stage 51 may move in synchronization with the movement of the pusher stage 33. In this case, the rotation angles α x and α y and the scales S x and S y calculated in step S120 are added to the calculation of the scales V x and V y and the rotation angles δ x and δ y .
　また、ステップＳ１５０のキャリブレーションでは、第１のカメラ４１に代えて、第２のカメラ４２を用いることも可能である。この場合には、第２のステージ５２が第２のカメラ４２を移動させるので、ステップＳ１３０で算出された回転角βｘ，βｙ、及び、スケールＴｘ，Ｔｙが、スケールＶｘ，Ｖｙ及び回転角δｘ，δｙの算出に加味される。 In the calibration in step S150, the second camera 42 can be used instead of the first camera 41. In this case, since the second stage 52 moves the second camera 42, the rotation angles β x , β y calculated in step S130 and the scales T x , T y become the scales V x , V This is added to the calculation of y and rotation angles δ x and δ y .
　次に、プッシャステージ３３の回転中心の推定を行う（ステップＳ１６０）。この回転中心の推定では、先ず、第１のカメラ４１により治具９０のマークを撮像する（図１４のステップＳ１６１）。次いで、画像処理装置６１が、図５において、治具９０のＸ座標軸Ａｘ上において原点に最も近い２つのマークＭｘ３,Ｍｘ４の座標データを取得する（ステップＳ１６２）。なお、この回転中心の推定では、第１のカメラ４１に代えて、第２のカメラ４２を用いてもよい。 Next, the rotation center of the pusher stage 33 is estimated (step S160). In the estimation of the center of rotation, first, the mark of the jig 90 is imaged by the first camera 41 (step S161 in FIG. 14). Next, the image processing device 61 acquires coordinate data of two marks M x3 and M x4 that are closest to the origin on the X coordinate axis A x of the jig 90 in FIG. 5 (step S162). In this estimation of the rotation center, the second camera 42 may be used instead of the first camera 41.
　また、回転中心の推定に用いられるマークは、Ｍｘ３とＭｘ４の組み合わせに限定されず、例えば、Ｍｘ２とＭｘ５の組み合わせや、Ｍｘ１とＭｘ６の組み合わせてあってもよい。このように、回転中心の推定では、治具９０において原点を中心として対称位置にある２つのマークを用いるので、プッシャの回転中心が２つのマークの間にあることが前提として推定する。そのため、治具９０をプッシャ本体３１に装着した際には、治具９０の中心とプッシャ本体３１の回転中心とがほぼ一致していることが好ましい。 Further, the mark used for estimating the rotation center is not limited to the combination of M x3 and M x4 , and may be a combination of M x2 and M x5 , or a combination of M x1 and M x6 , for example. As described above, in the estimation of the rotation center, since two marks at the symmetrical position with respect to the origin are used in the jig 90, the rotation center of the pusher is estimated on the assumption that it is between the two marks. For this reason, when the jig 90 is mounted on the pusher body 31, it is preferable that the center of the jig 90 and the rotation center of the pusher body 31 substantially coincide.
　次いで、プッシャ本体３１をその軸心を中心として所定角回転させる（ステップＳ１６３）。 Next, the pusher body 31 is rotated by a predetermined angle around the axis (step S163).
　以上のステップＳ１６１～Ｓ１６３を複数回繰り返すことで、複数の画像情報からマークＭｘ３,Ｍｘ４の座標データをそれぞれ取得する。演算装置６２は、マークＭｘ３,Ｍｘ４の全ての座標データを含む回帰円を求め、その回帰円の中心を回転中心として推定する（ステップＳ１６４）。 By repeating the above steps S161 to S163 a plurality of times, the coordinate data of the marks M x3 and M x4 are respectively acquired from a plurality of pieces of image information. The arithmetic unit 62 obtains a regression circle including all the coordinate data of the marks M x3 and M x4 and estimates the center of the regression circle as the rotation center (step S164).
　最後に、オペレータが治具９０をプッシャ本体３１の先端から取り外して（図１０のステップＳ１７０）、キャリブレーション作業が完了する。 Finally, the operator removes the jig 90 from the tip of the pusher body 31 (step S170 in FIG. 10), and the calibration work is completed.
　なお、ステップＳ１５０で説明した方法（図１３）をステップＳ１２０～Ｓ１４０で用いてもよい。また、ステップＳ１２０で説明した方法（図１１）をステップＳ１５０で用いてもよい。 The method described in step S150 (FIG. 13) may be used in steps S120 to S140. Further, the method described in step S120 (FIG. 11) may be used in step S150.
　以下に、図９に示す位置合わせＳ２００の詳細な手順について説明する。図１５は本実施形態に係るＴＣＰ試験装置における位置合わせの手順を示すフローチャートである。 Hereinafter, a detailed procedure of the alignment S200 shown in FIG. 9 will be described. FIG. 15 is a flowchart showing the alignment procedure in the TCP test apparatus according to this embodiment.
　ＴＣＰハンドラ２０のキャリアテープ８０をセットしたら、図１５に示すように、ＴＣＰ８２を試験位置まで搬送すると共に（図１５のステップＳ２０１）、第２のステージ５２が駆動することで、第２及び第３のカメラ４２，４３がキャリアテープ８０とプローブカード１２との間に進入する（ステップＳ２０２）。 When the carrier tape 80 of the TCP handler 20 is set, as shown in FIG. 15, the TCP 82 is transported to the test position (step S201 in FIG. 15), and the second stage 52 is driven to drive the second and third The cameras 42 and 43 enter between the carrier tape 80 and the probe card 12 (step S202).
　次いで、第２のカメラ４２が、ＴＣＰ８２において一方の側に並ぶ複数のテストパッド８５（例えば、図１のＴＣＰ８２においてにＩＣチップ８３の左側に位置する６個のテストパッド８５）を撮像する。また、第３のカメラ４３が、当該テストパッド８５に対応する複数のプローブ針１２の先端を撮像する（ステップＳ２０３）。 Next, the second camera 42 images a plurality of test pads 85 arranged on one side in the TCP 82 (for example, six test pads 85 located on the left side of the IC chip 83 in the TCP 82 in FIG. 1). Further, the third camera 43 images the tips of the plurality of probe needles 12 corresponding to the test pad 85 (step S203).
　画像処理装置６１は、第２のカメラ４２により撮像された画像情報から各テストパッド８５の中心座標（Ｘｐｄ１、Ｙｐｄ１）をそれぞれ取得する。また、画像処理装置６１は、第３のカメラ４３により撮像された画像情報から各プローブ針１２の先端の座標（Ｘｐｂ１，Ｙｐｂ１）をそれぞれ取得する（ステップＳ２０４）。 The image processing device 61 acquires the center coordinates (X pd1 , Y pd1 ) of each test pad 85 from the image information captured by the second camera 42. The image processing device 61 acquires the coordinates (X pb1 , Y pb1 ) of the tip of each probe needle 12 from the image information captured by the third camera 43 (step S204).
　次に、第２のステージ５２が第２及び第３のカメラ４２，４３を移動させる（ステップＳ２０５）。 Next, the second stage 52 moves the second and third cameras 42 and 43 (step S205).
　次いで、第２のカメラ４２が、ＴＣＰ８２において他方の側に並ぶ複数のテストパッド８５（例えば、図１のＴＣＰ８２においてＩＣチップ８３の右側に位置する６個のテストパッド８５）を撮像する。また、第３のカメラ４３が、当該テストパッド８５に対応する複数のプローブ針１２の先端を撮像する（ステップＳ２０６）。 Next, the second camera 42 images a plurality of test pads 85 arranged on the other side in the TCP 82 (for example, six test pads 85 positioned on the right side of the IC chip 83 in the TCP 82 in FIG. 1). Further, the third camera 43 images the tips of the plurality of probe needles 12 corresponding to the test pad 85 (step S206).
　画像処理装置６１は、第２のカメラ４２により撮像された画像情報から各テストパッド８５の中心座標（Ｘｐｄ２、Ｙｐｄ２）をそれぞれ取得する。また、画像処理装置６１は、第３のカメラ４３により撮像された画像情報から各プローブ針１２の先端の座標（Ｘｐｂ２，Ｙｐｂ２）をそれぞれ取得する（ステップＳ２０７）。 The image processing device 61 acquires the center coordinates (X pd2 , Y pd2 ) of each test pad 85 from the image information captured by the second camera 42. The image processing device 61 acquires the coordinates (X pb2 , Y pb2 ) of the tip of each probe needle 12 from the image information captured by the third camera 43 (step S207).
　次いで、演算装置６２が、画像処理装置６１により取得された座標データに基づいて、位置合わせのための補正量ΔＸＡ，ΔＹＡ，ΔθＡを演算する（ステップＳ２０８）。 Next, the calculation device 62 calculates correction amounts ΔX A , ΔY A , and Δθ A for alignment based on the coordinate data acquired by the image processing device 61 (step S208).
　具体的には、先ず、演算装置６２は、テストパッドの中心座標（Ｘｐｄ１、Ｙｐｄ１），（Ｘｐｄ２、Ｙｐｄ２）に基づいて、テストパッド８５の配列方向の、Ｘ軸座標軸に対する第１の角度θｐｄ１を演算する。 Specifically, first, the arithmetic unit 62 determines the first direction relative to the X-axis coordinate axis in the arrangement direction of the test pads 85 based on the center coordinates (X pd1 , Y pd1 ) and (X pd2 , Y pd2 ) of the test pad. The angle θ pd1 is calculated.
　また、演算装置６２は、プローブ針１２の先端の座標（Ｘｐｂ１，Ｙｐｂ１），（Ｘｐｂ２，Ｙｐｂ２）に基づいて、プローブ針１２の先端の配列方向の、Ｘ軸座標軸に対する第２の角度θｐｂ１を演算する。 The arithmetic device 62, the tip of the coordinates of the probe needle 12 (X pb1, Y pb1), based on (X pb2, Y pb2), the arrangement direction of the tip of the probe needle 12, the second with respect to the X-axis coordinate The angle θ pb1 is calculated.
　次いで、演算装置６２は、第１の角度θｐｄ１と第２の角度θｐｂ１とが実質的に一致するような角度補正量ΔθＡを演算する。 Next, the computing device 62 computes an angle correction amount Δθ A such that the first angle θ pd1 and the second angle θ pb1 substantially match.
　次いで、演算装置６２は、ステップＳ１６０で推定されたプッシャ本体３１の回転中心（Ｐ０ｘ，Ｐ０ｙ）を中心として、プッシャ本体３１を角度補正量ΔθＡだけ回転させた後のテストパッドの中心座標（Ｘｐｄ１’、Ｙｐｄ１’），（Ｘｐｄ２’、Ｙｐｄ２’）をそれぞれ算出（推定）する。 Next, the arithmetic unit 62 center coordinates of the test pad after rotating the pusher body 31 by the angle correction amount Δθ A around the rotation center (P 0x , P 0y ) of the pusher body 31 estimated in step S160. (X pd1 ′, Y pd1 ′) and (X pd2 ′, Y pd2 ′) are calculated (estimated), respectively.
　次いで、演算装置６２は、算出されたテストパッドの中心座標（Ｘｐｄ１’、Ｙｐｄ１’），（Ｘｐｄ２’、Ｙｐｄ２’）と、プローブ針１２の先端の座標（Ｘｐｂ１，Ｙｐｂ１），（Ｘｐｂ２，Ｙｐｂ２）と、が実質的に一致するような移動補正量ΔＸＡ，ΔＹＡを演算する。 Then, the arithmetic unit 62, the center coordinates of the calculated test pad (X pd1 ', Y pd1' ), (X pd2 ', Y pd2') and the tip of the coordinates of the probe needle 12 (X pb1, Y pb1) , (X pb2 , Y pb2 ) and movement correction amounts ΔX A , ΔY A are calculated.
　なお、ステップＳ２０５において第２のステージ５２により第２及び第３のカメラ４２，４３を移動させているため、ステップＳ２０８における補正量ΔＸＡ，ΔＹＡ，ΔθＡの算出では、図１０のステップＳ１３０で算出されたスケールＴｘ，Ｔｙ、及び、回転角βｘ、βｙ、及び、同図のステップＳ１４０で算出されたスケールＵｘ，Ｕｙ、及び、回転角γｘ、γｙが加味される。これにより、第２のステージ５２の移動により生じる誤差を相殺することができるので、位置合わせの精度向上を図ることができる。 Since the second and third cameras 42 and 43 are moved by the second stage 52 in step S205, the correction amounts ΔX A , ΔY A , and Δθ A in step S208 are calculated in step S130 of FIG. In consideration of the scales T x , T y calculated in step S4, the rotation angles β x , β y , and the scales U x , U y calculated in step S140 in FIG. 5 and the rotation angles γ x , γ y. Is done. As a result, errors caused by the movement of the second stage 52 can be canceled out, so that the alignment accuracy can be improved.
　また、本実施形態では、プッシャ本体３１の回転中心を事前に把握しているので、位置合わせに要する時間の短縮化を図ることができる。 In this embodiment, since the rotation center of the pusher body 31 is grasped in advance, the time required for alignment can be shortened.
　次いで、プッシャステージ３３は、ステップＳ２０８で算出された補正量ΔＸＡ，ΔＹＡ，ΔθＡに従って、プッシャ本体３１を移動させる（ステップＳ２０９）。この際、制御装置６３は、図１０のステップＳ１５０で算出されたスケールＶｘ，Ｖｙ、及び、回転角δｘ，δｙを加味して、プッシャステージ３３の移動及び回転を制御する。このため、プッシャステージ３３の移動により生じる誤差を相殺することができるので、位置合わせの精度向上を図ることができる。なお、以上に説明した補正量ΔＸＡ，ΔＹＡ，ΔθＡの算出及び補正方法は、上述のものに特に限定されない。例えば、回転量ΔθＡを算出して補正した後に、直進移動量ΔＸＡ，ΔＹＡについて算出・補正を行ってもよく、或いはその逆であってもよい。 Next, the pusher stage 33 moves the pusher body 31 according to the correction amounts ΔX A , ΔY A , Δθ A calculated in step S208 (step S209). At this time, the control device 63 controls the movement and rotation of the pusher stage 33 in consideration of the scales V x and V y and the rotation angles δ x and δ y calculated in step S150 of FIG. For this reason, an error caused by the movement of the pusher stage 33 can be canceled out, so that the alignment accuracy can be improved. Note that the calculation and correction methods for the correction amounts ΔX A , ΔY A , and Δθ A described above are not particularly limited to those described above. For example, the linear movement amounts ΔX A and ΔY A may be calculated and corrected after the rotation amount Δθ A is calculated and corrected, or vice versa.
　第２及び第３のカメラ４２，４３は、プッシャステージ３３の駆動と共に、キャリアテープ８０とプローブカード１２との間から退出する。 The second and third cameras 42 and 43 move out between the carrier tape 80 and the probe card 12 as the pusher stage 33 is driven.
　次いで、ＴＣＰ８２のテストパッド８５と、プローブ針１２の先端をそれぞれ合わせた状態で、第１のカメラ４１がＴＣＰ８２の２箇所のアライメントマーク８７ａ，８７ｂを撮像する（ステップＳ２１０）。なお、アライメントマーク８７ａ，８７ｂの撮像に、第２のカメラ４２を用いてもよい。 Next, the first camera 41 images the two alignment marks 87a and 87b of the TCP 82 in a state where the test pad 85 of the TCP 82 and the tip of the probe needle 12 are aligned with each other (step S210). Note that the second camera 42 may be used for imaging the alignment marks 87a and 87b.
　次いで、画像処理装置６１が当該画像情報から各アライメントマーク８７ａ，８７ｂの座標データを取得し、これらを基準位置として登録する（ステップＳ２１１）。後述するように、この基準位置は、通常の試験においてプローブ針１２に対するＴＣＰ８２の位置決めに使用される。 Next, the image processing device 61 acquires coordinate data of the alignment marks 87a and 87b from the image information, and registers these as reference positions (step S211). As will be described later, this reference position is used for positioning the TCP 82 with respect to the probe needle 12 in a normal test.
　なお、アライメントのための基準位置は、アライメントマーク８７ａ，８７ｂに特に限定されず、例えば特定のテストパッド８５等の特徴的な部位であってもよい。 It should be noted that the reference position for alignment is not particularly limited to the alignment marks 87a and 87b, and may be a characteristic part such as a specific test pad 85, for example.
　最後に、図９に示す通常試験のアライメントＳ３００の詳細な手順について説明する。図１６は本実施形態に係るＴＣＰ試験装置におけるアライメントの手順を示すフローチャートである。 Finally, the detailed procedure of the alignment S300 in the normal test shown in FIG. 9 will be described. FIG. 16 is a flowchart showing an alignment procedure in the TCP test apparatus according to the present embodiment.
　通常の試験が開始されると、順次搬送されるＴＣＰ８２のアライメントマーク８７ａ，８７ｂを、第１のカメラ４１が撮像する（図１６のステップ３０１）。次いで、画像処理装置６１が、当該画像情報からアライメントマーク８７ａ，８７ｂの座標データを取得する（ステップＳ３０２）。なお、アライメントマーク８７ａ，８７ｂの撮像に、第２のカメラ４２を用いてもよい。 When the normal test is started, the first camera 41 images the alignment marks 87a and 87b of the TCP 82 that are sequentially conveyed (step 301 in FIG. 16). Next, the image processing device 61 acquires coordinate data of the alignment marks 87a and 87b from the image information (step S302). Note that the second camera 42 may be used for imaging the alignment marks 87a and 87b.
　次いで、演算装置６２は、先述のステップＳ２０８に似た方法で、画像処理装置６１により取得された座標データに基づいて、アライメントのための補正量ΔＸＢ，ΔＹＢ，ΔθＢを演算する（ステップＳ３０３）。本実施形態では、プッシャ本体３１の回転中心を事前に把握しているので、アライメントに要する時間の短縮化を図ることができる。 Next, the computing device 62 computes correction amounts ΔX B , ΔY B , Δθ B for alignment based on the coordinate data acquired by the image processing device 61 by a method similar to step S208 described above (step S208). S303). In the present embodiment, since the rotation center of the pusher body 31 is grasped in advance, the time required for alignment can be shortened.
　次いで、プッシャステージ３３は、ステップＳ３０３で算出された補正量ΔＸＢ，ΔＹＢ，ΔθＢに従って、プッシャ本体３１を移動させる（ステップＳ３０４）。この際、制御装置６３は、図１０のステップＳ１５０で算出されたスケールＶｘ，Ｖｙ及び回転角δｘ，δｙを加味して、プッシャステージ３３の移動及び回転を制御する。このため、プッシャステージ３３の移動により生じる誤差を相殺することができるので、アライメントの精度向上を図ることができる。 Next, the pusher stage 33 moves the pusher body 31 according to the correction amounts ΔX B , ΔY B , Δθ B calculated in step S303 (step S304). At this time, the control device 63 controls the movement and rotation of the pusher stage 33 in consideration of the scales V x and V y and the rotation angles δ x and δ y calculated in step S150 in FIG. For this reason, an error caused by the movement of the pusher stage 33 can be canceled, so that the alignment accuracy can be improved.
　次いで、プッシャユニット３０のサーボモータ３２が駆動して、プッシャ本体３１がＺ軸方向に移動し、ＴＣＰ８２がプローブカード１２に押し付けられる（ステップＳ３０５）。これにより、ＴＣＰ８２のテストパッド８５が、プローブ針１２の先端に電気的に接触し、この状態でテスタ本体によりテストヘッド１０を介してＴＣＰ８２のテストが実行される（ステップＳ３０６）。 Next, the servo motor 32 of the pusher unit 30 is driven, the pusher body 31 moves in the Z-axis direction, and the TCP 82 is pressed against the probe card 12 (step S305). As a result, the test pad 85 of the TCP 82 is in electrical contact with the tip of the probe needle 12, and in this state, the test of the TCP 82 is executed by the tester body via the test head 10 (step S306).
　本実施形態では、ＴＣＰ８０のテストパッド８５と、プローブ針１２の先端との位置合わせが高精度に行われているため、ミスコンタクトの発生を抑制することができる。 In this embodiment, since the alignment between the test pad 85 of the TCP 80 and the tip of the probe needle 12 is performed with high accuracy, the occurrence of miscontact can be suppressed.
　なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。 The embodiment described above is described for easy understanding of the present invention, and is not described for limiting the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present invention.
　例えば、プローブカードを移動及び回転可能に保持するカードステージを設けて、位置合わせやアライメントを当該カードステージが行う場合には、キャリブレーション用の治具をプローブカードに装着し、当該治具を基準として図１０に示すキャリブレーションを行う。 For example, when a card stage that holds the probe card so as to be movable and rotatable is provided and the card stage performs alignment and alignment, a jig for calibration is attached to the probe card, and the jig is used as a reference. As shown in FIG.
　また、本実施形態では、供給リールと巻取リールが鉛直方向に並んだタイプのＴＣＰハンドラに本発明を適用するように説明したが、特にこれに限定されず、供給リールと巻取リールが横方向に並んだタイプに適用してもよい。 In the present embodiment, the present invention is described as being applied to a TCP handler in which a supply reel and a take-up reel are arranged in a vertical direction. However, the present invention is not limited to this, and the supply reel and the take-up reel are arranged horizontally. You may apply to the type arranged in the direction.

Claims (25)

  1. 　ＴＣＰが形成されたキャリアテープを保持可能な保持手段と、
    　前記キャリアテープ又はテストヘッドのコンタクト部の少なくとも一方を撮像可能な撮像手段と、
    　前記撮像手段を移動させることが可能な第１の移動手段と、を備え、
    　前記ＴＣＰの試験のために前記キャリアテープを前記コンタクト部に押圧することが可能なＴＣＰハンドリング装置であって、
    　前記保持手段に装着されていると共に基準座標系を示す特徴を有する治具を、前記撮像手段が撮像可能であり、
    　前記ＴＣＰハンドリング装置は、
    　前記撮像手段が前記特徴を撮像した第１の画像情報に基づいて、前記第１の移動手段の移動に伴って生じる移動誤差を相殺するための第１の補正係数を認識する認識手段をさらに備えたＴＣＰハンドリング装置。     Holding means capable of holding a carrier tape on which TCP is formed;
    Imaging means capable of imaging at least one of the contact portion of the carrier tape or the test head;
    First moving means capable of moving the imaging means,
    A TCP handling device capable of pressing the carrier tape against the contact portion for the TCP test,
    The imaging means can image a jig that is mounted on the holding means and has a characteristic indicating a reference coordinate system,
    The TCP handling device
    Recognizing means for recognizing a first correction coefficient for canceling a movement error caused by movement of the first moving means based on first image information obtained by the imaging means picking up the feature. TCP handling device.
  2. 　前記第１の補正係数は、
    　前記第１の移動手段の移動量と、前記第１の画像情報における前記特徴の移動量若しくは前記特徴の間隔と、の第１の比率、又は、
    　前記第１の移動手段が有する第１の座標系の、前記基準座標系に対する第１の回転角、
    　の少なくとも一方を含む請求項１記載のＴＣＰハンドリング装置。     The first correction factor is
    A first ratio between the amount of movement of the first moving means and the amount of movement of the feature or the interval of the feature in the first image information; or
    A first rotation angle of the first coordinate system of the first moving means with respect to the reference coordinate system;
    The TCP handling device according to claim 1, comprising at least one of the following.
  3. 　前記認識手段は、
    　前記第１の座標系の所定座標軸方向に沿った前記第１の移動手段の移動により複数位置で前記撮像手段が撮像した複数の前記第１の画像情報から、複数の前記特徴の第１の座標データを取得する第１の取得部と、
    　前記複数の前記第１の座標データから第１の回帰直線を生成し、当該第１の回帰直線を前記基準座標系の所定座標軸と比較することで、前記第１の回転角を認識する第１の認識部と、を有する請求項２記載のＴＣＰハンドリング装置。     The recognition means is
    From the plurality of first image information captured by the imaging unit at a plurality of positions by the movement of the first moving unit along a predetermined coordinate axis direction of the first coordinate system, a plurality of first coordinates of the features A first acquisition unit for acquiring data;
    A first regression line is generated from the plurality of first coordinate data, and the first regression line is compared with a predetermined coordinate axis of the reference coordinate system to recognize the first rotation angle. The TCP handling device according to claim 2, further comprising: a recognition unit.
  4. 　前記保持手段又は前記コンタクト部を移動及び回転させることが可能な第２の移動手段をさらに備えており、
    　前記認識手段は、前記撮像手段が前記特徴を撮像した第２の画像情報に基づいて、前記第２の移動手段の移動に伴って生じる移動誤差を相殺するための第２の補正係数を認識する請求項１～３の何れかに記載のＴＣＰハンドリング装置。     A second moving means capable of moving and rotating the holding means or the contact portion;
    The recognizing unit recognizes a second correction coefficient for offsetting a movement error caused by the movement of the second moving unit based on second image information obtained by the imaging unit capturing the feature. The TCP handling device according to any one of claims 1 to 3.
  5. 　前記第２の補正係数は、
    　前記第２の移動手段の移動量と、前記第２の画像情報における前記特徴の移動量若しくは前記特徴の間隔と、の第２の比率、又は、
    　前記第２の移動手段が有する第２の座標系の、前記基準座標系に対する第２の回転角、
    の少なくとも一方を含む請求項４記載のＴＣＰハンドリング装置。     The second correction factor is
    A second ratio between the amount of movement of the second moving means and the amount of movement of the feature or the interval of the feature in the second image information; or
    A second rotation angle of the second coordinate system of the second moving means with respect to the reference coordinate system;
    The TCP handling device according to claim 4, comprising at least one of the following.
  6. 　前記認識手段は、
    　前記第２の座標系の所定座標軸に沿った前記保持手段の移動により複数の相対位置で前記撮像手段が撮像した複数の前記第２の画像情報から、複数の前記特徴の第２の座標データを取得する第２の取得部と、
    　前記複数の前記第２の座標データから第２の回帰直線を生成し、当該第２の回帰直線を前記基準座標系の所定座標軸と比較することで、前記第２の回転角を認識する第２の認識部と、を有する請求項５記載のＴＣＰハンドリング装置。     The recognition means is
    From the plurality of second image information captured by the imaging unit at a plurality of relative positions by movement of the holding unit along a predetermined coordinate axis of the second coordinate system, a plurality of second coordinate data of the features are obtained. A second acquisition unit to acquire;
    A second regression line is generated from the plurality of second coordinate data, and the second regression line is compared with a predetermined coordinate axis of the reference coordinate system to recognize the second rotation angle. The TCP handling device according to claim 5, further comprising: a recognition unit.
  7. 　前記認識手段は、
    　前記第２の移動手段が前記保持手段を回転させることにより複数の角度で前記撮像手段が前記特徴を撮像した複数の画像情報に基づいて、前記第２の移動手段の回転中心を推定する推定部を有する請求項４～６の何れかに記載のＴＣＰハンドリング装置。     The recognition means is
    An estimation unit that estimates the center of rotation of the second moving unit based on a plurality of pieces of image information in which the imaging unit images the feature at a plurality of angles as the second moving unit rotates the holding unit. The TCP handling device according to any one of claims 4 to 6, comprising:
  8. 　前記撮像手段は、
    　前記保持手段と前記コンタクト部との間に配置され、前記保持手段に保持されている前記キャリアテープを撮像可能な第１の撮像手段と、
    　前記保持手段と前記コンタクト部との間に配置され、前記コンタクト部を撮像可能な第２の撮像手段と、を含み、
    　前記治具は、前記保持手段の保持面から所定距離離れた状態で前記保持手段に装着されており、
    　前記第１の撮像手段は、前記治具の一方の面を撮像し、
    　前記第２の撮像手段は、前記治具の他方の面を撮像する請求項１～７の何れかに記載のＴＣＰハンドリング装置。     The imaging means includes
    A first imaging means arranged between the holding means and the contact portion and capable of imaging the carrier tape held by the holding means;
    A second imaging means that is disposed between the holding means and the contact portion and can image the contact portion;
    The jig is attached to the holding means in a state separated from the holding surface of the holding means by a predetermined distance,
    The first imaging means images one surface of the jig,
    The TCP handling device according to any one of claims 1 to 7, wherein the second imaging means images the other surface of the jig.
  9. 　前記撮像手段は、
    　前記保持手段と前記コンタクト部との間に配置され、前記保持手段に保持されている前記キャリアテープを撮像可能な第１の撮像手段と、
    　前記保持手段と前記コンタクト部との間に配置され、前記コンタクト部を撮像可能な第２の撮像手段と、を含み、
    　前記ＴＣＰハンドリング装置は、
    　前記第１の撮像手段が前記キャリアテープ上の端子を撮像した画像情報と、前記２の撮像手段が前記コンタクト部を撮像した画像情報と、に基づいて、前記コンタクト部に対する前記端子の第１のズレ量を算出する第１の算出手段をさらに備えており、
    　前記第１の算出手段は、前記第１の補正係数を加味して前記第１のズレ量を算出する請求項１～８の何れかに記載のＴＣＰハンドリング装置。     The imaging means includes
    A first imaging means arranged between the holding means and the contact portion and capable of imaging the carrier tape held by the holding means;
    A second imaging means that is disposed between the holding means and the contact portion and can image the contact portion;
    The TCP handling device
    Based on the image information obtained by the first image pickup means picking up the terminal on the carrier tape and the image information obtained by picking up the contact portion by the second image pickup means, the first of the terminal with respect to the contact portion. A first calculating means for calculating the amount of deviation;
    The TCP handling device according to any one of claims 1 to 8, wherein the first calculation means calculates the first shift amount in consideration of the first correction coefficient.
  10. 　前記第１のズレ量は、
    　所定平面に沿った直進成分と、
    　前記所定平面の垂線を中心とした回転成分と、を含んでおり、
    　前記第１の算出手段は、前記推定部により推定された前記回転中心を基準として、前記回転成分と前記直進成分を同時に算出する請求項９記載のＴＣＰハンドリング装置。     The first deviation amount is
    A straight component along a predetermined plane;
    A rotational component centered on a perpendicular to the predetermined plane, and
    10. The TCP handling device according to claim 9, wherein the first calculation unit calculates the rotation component and the rectilinear component simultaneously with reference to the rotation center estimated by the estimation unit.
  11. 　前記第２の補正係数を加味して、前記第１のズレ量を相殺するように前記第２の移動手段を制御する第１の制御手段をさらに備えた請求項９又は１０記載のＴＣＰハンドリング装置。 11. The TCP handling apparatus according to claim 9, further comprising a first control unit configured to control the second moving unit so as to cancel the first shift amount in consideration of the second correction coefficient. .
  12. 　前記第１の制御手段は、前記第２の移動手段が直進移動と同時に回転するように前記第２の移動手段を制御する請求項１１記載のＴＣＰハンドリング装置。 12. The TCP handling apparatus according to claim 11, wherein the first control means controls the second moving means so that the second moving means rotates simultaneously with the straight movement.
  13. 　前記コンタクト部に前記端子を合わせた状態で前記第１の撮像手段が前記キャリアテープを撮像した画像情報から、前記キャリアテープの所定部位の座標データを取得して、当該座標データを前記所定部位の基準位置として登録する登録手段をさらに備えた請求項９～１２の何れかに記載のＴＣＰハンドリング装置。 The coordinate data of the predetermined part of the carrier tape is obtained from the image information obtained by the first imaging unit imaging the carrier tape in a state where the terminal is aligned with the contact part, and the coordinate data is obtained from the predetermined part of the carrier tape. 13. The TCP handling apparatus according to claim 9, further comprising registration means for registering as a reference position.
  14. 　順次搬送されるキャリアテープを前記第１の撮像手段が撮像した画像情報に基づいて、前記基準位置に対する前記所定部位の第２のズレ量を算出する第２の算出手段と、
    　前記第２の補正係数を加味して、前記第２のズレ量を相殺するように前記第２の移動手段を制御する第２の制御手段と、を備えた請求項１３記載のＴＣＰハンドリング装置。     Second calculating means for calculating a second shift amount of the predetermined portion with respect to the reference position based on image information obtained by the first imaging means picked up sequentially transported carrier tape;
    The TCP handling device according to claim 13, further comprising: a second control unit that controls the second moving unit so as to cancel the second shift amount in consideration of the second correction coefficient.
  15. 　前記第２のズレ量は、
    　所定平面に沿った直進成分と、
    　前記所定平面の垂線を中心とした回転成分と、を含んでおり、
    　前記第２の算出手段は、前記推定部により推定された前記回転中心を基準として、前記回転成分と前記直進成分を同時に算出する請求項１４記載のＴＣＰハンドリング装置。     The second shift amount is
    A straight component along a predetermined plane;
    A rotational component centered on a perpendicular to the predetermined plane, and
    15. The TCP handling device according to claim 14, wherein the second calculation means calculates the rotation component and the rectilinear component simultaneously with the rotation center estimated by the estimation unit as a reference.
  16. 　ＴＣＰが形成されたキャリアテープを保持可能な保持手段と、
    　前記キャリアテープ又はテストヘッドのコンタクト部の少なくとも一方を撮像可能な撮像手段と、
    　前記保持手段又は前記コンタクト部を移動及び回転させることが可能な移動手段と、を備え、
    　前記ＴＣＰの試験のために前記キャリアテープを前記コンタクト部に押圧することが可能なＴＣＰハンドリング装置であって、
    　前記保持手段に装着されていると共に基準座標系を示す特徴を有する治具を、前記撮像手段が撮像可能であり、
    　前記ＴＣＰハンドリング装置は、
    　前記撮像手段が前記特徴を撮像した画像情報に基づいて、前記移動手段の移動に伴って生じる移動誤差を相殺するための補正係数を認識する認識手段をさらに備えたＴＣＰハンドリング装置。     Holding means capable of holding a carrier tape on which TCP is formed;
    Imaging means capable of imaging at least one of the contact portion of the carrier tape or the test head;
    Moving means capable of moving and rotating the holding means or the contact portion,
    A TCP handling device capable of pressing the carrier tape against the contact portion for the TCP test,
    The imaging means can image a jig that is mounted on the holding means and has a characteristic indicating a reference coordinate system,
    The TCP handling device
    A TCP handling apparatus further comprising a recognition unit for recognizing a correction coefficient for canceling a movement error caused by movement of the moving unit based on image information obtained by the imaging unit capturing the feature.
  17. 　前記補正係数は、
    　前記移動手段の移動量と、前記画像情報における前記特徴の移動量若しくは前記特徴の間隔と、の比率、又は、
    　前記移動手段が有する座標系の、前記基準座標系に対する回転角、
    の少なくとも一方を含む請求項１６記載のＴＣＰハンドリング装置。     The correction factor is
    The ratio of the moving amount of the moving means and the moving amount of the feature or the interval of the feature in the image information, or
    A rotation angle of the coordinate system of the moving unit with respect to the reference coordinate system;
    The TCP handling device according to claim 16, comprising at least one of the following.
  18. 　前記認識手段は、
    　前記座標系の所定座標軸に沿った前記保持手段の移動により複数の相対位置で前記撮像手段が撮像した複数の前記画像情報から、複数の前記特徴の座標データを取得する取得部と、
    　前記複数の前記座標データから回帰直線を生成し、当該回帰直線を前記基準座標系の所定座標軸と比較することで、前記回転角を認識する認識部と、を有する請求項１７記載のＴＣＰハンドリング装置。     The recognition means is
    An acquisition unit that acquires coordinate data of a plurality of features from a plurality of pieces of image information captured by the imaging unit at a plurality of relative positions by movement of the holding unit along a predetermined coordinate axis of the coordinate system;
    The TCP handling device according to claim 17, further comprising: a recognition unit that recognizes the rotation angle by generating a regression line from the plurality of coordinate data and comparing the regression line with a predetermined coordinate axis of the reference coordinate system. .
  19. 前記撮像手段は、
    　前記保持手段と前記コンタクト部との間に配置され、前記保持手段に保持されている前記キャリアテープを撮像可能な第１の撮像手段と、
    　前記保持手段と前記コンタクト部との間に配置され、前記コンタクト部を撮像可能な第２の撮像手段と、を含み、
    　前記ＴＣＰハンドリング装置は、
    　前記第１の撮像手段が前記キャリアテープ上の端子を撮像した画像情報と、前記２の撮像手段が前記コンタクト部を撮像した画像情報と、に基づいて、前記コンタクト部に対する前記端子の第１のズレ量を算出する第１の算出手段と、
    　前記補正係数を加味して、前記第１のズレ量を相殺するように前記移動手段を制御する第１の制御手段と、をさらに備えた請求項１６～１８の何れかに記載のＴＣＰハンドリング装置。     The imaging means includes
    A first imaging means arranged between the holding means and the contact portion and capable of imaging the carrier tape held by the holding means;
    A second imaging means that is disposed between the holding means and the contact portion and can image the contact portion;
    The TCP handling device
    Based on the image information obtained by the first image pickup means picking up the terminal on the carrier tape and the image information obtained by picking up the contact portion by the second image pickup means, the first of the terminal with respect to the contact portion. First calculating means for calculating a deviation amount;
    The TCP handling device according to any one of claims 16 to 18, further comprising first control means for controlling the moving means so as to cancel out the first deviation amount in consideration of the correction coefficient. .
  20. 　前記コンタクト部に前記端子を合わせた状態で前記第１の撮像手段が前記キャリアテープを撮像した画像情報から、前記キャリアテープの所定部位の座標データを取得して、当該座標データを前記所定部位の基準位置として登録する登録手段と、
    　順次搬送されるキャリアテープを前記第１の撮像手段が撮像した画像情報に基づいて、前記基準位置に対する前記所定部位の第２のズレ量を算出する第２の算出手段と、
    　前記第２の補正係数を加味して、前記第２のズレ量を相殺するように前記第２の移動手段を制御する第２の制御手段と、を備えた請求項１９記載のＴＣＰハンドリング装置。     The coordinate data of the predetermined part of the carrier tape is acquired from the image information obtained by the first imaging unit imaging the carrier tape in a state where the terminal is aligned with the contact part, and the coordinate data is obtained from the predetermined part. Registration means for registering as a reference position;
    Second calculating means for calculating a second shift amount of the predetermined portion with respect to the reference position based on image information obtained by the first imaging means picked up sequentially transported carrier tape;
    The TCP handling apparatus according to claim 19, further comprising: a second control unit that controls the second moving unit so as to cancel the second deviation amount in consideration of the second correction coefficient.
  21. 　ＴＣＰが形成されたキャリアテープを保持可能な保持手段と、
    　前記保持手段を移動及び回転させることが可能な移動手段と、
    　前記キャリアテープを撮像可能な撮像手段と、を備え、前記ＴＣＰの試験のために前記キャリアテープをテストヘッドのコンタクト部に押圧することが可能なＴＣＰハンドリング装置であって、
    　前記保持手段に装着されていると共に基準座標系を示す特徴を有する治具を、前記撮像手段が撮像可能であり、
    　前記ＴＣＰハンドリング装置は、
    　前記移動手段が前記保持手段を回転させることにより複数の角度で前記撮像手段が前記特徴を撮像した複数の画像情報に基づいて、前記移動手段の回転中心を推定する推定手段をさらに備えたＴＣＰハンドリング装置。     Holding means capable of holding a carrier tape on which TCP is formed;
    Moving means capable of moving and rotating the holding means;
    An imaging means capable of imaging the carrier tape, and a TCP handling device capable of pressing the carrier tape against a contact portion of a test head for the TCP test,
    The imaging means can image a jig that is mounted on the holding means and has a characteristic indicating a reference coordinate system,
    The TCP handling device
    TCP handling further comprising estimation means for estimating the center of rotation of the moving means based on a plurality of pieces of image information obtained by the imaging means imaging the feature at a plurality of angles as the moving means rotates the holding means. apparatus.
  22. 　前記撮像手段は、
    　前記保持手段に保持されている前記キャリアテープを撮像可能な第１の撮像手段と、
    　前記コンタクト部を撮像可能な第２の撮像手段と、を含み、
    　前記ＴＣＰハンドリング装置は、
    　前記第１の撮像手段が前記キャリアテープ上の端子を撮像した画像情報と、前記２の撮像手段が前記コンタクト部を撮像した画像情報と、に基づいて、前記コンタクト部に対する前記端子の第１のズレ量を算出する第１の算出手段と、
    　前記第１のズレ量を相殺するように前記移動手段を制御する第１の制御手段と、をさらに備え、
    　前記第１のズレ量は、
    　所定平面に沿った直進量と、
    　前記所定平面の垂線を中心とした回転量と、を含んでおり、
    　前記第１の算出手段は、前記推定手段により推定された前記回転中心を基準として、前記回転量と前記直進量を同時に算出する請求項２１記載のＴＣＰハンドリング装置。     The imaging means includes
    First imaging means capable of imaging the carrier tape held by the holding means;
    Second imaging means capable of imaging the contact portion,
    The TCP handling device
    Based on the image information obtained by the first image pickup means picking up the terminal on the carrier tape and the image information obtained by picking up the contact portion by the second image pickup means, the first of the terminal with respect to the contact portion. First calculating means for calculating a deviation amount;
    First control means for controlling the moving means so as to cancel out the first deviation amount;
    The first deviation amount is
    A straight amount along a predetermined plane;
    An amount of rotation about a perpendicular to the predetermined plane,
    The TCP handling device according to claim 21, wherein the first calculation means calculates the rotation amount and the straight travel amount simultaneously with the rotation center estimated by the estimation means as a reference.
  23. 　前記第１の制御手段は、前記移動手段が直進移動と同時に回転するように、前記移動手段を制御する請求項２２記載のＴＣＰハンドリング装置。 23. The TCP handling apparatus according to claim 22, wherein the first control means controls the moving means so that the moving means rotates simultaneously with the straight movement.
  24. 　前記コンタクト部に前記端子を合わせた状態で前記第１の撮像手段が前記キャリアテープを撮像した画像情報から、前記キャリアテープの所定部位の座標データを取得して、当該座標データを前記所定部位の基準位置として登録する登録手段と、
    　順次搬送されるキャリアテープを前記第１の撮像手段が撮像した画像情報に基づいて、前記基準位置に対する前記所定部位の第２のズレ量を算出する第２の算出手段と、
    　前記第２のズレ量を相殺するように前記第２の移動手段を制御する第２の制御手段と、を備えており、
    　前記第２のズレ量は、
    　所定平面に沿った直進成分と、
    　前記所定平面の垂線を中心とした回転成分と、を含んでおり、
    　前記第２の算出手段は、前記推定部により推定された前記回転中心を基準として、前記回転成分と前記直進成分を同時に算出する請求項２１～２３の何れかに記載のＴＣＰハンドリング装置。     The coordinate data of the predetermined part of the carrier tape is acquired from the image information obtained by the first imaging unit imaging the carrier tape in a state where the terminal is aligned with the contact part, and the coordinate data is obtained from the predetermined part. Registration means for registering as a reference position;
    Second calculating means for calculating a second shift amount of the predetermined portion with respect to the reference position based on image information obtained by the first imaging means picked up sequentially transported carrier tape;
    And a second control means for controlling the second moving means so as to cancel out the second deviation amount,
    The second shift amount is
    A straight component along a predetermined plane;
    A rotational component centered on a perpendicular to the predetermined plane, and
    The TCP handling device according to any one of claims 21 to 23, wherein the second calculation means calculates the rotation component and the rectilinear component simultaneously with reference to the rotation center estimated by the estimation unit.
  25. 　キャリアテープに形成されたＴＣＰを試験するためのＴＣＰ試験装置であって、
    　請求項１～２４の何れかに記載のＴＣＰハンドリング装置と、
    　前記キャリアテープに形成された端子と電気的に接触するコンタクト部を有するテストヘッドと、
    　前記テストヘッドに電気的に接続されたテスタと、を備えたＴＣＰ試験装置。     A TCP test apparatus for testing TCP formed on a carrier tape,
    A TCP handling device according to any of claims 1 to 24;
    A test head having a contact portion in electrical contact with a terminal formed on the carrier tape;
    A TCP test apparatus comprising: a tester electrically connected to the test head.
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