WO2004068154A1 - Tcp handling device and positional deviation correcting method for the same - Google Patents

Tcp handling device and positional deviation correcting method for the same Download PDF

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WO2004068154A1
WO2004068154A1 PCT/JP2003/001033 JP0301033W WO2004068154A1 WO 2004068154 A1 WO2004068154 A1 WO 2004068154A1 JP 0301033 W JP0301033 W JP 0301033W WO 2004068154 A1 WO2004068154 A1 WO 2004068154A1
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PCT/JP2003/001033
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Syuuichi Kaneko
Kenji Higashiyama
Hiroyuki Kaneko
Hisashi Murano
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Japan Engineering Co.,Ltd.
Advantest Corporation
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Abstract

A TCP handler (2) is provided with a pusher stage (4) capable of moving a carrier tape (5) adsorbed by an adsorption plate (34) in the X- and Y-axis directions and driving it for rotation around a vertical axis during operation of the TCP handler (2), and a probe card stage (7) capable of moving a probe card (8) in the X- and Y-axis directions and driving it for rotation around a vertical axis during operation of the TCP handler (2). With the TCP handler (2) having such arrangement, it is possible to achieve accurate positioning between the TCP and the probe card (8) to reduce the occurrence of poor contact.

Description

明 細 書  Specification
T C Pハンドリング装置おょぴ当該装置における位置ずれ補正方法 技術分野 Tcp handling equipment
本発明は、 I Cデノ《イスの 1種である T C P (Tape Carrier Package) や C O F (Chip On Film) (以下、 T C P、 C O F、 その他 TAB (Tape Automated Bonding)実装技術によつて製造されたデバイスを纏めて「T C P」 という。 ） を試験するのに用いられる T C Pハンドリング装置、 および T C Pハンドリ ング装置における T C Pとコンタク ト部との位 置ずれ補正方法に関するものである。 背景技術  The present invention relates to a device manufactured using an IC denoise << TCP (Tape Carrier Package) or COF (Chip On Film) (hereinafter referred to as TCP, COF, or other TAB (Tape Automated Bonding) mounting technology, which is a kind of IC This is referred to as “TCP.”) It relates to a TCP handling device used for testing the TPC, and a method for correcting a misalignment between a TCP and a contact part in the TCP handling device. Background art
I Cデバイス等の電子部品の製造過程においては、最終的に製造され た I Cデバイスやその中間段階にあるデバイス等の性能や機能を試験 する電子部品試験装置が必要であり、 T C Pの場合には、 T C P用の試 験装置が使用される。  In the process of manufacturing electronic components such as IC devices, electronic component test equipment that tests the performance and functions of the final manufactured IC devices and devices in the intermediate stages is required.In the case of TCP, Test equipment for TCP is used.
T C P用の試験装置は、 一般的にテスタ本体と、 テス トヘッ ドと、 T C Pハンドリング装置 (以下 「 T C Pハンドラ」 という場合がある。 ) とから構成される。 この T C Pハンドラは、 テープ (フィルムの概念も 含むものとする。 以下同じ。 ) 上に T C Pが複数形成されたキャリ アテ ープを搬送して、テス トへッ ドに電気的に接続されているプロ一ブカ一 ドのプローブにキャリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子をプローブ にコンタク トさせることにより、複数の T C Pを順次試験に付す機能を 備えている。  A test apparatus for a TCP generally comprises a tester main body, a test head, and a TCP handling apparatus (hereinafter sometimes referred to as a “TCP handler”). This TCP handler transports a carrier tape on which multiple TCPs are formed on a tape (including the concept of film; the same applies to the following.), And a processor that is electrically connected to the test head. It has a function to sequentially apply multiple TCPs to the test by pressing the carrier tape against the probe in the bulk and connecting the external terminal of the TCP to the probe.
このよ うな T C Pハンドラを使用して効率良く正確に試験を行うた めには、 T C Pの外部端子とプローブカードの各プローブとを確実にコ ンタク トさせることが必要である。 Tests can be performed efficiently and accurately using such a TCP handler. For this purpose, it is necessary to reliably connect the TCP external terminal to each probe of the probe card.
従来、 T C Pとプローブとの位置合わせ方法として、 キャリアテープ をプッシャおよびクランプまたはコンタク トプレスと ともに XY方向 に移動させる方法 （実公平 6— 2 2 7 1号公報， 特開平 9一 9 2 6 9 5 号公報， 特開平 8 - 2 9 4 8 4号公報） や、 プロ^ブカードを XY方向 に移動させる方法 （特開平 1 0— 1 8 5 9 9 6号公報， 特開 2 0 0 2— 1 8 1 8 8 8号公報） が知られている。  Conventionally, as a method of aligning a TCP and a probe, a method of moving a carrier tape in the XY direction together with a pusher and a clamp or a contact press (Japanese Utility Model Publication No. 6-22771, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-192695) And Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-29484), and a method for moving a probe card in the XY direction (Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-198596 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-1). No. 818888) is known.
しかしながら、 このような X Y方向のみの 2軸制御では、 T C Pとプ ロープとの位置合わせを必ずしも正確に行うことができず、コンタク ト 不良が発生することが少なからずあった。 特に、 将来的なデバイスの多 ピン ·狭ピッチ化に伴い、 かかるコンタク ト不良の発生頻度は大きくな ると予想される。  However, in such two-axis control only in the X and Y directions, the position between the TCP and the probe could not always be accurately adjusted, and contact defects often occurred. In particular, the frequency of such contact failures is expected to increase as the number of pins and the pitch of devices increase in the future.
一方、 特開 2 0 0 2— 1 8 1 8 8 9号公報には、 回転ステージに搭載 したプローブカードを T C Pに対して補正角度 Θだけ回転させること により、 T C Pとプローブカードとの角度のずれを補正する発明が記載 されている。 . しかしながら、 特開 2 0 0 2— 1 8 1 8 8 9号公報に記載の発明は、 あくまでも初期設定時にプローブカードを回転させて位置合わせを行 うものであるため、 T C P試験装置の実稼動中に T C Pとプローブカー ドとにずれが生じた場合、 または初期設定自体が不正確で、 それが T C P試験装置の実稼動中に発見された場合 ίこは対応することができなつ た。 発明の開示  On the other hand, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-188189 discloses that the angle between the TCP and the probe card is shifted by rotating the probe card mounted on the rotary stage by a correction angle に 対 し て with respect to the TCP. The invention that corrects is described. However, since the invention described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-1818989 only rotates the probe card at the time of initial setting to perform positioning, the actual operation of the TCP test apparatus is performed. If there was a gap between the TCP and the probe card during the test, or if the initial settings were incorrect and were found during the actual operation of the TCP test equipment, this could not be handled. Disclosure of the invention
本発明は、 このような実状に鑑みてなされたものであり、 T C Pとコ ンタク ト部との位置合わせを正確に行い、コンタク ト不良の発生を低減 させることのできる T C Pハンドリング装置、および T C Pハンドリ ン グ装置における位置ずれ補正方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and has been developed in cooperation with TCP. An object of the present invention is to provide a TCP handling device capable of accurately performing alignment with a contact part and reducing the occurrence of contact failure, and a method of correcting a position shift in the TCP handling device.
上記目的を達成するために、 第 1に本発明は、 テープ上に T C Pが複 数形成されたキヤリァテープを搬送して、テス トへッ ドに電気的に接続 されているコンタク ト部にキヤリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子 を前記コンタク ト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験 に付すことのできる T C Pハンドリ ング装置であって、前記コンタク ト 部に押圧されるキヤリアテープを、その垂直軸回りに回転移動させるこ とのできるテープ垂直軸回転装置を備えたことを特徴とする T C Pハ ンドリング装置を提供する （ 1 ) 。  In order to achieve the above object, first, the present invention conveys a carrier tape in which a plurality of TCPs are formed on a tape, and attaches the carrier tape to a contact portion electrically connected to a test head. A TCP handling device capable of sequentially applying a plurality of TCPs to a test by pressing and connecting an external terminal of the TCP to the contact portion, wherein a carrier tape pressed by the contact portion is provided. The present invention provides a TCP handling device having a tape vertical axis rotating device capable of rotating and moving around a vertical axis (1).
本明緬書'〖こお Tデる— πシ ^ ~部丁 ほ丁 T C Pの外—部端子が接続—さ れる接続端子 (例えばプローブ) そのものと、 そのような接続端子を備 えた部材（例えばプローブカード）の双方の概念が含まれるものとする。 上記発明 （ 1 ) によれば、 テープ垂直軸回転装置によってキャリアテ ープを垂直軸回りに回転移動させることにより、垂直軸回りにずれてい る T C Pとコンタク ト部との位置合わせを行い、コンタク ト不良の発生 を低減させることができる。  The booklet “〖こ お T デ ― π シ ^ ~ 部 丁 ho” The connection terminal (for example, a probe) to which the external terminal of the TCP is connected and the member with such a connection terminal (for example, a probe). For example, both concepts of a probe card are included. According to the above invention (1), by rotating the carrier tape around the vertical axis by the tape vertical axis rotating device, the TCP that is displaced around the vertical axis is aligned with the contact portion, and the contactor is aligned. Therefore, the occurrence of faults can be reduced.
上記発明 （ 1 ) に係る T C Pハンドリング装置は、 前記コンタク ト部 に押圧されるキヤリァテープを、その平面方向に移動させることのでき るテープ平面移動装置をさらに備えているのが好ましい (2) 。  The TCP handling apparatus according to the above invention (1) preferably further comprises a tape plane moving device capable of moving the carrier tape pressed by the contact portion in the plane direction thereof (2).
上記発明 （ 2) によれば、 テープ垂直軸回転装置および Zまたはテー プ平面移動装置によってキヤリァテープを垂直軸回りに回転移動およ び/または平面方向に移動させることにより、 T C Pとコンタク ト部と の位置合わせを確実に行い、コンタク ト不良の発生を低減させることが できる。 '' 上記発明 （ 2) において、 前記テープ垂直軸回転装置および または 前記テープ平面移動装置は、キヤリァテープを前記コンタク'ト部に押圧 する押圧装置とともに、キヤリァテープを垂直軸回りに回転移動および または平面方向に移動させるのが好ましい （ 3) 。 According to the invention (2), the TCP and the contact section are formed by rotating and / or moving the carrier tape around the vertical axis by the tape vertical axis rotating device and the Z or tape plane moving device. Position can be reliably performed, and the occurrence of contact failure can be reduced. '' In the above invention (2), the tape vertical axis rotating device and / or the tape plane moving device rotate and / or move the carrier tape around a vertical axis and / or in a plane direction together with a pressing device for pressing a carrier tape against the contact portion. (3).
なお、 ここでいう 「押圧装置」 は、 キャリアテープを押圧するだけで なく、 キヤリァテープを保持する機能を有するものであってもよい。 上記発明 （ 3 ) によれば、 キャリアテープとそれを押圧する押圧装置 との間に位置ずれが生じない。  The “pressing device” here may have a function of holding the carrier tape as well as pressing the carrier tape. According to the invention (3), no displacement occurs between the carrier tape and the pressing device that presses the carrier tape.
上記発明 （ 2， 3 ) に係る前記 T C Pハンドリ ング装置は、 T C Pと 前記コンタク ト部との位置ずれの情報を取得することのできる位置ず れ情報取得装置をさらに備えており、前記位置ずれ情報取得装置によつ て取得しだ位置ずれ情報に基づいて、前記テープ垂直軸回転装置おょぴ The TCP handling apparatus according to the invention (2, 3) further includes a position shift information acquiring apparatus capable of acquiring information on a position shift between a TCP and the contact unit, and further comprising the position shift information. Based on the positional deviation information acquired by the acquiring device, the tape vertical axis rotating device and the
Zまたは前記テープ平面移動装置を駆動し、前記位置ずれを自動補正す るのが好ましい （4) 。 It is preferable to drive Z or the tape plane moving device to automatically correct the positional deviation (4).
本明細書における 「位置ずれ情報」 には、 位置ずれの方向 （X · Y · In the present specification, “position shift information” includes the direction of position shift (X, Y,
Θ ) および位置ずれの量が含まれるものとする。 Θ) and the amount of displacement.
位置ずれ情報取得装置と しては、 例えば、 キヤリァテープおよびコン タク ト部を撮像することのできるカメラと画像処理装置との組合せ等 を挙げることができる。  Examples of the displacement information acquiring device include a combination of a camera capable of capturing an image of a carrier tape and a contact unit and an image processing device.
上記発明 （4) によれば、 オペレータの技量等にかかわらず、 T C P とコンタク ト部との位置ずれを自動的に確実に補正することが可能と なる。  According to the above invention (4), it is possible to automatically and reliably correct the positional deviation between the TCP and the contact portion regardless of the skill of the operator.
第 2に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリアテープ を搬送して、テス トへッ ドに電気的に接続されているコンタク ト部にキ ャリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続さ せることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハ ンドリング装置であって、 T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれの情 報を取得することのできる位置ずれ情報取得装置と、前記コンタク ト部 を、その垂直軸回りに回転移動させることのできるコンタク ト部垂直軸 回転装置とを備えており、 実稼動中 （初期設定時ではなく、 実際に試験 を行うために稼動している最中） に、 前記位置ずれ情報取得装置によつ て取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタク ト部垂直軸回転装置 を駆動して前記コンタク ト部を垂直軸回りに回転移動させ、前記位置ず れを自動補正することを特徴とする T C Pハンドリ ング装置を提供す る ( 5 ) 。 Secondly, the present invention conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, presses the carrier tape into a contact portion electrically connected to a test head, and controls the external terminals of the TCP. Is connected to the contact unit, so that a plurality of TCPs can be sequentially subjected to a test. A positional deviation information acquisition device capable of acquiring information on a positional deviation between a TCP and the contact unit, and a contact unit capable of rotating and moving the contact unit around a vertical axis thereof. And a vertical axis rotating device, which was acquired by the displacement information acquisition device during actual operation (not during initial setting, but during actual operation for performing the test). A TCP handling apparatus characterized in that, based on displacement information, the contact unit vertical axis rotating device is driven to rotate and move the contact unit around a vertical axis to automatically correct the displacement. Provide (5).
上記発明 （ 5 ) によれば、 T C Pハンドリング装置の実稼動中に、 コ ンタク ト部垂直軸回転装置によってコンタク ト部を垂直軸回りに回転 移動ざせることにより、'垂直軸回りにずれている被試験 T C Pどコシタ ' タ ト部との位置合わせを被試験 T C P毎に行うことができるため、 コン タク ト不良の発生を著しく低減させることができる。  According to the invention (5), the contact unit is rotated around the vertical axis by the contact unit vertical axis rotating device during the actual operation of the TCP handling device, so that the contact unit is shifted around the vertical axis. Since alignment with the TCP under test can be performed for each TCP under test, the occurrence of contact failure can be significantly reduced.
上記発明 （ 5 ) に係る T C Pハンドリング装置は、 前記コンタク ト部 を、その平面方向に移動させることのできるコンタク ト部平面移動装置 をさらに備えており、 実稼動中に、 前記位置ずれ情報取得装置によって 取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタク ト部垂直軸回転装置お よび zまたは前記コンタク ト部平面移動装置を駆動して前記コンタク ト部を垂直軸回りに回転移動および/または平面方向に移動させ、前記 位置ずれを自動補正するのが好ましい （6 ) 。  The TCP handling device according to the invention (5) further includes a contact portion plane moving device capable of moving the contact portion in a plane direction thereof, and the position shift information acquiring device during actual operation. The contact part vertical axis rotating device and z or the contact part plane moving device are driven based on the positional deviation information obtained in step (a) to rotate the contact part around the vertical axis and / or move the contact part in the plane direction. It is preferable that the position is moved to automatically correct the displacement (6).
上記発明 （6 ) によれば、 T C Pハンドリ ング装置の実稼動中に、 コ ンタク ト部垂直軸回転装置および/またはコンタク ト部平面移動装置 によってコンタク ト部を垂直軸回りに回転移動および/または平面方 向に移動させることにより、被試験 T C Pとコンタク ト部との位置合わ せを被試験 T C P毎に確実に行うことができるため、コンタク ト不良の 発生を著しく低減させることができる。 According to the above invention (6), during actual operation of the TCP handling device, the contact part is rotated and / or rotated around the vertical axis by the contact part vertical axis rotating device and / or the contact part plane moving device. By moving in the plane direction, the position of the TCP under test and the contact section can be reliably adjusted for each TCP under test. Generation can be significantly reduced.
第 3に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリ アテープ を搬送して、テス トへッ ドに電気的に接続されているコンタク ト部にキ ャリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続さ せることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハ ンドリング装置であって、 T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれの情 報を取得することのできる位置ずれ情報取得装置と、前記コンタク ト部 に押圧されるキヤリァテープを、その垂直軸回りに回転移動させること のできるテープ垂直軸回転装置と、 前記コンタク ト部を、 その垂直軸回 りに回転移動させることのできるコンタク ト部垂直軸回転装置とを備 えており、前記位置ずれ情報取得装置によって取得した位置ずれ量が所 一' '定の'値より大きい場合または所定の値以上の場合には、'前記 ンタク 部垂直軸回転装置を駆動して前記コンタク ト部を垂直軸回りに回転移 動させ、前記位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定の値未満の場 合には、前記テープ垂直軸回転装置を駆動して前記キヤリアテープを垂 直軸回りに回転移動させることにより、前記位置ずれを自動補正するこ とを特徴とする T C Pハンドリング装置を提供する （7 ) 。  Thirdly, the present invention conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, presses the carrier tape into a contact portion electrically connected to a test head, and outputs the TCP external terminals. By connecting the TCP to the contact unit, a TCP handling apparatus capable of sequentially applying a plurality of TCPs to a test can acquire information on a positional shift between a TCP and the contact unit. A position deviation information acquisition device, a tape vertical axis rotating device capable of rotating a carrier tape pressed by the contact portion around its vertical axis, and a rotational movement of the contact portion around the vertical axis. A vertical axis rotation device for the contact part that can be moved, and the position deviation amount acquired by the position deviation information acquisition device is larger than a predetermined value. Is greater than or equal to a predetermined value, 'the contact unit vertical axis rotating device is driven to rotate and move the contact unit around a vertical axis. If the value is smaller than the value, the tape vertical axis rotating device is driven to rotate and move the carrier tape around a vertical axis, thereby automatically correcting the positional deviation. Provide (7).
上記発明 （ 7 ) によれば、 テープ垂直軸回転装置またはコンタク ト部 垂直軸回転装置を駆動することにより、垂直軸回りにずれている T C P とコンタク ト部との位置合わせを行い、コンタク ト不良の発生を低減さ せることができる。  According to the invention (7), by driving the tape vertical axis rotating device or the contact portion vertical axis rotating device, the TCP that is displaced around the vertical axis and the contact portion are aligned, and the contact failure occurs. Can be reduced.
ここで、 T C Pハン ドリ ング装置の構造上、 テスタ本体に繋がるコ一 ドを多数備えたコンタク ト部を移動させるコンタク ト部垂直軸回転装 置と比較して、テープ垂直軸回転装置は短時間で位置ずれ補正を行うこ とが可能である。 しかしながら、 テープ垂直軸回転装置は、 ガイ ドロー ラゃスプロケッ ト等によって支持されたキヤリァテープを移動させる ものであるため、その移動量が大きいとキャリアテープに応力がかかり、 キヤリァテープ上の T C P (特にリードまたはテス トパッド） やキヤリ ァテープ自体 （特にスプロケッ トの爪が入る穴部またはその周辺部） を 損傷してしまうおそれがある。 Here, due to the structure of the TCP hand-held device, the tape vertical-axis rotator requires a shorter time than the contact vertical-axis rotator, which moves a contact unit equipped with a large number of cables connected to the tester body. It is possible to perform misalignment correction with. However, the tape vertical axis rotating device moves the carrier tape supported by a guide draw bracket or the like. When the carrier tape is moved too much, stress is applied to the carrier tape, which damages the TCP (especially the lead or test pad) on the carrier tape and the carrier tape itself (especially the hole where the sprocket's claw enters or its surrounding area). There is a risk of doing it.
したがって、上記発明（ 7 )によれば、位置ずれ量が大きい場合には、 コンタク ト部垂直軸回転装置を駆動して T C Pやキャリアテープの損 傷を防止し、 位置ずれ量が小さい場合には、 テープ垂直軸回転装置を駆 動して位置ずれ補正の時間、ひいてはインデックスタイムを短くするこ とができる。  Therefore, according to the above invention (7), when the displacement is large, the contact part vertical axis rotating device is driven to prevent the TCP and the carrier tape from being damaged, and when the displacement is small, By driving the tape vertical axis rotating device, it is possible to shorten the time for correcting the positional deviation and, consequently, the index time.
上記発明 （ 7 ) に係る T C Pハンドリング装置は、 前記コンタク ト部 に押圧されるキヤリァテープを、その平面方向に移動させることのでき るテ プ平面移動装置と、 前記 シタグド部を、 その平面方向に移動さ せることのできるコンタク ト部平面移動装置とをさらに備えており、前 記位置ずれ情報取得装置によつて取得した位置ずれ量が所定の値より 大きい場合または所定の値以上の場合には、前記コンタク ト部垂直軸回 転装置およびノまたは前記コンタク ト部平面移動装置を駆動して前記 コンタク ト部を垂直軸回り に回転移動および Zまたは平面方向に移動 させ、前記位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定の値未満の場合 には、前記テープ垂直軸回転装置および/または前記テープ平面移動装 置を駆動して前記キヤリァテープを垂直軸回り に回転移動および/ま たは平面方向に移動させることにより、前記位置ずれを自動補正するの が好ましい （ 8 ) 。  The TCP handling device according to the above invention (7) is a TCP flat surface moving device capable of moving the carrier tape pressed by the contact portion in the plane direction, and moving the sittagged portion in the plane direction. And a contact part plane moving device capable of causing the contact position to be moved.If the positional deviation amount acquired by the positional deviation information acquiring device is larger than a predetermined value or larger than a predetermined value, The contact part vertical axis rotating device and the contact part plane moving device are driven to rotate the contact part around the vertical axis and to move the contact part in the Z or plane direction so that the positional deviation amount is a predetermined amount. If the value is equal to or less than the predetermined value or less than the predetermined value, the tape vertical axis rotating device and / or the tape plane moving device is driven to drive the carrier. By moving to the rotational movement and / or the planar direction about a vertical axis, preferably automatically corrects the positional deviation (8).
上記発明 （ 8 ) によれば、 テープ垂直軸回転装置および/もしくはテ ープ平面移動装置、またはコンタク ト部垂直軸回転装置および Zもしく はコンタク ト部平面移動装置によってキヤリアテープまたはコンタク ト部を垂直軸回りに回転移動および/または平面方向に移動させるこ とにより、 T C Pとコンタク ト部との位置合わせを確実に行い、 コンタ ク ト不良の発生を低減させることができる。 また、 上記発明 （ 8 ) によ れば、 位置ずれ量が大きい場合には、 コンタク ト部垂直軸回転装置およ び Zまたはコンタク ト部平面移動装置を駆動して τ c pやキャ リ アテ ープの損傷を防止し、 位置ずれ量が小さい場合には、 テープ垂直軸回転 装置および zまたはテープ平面移動装置を駆動して位置ずれ補正の時 間、 ひいてはインデックスタイムを短くすることができる。 According to the invention (8), the tape vertical axis rotating device and / or the tape plane moving device, or the contact portion vertical axis rotating device and the Z or contact portion planar moving device, are used to carry the carrier tape or the contact portion. Can be rotated around the vertical axis and / or Thus, the position of the TCP and the contact section can be surely aligned, and the occurrence of contact failure can be reduced. According to the invention (8), when the amount of displacement is large, the contact part vertical axis rotating device and the Z or contact part plane moving device are driven to set τ cp and carrier antenna. If the amount of misalignment is small, the tape vertical axis rotating device and the z or tape plane moving device can be driven to reduce the misalignment correction time and, consequently, the index time.
第 4に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリアテープ を搬送して、テス トへッ ドに電気的に接続されているコンタク ト部にキ ャリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続さ せることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハ ンドリ ング装置における T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれ補正 方法であって、 前記コンタク ト部に押圧されるキヤリアテープを、 その 垂直軸回りに回転移動させることにより、 T C Pと前記コンタク ト部と の位置ずれを補正することを特徴とする T C Pハンドリング装置にお ける位置ずれ補正方法を提供する （9 ) 。  Fourthly, the present invention conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, presses the carrier tape into a contact portion electrically connected to a test head, and controls the external terminals of the TCP. A method of correcting a positional deviation between a TCP and the contact unit in a TCP handing device capable of sequentially applying a plurality of TCPs to a test by connecting the contact unit to the contact unit. The present invention provides a position shift correction method in a TCP handling device, which corrects a position shift between a TCP and the contact portion by rotating a pressed carrier tape around its vertical axis. 9).
上記発明 （ 9 ) によれば、 キャリアテープを垂直軸回りに回転移動さ せることにより、垂直軸回りにずれている T C Pとコンタク ト部との位 置合わせを行い、 コンタク ト不良の発生を低減させることができる。 第 5に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープ を搬送して、テス トへッ ドに電気的に接続されているコンタク ト部にキ ャ リァテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続さ せることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハ ンドリング装置における T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれ補正 方法であって、 前記コンタク ト部に押圧されるキヤリアテープを、 その 垂直軸回りに回転移動および またはその平面方向に移動させること により、 T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれを補正することを特徴 とする T C Pハンドリ ング装置における位置ずれ補正方法を提供する ( 1 0) 。 According to the invention (9), by rotating the carrier tape around the vertical axis, the position of the TCP displaced around the vertical axis and the contact portion are reduced, thereby reducing the occurrence of contact failure. Can be done. Fifth, the present invention conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, presses the carrier tape into a contact portion electrically connected to a test head, and outputs the external terminals of the TCP. A method for correcting a positional deviation between a TCP and the contact part in a TCP handling apparatus capable of sequentially applying a plurality of TCPs to a test by connecting the contact part to the contact part. Rotating the carrier tape around its vertical axis and / or moving it in its planar direction. Thus, a position shift correction method in a TCP handling apparatus is provided which corrects a position shift between a TCP and the contact unit (10).
上記発明 （ 1 0 ) によれば、 キヤリァテープを垂直軸回りに回転移動 および/または平面方向に移動させることにより、 T C Pとコンタク ト 部との位置合わせを確実に行い、コンタク ト不良の発生を低減させるこ とができる。  According to the above invention (10), the carrier tape is rotated around the vertical axis and / or moved in the plane direction, so that the TCP and the contact portion are securely positioned and the occurrence of contact failure is reduced. It can be done.
第 6に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリアテープ を搬送して、テス トへッ ドに電気的に接続されているコンタク ト部にキ ャリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続さ せることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハ ンドリ ング装置における T'C Pと前記コンタタ ト部との位置ずれ補正 方法であって、 T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれの情報を取得し- 前記取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタク ト部に押圧される キャリアテープを、 その垂直軸回りに回転移動させることにより、 前記 位啬ずれを補正することを特徴とする T C Pハンドリ ング装置におけ る位置ずれ補正方法を提供する （ 1 1) 。  Sixth, the present invention conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, presses the carrier tape into a contact portion electrically connected to a test head, and generates an external terminal of the TCP. A method of correcting a positional deviation between T'CP and a contact part in a TCP handing device capable of sequentially applying a plurality of TCPs to a test by connecting the contact part to the contact part. By obtaining information on the positional deviation from the contact part, based on the acquired positional deviation information, the carrier tape pressed by the contact part is rotated around its vertical axis to thereby move the carrier tape. A method for correcting a position shift in a TCP handling device, which is characterized by correcting the position shift, is provided (11).
上記発明 （ 1 1 ) によれば、 取得した位置ずれ情報に基づいてキヤリ ァテープを垂直軸回りに回転移動させることにより、垂直軸回りにずれ ている T C Pとコンタク ト部との位置ずれを確実に補正することが可 能となる。  According to the above invention (11), the carrier tape is rotated around the vertical axis based on the acquired positional shift information, so that the positional shift between the TCP and the contact portion, which is shifted around the vertical axis, can be reliably performed. It is possible to correct.
第 7に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリアテープ を搬送して、テス トへッ ドに電気的に接続されているコンタク ト部にキ ャリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続さ せることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハ ンドリング装置における T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれ補正 方法であって、 T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれの情報を取得し、 前記取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタク ト部に押圧される キャリアテープを、その垂直軸回りに回転移動および/またはその平面 方向に移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とす る T C Pハンドリング装置における位置ずれ補正方法を提供する （ 1 2) 。 . Seventh, the present invention conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, presses the carrier tape into a contact portion electrically connected to a test head, and controls the external terminals of the TCP. Is connected to the contact section, thereby correcting a positional deviation between the TCP and the contact section in a TCP handling apparatus capable of sequentially applying a plurality of TCPs to a test. A method for acquiring information on a positional shift between a TCP and the contact portion, and rotating and moving a carrier tape pressed by the contact portion around the vertical axis based on the obtained positional shift information. And / or a method for correcting a positional deviation in a TCP handling device, characterized in that the positional deviation is corrected by moving in a plane direction thereof (12). .
上記発明 （ 1 2 ) によれば、 取得した位置ずれ情報に基づいてキヤリ ァテープを垂直軸回りに回転移動および Zまたは平面方向に移動させ ることにより、 T C Pとコンタク ト部との位置ずれを確実に補正するこ とが可能となる。  According to the invention (12), the carrier tape is rotated around the vertical axis and moved in the Z or plane direction based on the acquired displacement information, thereby ensuring the displacement between the TCP and the contact part. It can be corrected to
第 8に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープ を搬送して、テス トへッ ドに電気的に接続されているコンタク ト部にキ ャリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続さ せることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハ ンドリング装置における T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれ補正 方法であって、 T C Pハンドリング装置の実稼動中に、 T C Pと前記コ ンタク ト部との位置ずれの情報を取得し、前記取得した位置ずれ情報に 基づいて、 前記コンタク ト部を、 その垂直軸回りに回転移動させること により、前記位置ずれを補正することを特徴とする T C Pハンドリ ング 装置における位置ずれ補正方法を提供する （ 1 3) 。  Eighth, the present invention conveys a carrier tape having a plurality of TCPs formed on the tape, presses the carrier tape into a contact portion electrically connected to the test head, and connects the external terminals of the TCP. A method of correcting a positional deviation between a TCP and the contact unit in a TCP handling device capable of sequentially applying a plurality of TCPs to a test by connecting the TCP handling device to the contact unit, the method comprising: Then, information on the positional deviation between TCP and the contact unit is acquired, and the contact unit is rotated around its vertical axis based on the acquired positional deviation information to thereby reduce the positional deviation. A method for correcting misregistration in a TCP handling device characterized by performing correction is provided (13).
上記発明 ( 1 3 ) によれば、 T C Pハンドリング装置の実稼動中にコ ンタク ト部を垂直軸回りに回転移動させることにより、垂直軸回りにず れている被試験 T C P とコンタク ト部との位置合わせを被試験 T C P 毎に行うことができるため、コンタク ト不良の発生を著しく低減させる ことができる。  According to the above invention (13), by rotating the contact section around the vertical axis during the actual operation of the TCP handling device, the contact between the TCP under test and the contact section that are shifted about the vertical axis is determined. Since alignment can be performed for each TCP under test, the occurrence of contact failures can be significantly reduced.
第 9に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリアテープ を搬送して、テス トへッ ドに電気的に接続されているコンタク ト部にキ ャリアテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続さ せることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハ ンドリ ング装置における T C P と前記コンタク ト部との位置ずれ補正 方法であって、 T C Pハンドリング装置の実稼動中に、 T C Pと前記コ ンタク ト部との位置ずれの情報を取得し、前記取得した位置ずれ情報に 基づいて、 前記コンタク ト部を、 その垂直軸回りに回転移動おょぴ zま たはその平面方向に移動させることにより、前記位置ずれを捕正するこ とを特徴とする T C Pハンドリ ング装置における位置ずれ補正方法を 提供する （ 1 4) 。 Ninth, the present invention relates to a carrier tape in which a plurality of TCPs are formed on a tape. , And presses the carrier tape on the contact part electrically connected to the test head, and connects the external terminal of the TCP to the contact part, thereby sequentially testing a plurality of TCPs. A method for correcting a positional deviation between a TCP and the contact unit in a TCP handing device, the method comprising: transmitting information on a positional deviation between the TCP and the contact unit during actual operation of the TCP handling device. Based on the acquired displacement information, the contact portion is rotated around the vertical axis or moved in the plane direction to correct the displacement. A method for correcting a position shift in a TCP handling device is provided (14).
上記発明 （ 1 4 ) によれば、 T C Pハンドリ ング装置の実稼動中に、 コンタク ト部を垂直軸回りに回転移動および/または平面方向に移動 させることにより、被試験 T C Pとコンタク ト部との位置合わせを被試 験 T C P毎に確実に行うことができるため、コンタク ト不良の発生を著 しく低減させることができる。  According to the above invention (14), during actual operation of the TCP handling device, the contact part is rotated around a vertical axis and / or is moved in a plane direction, so that the TCP under test and the contact part can be moved. Since alignment can be performed reliably for each test TCP, the occurrence of contact failures can be significantly reduced.
第 1 0に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリアテー プを搬送して、テス トへッ ドに電気的に接続されているコンタク ト部に キヤリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続 させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C P ハンドリング装置における T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれ補 正方法であって、 T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれの情報を取得 し、取得した位置ずれ量が所定の値より大きい場合または所定の値以上 の場合には、 前記コンタク ト部を、 その垂直軸回りに回転移動させ、 取 得した位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定の値未満の場合に は、 前記コンタク ト部に押圧されるキヤリアテープを、 その垂直軸回り に回転移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とす る T C Pハンドリング装置における位置ずれ補正方法を提供する （ 1 5 ) 。 Tenthly, the present invention conveys a carrier tape on which a plurality of TCPs are formed on a tape, presses the carrier tape onto a contact portion electrically connected to a test head, and generates an external terminal of the TCP. A method of correcting a positional deviation between a TCP and the contact unit in a TCP handling device capable of sequentially applying a plurality of TCPs to the contact unit by connecting the TCP and the contact unit to each other. When the acquired positional deviation amount is larger than a predetermined value or is larger than a predetermined value, the contact unit is rotated around its vertical axis, and the acquired position is acquired. If the displacement is less than or equal to a predetermined value, the carrier tape pressed by the contact portion is rotated around its vertical axis to shift the position. Be characterized by correcting the A method for correcting misalignment in a TCP handling device is provided (15).
上記発明 （ 1 5 ) によれば、 垂直軸回りにずれている T C Pとコンタ ク ト部との位置合わせを行い、コンタク ト不良の発生を低減させること ができる。  According to the invention (15), the position of the TCP that is deviated around the vertical axis is aligned with the contact portion, and the occurrence of contact failure can be reduced.
ここで、 T C Pハンドリング装置の構造上、 テスタ本体に繋がるコー ドを多数備えたコンタク ト部を移動させて位置ずれ補正を行う時間よ り も、キヤリァテープを移動させて位置ずれ補正を行う時間の方が短く できるのが通常である。 しかしながら、 キャリアテープは通常ガイ ドロ 一ラゃスプロケッ ト等によって支持されているため、キヤリァテープの 移動量が大きいとキヤリァテープに応力がかかり、キヤリァテープ上の Here, due to the structure of the TCP handling device, the time required to correct the displacement by moving the carrier tape is longer than the time required to correct the position displacement by moving the contact section, which has many codes connected to the tester main unit. Can usually be shortened. However, since the carrier tape is usually supported by a guide line bracket or the like, a large amount of movement of the carrier tape exerts stress on the carrier tape and causes the carrier tape to be stressed.
T C P (特にリードまたはテス トパッ ド） やキャリアテープ自体 （特に スプロケッ トの爪が入る穴部またはその周辺部)を損傷してしまうおそ れがある。 The TCP (especially the lead or test pad) and the carrier tape itself (especially the hole where the sprocket's claw enters or its surrounding area) may be damaged.
したがって、 上記発明 （ 1 5 ) によれば、 位置ずれ量が大きい場合に は、コンタク ト部を垂直軸回りに回転移動させて T C Pやキャリアテー プの損傷を防止し、 位置ずれ量が小さい場合には、 キャリアテープを垂 直軸回りに回転移動させて位置ずれ補正の時間、ひいてはィンデックス タイムを短くすることができる。  Therefore, according to the invention (15), when the displacement is large, the contact portion is rotated around the vertical axis to prevent damage to the TCP and the carrier tape, and when the displacement is small. In this case, the carrier tape can be rotated around the vertical axis to shorten the time for correcting the misalignment and, consequently, the index time.
第 1 1に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリアテー プを搬送して、テス トへッ ドに電気的に接続されているコンタク 卜部に キヤリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続 させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C P ハン ドリ ング装置における T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれ補 正方法であって、 T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれの情報を取得 し、取得した位置ずれ量が所定の値より大きい場合または所定の値以上 の場合には、 前記コンタク ト部を、 その垂直軸回りに回転移動および Z またはその平面方向に移動させ、取得した位置ずれ量が所定の値以下の 場合または所定の値未満の場合には、前記コンタク ト部に押圧されるキ ャリァテープを、その垂直軸回りに回転移動および zまたはその平面方 向に移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とするFirst, the present invention conveys a carrier tape on which a plurality of TCPs are formed on a tape, presses the carrier tape onto a contact portion electrically connected to a test head, and connects the external terminals of the TCP. A method for correcting a positional deviation between a TCP and the contact unit in a TCP handing device capable of sequentially testing a plurality of TCPs by connecting to the contact unit, wherein the TCP and the contact unit are connected. Information of the positional deviation from the position is acquired, and if the acquired positional deviation amount is larger than a predetermined value or In the case of, the contact portion is rotated around its vertical axis and moved in Z or its plane direction, and when the acquired displacement is less than a predetermined value or less than a predetermined value, The displacement is corrected by rotating the carrier tape pressed by the contact portion around its vertical axis and moving it in z or its plane direction.
T C Pハンドリング装置における位置ずれ補正方法を提供する（ 1 6 )。 上記発明 （ 1 6 ) によれば、 コンタク ト部またはキャリアテープを垂 直軸回りに回転移動および zまたは平面方向に移動させることにより、A position deviation correction method in a TCP handling apparatus is provided (16). According to the above invention (16), by rotating the contact portion or the carrier tape around the vertical axis and moving it in the z or plane direction,
T C Pとコンタク ト部との位置合わせを行い、コンタク ト不良の発生を 低減させることができる。 また、 上記発明 （ 1 6 ) によれば、 位置ずれ 量が大きい場合には、コンタク ト部を垂直軸回りに回転移動および/ま たは平面方向に移動させて T C Pやキヤリァテープの損傷を防止し、位 置ずれ量が小さい場合には、キヤリァテープを垂直軸回りに回転移動お よび/または平面方向に移動させて位置ずれ補正の時間、ひいてはィン デッタスタイムを短くすることができる。 図面の簡単な説明 By aligning the TCP with the contact part, the occurrence of contact failure can be reduced. According to the invention (16), when the displacement is large, the contact portion is rotated around a vertical axis and / or moved in a plane to prevent damage to the TCP and the carrier tape. If the amount of misalignment is small, the carrier tape can be rotated around the vertical axis and / or moved in the plane direction to shorten the time for misalignment correction and, consequently, the index time. BRIEF DESCRIPTION OF THE FIGURES
図 1は、本発明の一実施形態に係る T C Pハンドラを用いた T C P試 験装置を示す正面図である。  FIG. 1 is a front view showing a TCP test apparatus using a TCP handler according to an embodiment of the present invention.
図 2は、同実施形態に係る T C Pハンドラにおけるプッシャュニッ ト の側面図である。  FIG. 2 is a side view of a push unit in the TCP handler according to the embodiment.
図 3は、同実施形態に係る T C Pハン ドラにおけるプッシャステージ の平面図である。  FIG. 3 is a plan view of a pusher stage in the TCP handler according to the embodiment.
図 4は、同実施形態に係る T C Pハンドラにおけるプローブカードス テージの平面図である。 図 5は、同実施形態に係る T C Pハンドラにおけるプローブカードス テージの正面図である。 FIG. 4 is a plan view of a probe card stage in the TCP handler according to the embodiment. FIG. 5 shows a probe card slot in the TCP handler according to the embodiment. It is a front view of a tage.
図 6は、同実施形態に係る T C Pハンドラの主動作を説明するフロー チャートである。 発明を実施するための最良の形態  FIG. 6 is a flowchart illustrating a main operation of the TCP handler according to the embodiment. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
以下、 本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。  Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
本発明の一実施形態に係る T C Pハンドラを用いた T C P試験装置 を図 1に示す。  FIG. 1 shows a TCP test apparatus using a TCP handler according to one embodiment of the present invention.
T C P試験装置 1は、 図示しないテスタ本体と、 テスタ本体に電気的 に接続されたテス トヘッ ド 1 0と、テス トへッ ド 1 0の上側に設けられ た T C Pハンドラ 2とから構成される。  The TCP test apparatus 1 includes a tester main body (not shown), a test head 10 electrically connected to the tester main body, and a TCP handler 2 provided above the test head 10.
T C Pハンドラ 2は、キヤリァテープ 5上に複数形成された各 T C P を順次試験に付すものであり、 本実施形態では、 説明の簡略化のために T C Pを 1個ごと試験に付すものとする。 ただし、 本発明はこれに限定 されるものではなく、キャリアテープ 5上において直列方向および/ま たは並列方向に並んだ複数の T C Pを同時に試験に付すようにしても よい。  The TCP handler 2 sequentially applies a plurality of TCPs formed on the carrier tape 5 to the test. In the present embodiment, the TCPs are subjected to the test one by one for simplicity of explanation. However, the present invention is not limited to this, and a plurality of TCPs arranged in series and / or parallel on the carrier tape 5 may be subjected to the test at the same time.
T C Pハンドラ 2は、巻出リール 2 1 と卷取リール 2 2 とを備えてお り、巻出リール 2 1には試験前のキヤリアテープ 5が卷き取られている ( キャリアテープ 5は、 卷出リール 2 1から卷き出され、 試験に付された 後に卷取リール 2 2に卷き取られる。 TCP handler 2, Ri it and a reel 2 1 and卷取reel 2 2 out of winding, unwinding (carrier tape 5 Kiyariatepu 5 have been taken Maki before the test is to reel 2 1, Certificates After being unwound from the output reel 21 and subjected to a test, it is wound onto the take-up reel 22.
卷出リール 2 1 と卷取リール 2 2 との間には、キャリアテープ 5から 剥離した保護テープ 5 1を卷出リール 2 1から卷取リール 2 2に架け 渡す 3個のスぺーサロール 2 3 a , 2 3 b , 2 3 cが設けられている。 各スぺーサロール 2 3 a , 2 3 b , 2 3 cは、 保護テープ 5 1の張力を 調整することができるように、 それぞれ上下可動となっている。 卷出リール 2 1の下側には、 テープガイ ド 2 4 a、 巻出リ ミッ トロー ラ 2 5 a、イン側サブスプロケッ ト 2 5 bおよびイン側ガイ ドローラ 2 5 cが設けられており、卷出リール 2 1から巻き出されたキャリアテー プ 5は、 テープガイ ド 2 4 aによってガイ ドされつつ、 卷出リ ミッ ト口 ーラ 2 5 a、イン側サブスプロケッ ト 2 5 bおよびイン側ガイ ドローラ 2 5 cを経てプッシャュニッ ト 3に搬送される。 Between the unwinding reel 2 1 and the take-up reel 2 2, three spacer rolls 2 3 which pass the protective tape 5 1 peeled off from the carrier tape 5 to the take-up reel 22 from the unwinding reel 2 1 a, 23 b, and 23 c are provided. Each spacer roll 23a, 23b, 23c is vertically movable so that the tension of the protective tape 51 can be adjusted. A tape guide 24a, an unwinding limit roller 25a, an in-side sub-split 25b, and an in-side guide roller 25c are provided below the unwinding reel 21. The carrier tape 5 unwound from the reel 21 is guided by the tape guide 24a, while the unwinding limiter 25a, the in-side sub-sprocket 25b and the in-side guide roller 2 are provided. It is conveyed to Pushhanit 3 via 5c.
また、 巻取リール 2 2の下側には、 テープガイ ド 2 4 b、 卷取リ ミ ツ トロ一ラ 2 5 f 、ァゥ ト側サブスプロケッ ト 2 5 eおよびァゥ ト側ガイ ドローラ 2 5 dが設けられており、試験に付された後のキヤリァテープ 5は、 ァゥ ト側ガイ ドローラ 2 5 d、 アウト側サブスプロケッ ト 2 5 e および卷取リ ミッ トローラ 2 5 f を経て、テープガイ ド 2 4 bによって ガイ ドされつつ、 巻取リール 2 2に巻き取られる。  On the lower side of the take-up reel 22, there are a tape guide 24 b, a take-up limiter controller 25 f, an art-side sub-sprocket 25 e and an art-side guide roller 25 d. After being subjected to the test, the carrier tape 5 passes through the guide guide roller 25 d, the sub-sprocket 25 e, and the winding limit roller 25 f, and then passes through the tape guide 24. It is wound on the take-up reel 22 while being guided by b.
ィン側ガイ ドローラ 2 5 c と、アウ ト側ガイ ドローラ 2 5 dとの間に は、 プッシャュニッ ト 3が設けられており、 プッシャュ二ッ ト 3の前段 側（図 1中左側）には第 1カメラ 6 aが、プッシャュエツ ト 3の下側（後 述するプローブ力一ドステージ 7の内側） には第 2カメラ 6 bが、 プッ シャュニッ ト 3の後段側 （図 1中右側） には第 3カメラ 6 cが設けられ ている。 また、 プッシャュ -ッ ト 3と第 3カメラ 6 c との間には、 マー クパンチ 2 6 aおよびリジェク トパンチ 2 6 bが設けられている。  A pusher nit 3 is provided between the outer guide roller 25c and the outer guide roller 25d, and a pusher nit 3 is provided on the front side (the left side in FIG. 1) of the pusher nit 3. 1 The camera 6a has a second camera 6b on the lower side of the pusher unit 3 (inside the probe force stage 7 described later) and the second camera 6b on the lower side of the pusher unit 3 (right side in FIG. 1). Three cameras 6c are provided. A mark punch 26a and a reject punch 26b are provided between the pusher 3 and the third camera 6c.
マークパンチ 2 6 aは、 試験の結果に基づいて、 該当する T C Pにつ き所定の位置に 1個または複数個の孔を開けるものであり、 リジェク ト パンチ 2 6 bは、試験の結果不良品であると判断された T C Pを打ち抜 くものである。  The mark punch 26a is for punching one or more holes at predetermined positions for the relevant TCP based on the test results, and the reject punch 26b is This is to punch out the TCP determined to be.
各カメラ 6 a， 6 b , 6 cは、 図示しない画像処理装置に接続されて おり、 第 1カメラ 6 aおよぴ第 3カメラ 6 cは、 キャリアテープ 5上に おける T C Pの有無やマークパンチ 2 6 aによる孔の位置や数を判断 するためのものであり、 第 2カメラ 6 bは、 キャリアテープ 5上の T C Pとプローブとの位置ずれの情報を取得するためのものである。本実施 形態における第 2カメラ 6 bは、視野内の複数の対象についての位置ず れ情報を取得することができるようになつている。 Each of the cameras 6a, 6b, and 6c is connected to an image processing device (not shown), and the first camera 6a and the third camera 6c determine whether or not there is a TCP on the carrier tape 5 or a mark punch. Judge the position and number of holes by 6a The second camera 6b is for acquiring information on the positional deviation between the TCP on the carrier tape 5 and the probe. The second camera 6b in the present embodiment can acquire positional deviation information on a plurality of targets in the field of view.
第 2カメラ 6 bは、 カメラステージ 6 1上に搭載されており、 カメラ ステージ 6 1が有するァクチユエータによって平面視縦横方向（X軸一 Y軸方向） および上下方向 （Z軸方向） に移動可能となっている。  The second camera 6b is mounted on the camera stage 61, and can be moved in the vertical and horizontal directions (X-axis and Y-axis directions) and in the vertical direction (Z-axis direction) by the actuator included in the camera stage 61. Has become.
図 1およぴ図 2に示すように、 プッシャュニッ ト 3のフレーム (プッ シャフレーム） 3 6には、 ボールねじ 3 2を回転させることのできるサ ーポモータ 3 1がブラケッ ト 3 6 1を介して取り付けられていると と もに、ボールねじ 3 2が螺合しているプッシャ本体部 3 3が 2本の Z軸 方向のリニアモーショ ンガイ ド (以下 「L Mガイ ド」 という。 ) 3 7を 介して取り付けられている。 このプッシャ本体部 3 3は、 サーボモータ 3 1を駆動させることにより、 リユアモ一ションガイ ド 3 7にガイ ドさ れながら上下方向 （Z軸方向） に移動可能となっている。  As shown in FIGS. 1 and 2, the frame (pusher frame) 36 of the pusher nit 3 is provided with a support motor 31 capable of rotating a ball screw 32 through a bracket 36 1. In addition to being mounted, the pusher body 33 into which the ball screw 32 is screwed is connected via two linear motion guides (hereinafter referred to as “LM guides”) 37 in the Z-axis direction. Attached. By driving the servo motor 31, the pusher main body 33 can move in the vertical direction (Z-axis direction) while being guided by the reformation guide 37.
このプッシャ本体部 3 3の下端部には、エアを吸引することによりキ ャリァテープ 5を吸着保持することのできる吸着プレート 3 4が設け られている。  At the lower end of the pusher body 33, a suction plate 34 capable of sucking and holding the carrier tape 5 by sucking air is provided.
プッシャ本体部 3 3の前段側 （図 1中左側) には、 テンシヨンスプロ ケッ ト 3 5 aが設けられており、 プッシャ本体部 3 3の後段側 (図 1中 右側) には、 メインスプロケッ ト 3 5 bが設けられている。  On the front side (the left side in FIG. 1) of the pusher main body 33, a tension bracket 35a is provided, and on the rear side (the right side in FIG. 1) of the pusher main body 33, the main sprocket is provided. A rocket 35b is provided.
図 2および図 3に示すように、プッシャフレーム 3 6におけるプッシ ャ本体部 3 3の背面側には、基台 3 8に載せられるようにしてプッシャ ステージ 4が設置されており、プッシャステージ 4の回転台である トツ プテーブル 4 8はプッシャフレーム 3 6に固定されている。  As shown in FIGS. 2 and 3, a pusher stage 4 is installed on the back side of the pusher body 33 in the pusher frame 36 so as to be placed on the base 38. The turntable 48 is fixed to the pusher frame 36.
プッシャステージ 4のベース 4 0上には、 X軸方向に軸を有するポー ルねじ 4 2 aを回転させるサーポモータ 4 1 a と、 Y軸方向に軸を有す るボールねじ 4 2 bを回転させるサーボモータ 4 1 bと、 Y軸方向に軸 を有するボールねじ 4 2 cを回転させるサーボモータ 4 1 c とが設け られており、 サーボモータ 4 1 bおよびサーポモータ 4 1 cは、 それぞ れベース 4 0上の両端部に位置している。 A port having an axis in the X-axis direction is placed on the base 40 of the pusher stage 4. Servo motor 4 1a that rotates the screw 4 2a, ball motor 4 1b that rotates the axis in the Y-axis direction 4 1b, and ball screw 4 2c that rotates the axis in the Y-axis direction A servomotor 41c for rotating the motor is provided, and the servomotor 41b and the servomotor 41c are located at both ends on the base 40, respectively.
ポールねじ 4 2 aには、 X軸方向の L Mガイ ド 4 3 a， 4 3 aにガイ ドされて X軸方向に摺動可能な摺動ブ口ック 4 4 aが螺合している。摺 動ブロック 4 4 aには、 Y軸方向の L Mガイ ド 4 5 aを介して摺動板 4 6 aが Y軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板 4 6 aの上側 には、 内部にローラリングを有する回転部材 4 7 aが固定されており、 回転部材 4 7 aは、 トップテーブル 4 8に回転自在に取り付けられてい る。  A sliding block 44 a guided by the LM guides 43 a and 43 a in the X-axis direction and slidable in the X-axis direction is screwed to the pole screw 42 a. . A sliding plate 46a is attached to the sliding block 44a via a LM guide 45a in the Y-axis direction so as to be slidable in the Y-axis direction. A rotating member 47a having a roller ring therein is fixed above the sliding plate 46a, and the rotating member 47a is rotatably attached to the top table 48.
ボールねじ 4 2 bには、 Y軸方向の L Mガイ ド 4 3 b， 4 3 bにガイ ドされて Y軸方向に摺動可能な摺動ブ口ック 4 4 bが螺合している。摺 動ブロック 4 4 bには、 X軸方向の L Mガイ ド 4 5 bを介して摺動板 4 6 bが X軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板 4 6 bの上側 には、 内部にローラリングを有する回転部材 4 7 bが固定されており、 回転部材 4 7 bは、 トップテーブル 4 8に回転自在に取り付けられてい る。  The ball screw 42b is screwed with a sliding block 44b guided by the LM guides 43b and 43b in the Y-axis direction and slidable in the Y-axis direction. . A sliding plate 46b is attached to the sliding block 44b via an LM guide 45b in the X-axis direction so as to be slidable in the X-axis direction. A rotating member 47 b having a roller ring therein is fixed above the sliding plate 46 b, and the rotating member 47 b is rotatably attached to the top table 48.
ボールねじ 4 2 cには、 Y軸方向の L Mガイ ド 4 3 c， 4 3 cにガイ ドされて Y軸方向に摺動可能な摺動ブ口ック 4 4 cが螺合している。摺 動ブロック 4 4 cには、 X軸方向の L Mガイ ド 4 5 cを介して摺動板 4 6 cが X軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板 4 6 cの上側 には、 内部にローラリングを有する回転部材 4 7 cが固定されており、 回転部材 4 7 cは、 トップテーブル 4 8に回転自在に取り付けられてい る。 このような構成を有するプッシャステージ 4においては、サーポモー タ 4 1 aを駆動して、 摺動ブ口ック 4 4 a、 摺動板 4 6 bおよぴ摺動板 4 6 cを X軸方向に摺動させることにより、 トップテーブル 4 8を X軸 方向に移動させることができる。 また、 サーボモータ 4 1 bおよびサー ボモータ 4 1 cを駆動して、 摺動ブロック 4 4 b、 摺動ブロック 4 4 c および摺動板 4 6 aを Y軸同方向に摺動させることにより、 トップテー ブル 4 8を Y軸方向に移動させることができる。 さらには、 サーボモー タ 4 1 aを駆動して、摺動ブ口ック 4 4 aを X軸方向に摺動させるとと もに、 サーボモータ 4 1 bおよぴサーポモータ 4 1 cを駆動して、 摺動 ブロック 4 4 bおよび摺動プロック 4 4 cを互いに Y軸反対方向に摺 動させ、 そして各回転部材 4 7 a， 4 5 b , 4 5 cを回転させることに より、 トップテーブル 4 8をその垂直軸回りに回転させることができる c このプッシャステージ 4によれば、プッシャュニッ ト 3を X軸一 Y軸 方向に移動させること、および垂直軸回りに回転移動させることができ る。 なお、 本実施形態におけるプッシャステージ 4は、 その構造上 X軸 一 Y軸方向の移動および垂直軸回りの回転移動を同時に行うことがで き、また、移動対象であるプッシャュニッ ト 3は比較的軽量であるため、 短時間で位置ずれを補正することができるという特徴がある。 The ball screw 42c is screwed with a sliding block 44c guided by LM guides 43c and 43c in the y-axis direction and slidable in the y-axis direction. . A sliding plate 46c is slidably attached to the sliding block 44c in the X-axis direction via an LM guide 45c in the X-axis direction. A rotating member 47c having a roller ring therein is fixed above the sliding plate 46c, and the rotating member 47c is rotatably attached to the top table 48. In the pusher stage 4 having such a configuration, the thermomotor 41a is driven to move the sliding block 44a, the sliding plate 46b, and the sliding plate 46c along the X-axis. By sliding in the direction, the top table 48 can be moved in the X-axis direction. Also, by driving the servo motor 41b and the servomotor 41c to slide the sliding block 44b, the sliding block 44c and the sliding plate 46a in the same direction of the Y axis, The top table 48 can be moved in the Y-axis direction. Further, the servo motor 41 a is driven to slide the sliding block 44 a in the X-axis direction, and the servo motor 41 b and the servo motor 41 c are driven. Then, the sliding block 44 b and the sliding block 44 c are slid in directions opposite to each other with respect to the Y-axis, and each of the rotating members 47 a, 45 b, 45 c is rotated, whereby the top table is rotated. According to 4 8 c the pusher stage 4 can be rotated in its vertical axis, moving the Pusshayuni' bets 3 in the X-axis one Y-axis direction, and Ru can be rotated move about a vertical axis. The pusher stage 4 according to the present embodiment can move in the X-axis and Y-axis directions and rotate around the vertical axis at the same time due to its structure, and the pusher unit 3 to be moved is relatively lightweight. Therefore, there is a feature that the positional deviation can be corrected in a short time.
一方、 図 1に示すように、 プッシャュニッ ト 3の下側であって、 テス トへッ ド 1 0の上部には、プローブカード 8を搭載したプローブ力一ド ステージ 7が設置されている。  On the other hand, as shown in FIG. 1, a probe force stage 7 on which a probe card 8 is mounted is installed below the push unit 3 and above the test head 10.
図 4およぴ図 5に示すように、プローブカードステージ 7の基台 7 1 上には、 X軸方向に軸を有するボールねじ 7 1 2を回転させるサーボモ ータ 7 1 1 と、 4つの X軸方向の L Mガイ ド 7 1 3 とが設けられている, それら 4つの L Mガイ ド 7 1 3上には、各 L Mガイ ド 7 1 3により X軸 方向に摺動可能にガイ ドされる矩形の Xベース 7 2が設けられている。 この Xベース 7 2の一側部には、ボールねじ 7 1 2が螺合している螺合 部 7 2 1が形成されている。 As shown in FIGS. 4 and 5, on the base 71 of the probe card stage 7, a servo motor 711, which rotates a ball screw 71, which has an axis in the X-axis direction, and four LM guides 7 13 in the X-axis direction are provided.On these four LM guides 7 13, each LM guide 7 13 is guided to be slidable in the X-axis direction. A rectangular X base 72 is provided. On one side of the X base 72, a screwing portion 721 into which the ball screw 712 is screwed is formed.
Xベース 7 2上には、 Y軸方向に軸を有するポールねじ 7 2 3を回転 させるサーボモータ 7 2 2と、 2本の Y軸方向の L Mガイ ド 7 2 4とが 設けられている。 それら 2本の L Mガイ ド 7 2 4上には、 各 L Mガイ ド 7 2 4により Y軸方向に摺動可能にガイ ドされる矩形の Yベース 7 3 が設けられている。 この Yベース 7 3の一側部には、 ボールねじ 7 2 3 が螺合している螺合部 7 3 1が形成されている。  On the X base 72, a servomotor 722 for rotating a pole screw 723 having an axis in the Y-axis direction and two LM guides 724 in the Y-axis direction are provided. On these two LM guides 724, there is provided a rectangular Y base 73 guided by each LM guide 724 so as to be slidable in the Y-axis direction. On one side of the Y base 73, a screw portion 731 into which a ball screw 723 is screwed is formed.
Yベース 7 3上には、 Y軸方向に軸を有するボールねじ 7 3 3を回転 させるサーポモータ 7 3 2と、カードリング 7 3 5を回転自在に支持す る接続リング 7 3 4とが設けられている。カードリ ング 7 3 5の一部に は、 ポールねじ 7 3 3が螺合している螺合部 7 3 6が形成されている。 複数のプローブ 8 1を備えたプローブカード 8は、 4本のピン 8 2によ つてカードリング 7 3 5に着脱自在に取り付けられて'いる。  On the Y base 73, there are provided a servo motor 7332 for rotating a ball screw 7333 having a shaft in the Y-axis direction, and a connection ring 7334 for rotatably supporting a card ring 7353. ing. Part of the card ring 735 is formed with a threaded portion 736 to which the pole screw 733 is screwed. A probe card 8 having a plurality of probes 81 is detachably attached to a card ring 735 by four pins 82.
なお、 図 4および図 5には示さないが、 プローブカード 8の各プロ.一 ブ 8 1は、テス トヘッ ド 1 0を介してテスタ本体に電気的に接続されて おり、 プローブカード 8の下側であって、 プローブカードステージ 7の 内側には第 2カメラ 6 bが位置している。  Although not shown in FIGS. 4 and 5, each probe 8 1 of the probe card 8 is electrically connected to the tester main body through the test head 10, and is located under the probe card 8. The second camera 6 b is located on the side and inside the probe card stage 7.
このような構成を有するプローブカードステージ 7においては、サー ボモータ 7 1 1を駆動することにより、 Xベース 7 2、 ひいてはプロ一 ブカード 8を X軸方向に移動させることができ、サ一ボモータ 7 2 2を 駆動することにより、 Yベース 7 3、 ひいてはプローブカ一ド 8を Y軸 方向に移動させることができる。 また、 サーボモータ 7 3 2を駆動して ボールねじ 7 3 3を回転させ、 螺合部 7 3 6を移動させることにより、 カードリング 7 3 5およびプローブカード 8をその垂直軸回りに回転 させることができる。 ここで、 前述したプッシャステージ 3は、 構造的に短時間で位置ずれ 補正を行うことができるが、 平面方向に多数の部材を備えており、 平面 方向のサイズが大きくなつてしまうものである。プローブカードステー ジ 7は、 平面方向のスペースが限られているため、 プッシャステージ 3 と同じ構造とすることは困難であり、仮にプッシャステージ 3 と同様の 構造にするためにサーポモータ 7 1 1 , 7 2 2 , 7 3 2を小型化すると、 サーボモータ 7 1 1， 7 2 2 , 7 3 3の駆動力が弱くなり、 テスタ本体 に繋がるコードを多数備えたプローブカード 8を確実に移動させるこ とができなくなってしまう。 すなわち、 本実施形態におけるプローブ力 ードステージ 7は、 その構造上、 X軸一 Y軸方向の移動と垂直軸回りの 回転移動とを別々に行わなくてはならず、プッシャステージ 3より も位 置ずれ補正に時間を要するが、狭いスペースで確実にプローブカード 8 を移動させることができるという特徴を有する。 In the probe card stage 7 having such a configuration, the X base 72 and, consequently, the probe card 8 can be moved in the X-axis direction by driving the servo motor 71 1. By driving 2, the Y base 73 and, consequently, the probe card 8 can be moved in the Y axis direction. In addition, the card ring 735 and the probe card 8 are rotated around the vertical axis by driving the servomotor 732 to rotate the ball screw 733 and to move the screw portion 736. Can be. Here, the above-described pusher stage 3 can structurally correct the positional deviation in a short time, but has a large number of members in the plane direction, and the size in the plane direction becomes large. Since the probe card stage 7 has a limited space in the plane direction, it is difficult to have the same structure as the pusher stage 3. If the probe card stage 7 has the same structure as the pusher stage 3, the servo motors 7 1 1, 7 When the size of 2 2, 7 32 is reduced, the driving force of the servo motors 7 1 1, 7 2 2, 7 3 3 is weakened, and the probe card 8 provided with a large number of cords connected to the tester body can be moved reliably. Can not be done. That is, due to its structure, the probe force stage 7 in the present embodiment has to perform the movement in the X-axis and Y-axis directions and the rotational movement about the vertical axis separately, and is displaced more than the pusher stage 3. Although a long time is required for the correction, the probe card 8 can be reliably moved in a narrow space.
次に、 T C Pハンドラ 2の使用方法および動作について説明する。  Next, the usage and operation of the TCP handler 2 will be described.
T C Pハンドラ 2を使用する場合には、 T C Pハンドラ 2を実稼動さ せる前に、 あらかじめ初期設定を行う必要がある。 すなわち、 T C Pの 品種や、 それに伴ってプローブカード 8を変更した場合には、 T C Pの 外部端子 （以下 「テス トパッ ド」 ということがある。 ） とプローブカー ド 8のプローブ 8 1 とがコンタク トするように、プッシャステージ 4お ょぴプローブカードステージ 7の基準位置を決定し、登録する必要があ る （この位置を 「登録位置」 という） 。  When using TCP Handler 2, it is necessary to make initial settings before operating TCP Handler 2. That is, when the type of TCP or the probe card 8 is changed accordingly, the external terminal of the TCP (hereinafter sometimes referred to as “test pad”) and the probe 81 of the probe card 8 are contacted. It is necessary to determine and register the reference position of the pusher stage 4 and the probe card stage 7 (this position is referred to as “registered position”).
例えば、 マニュアル操作にて、 複数箇所 (例えば 3箇所) のプローブ 8 1 とそれに対応するテス トパッ ドとを選択して粗位置を定め、次いで. 第 2カメラ 6 bおよび画像処理装置を利用して、それぞれのプローブ 8 1ができる限り各テス トパッ ドの中央に位置するように、プッシヤステ ージ 4および/またはプローブカードステージ 7を自動制御で移動さ せることにより、 基準位置を決定し登録することができる。 なお、 所望 により、 上記粗位置の決定についても、 マニュアル操作ではなく 自動制 御により行ってもよい。 For example, by manual operation, a coarse position is determined by selecting a plurality of (for example, three) probes 81 and their corresponding test pads, and then using the second camera 6b and the image processing device. The pusher stage 4 and / or the probe card stage 7 are automatically moved so that each probe 81 is located as centrally as possible in each test pad. By doing so, the reference position can be determined and registered. If desired, the determination of the coarse position may be performed by automatic control instead of manual operation.
このとき、第 2カメラ 6 bの視野内における所定の対象の位置座標を 併せて登録する。 位置座標は複数箇所、 特にカメラの視野内にて離れた 対象について 3箇所以上登録するのが好ましい。 それにより、 位置ずれ 情報を高い精度で取得することが可能となる。 所定の対象としては、 例 えば、 キャリアテープ 5におけるァライメントマーク、 T C Pの対角線 上にある 2つ以上のテス トパッ ドまたは特徴のあるリード、それらに対 応する 2つ以上のプローブ 8 1先端部等を選択することができる。  At this time, the position coordinates of the predetermined object in the field of view of the second camera 6b are also registered. It is preferable to register the position coordinates at a plurality of locations, especially at three or more locations for objects that are far apart in the field of view of the camera. This makes it possible to acquire positional deviation information with high accuracy. Predetermined targets include, for example, alignment marks on carrier tape 5, two or more test pads or characteristic leads on the diagonal of TCP, and two or more probes corresponding to them. Etc. can be selected.
T C Pハンドラ 2を実稼動させるときの T C Pハンドラ 2の主動作 を、 図 6のフローチャートを参照しながら説明する。  The main operation of the TCP handler 2 when actually operating the TCP handler 2 will be described with reference to the flowchart in FIG.
T C Pハンドラ 2が主動作を開始すると、プッシャステージ 4および プローブカードステージ 7は登録位置に移動する （ステップ S O 1 ) 。 そして、卷出リール 2 1および卷取リール 2 2が所定角度回転すること によりキャリアテープ 5を移動させ、 1個目の T C Pを吸着プレート 3 4の下側の所定位置まで搬送する （ステップ S O 2 ) 。  When the TCP handler 2 starts the main operation, the pusher stage 4 and the probe card stage 7 move to the registration positions (step S O 1). Then, the carrier tape 5 is moved by rotating the unwinding reel 21 and the take-up reel 22 by a predetermined angle, and the first TCP is transported to a predetermined position below the suction plate 34 (step SO 2). ).
T C Pが吸着プレート 3 4の下側まで搬送されてきたら、プッシャュ ニッ ト 3のサーボモータ 3 1が駆動し、プッシャ本体部 3 3を介して吸 着プレート 3 4を Z軸下方向に移動させる。 吸着プレート 3 4は、 キヤ リァテープ 5を吸着し、 撮像位置まで下降する (ステップ S 0 3 ) 。 な お、 テンショ ンスプロケッ ト 3 5 aは、 キャリアテープ 5の走行方向と 逆方向に回転することによりキャリアテープ 5に所定のテンシヨ ンを 力 け、 キャリアテープ 5の位置精度を向上させる。  When the TCP is conveyed to the lower side of the suction plate 34, the servo motor 31 of the pusher unit 3 is driven to move the suction plate 34 downward through the pusher body 33 in the Z-axis direction. The suction plate 34 sucks the carrier tape 5 and descends to the imaging position (step S03). The tension bracket 35 a rotates in a direction opposite to the running direction of the carrier tape 5, applies a predetermined tension to the carrier tape 5, and improves the position accuracy of the carrier tape 5.
この状態で第 2カメラ 6 bは撮像を行い （ステップ S 0 4 ) 、 画像情 報を画像処理装置に送信する。画像処理装置は、受信した画像情報から、 あらかじめ登録された所定の対象の位置座標と、実際に撮像した対象の 位置座標との位置ずれの情報 （位置ずれの方向 （X ■ Y ■ Θ ) および位 置ずれの量） を取得する。 例えば、 ァライメ ン トマーク、 2つ以上のテ ス トパッ ドおよびそれらに対応する 2つ以上のプローブ先端部の位置 座標が登録されていれば、 それら登録されている位置座標と、 実際に撮 像したァライメントマーク、 2つ以上のテス トパッ ドおよびそれらに対 応する 2つ以上のプローブ先端部の位置座標との位置ずれの情報を取 得する。 In this state, the second camera 6b captures an image (step S04), and transmits image information to the image processing device. The image processing device, from the received image information, The information of the positional deviation (the direction of positional deviation (X 登録 Y あ ら か じ め と) and the amount of the positional deviation) between the position coordinates of the predetermined target registered in advance and the positional coordinates of the actually captured target is acquired. For example, if alignment marks, two or more test pads and corresponding position coordinates of two or more probe tips are registered, the registered position coordinates and the actual image Obtains information on alignment marks, two or more test pads, and their corresponding position coordinates with the two or more probe tips.
画像処理装置は、 取得した位置ずれ情報に基づいて、 X軸方向、 Y軸 方向および垂直軸回りの位置ずれ量を演算する (ステップ S 0 5 ) 。  The image processing apparatus calculates the amount of displacement in the X-axis direction, the Y-axis direction, and around the vertical axis based on the acquired displacement information (step S05).
なお、複数の T C Pを同時に試験する場合には、 各 T C Pについての 位置ずれ量の平均値を出すものとする。  When a plurality of TCPs are tested at the same time, the average value of the amount of displacement for each TCP shall be calculated.
演算の結果、 位置ずれ補正の必要がないと判断された場合 （ステップ S O 6— N o ) には、 後述するステップ S 1 0にスキップする。  As a result of the calculation, when it is determined that there is no need for the positional deviation correction (step S 6 —No), the process skips to step S 10 described later.
演算の結果、 位置ずれ補正の必要があると判断された場合 (ステップ S 0 6 - Y e s ) には、 位置ずれ量が所定の値 T以上であるか否かを判 断する （ステップ S O 7 ) 。 この場合における 「位置ずれ量」 は、 垂直 軸回りの位置ずれ量だけを対象としてもよいし、垂直軸回りの位置ずれ 量および Y軸方向の位置ずれ量を対象としてもよいし、垂直軸回りの位 置ずれ量、 Y軸方向の位置ずれ量および X軸方向の位置ずれ量を対象と してもよい。 位置ずれ量の要素が複数ある場合には、 それらを適宜組み 合わせて判断すればよい。  As a result of the calculation, when it is determined that the positional deviation needs to be corrected (step S06-Yes), it is determined whether the positional deviation amount is equal to or more than a predetermined value T (step SO7). ). In this case, the “displacement amount” may include only the displacement amount around the vertical axis, the displacement amount around the vertical axis and the displacement amount in the Y-axis direction, or the displacement amount around the vertical axis. , The displacement in the Y-axis direction, and the displacement in the X-axis direction. When there are a plurality of elements of the displacement amount, it is sufficient to judge them by appropriately combining them.
位置ずれ量が所定の値 T以上である場合 （ステップ S 0 7 — Y e s ) には、 プローブカードステージ 7のサーポモータ 7 1 1， 7 2 2 , 7 3 2が駆動して Xベース 7 2、 Yベース 7 3またはカードリング 7 3 5を 動かし、プローブカード 8を X軸一 Y軸方向に移動および/または垂直 軸回りに回転移動させることにより位置ずれを補正する （ステップ S 0 8 ) 。 If the displacement is equal to or greater than the predetermined value T (step S 07 — Yes), the servo motors 7 1 1, 7 2 2 and 7 3 2 of the probe card stage 7 are driven to drive the X base 7 2 Move the Y base 7 3 or the card ring 7 3 5 to move the probe card 8 in the X and Y directions and / or vertically The positional deviation is corrected by rotating around the axis (step S08).
それに対し、 位置ずれ量が所定の値 T未満である場合 （ステップ S 0 7— N o ) には、 プッシャステージ 4のサーボモータ 4 1 a， 4 1 b , 4 1 cが駆動してトツプテーブル 4 8、ひいてはプッシャュニッ ト 3を 動かし、吸着プレート 3 4で吸着しているキャリアテープ 5を X軸一 Y 軸方向に移動および/または垂直軸回りに回転移動させることにより 位置ずれを補正する （ステップ S O 9 ) 。  On the other hand, when the displacement is less than the predetermined value T (step S07—No), the servomotors 41a, 41b, and 41c of the pusher stage 4 are driven to drive the top table. Move the pusher nit 3 and the pusher nit 3 to correct the misalignment by moving the carrier tape 5 sucked by the suction plate 3 4 in the X-axis and Y-axis directions and / or by rotating it around the vertical axis (step SO 9).
位置ずれ量が大きい場合に、プッシャステージ 4によりキャリアテー プ 5を移動させると、 ィン側ガイ ドローラ 2 5 c、 テンションスプロケ ッ ト 3 5 a、 メインスプロケッ ト 3 5 bおよびアウ ト側ガイ ドローラ 2 5 dによって支持されているキヤリアテープ 5に応力がかかり、キヤリ ァテープ 5上の T C P、 特にリードまたはテス トパッ ドゃ、 キャリアテ ープ自体、特にテンショ ンスプロケッ ト 3 5 aおよびメインスプロケッ ト 3 5 bの爪が入る穴部またはその周辺部を損傷してしまうおそれが ある。 このような問題は、 特にキャリアテープ 5を垂直軸回りに回転移 動させた場合に発生し易く、またキャリアテープ 5を Y軸方向に移動さ せた場合にも発生することがある。  When the carrier tape 5 is moved by the pusher stage 4 when the amount of displacement is large, the guide rollers 25c, tension sprocket 35a, main sprocket 35b, The carrier tape 5 supported by the roller 25 d is stressed and the TCP on the carrier tape 5, especially the lead or test pad ゃ, the carrier tape itself, especially the tension plate 35a and the main sprocket There is a risk of damaging the hole where the nail of 35b enters or the surrounding area. Such a problem is likely to occur particularly when the carrier tape 5 is rotationally moved around a vertical axis, and may also occur when the carrier tape 5 is moved in the Y-axis direction.
本実施形態では、 位置ずれ量が大きい場合 （T以上の場合） には、 プ ローブカードステージ 7によりプローブカード 8を移動させて位置ず れ補正を行うため、 上記のような問題がない。 Tの値は、 T C Pのサイ ズ （特に X軸方向のパーフォレーションサイズゃテス トパッ ドサイズ） 等によって異なってく るが、上記のように T C Pやキャリアテープ 5の 損傷リスクを考慮して適宜設定すればよい。 通常、 垂直軸回りの位置ず れ量 （度） としての Tの値は 0 . 1 (度） 以内となる。  In the present embodiment, when the amount of displacement is large (T or more), the probe card 8 is moved by the probe card stage 7 to correct the displacement, so that there is no problem as described above. The value of T varies depending on the size of the TCP (particularly, the perforation size in the X-axis direction / test pad size) and the like, but may be appropriately set in consideration of the risk of damage to the TCP and the carrier tape 5 as described above. . Normally, the value of T as the amount of displacement (degrees) around the vertical axis is within 0.1 (degrees).
—方、 位置ずれ量が小さい場合 ( T未満の場合) には、 位置ずれ補正 に要する時間が短いプッシャステージ 4によ り キャ リアテープ 5を移 動させることによって、 インデックスタイム （テス トエンドからテス ト スタートまでの時間） を短縮することができる。 If the amount of misalignment is small (less than T), The indexer time (time from test end to test start) can be shortened by moving the carrier tape 5 by the pusher stage 4 that requires a short time for the test.
ステップ S 0 8またはステップ S 0 9によ り位置ずれ補正が行われ たら、 プッシャュニッ ト 3のサーボモータ 3 1が駆動し、 プッシャ本体 部 3 3を介して吸着プレー ト 3 4をさ らに Z軸下方向に移動させる。キ ャリアテープ 5を吸着した吸着プレート 3 4は、 コンタク ト位置まで下 降し、 T C Pをプローブカード 8のプローブ 8 1 に対して押圧する （ス テツプ S 1 0 ) 。  After the displacement is corrected in step S08 or step S09, the servo motor 31 of the pusher unit 3 is driven, and the suction plate 34 is further moved through the pusher body 33 to the Z position. Move down the axis. The suction plate 34 on which the carrier tape 5 has been suctioned is lowered to the contact position, and the TCP is pressed against the probe 81 of the probe card 8 (step S10).
T C Pのテス トパッ ドがプローブ 8 1にコンタク 1、 したら、 T C Pに はテスタ本体からテス トへッ ド 1 0を通じてテス ト信号が印加され、 T C Pから読み出された応答信号は、テス トヘッ ド 1 0を通じてテスタ本 体に送られる。 これにより T C Pの性能や機能等が試験され、 その試験 結果に基づいてマークパンチ 2 6 a またはリ ジエタ トパンチ 2 6 bが 駆動することとなる。  When the TCP test pad contacts the probe 81, the test signal is applied to the TCP through the test head 10 from the tester body, and the response signal read from the TCP is the test head 1. It is sent to the tester body through 0. As a result, the performance, function, and the like of the TCP are tested, and the mark punch 26 a or the re- diator punch 26 b is driven based on the test results.
T C Pハンドラ 2は、試験を行った T C Pが最後のデバイスであるか 否かを判断し (ステップ S 1 1 ) 、 最後のデバイスであると判断した場 合には （ステップ S I 1— Y e s ) 、 主動作を終了する。 一方、 最後の デバイスでないと判断した場合には (ステップ S 1 1 - N o ) 、 プッシ ャュ-ッ ト 3のサーボモータ 3 1が駆動し、プッシャ本体部 3 3を介し て吸着プレー ト 3 4を Z軸上方向に移動させると ともに、プッシヤステ ージ 4およびプローブカー ドステージ 7が登録位置に移動する （ステッ プ S 1 2 ) 。 そして、 吸着プレート 3 4は、 キャリアテープ 5の吸着を 停止してキヤリアテープ 5を解放するとともに、 さ らに Z軸上方向に移 動する (ステップ S 1 3 ) 。 その後はステップ S 0 2に戻る。  The TCP handler 2 determines whether or not the tested TCP is the last device (step S11), and if it is the last device (step SI1—Yes), The main operation ends. On the other hand, if it is determined that the device is not the last device (step S11-No), the servo motor 31 of the pusher 3 is driven, and the suction plate 34 is moved via the pusher body 33. Is moved upward in the Z-axis, and the pusher stage 4 and the probe card stage 7 are moved to the registration positions (step S12). Then, the suction plate 34 stops the suction of the carrier tape 5 to release the carrier tape 5, and further moves upward in the Z-axis (step S13). Thereafter, the process returns to step S02.
本実施形態に係る T C Pハンドラ 2によれば、プッシャステージ 4お よび Zまたはプローブカードステージ 7によって、 T C Pハンドラ 2の 実稼動中に、キャリアテープ 5および Zまたはプローブカード 8を X軸 一 Y軸方向のみならず、垂直軸回りに移動させて位置ずれ補正を行うこ とができるため、 T C Pとプローブ 8 1 との位置合わせを確実に行い、 コンタク ト不良の発生を低減させることができる。 また、 プッシヤステ ージ 4およぴプローブカードステージ 7を使い分けることにより、 T C Pやキヤリァテープを損傷することなく、インデッタスタイムを可能な 限り短縮することができる。 According to the TCP handler 2 according to this embodiment, the pusher stage 4 and the Move the carrier tape 5 and Z or the probe card 8 not only in the X-axis and Y-axis directions, but also around the vertical axis during the actual operation of the TCP handler 2 using the Z and Z or probe card stage 7 to correct the misalignment. As a result, it is possible to surely align the TCP with the probe 81 and reduce the occurrence of contact failure. In addition, by using the push stage 4 and the probe card stage 7 properly, the index time can be reduced as much as possible without damaging the TCP or the carrier tape.
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載され たものであって、 本発明を限定するために記載されたものではない。 し たがって、 上記実施形態に開示された各要素は、 本発明の技術的範囲に 属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。  The embodiments described above are described for facilitating the understanding of the present invention, but are not described for limiting the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present invention.
例えば、プッシャステージ 4およびプローブカードステージ 7の構造 は特に限定されるものではなく、 両者の構造が入れ替わってもよいし、 両者とも同様の構造とされてもよい。  For example, the structures of the pusher stage 4 and the probe card stage 7 are not particularly limited, and the structures of both may be interchanged, or both may have the same structure.
また、 上記 T C Pハンドラ 2においては、 プローブカードステージ 7 が省略され、プッシャステージ 4のみによって位置ずれ補正を行っても よい。 この場合であっても、 プッシャステージ 4によりキャリアテープ 5を垂直回りに回転移動させることができるため、 X軸一 Y軸方向のみ の 2軸制御と比較して、 T C Pとプローブ 8 1 との位置合わせを正確に 行うことが可能である。  Further, in the TCP handler 2, the probe card stage 7 may be omitted, and the displacement may be corrected only by the pusher stage 4. Even in this case, since the carrier tape 5 can be rotated around the vertical direction by the pusher stage 4, the position of the TCP and the probe 81 can be compared with the two-axis control only in the X-axis and Y-axis directions. The alignment can be performed accurately.
さらに、 上記 T C Pハン ドラ 2においては、 プッシャステージ 4が省 略され、プローブカードステージ 7のみによって位置ずれ補正を行って もよい。 この場合であっても、 プローブカードステージ 7により、 T C Pハンドラ 2の実稼動中にプローブカード 8を X軸一 Y軸方向に移動 および垂直軸回りに回転移動させることができるため、 T C Pとプロ一 ブ 8 1 とのコンタク ト不良の発生を低減させることが可能である。 Further, in the TCP handler 2, the pusher stage 4 may be omitted, and the displacement may be corrected only by the probe card stage 7. Even in this case, the probe card stage 7 allows the probe card 8 to move in the X-axis and Y-axis directions and to rotate around the vertical axis during the actual operation of the TCP handler 2, so that TCP and It is possible to reduce the occurrence of contact failure with the bus 81.
さらに、上記 T C Pハンドラ 2のプローブカードステージ 7において は、 垂直軸回りの回転移動機構のみを、 第 2カメラ 6 bおよび画像処理 装置を使用した自動制御にし、 X軸一 Y軸方向の移動機構は、 第 2カメ ラ 6 bで撮像した画像を見ながらのマニュアル操作式にしてもよい。ま たこの場合において、 プッシャステージ 3は、 垂直軸回りの回転移動機 構が省略され、 X軸一 Y軸方向の移動機構のみが自動制御されるように してもよい。 産業上の利用の可能性  Further, in the probe card stage 7 of the TCP handler 2, only the rotation movement mechanism around the vertical axis is automatically controlled using the second camera 6b and the image processing device, and the movement mechanism in the X-axis and Y-axis directions is Alternatively, the camera may be operated manually while viewing the image captured by the second camera 6b. In this case, the pusher stage 3 may be configured such that the rotary moving mechanism around the vertical axis is omitted, and only the moving mechanism in the X-axis and Y-axis directions is automatically controlled. Industrial potential
以上説明したように、本発明に係る T C Pハンドリング装置または位 置ずれ補正方法によれば、 T C Pとコンタク ト部との位置合わせを正確 に行い、 コンタク ト不良の発生を低減させることができる。 すなわち、 本発明に係る T C Pハンドリ ング装置および位置ずれ補正方法は、 正 確 -確実に効率良く T C Pの試験を行うのに有用である。  As described above, according to the TCP handling apparatus or the positional deviation correction method according to the present invention, it is possible to accurately perform the alignment between the TCP and the contact portion, and to reduce the occurrence of contact failure. That is, the TCP handling apparatus and the position shift correction method according to the present invention are useful for performing a TCP test accurately, reliably, and efficiently.

Claims

請 求 の 範 囲 The scope of the claims
1 . テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを搬送して、 テ ス トへッ ドに電気的に接続されているコンタク ト部にキャリアテープ を押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続させることによ り、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装 置であって、 1. Carry a carrier tape with multiple TCPs formed on the tape, press the carrier tape into the contact section electrically connected to the test head, and connect the TCP external terminals to the contact section. This is a TCP handling device that can connect multiple TCPs to a test in sequence by connecting
前記コンタク ト部に押圧されるキヤリアテープを、その垂直軸回りに 回転移動させることのできるテープ垂直軸回転装置を備えたことを特 徴とする T C Pハンドリング装置。  A TCP handling device, comprising: a tape vertical axis rotating device capable of rotating a carrier tape pressed by the contact portion around a vertical axis thereof.
2 . 前記 T C Pハンドリング装置は、 前記コンタク ト部に押圧されるキ ャリアテープを、その平面方向に移動させることのできるテープ平面移 動装置をさらに備えたことを特徴とする請求項 1に記載の T C Pハン ドリング装置。  2. The TCP handling device according to claim 1, wherein the TCP handling device further comprises a tape plane moving device capable of moving a carrier tape pressed by the contact portion in a plane direction thereof. Handling equipment.
3 .前記テープ垂直軸回転装置および/または前記テープ平面移動装置 は、 キヤリァテープを前記コンタク ト部に押圧する押圧装置とともに、 キヤリァテープを垂直軸回りに回転移動および/または平面方向に移 動させることを特徴とする請求項 2に記載の T C Pハンドリ ング装置。 3.The tape vertical axis rotating device and / or the tape plane moving device may be configured to rotate and / or move the carrier tape around a vertical axis and / or in a plane direction together with a pressing device that presses the carrier tape against the contact portion. 3. The TCP handling device according to claim 2, wherein:
4 . 前記 T C Pハンドリ ング装置は、 T C Pと前記コンタク ト部との位 置ずれの情報を取得することのできる位置ずれ情報取得装置をさらに 備えており、 4. The TCP handling device further includes a displacement information acquisition device capable of acquiring information of a displacement between the TCP and the contact portion,
前記位置ずれ情報取得装置によつて取得した位置ずれ情報に基づい て、前記テープ垂直軸回転装置および Zまたは前記テープ平面移動装置 を駆動し、前記位置ずれを自動補正することを特徴とする請求項 2また は 3に記載の T C Pハンドリング装置。  The tape vertical axis rotating device and the Z or the tape flat surface moving device are driven based on the positional deviation information acquired by the positional deviation information acquiring device, and the positional deviation is automatically corrected. 2. The TCP handling apparatus according to 2 or 3.
5 . テープ上に T C Pが複数形成されたキャリアテープを搬送して、 テ ス トへッ ドに電気的に接続されているコンタク ト部にキャリアテープ を押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続させることによ り、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装 置であって、 5. Carry a carrier tape with multiple TCPs formed on the tape, and By pressing the carrier tape against the contact part electrically connected to the storage head and connecting the external terminal of the TCP to the contact part, multiple TCPs can be sequentially subjected to the test. TCP handling equipment that can
T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれの情報を取得することので きる位置ずれ情報取得装置と、  A position shift information acquiring device capable of acquiring information of a position shift between the TCP and the contact section;
前記コンタク ト部を、その垂直軸回りに回転移動させることのできる コンタク ト部垂直軸回転装置とを備えており、  A contact part vertical axis rotating device capable of rotating and moving the contact part around its vertical axis;
実稼動中に、前記位置ずれ情報取得装置によって取得した位置ずれ情 報に基づいて、前記コンタク ト部垂直軸回転装置を駆動して前記コンタ ク ト部を垂直軸回りに回転移動させ、前記位置ずれを自動補正すること を特徴とする T C Pハンドリング装置。  During actual operation, based on the positional deviation information acquired by the positional deviation information acquiring device, the contact unit vertical axis rotating device is driven to rotate and move the contact unit around a vertical axis. A TCP handling device that automatically corrects deviations.
6 . 前記 T C Pハンドリング装置は、 前記コンタク ト部を、 その平面方 向に移動させることのできるコンタク ト部平面移動装置をさらに備え ており、  6. The TCP handling apparatus further includes a contact part plane moving device capable of moving the contact part in a plane direction thereof,
実稼動中に、前記位置ずれ情報取得装置によって取得した位置ずれ情 報に基づいて、前記コンタク ト部垂直軸回転装置およびノまたは前記コ ンタク ト部平面移動装置を駆動して前記コンタク ト部を垂直軸回りに 回転移動および /または平面方向に移動させ、前記位置ずれを自動補正 することを特徴とする請求項 5に記載の T C Pハンドリング装置。  During actual operation, the contact part vertical axis rotating device and the contact part plane moving device are driven based on the position deviation information acquired by the position deviation information acquisition device, thereby causing the contact part to move. 6. The TCP handling device according to claim 5, wherein the position shift is automatically corrected by rotating and / or moving in a plane direction around a vertical axis.
7 . テープ上に T C Pが複数形成されたキヤ Vァテープを搬送して、 テ ス トへッ ドに電気的に接続されているコンタク ト部にキヤリァテープ を押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続させることによ り、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装 置であって、  7. Carry a tape carrier with multiple TCPs formed on the tape, press the carrier tape on the contact part electrically connected to the test head, and connect the TCP external terminal to the contactor. A TCP handling device that can connect multiple TCPs to a test in sequence by connecting the
T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれの情報を取得することので きる位置ずれ情報取得装置と、 By acquiring information on the misalignment between TCP and the contact section, A position shift information acquisition device that can
前記コンタク ト部に押圧されるキヤリァテープを、その垂直軸回りに 回転移動させることのできるテープ垂直軸回転装置と、  A tape vertical axis rotating device capable of rotating the carrier tape pressed by the contact portion around its vertical axis,
前記コンタク ト部を、その垂直軸回りに回転移動させることのできる コンタク ト部垂直軸回転装置とを備えており、  A contact part vertical axis rotating device capable of rotating and moving the contact part around its vertical axis;
前記位置ずれ情報取得装置によって取得した位置ずれ量が所定の値 より大きい場合または所定の値以上の場合には、前記コンタク ト部垂直 軸回転装置を駆動して前記コンタク ト部を垂直軸回りに回転移動させ、 前記位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定の値未満の場合には、 前記テープ垂直軸回転装置を駆動して前記キヤリァテープを垂直軸回 りに回転移動きせることにより、前記位置ずれを自動補正することを特 徴とする T C Pハンドリング装置。  When the displacement amount acquired by the displacement information acquiring device is larger than a predetermined value or is larger than a predetermined value, the contact unit vertical axis rotating device is driven to rotate the contact unit around the vertical axis. When the displacement amount is equal to or less than a predetermined value or is less than a predetermined value, the tape vertical axis rotating device is driven to rotate and move the carrier tape around a vertical axis, TCP handling equipment that features automatic correction of misalignment.
8 . 前記 T C Pハンドリング装置は、 前記コンタク ト部に押圧されるキ ャリァテープを、その平面方向に移動させることのできるテープ平面移 動装置と、 前記コンタク ト部を、 その平面方向に移動させることのでき るコンタク ト部平面移動装置とをさらに備えており、  8. The TCP handling device includes a tape flat surface moving device that can move the carrier tape pressed by the contact portion in the plane direction, and a tape flat surface moving device that moves the contact portion in the plane direction. And a contact part plane moving device capable of
前記位置ずれ情報取得装置によつて取得した位置ずれ量が所定の値 より大きい場合または所定の値以上の場合には、前記コンタク ト部垂直 軸回転装置および または前記コンタク ト部平面移動装置を駆動して 前記コンタク ト部を垂直軸回りに回転移動および/または平面方向に 移動させ、前記位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定の値未満の 場合には、前記テープ垂直軸回転装置および/または前記テープ平面移 動装匱を駆動して前記キヤリアテープを垂直軸回り に回転移動および /または平面方向に移動させることにより、前記位置ずれを自動補正す ることを特徴とする請求項 7に記載の T C Pハンドリング装置。  If the displacement amount acquired by the displacement information acquiring device is larger than a predetermined value or is larger than a predetermined value, the contact portion vertical axis rotating device and / or the contact portion plane moving device are driven. Then, the contact unit is rotated around a vertical axis and / or moved in a plane direction, and when the displacement amount is equal to or less than a predetermined value or less than a predetermined value, the tape vertical axis rotating device and The position shift is automatically corrected by rotating the carrier tape around a vertical axis and / or moving the carrier tape in a plane direction by driving the tape plane moving device. The TCP handling device described in 1.
9 . テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを搬送して、 テ ス トへッ ドに電気的に接続されているコンタク ト部にキャリアテープ を押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続させることによ り、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリ ング装 置における T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれ補正方法であって、 前記コンタク ト部に押圧されるキヤリァテープを、その垂直軸回りに 回転移動させることにより、 T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれを 補正することを特徴とする T C Pハンドリ ング装置における位置ずれ 補正方法。 9. Carry a carrier tape with multiple TCPs formed on the tape, and By pressing the carrier tape against the contact part electrically connected to the storage head and connecting the external terminal of the TCP to the contact part, multiple TCPs can be sequentially subjected to the test. A method for correcting a positional deviation between a TCP and the contact part in a TCP handling device, comprising: rotating a carrier tape pressed by the contact part around a vertical axis thereof, thereby obtaining the TCP and the contact part. A method for correcting a positional deviation in a TCP handling device, which comprises correcting a positional deviation with a unit.
1 0 . テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを搬送して、 テス トへッ ドに電気的に接続されているコンタク ト部にキャリアテー プを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続させることに より、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング 装置における T C P と前記コンタク ト部との位置ずれ捕正方法であつ て、  10. Carry the carrier tape with multiple TCPs formed on the tape, press the carrier tape into the contact part electrically connected to the test head, and connect the external terminal of the TCP to the contact. A method of detecting a positional deviation between a TCP and the contact unit in a TCP handling device capable of sequentially applying a plurality of TCPs to a test by connecting the TCP unit to a test unit.
前記コンタク ト部に押圧されるキヤリァテープを、その垂直軸回りに 回転移動および/またはその平面方向に移動させることにより、 T C P と前記コンタク ト部との位置ずれを補正することを特徴とする T C P ハンドリング装置における位置ずれ補正方法。  TCP handling wherein the carrier tape pressed against the contact section is rotated around its vertical axis and / or moved in the plane direction to correct the positional deviation between TCP and the contact section. A method for correcting misregistration in a device.
1 1 . テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを搬送して、 テス トへッ ドに電気的に接続されているコンタク ト部にキャリアテー プを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続させることに より、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリ ング 装置における T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれ補正方法であつ て、  1 1. Carry a carrier tape with multiple TCPs formed on the tape, press the carrier tape into the contact part electrically connected to the test head, and connect the external terminal of the TCP to the contact. A method of correcting a positional deviation between a TCP and the contact unit in a TCP handling device capable of sequentially applying a plurality of TCPs to a test by connecting the TCP unit to a test unit.
T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれの情報を取得し、前記取得し た位置ずれ情報に基づいて、前記コンタク ト部に押圧されるキヤリァテ ープを、 その垂直軸回りに回転移動させることにより、 前記位置ずれを 補正することを特徴とする T C Pハンドリング装置における位置ずれ 補正方法。 Information on the positional deviation between TCP and the contact unit is obtained, and a carrier pressed by the contact unit is obtained based on the obtained positional deviation information. A method for correcting a positional shift in a TCP handling device, wherein the positional shift is corrected by rotating a loop around a vertical axis thereof.
1 2 . テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを搬送して、 テス トへッ ドに電気的に接続されているコンタク ト部にキャリアテー プを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続させることに より、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリ ング 装置における T C P と前記コンタク ト部との位置ずれ補正方法であつ て、  12. Carry the carrier tape with multiple TCPs formed on the tape, press the carrier tape onto the contact part electrically connected to the test head, and connect the TCP external terminal to the contact. A method for correcting a positional deviation between a TCP and the contact unit in a TCP handling device capable of sequentially applying a plurality of TCPs to a test by connecting the TCP unit to a test unit.
T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれの情報を取得し、前記取得し た位置ずれ情報に基づいて、前記コンタク ト部に押圧されるキヤリァテ ープを、その垂直軸回りに回転移動および/またはその平面方向に移動 させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とする T C P A ンドリング装置における位置ずれ補正方法。  Information on the positional deviation between TCP and the contact part is acquired, and based on the acquired positional deviation information, the carrier tape pressed by the contact part is rotated and / or rotated around its vertical axis. A position shift correction method in a TCPA handling apparatus, wherein the position shift is corrected by moving in the plane direction.
1 3 . テープ上に T C Pが複数形成されたキヤ Vァテープを搬送して、 テス トへッ ドに電気的に接続されているコンタク ト部にキャリアテー プを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続させることに より、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング 装置における T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれ補正方法であつ て、  13 3. Convey a tape with multiple TCPs formed on the tape, press the carrier tape against the contact part electrically connected to the test head, and connect the TCP external terminals to the A method for correcting a positional deviation between a TCP and a contact unit in a TCP handling device capable of sequentially applying a plurality of TCPs to a test by connecting the TCP unit to a contact unit.
T C Pハンドリング装置の実稼動中に、 T C Pと前記コンタク ト部と の位置ずれの情報を取得し、 前記取得した位置ずれ情報に基づいて、 前 記コンタク ト部を、 その垂直軸回りに回転移動させることにより、 前記 位置ずれを補正することを特徴とする T C Pハンドリング装置におけ る位置ずれ補正方法。  During actual operation of the TCP handling device, information on the positional deviation between TCP and the contact unit is acquired, and the contact unit is rotated and moved around its vertical axis based on the acquired positional deviation information. A method for correcting a position shift in a TCP handling device, wherein the position shift is corrected by the method.
1 4 . テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを搬送して、 テストへッ ドに電気的に接続されているコンタク ト部にキャリアテー プを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続させることに より、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング 装置における T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれ補正方法であつ て、 1 4. Carrying a carrier tape with multiple TCPs formed on the tape, A plurality of TCPs can be sequentially subjected to a test by pressing a carrier tape on a contact portion electrically connected to a test head and connecting an external terminal of the TCP to the contact portion. A method for correcting a positional deviation between TCP and the contact unit in a TCP handling device, comprising:
T C Pハンドリング装置の実稼動中に、 T C Pと前記コンタタ ト部と の位置ずれの情報を取得し、 前記取得した位置ずれ情報に基づいて、 前 記コンタク ト部を、その垂直軸回りに回転移動および/またはその平面 方向に移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とす る T C Pハンドリング装置における位置ずれ補正方法。  During the actual operation of the TCP handling device, information on the positional deviation between TCP and the contact unit is acquired, and the contact unit is rotated and moved around its vertical axis based on the acquired positional deviation information. And / or a method of correcting a positional deviation in a TCP handling device, wherein the positional deviation is corrected by moving the device in a plane direction thereof.
1 5 . テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを搬送して、 テス トへッ ドに電気的に接続されているコンタク ト部にキャリアテー プを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続させることに より、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリ ング 装置における T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれ補正方法であつ て、  15 5. Carry the carrier tape with multiple TCPs formed on the tape, press the carrier tape on the contact part electrically connected to the test head, and connect the TCP external terminal to the contact. A method of correcting a positional deviation between a TCP and the contact unit in a TCP handling device capable of sequentially applying a plurality of TCPs to a test by connecting the TCP unit to a test unit.
T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれの情報を取得し、取得した位 置ずれ量が所定の値より大きい場合または所定の値以上の場合には、前 記コンタク ト部を、 その垂直軸回りに回転移動させ、 取得した位置ずれ 量が所定の値以下の場合または所定の値未満の場合には、前記コンタク ト部に押圧されるキヤリアテープを、その垂直軸回りに回転移動させる ことにより、前記位置ずれを補正することを特徴とする T C Pハンドリ ング装置における位置ずれ補正方法。  Information on the displacement between the TCP and the contact section is acquired, and if the acquired displacement is larger than a predetermined value or larger than a predetermined value, the contact section is moved around its vertical axis. When the acquired positional deviation amount is equal to or less than a predetermined value or is less than a predetermined value, the carrier tape pressed by the contact portion is rotated about its vertical axis to thereby rotate the carrier tape. A position shift correction method in a TCP handling device, wherein the position shift is corrected.
1 6 . テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを搬送して、 テス トへッ ドに電気的に接続されているコンタク ト部にキャリアテー プを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタク ト部に接続させることに より、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング 装置における T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれ補正方法であつ て、 16. Carry a carrier tape with multiple TCPs formed on the tape, press the carrier tape onto the contact part electrically connected to the test head, and connect the TCP external terminal to the contact. To be connected to A method for correcting a positional deviation between a TCP and the contact unit in a TCP handling apparatus capable of sequentially applying a plurality of TCPs to a test,
T C Pと前記コンタク ト部との位置ずれの情報を取得し、取得した位 置ずれ量が所定の値より大きい場合または所定の値以上の場合には、前 記コンタク ト部を、その垂直軸回りに回転移動および/またはその平面 方向に移動させ、取得した位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定 の値未満の場合には、前記コンタク ト部に押圧されるキヤリアテープを. その垂直軸回りに回転移動および/またはその平面方向に移動させる ことにより、前記位置ずれを補正することを特徴とする T C Pハンドリ ング装置における位置ずれ補正方法。  Information on the positional deviation between the TCP and the contact part is acquired, and if the acquired positional deviation amount is larger than a predetermined value or larger than a predetermined value, the contact part is moved around its vertical axis. When the acquired positional deviation amount is equal to or less than a predetermined value or is smaller than a predetermined value, the carrier tape pressed by the contact portion is rotated and / or moved in the plane direction. A position shift correction method in a TCP handling device, wherein the position shift is corrected by rotating around and / or moving in a plane direction thereof.
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