JPS6399566A - 高周波高出力混成集積回路 - Google Patents

高周波高出力混成集積回路

Info

Publication number
JPS6399566A
JPS6399566A JP24581586A JP24581586A JPS6399566A JP S6399566 A JPS6399566 A JP S6399566A JP 24581586 A JP24581586 A JP 24581586A JP 24581586 A JP24581586 A JP 24581586A JP S6399566 A JPS6399566 A JP S6399566A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metallized
electrode
capacitor
dielectric layer
integrated circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP24581586A
Other languages
English (en)
Inventor
Masaharu Koyama
小山 正治
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP24581586A priority Critical patent/JPS6399566A/ja
Publication of JPS6399566A publication Critical patent/JPS6399566A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、広帯域で、かつ安定度の高い高周波高出力
混成集積回路に関するものである。
〔従来の技術〕
第2図は従来の高周波高出力混成集積回路を示す平面図
、第3図はその等価回路図である。これらの図において
、1はアルミナ等の誘電体基板、2は前記誘電体基板1
にあけられた穴に設置されたトランジスタキャリアで、
入力端子および出力端子としての入力リード電極8およ
び出力リード電極9により、入力整合回路を構成するメ
タライズパターン4および出力側のメタライズパターン
5の一端にはんだ付けされている。3はチップコンデン
サで、入力整合回路および出力整合回路の一部を構成し
ている。3aは前記チップコンデンサ3によるシャント
容量、6は接地メタライズで、スルーホール7を通じて
裏面接地メタライズ(図示せず)に接地される。8a、
9aはそれぞれ前記入力リード電極8および前記出力リ
ード電極9の有するリードインダクタンスである。
特に、高周波においては、リードインダクタンス8a、
9aが大きなインピーダンスを有するようになり、内蔵
トランジスタの入出力のインピーダンスのQが高くなる
。このため、チップコンデンサ3によりシャント容fi
43aを形成している。
このチップコンデンサ3は第2図に示すように、トラン
ジスタキャリア2に極めて近接して設置され、はんだ付
けされている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記のような従来の高周波高出力混成集積回路は、組立
て時のチップコンデンサ3の設置位置のばらつきにより
、高周波特性の劣化および安定性の低下を引き起こすこ
とがしばしばあり、製品としての歩留りを低下させると
いう問題点があった。
また、これを改善するためにチップコンデンサ3が、ト
ランジスタキャリア2に極めて近接して設置され、はん
だ伺けされるが、はんだ量が多くなり、温度ストレスに
よりチップコンデンサ3が割れる等の問題点があった。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、高周波において、安定、高性能であり、かつ低価
格の高周波高出力混成集積回路を得ることを目的とする
〔問題点を解決するための手段〕
この発明に係る高周波高出力混成集積回路は、インピー
ダンスの整合を行うためのコンデンサを、内蔵されたト
ランジスタの入力端子および出力端子の少なくとも一方
の直下に設けたメタライズ電極と、このメタライズ電極
の直下に設けた誘電体層と、この誘電体層の直下の誘電
体基板上に設けられ、スルーホールを介して裏面接地メ
タライズに接続された接地メタライズとから構成したも
のである。
〔作用〕
この発明においては、内蔵されたトランジスタの入力端
子および出力端子の少なくとも一方の近傍にメタライズ
電極と、誘電体層と接地メタライズとからインピーダン
スの整合を行うためのコンデンサが構成される。
〔実施例〕
第1図はこの発明の高周波高出力混成集積回路の一実施
例の入力側の構造を示す斜視図である。
この図において、第2図と同一符号は同一部分を示し、
10は接地電極を兼ねた放熱用金属板、11は前記誘電
体基板1の裏面に形成されている裏面接地メタライズ、
12はスルーホール、13は前記誘電体基板1の上面に
設けられた接地メタライズ、14は前記裏面接地メタラ
イズ11および前記接地メタライズ13と同一材料で形
成されたスルーホール側面メタライズ、15は前記接地
メタライズ13を覆う誘電体層、16はメタライズ電極
で、接地メタライズ13と誘電体層15とからコンデン
サを形成し、かつトランジスタキャリア2の入力リード
電88がはんだ付けされる。
以下、第1図を参照して入力側の構成について説明する
が、出力側についても同様である。
入力リード電極8の直下に設けたメタライズ電極16と
接地メタライズ13は、誘電体層15を挟んで対向して
コンデンサを形成する。また、接地メタライズ13は、
スルーホール12の側面に形成されたスルーホール側面
メタライズ14を通じて裏面接地メタライズ11に接続
されている。
このコンデンサによるジャント容量3aは、メタライス
電極16.接地メタライズ13の面積および誘電体層1
5の厚みによって適当な値に形成することができる。こ
のコンデンサを形成するメタライズ電極16の一部は、
同一材料で整合回路を構成するメタライズパターン4に
接続されている。
また、このように形成されたコンデンサは、第1図から
明らかなように、トランジスタキャリア2にごく接近し
て設置されているため、第3図に示したリードインダク
タンス8aを極めて小さく抑えることができる。このた
め、整合回路のインピーダンスのQを低くすることがで
き、容易に広帯域、かつ高安定化を図れる。
さらに、従来用いられたチップコンデンサを設置する必
要がなくなるので、このチップコンデンサの設置位置の
ばらつきによる歩留りの低下を防ぐことができ、安価な
高周波高出力混成集積回路を得ることができる。
なお、上記実施例ではコンデンサを形成するメタライズ
電極16として連続したメタライズを示したが、このメ
タライズ電極16は複数の領域に分割され、容量を調整
できる構造であってもよい。
また、コンデンサを形成する部分の形状には、とられれ
ないことはいうまでもない。
〔発明の効果〕
この発明は以上説明したとおり、インピーダンスの整合
を行うためのコンデンサを、内蔵されたトランジスタの
入力端子および出力端子の少なくとも一方の直下に設け
たメタライズ電極と、このメタライズ電極の直下に設け
た誘電体層と、この誘電体層の直下の誘電体基板上に設
けられ、スルーホールを介して裏面接地メタライズに接
続された接地メタライズとから構成したので、チップコ
ンデンサのはんだ伺ばか不要となり、信頼性が高く、か
つ安価になるうえ、入出力のインピーダンスのQが低く
高性能になるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発男の高周波高出力混成集積回路の一実施
例の入力側の構造を示す斜視図、第2図は従来の高周波
高出力混成集積回路を示す平面図、第3図は高周波高出
力混成集積回路の等価回路図である。 図において、1は誘電体基板、2はトランジスタキャリ
ア、4,5はメタライズパターン、8は入力リード電極
、1oは放熱用金属板、11は裏面接地メタライズ、1
2はスルーホール、13は接地メタライズ、14はスル
ーホール側面メタライズ、15は誘電体層、16はメタ
ライズ電極である。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 裏面に裏面接地メタライズを備えた誘電体基板上に構成
    され、コンデンサを用いてインピーダンスの整合を行う
    高周波高出力混成集積回路において、前記コンデンサを
    、内蔵されたトランジスタの入力端子および出力端子の
    少なくとも一方の直下に設けたメタライズ電極と、この
    メタライズ電極の直下に設けた誘電体層と、この誘電体
    層の直下の前記誘電体基板上に設けられ、スルーホール
    を介して前記裏面接地メタライズに接続された接地メタ
    ライズとから構成したことを特徴とする高周波高出力混
    成集積回路。
JP24581586A 1986-10-15 1986-10-15 高周波高出力混成集積回路 Pending JPS6399566A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24581586A JPS6399566A (ja) 1986-10-15 1986-10-15 高周波高出力混成集積回路

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24581586A JPS6399566A (ja) 1986-10-15 1986-10-15 高周波高出力混成集積回路

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6399566A true JPS6399566A (ja) 1988-04-30

Family

ID=17139262

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24581586A Pending JPS6399566A (ja) 1986-10-15 1986-10-15 高周波高出力混成集積回路

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6399566A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20010071766A (ko) 반도체 소자용 캡슐
JP3158621B2 (ja) マルチチップモジュール
JP2001168234A (ja) 半導体チップ用の接地平面
JPH07297609A (ja) 半導体装置
JP2728322B2 (ja) 半導体装置
JPS6399566A (ja) 高周波高出力混成集積回路
US5161000A (en) High-frequency thick-film semiconductor circuit
JPH02159753A (ja) 半導体装置
JPS6364081B2 (ja)
JP2590686B2 (ja) 混成集積回路
JP2606487B2 (ja) 半導体装置
JPS63197346A (ja) 高周波半導体装置
JPH04296103A (ja) 高周波半導体混成集積回路装置
JPH05211279A (ja) 混成集積回路
JPH01143502A (ja) マイクロ波集積回路
JPS6035247Y2 (ja) 半導体装置
JP2604138Y2 (ja) カップリングコンデンサを用いたハイブリッドic
JP2762858B2 (ja) マイクロ波ic
JPH02140969A (ja) 半導体集積回路装置
JP2701644B2 (ja) 半導体装置
JPS6032749Y2 (ja) チップ形静電容量素子
JPH04271161A (ja) 半導体装置
JPS5929377Y2 (ja) 高周波高出力トランジスタ装置
JP2720481B2 (ja) 半導体装置
JPH0249733Y2 (ja)