JPS6393116A - キヤリアプレ−トの乾燥機 - Google Patents
キヤリアプレ−トの乾燥機Info
- Publication number
- JPS6393116A JPS6393116A JP23879486A JP23879486A JPS6393116A JP S6393116 A JPS6393116 A JP S6393116A JP 23879486 A JP23879486 A JP 23879486A JP 23879486 A JP23879486 A JP 23879486A JP S6393116 A JPS6393116 A JP S6393116A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- carrier plate
- rotary table
- draining
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001035 drying Methods 0.000 title description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 13
- 238000005422 blasting Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、研摩後のウェーハを貼り付けたキャリアブレ
ー１への水切り乾燥を行なうキャリアプレートの乾燥機
に関づ゛る。
ー１への水切り乾燥を行なうキャリアプレートの乾燥機
に関づ゛る。
従来、研摩後のウェーハを貼り付けたキャリアプレート
の水切り乾燥を行なう装置としては、該−１１１リアプ
レートを回転テーブル上に載置して高速回転させ、キＶ
す）′プレートから水滴を外方に跳ね飛ばす遠心乾燥機
が用いられている。
の水切り乾燥を行なう装置としては、該−１１１リアプ
レートを回転テーブル上に載置して高速回転させ、キＶ
す）′プレートから水滴を外方に跳ね飛ばす遠心乾燥機
が用いられている。
〔発明が解決しようと１−る問題点〕
しかしながら、ト記従来の遠心乾燥機にあっては、キャ
リアブレー［−が高速回転した場合に、キ鬼・リアプレ
ートの表面に乱流が発生して、−ｐ ｌ／リアプレート
から跳ね飛ばされた水滴が再度キレリアプレー１・の表
面に付肴して十分に水切り乾燥がでさないという問題が
ある１゜ 本分１！１１は、上記事情に鑑みてなされたもので、そ
の目的とづるところは、キャリアプレートから′跳ね飛
ばされた水滴が再び１：１！リアプレーｉ〜にイ・１着
Ｊるのを防止でき、円滑に水切り乾燥を行なうことがで
きる１：１１リアプレートの乾燥機を提供１」ることに
ある。
リアブレー［−が高速回転した場合に、キ鬼・リアプレ
ートの表面に乱流が発生して、−ｐ ｌ／リアプレート
から跳ね飛ばされた水滴が再度キレリアプレー１・の表
面に付肴して十分に水切り乾燥がでさないという問題が
ある１゜ 本分１！１１は、上記事情に鑑みてなされたもので、そ
の目的とづるところは、キャリアプレートから′跳ね飛
ばされた水滴が再び１：１！リアプレーｉ〜にイ・１着
Ｊるのを防止でき、円滑に水切り乾燥を行なうことがで
きる１：１１リアプレートの乾燥機を提供１」ることに
ある。
（問題点を解決するための手段）
上記目的を達成するために、本発明は、キャリアプレー
トを載置して回転させる回転テーブルと、この回転テー
ブルに対向して配置され、かつ中央部に穴を形成した水
切りプレートとを備えたものである。
トを載置して回転させる回転テーブルと、この回転テー
ブルに対向して配置され、かつ中央部に穴を形成した水
切りプレートとを備えたものである。
また、上記水切りプレートの中央部の穴から強制的にキ
ｔ・リアプレー１−十に気体を供給するようにｆｉｓｔ
成するのが望ましい。
ｔ・リアプレー１−十に気体を供給するようにｆｉｓｔ
成するのが望ましい。
本発明のキャリアプレートの乾燥機にあっては、１ ト
リアプレー１−を載置した回転テーブルを高速回転して
、キレリアプレートに付着した水滴を外方に跳ね飛ばづ
と共に、回転テーブルに対向配置された水切りプレート
と該回転テーブルとの間隔を調゛！ｒ＜ Ｌｌで、水切
りプレートの中央部の穴ｌ）Ｘら外気を吸い込み、回転
テーブルの外方に向かって流れる層流を形成して、上記
キャリアプレートを離れた水滴が再びキャリアプレート
に付着するのを防止ｊＪる。
リアプレー１−を載置した回転テーブルを高速回転して
、キレリアプレートに付着した水滴を外方に跳ね飛ばづ
と共に、回転テーブルに対向配置された水切りプレート
と該回転テーブルとの間隔を調゛！ｒ＜ Ｌｌで、水切
りプレートの中央部の穴ｌ）Ｘら外気を吸い込み、回転
テーブルの外方に向かって流れる層流を形成して、上記
キャリアプレートを離れた水滴が再びキャリアプレート
に付着するのを防止ｊＪる。
以下、第１図と第２図に基づいて本発明の一実施例を説
明する。
明する。
図中符号１は、箱状の容器であり、この容器１の底部１
ａを貫通して該底部１ａに回転機構２が設置され、かつ
回転機構２の回転軸には、回転テーブル３が装着されて
いる。そして、この回転テーブル３は、研摩後のウェー
ハを貼り付けたキャリアプレートを載置して回転させる
ものであり、イの外周部には、等間隔に４箇所に崖円状
の切欠部３ａが形成されていると共に、上記外周部の、
」−記名切欠部３ａに隣接づる部位に、それぞれ８個の
突起３ｂが形成されている。また、上記容器１の一端上
部に上下方向に回動自在に取付けた支持アーム４には、
中央部に穴５ａを有する簿い円盤状の水切りプレート５
が固定されている。そして、この水切りプレート５は、
水平状態を相持することにより、上記回転テーブル３の
上方に所定間隔離間して配置されるようになっている。
ａを貫通して該底部１ａに回転機構２が設置され、かつ
回転機構２の回転軸には、回転テーブル３が装着されて
いる。そして、この回転テーブル３は、研摩後のウェー
ハを貼り付けたキャリアプレートを載置して回転させる
ものであり、イの外周部には、等間隔に４箇所に崖円状
の切欠部３ａが形成されていると共に、上記外周部の、
」−記名切欠部３ａに隣接づる部位に、それぞれ８個の
突起３ｂが形成されている。また、上記容器１の一端上
部に上下方向に回動自在に取付けた支持アーム４には、
中央部に穴５ａを有する簿い円盤状の水切りプレート５
が固定されている。そして、この水切りプレート５は、
水平状態を相持することにより、上記回転テーブル３の
上方に所定間隔離間して配置されるようになっている。
さらに、上記水平状態の水切りプレート５の上面に装置
の外部から清浄な気体を供給する送風管６が、上記容器
１の底部１ａを９）通した状態で、かつ水平方向に回動
自在に容器１に取付ｔＪられている。
の外部から清浄な気体を供給する送風管６が、上記容器
１の底部１ａを９）通した状態で、かつ水平方向に回動
自在に容器１に取付ｔＪられている。
そして、上記容器１の底部１ａには、水回収用のボース
７が連結されている。さらにまた、上記容器１内の、上
記回転テーブル３と側壁１ｂどの間には、円筒状のナイ
ロン網８が配置されている。
７が連結されている。さらにまた、上記容器１内の、上
記回転テーブル３と側壁１ｂどの間には、円筒状のナイ
ロン網８が配置されている。
、上記のように構成された乾燥別において、キャリアプ
レートの水切り乾燥を行なう場合には、まず、支持アー
ム４を上方に回転させて、水切りプレー１〜５／！−起
立させると共に、送風管６を水平方向に回動させて、回
転−テーブル３Ｌから離脱させＩこ状（８１におい−（
、（＋１転ラーブル３上に、乾燥させるためのＶセリア
プレー１〜を載置する。次いで、水切りプレー１−５を
１１１シた後に、送屈１管６を回動さＵて、水切りプレ
ート５の上方に位置さゼる。
レートの水切り乾燥を行なう場合には、まず、支持アー
ム４を上方に回転させて、水切りプレー１〜５／！−起
立させると共に、送風管６を水平方向に回動させて、回
転−テーブル３Ｌから離脱させＩこ状（８１におい−（
、（＋１転ラーブル３上に、乾燥させるためのＶセリア
プレー１〜を載置する。次いで、水切りプレー１−５を
１１１シた後に、送屈１管６を回動さＵて、水切りプレ
ート５の上方に位置さゼる。
’ｆして、回転機ｈｌ、；、 ２によって回転ラーブル
３を回転させると共に、送風管６によって水切りプレー
ｈ ５ Ｌ−、に空気を供給覆る。これにより、回転
テーブル３上のギトリアプレートが回転して、キャリア
プレー１−に付着していた水が水滴となって跳ね飛ばさ
れる。この場合、回転テーブル３の回転によって、水切
りプレー１〜５の中央部の穴５ａから空気が吸い込まれ
、しから送風管６によって強制的に水切りプレート５の
穴５ａに空気が供給されるから、回転う゛−プル３ヒに
おい又は、その中央部から外周部に向かって流れる層流
が形成され、−１°トリアプレートから離れた水滴は、
再びＶＩ！リアプレートに付着すること４１＜、１１戸
リアプレー１−の外方に円滑に飛ばされろ９．さらに、
この水滴は、ナイロン網８に捕捉されて、容器１の側壁
１ｂ智に雨突して跳ね返ってくることがイ【り、容器１
の底部１ａのボース７を介してわ１出される。
３を回転させると共に、送風管６によって水切りプレー
ｈ ５ Ｌ−、に空気を供給覆る。これにより、回転
テーブル３上のギトリアプレートが回転して、キャリア
プレー１−に付着していた水が水滴となって跳ね飛ばさ
れる。この場合、回転テーブル３の回転によって、水切
りプレー１〜５の中央部の穴５ａから空気が吸い込まれ
、しから送風管６によって強制的に水切りプレート５の
穴５ａに空気が供給されるから、回転う゛−プル３ヒに
おい又は、その中央部から外周部に向かって流れる層流
が形成され、−１°トリアプレートから離れた水滴は、
再びＶＩ！リアプレートに付着すること４１＜、１１戸
リアプレー１−の外方に円滑に飛ばされろ９．さらに、
この水滴は、ナイロン網８に捕捉されて、容器１の側壁
１ｂ智に雨突して跳ね返ってくることがイ【り、容器１
の底部１ａのボース７を介してわ１出される。
このようにして、４−１１リアプレートの水切り乾燥が
円滑に行なわれる。この場合、回転テーブル３の回転と
、この回転テーブル３に対向ｐｉ［間してＲｎされ、か
つ中央部に穴５ａを右する水切りプレー１−５とが相伝
って、この穴５ａから吸い込まれた空気が回転テーブル
３の外周部に向かう層流を形成することにより、円滑に
主１ノリアブレートの水切りが行なわれる。また、送風
管６により水切りプレート５の穴５２１に強制的に空気
を供給づることにより、上記層流がさらに増大し、水切
り乾燥が促進される。
円滑に行なわれる。この場合、回転テーブル３の回転と
、この回転テーブル３に対向ｐｉ［間してＲｎされ、か
つ中央部に穴５ａを右する水切りプレー１−５とが相伝
って、この穴５ａから吸い込まれた空気が回転テーブル
３の外周部に向かう層流を形成することにより、円滑に
主１ノリアブレートの水切りが行なわれる。また、送風
管６により水切りプレート５の穴５２１に強制的に空気
を供給づることにより、上記層流がさらに増大し、水切
り乾燥が促進される。
以上説明したように、本発明によれば、キャリアプレー
トを載置して回転させる回転テーブルと、この回転テー
ブルに対向して配置され、かつ中央部に穴を形成した水
切りプレートを備えたものであるから、回転テーブルの
回転によって、水切りプレートの中央部の穴から外気を
吸い込み、回転テーブルの外方に向かって流れる層流を
形成することにより、ギマ！リアプレートから跳ね飛ば
された水滴が再びキャリアプレートに付着するのを防止
でき、円滑に水切り乾燥を行なうことができるという優
れた効果を右する。
トを載置して回転させる回転テーブルと、この回転テー
ブルに対向して配置され、かつ中央部に穴を形成した水
切りプレートを備えたものであるから、回転テーブルの
回転によって、水切りプレートの中央部の穴から外気を
吸い込み、回転テーブルの外方に向かって流れる層流を
形成することにより、ギマ！リアプレートから跳ね飛ば
された水滴が再びキャリアプレートに付着するのを防止
でき、円滑に水切り乾燥を行なうことができるという優
れた効果を右する。
第１図と第２図は本発明の一実施例を示すもので、第１
図は正面図、第２図は平面図である。 ３・・・・・・回転テーブル、５・・・・・・水切りプ
レート、６・・・・・・送風管、 ５ａ・・・・・
・穴。
図は正面図、第２図は平面図である。 ３・・・・・・回転テーブル、５・・・・・・水切りプ
レート、６・・・・・・送風管、 ５ａ・・・・・
・穴。
Claims (2)
- （１）キャリアプレートを載置して回転させる回転テー
ブルと、この回転テーブルに対向して配置され、かつ中
央部に穴を形成した水切りプレートとを具備したことを
特徴とするキャリアプレートの乾燥機。 - （２）上記水切りプレートの穴から気体を供給するよう
に構成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
のキャリアプレートの乾燥機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23879486A JPS6393116A (ja) | 1986-10-07 | 1986-10-07 | キヤリアプレ−トの乾燥機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23879486A JPS6393116A (ja) | 1986-10-07 | 1986-10-07 | キヤリアプレ−トの乾燥機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6393116A true JPS6393116A (ja) | 1988-04-23 |
Family
ID=17035379
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23879486A Pending JPS6393116A (ja) | 1986-10-07 | 1986-10-07 | キヤリアプレ−トの乾燥機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6393116A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0669176A (ja) * | 1992-01-17 | 1994-03-11 | Mitsubishi Materials Corp | ウェーハ洗浄装置 |
| JP2009073104A (ja) * | 2007-09-21 | 2009-04-09 | Toyoda Gosei Co Ltd | 樹脂材料生成装置 |
| CN103008309A (zh) * | 2011-09-23 | 2013-04-03 | 南亚科技股份有限公司 | 晶片洗涤器和晶片清洗方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6064436A (ja) * | 1983-09-19 | 1985-04-13 | Fujitsu Ltd | スピンドライヤ |
-
1986
- 1986-10-07 JP JP23879486A patent/JPS6393116A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6064436A (ja) * | 1983-09-19 | 1985-04-13 | Fujitsu Ltd | スピンドライヤ |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0669176A (ja) * | 1992-01-17 | 1994-03-11 | Mitsubishi Materials Corp | ウェーハ洗浄装置 |
| JP2009073104A (ja) * | 2007-09-21 | 2009-04-09 | Toyoda Gosei Co Ltd | 樹脂材料生成装置 |
| CN103008309A (zh) * | 2011-09-23 | 2013-04-03 | 南亚科技股份有限公司 | 晶片洗涤器和晶片清洗方法 |
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