JPS6394640A - 半導体素子の製造方法 - Google Patents
半導体素子の製造方法Info
- Publication number
- JPS6394640A JPS6394640A JP23975786A JP23975786A JPS6394640A JP S6394640 A JPS6394640 A JP S6394640A JP 23975786 A JP23975786 A JP 23975786A JP 23975786 A JP23975786 A JP 23975786A JP S6394640 A JPS6394640 A JP S6394640A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- molding
- fluororesin film
- chip
- lead
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 33
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 33
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 3
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 abstract description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000001311 chemical methods and process Methods 0.000 abstract 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 abstract 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 abstract 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、半4体素体を接続された金属端子の端部を露
出させてトランスファモールド方式などにより樹脂体に
より封止する樹脂封止半4体素子の製造方法に関する。
出させてトランスファモールド方式などにより樹脂体に
より封止する樹脂封止半4体素子の製造方法に関する。
第2図に示すようにリード線2を露出させて樹脂体lに
よって封止した半4体素子において、樹脂体lのぼりが
リード線2に付着していると、プリント板等に装着する
場合、ろう付けが確実に行われないため、ぼり取りが必
要不可欠となる。そのため、トランスファモールドで樹
脂体1を形成後、有機溶剤または弱酸性の薬品に浸清し
、金属と樹脂との間の付着性を低下させまた樹脂を膨潤
させた後、回転バレルあるいは高圧水を用いる機穢的処
理によって不必要部の樹脂を除去していた。 しかるにこの様な方法では、溶剤あるいは薬品処理なら
びにその後の水洗工程の影響で最も重要な素子特性の温
気による低下あるいは表面変色が発生するおそれがある
ため、作業条件の選定が難しく、樹脂がリード線2より
完全に除去されない場合は、はんだ付は性が不良となり
、素子の使用時に不具合が発生することがあった。
よって封止した半4体素子において、樹脂体lのぼりが
リード線2に付着していると、プリント板等に装着する
場合、ろう付けが確実に行われないため、ぼり取りが必
要不可欠となる。そのため、トランスファモールドで樹
脂体1を形成後、有機溶剤または弱酸性の薬品に浸清し
、金属と樹脂との間の付着性を低下させまた樹脂を膨潤
させた後、回転バレルあるいは高圧水を用いる機穢的処
理によって不必要部の樹脂を除去していた。 しかるにこの様な方法では、溶剤あるいは薬品処理なら
びにその後の水洗工程の影響で最も重要な素子特性の温
気による低下あるいは表面変色が発生するおそれがある
ため、作業条件の選定が難しく、樹脂がリード線2より
完全に除去されない場合は、はんだ付は性が不良となり
、素子の使用時に不具合が発生することがあった。
本発明は、上述の問題を解決して、溶剤あるいは薬品処
理により電気特性を低下させることなく、またリード線
のような金属端子への樹脂付着によるはんだ付は性の低
下もない樹脂封止半導体素子の製造方法を提供すること
を目的とする。
理により電気特性を低下させることなく、またリード線
のような金属端子への樹脂付着によるはんだ付は性の低
下もない樹脂封止半導体素子の製造方法を提供すること
を目的とする。
本発明は、半導体素体に金属端子を接続後、少なくとも
樹脂成形部および金PA Sta子のそれに近い部分の
表面を弗素樹脂膜で被覆したのち樹脂成形を行うもので
、澄水性の弗素樹脂膜により金属端子上への成形樹脂の
付着力が低下するため、樹脂ばりが簡単な機械的処理に
よって除去可能となり、上記の目的が達成される。
樹脂成形部および金PA Sta子のそれに近い部分の
表面を弗素樹脂膜で被覆したのち樹脂成形を行うもので
、澄水性の弗素樹脂膜により金属端子上への成形樹脂の
付着力が低下するため、樹脂ばりが簡単な機械的処理に
よって除去可能となり、上記の目的が達成される。
第1図(al〜(dlは本発明の一実施例の工程を示し
、第2図と共通の部分には同一の符号が付されている。 第1図(5)はダイオードチップ3の両面へリード線2
のヘッダ部4を固着した状態を示す、第1図(blにお
いて、チップ側面を接合被覆樹脂5により被覆したのち
、本発明により液状の弗素樹脂を塗布し、乾燥する事に
より、チップ3.ヘッダ部4およびリード線2のヘッダ
部に近い領域の表面に数ミクロンのj7さの薄い弗素樹
脂膜6を形成する。こののち、第1図(C)に示すよう
に従来と同様にトランスファモールドにより封止樹脂体
lを成形する。第1図fdlは、バレルあるいは高圧水
を用いた機械的処理により第1図fl1)に見られる成
形樹脂のばり11およびリード線2の上に残る弗素樹脂
膜6を除去した状態を示す、弗素樹脂Wi6が介在する
ことによりばり11は容易に除去される。このようにし
て第2図に示したリードマウント型の樹脂封止ダイオー
ドが得られる。なお、成形樹脂体1とリード4m 2の
間に弗素樹脂1f!6が残留することにより、樹脂体1
とリード線2との直接の密着は得られないが、澄水性の
弗素樹脂の介在により湿気のチップ3への浸入のおそれ
はなく、素子の電気特性の劣化が発生しない。
、第2図と共通の部分には同一の符号が付されている。 第1図(5)はダイオードチップ3の両面へリード線2
のヘッダ部4を固着した状態を示す、第1図(blにお
いて、チップ側面を接合被覆樹脂5により被覆したのち
、本発明により液状の弗素樹脂を塗布し、乾燥する事に
より、チップ3.ヘッダ部4およびリード線2のヘッダ
部に近い領域の表面に数ミクロンのj7さの薄い弗素樹
脂膜6を形成する。こののち、第1図(C)に示すよう
に従来と同様にトランスファモールドにより封止樹脂体
lを成形する。第1図fdlは、バレルあるいは高圧水
を用いた機械的処理により第1図fl1)に見られる成
形樹脂のばり11およびリード線2の上に残る弗素樹脂
膜6を除去した状態を示す、弗素樹脂Wi6が介在する
ことによりばり11は容易に除去される。このようにし
て第2図に示したリードマウント型の樹脂封止ダイオー
ドが得られる。なお、成形樹脂体1とリード4m 2の
間に弗素樹脂1f!6が残留することにより、樹脂体1
とリード線2との直接の密着は得られないが、澄水性の
弗素樹脂の介在により湿気のチップ3への浸入のおそれ
はなく、素子の電気特性の劣化が発生しない。
本発明によれば、樹脂成形前にyJ膜弗素樹脂の被覆を
施すことにより、金属端子と成形樹脂の密着力を低下さ
せ、はんだ付は性の妨げとなる樹脂ぼりは簡単な機械的
処理により除去可能になる。 さらに、溶剤あるいは薬品処理ならびに水洗工程が不要
となり、また金属端子の基部と成形樹脂の間の弗素樹脂
膜が湿気の浸入を防ぐことにより、湿気による電気特性
の劣化が発生せず、耐湿性のある特性良好な半導体素子
を得ることができる。
施すことにより、金属端子と成形樹脂の密着力を低下さ
せ、はんだ付は性の妨げとなる樹脂ぼりは簡単な機械的
処理により除去可能になる。 さらに、溶剤あるいは薬品処理ならびに水洗工程が不要
となり、また金属端子の基部と成形樹脂の間の弗素樹脂
膜が湿気の浸入を防ぐことにより、湿気による電気特性
の劣化が発生せず、耐湿性のある特性良好な半導体素子
を得ることができる。
第1図は本発明の一実施例の工程を順次示す断面図、第
2図は第1図の工程により製造される。 半導体素子の正面図である。 1:封止樹脂体、2:リード線、3:チップ、6:弗素
樹脂膜。 1え。、V+市T、コ″ 第1図 12図
2図は第1図の工程により製造される。 半導体素子の正面図である。 1:封止樹脂体、2:リード線、3:チップ、6:弗素
樹脂膜。 1え。、V+市T、コ″ 第1図 12図
Claims (1)
- 1)半導体素体に接続した金属端子の端部を露出させて
成形した樹脂体により半導体素体を封止する際に、半導
体素体に金属端子を接続後、少なくとも樹脂成形部およ
び金属端子の該樹脂成形部に近い部分の表面を弗素樹脂
膜で被覆したのち樹脂成形を行うことを特徴とする半導
体素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23975786A JPS6394640A (ja) | 1986-10-08 | 1986-10-08 | 半導体素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23975786A JPS6394640A (ja) | 1986-10-08 | 1986-10-08 | 半導体素子の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6394640A true JPS6394640A (ja) | 1988-04-25 |
Family
ID=17049469
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23975786A Pending JPS6394640A (ja) | 1986-10-08 | 1986-10-08 | 半導体素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6394640A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0461363A (ja) * | 1990-06-29 | 1992-02-27 | Nec Corp | 表面実装型プラスチックパッケージ |
JPH0479999U (ja) * | 1990-11-26 | 1992-07-13 | ||
CN104037097A (zh) * | 2014-05-23 | 2014-09-10 | 南通皋鑫科技开发有限公司 | 一种塑封轴向二极管胶层涂敷方法 |
-
1986
- 1986-10-08 JP JP23975786A patent/JPS6394640A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0461363A (ja) * | 1990-06-29 | 1992-02-27 | Nec Corp | 表面実装型プラスチックパッケージ |
JPH0479999U (ja) * | 1990-11-26 | 1992-07-13 | ||
CN104037097A (zh) * | 2014-05-23 | 2014-09-10 | 南通皋鑫科技开发有限公司 | 一种塑封轴向二极管胶层涂敷方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6194777B1 (en) | Leadframes with selective palladium plating | |
JP3169919B2 (ja) | ボールグリッドアレイ型半導体装置及びその製造方法 | |
KR101026586B1 (ko) | 반도체 장치의 개선된 습기 신뢰성 및 개선된 납땜가능성을 위한 리드프레임을 포함하는 반도체 장치 및 그제조 방법 | |
JPH06151977A (ja) | 光半導体装置 | |
US4800178A (en) | Method of electroplating a copper lead frame with copper | |
US4883774A (en) | Silver flashing process on semiconductor leadframes | |
JPS6394640A (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
US6667073B1 (en) | Leadframe for enhanced downbond registration during automatic wire bond process | |
JPS5951139B2 (ja) | 樹脂封止型半導体装置の製法 | |
JPS62169457A (ja) | 半導体装置用リ−ドフレ−ム | |
JP2596542B2 (ja) | リードフレームおよびそれを用いた半導体装置 | |
JPS637029B2 (ja) | ||
JPH05109928A (ja) | 樹脂封止型半導体装置用リードフレームおよびこれを用いた樹脂封止型半導体装置 | |
JPS634945B2 (ja) | ||
JPS60150657A (ja) | レジンモ−ルド半導体装置 | |
JPH0730043A (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JPH09283545A (ja) | 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法 | |
KR0167276B1 (ko) | 비엘피 패키지 및 그 제조방법 | |
JPH0689478B2 (ja) | 樹脂封止半導体装置の製造方法 | |
JPH0362959A (ja) | リードフレームの製造方法 | |
JPS5943559A (ja) | 半導体装置 | |
JPS6148953A (ja) | 樹脂封止形半導体装置の製造方法 | |
JP2946775B2 (ja) | 樹脂封止金型 | |
KR940007948B1 (ko) | 수지봉지형(封止型) 반도체장치 및 그 제조방법 | |
JPS5833848A (ja) | 半導体装置 |