JPS639176A - 縦型エキシマレ−ザのレ−ザヘツド支持装置 - Google Patents
縦型エキシマレ−ザのレ−ザヘツド支持装置Info
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- JPS639176A JPS639176A JP15140086A JP15140086A JPS639176A JP S639176 A JPS639176 A JP S639176A JP 15140086 A JP15140086 A JP 15140086A JP 15140086 A JP15140086 A JP 15140086A JP S639176 A JPS639176 A JP S639176A
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- JP
- Japan
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- laser head
- laser
- optical system
- bed
- vertical
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 25
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明け、光軸が縦状になるようにしてレーザヘッドを
配置する縦型エキ・／マレーザのレーザヘッド支持装置
に関するものである。
配置する縦型エキ・／マレーザのレーザヘッド支持装置
に関するものである。
従来の技術
上記縦型エキシマレーザのレーザヘッドは、例えばエキ
シマレーザステッパに用いられる場合のように、レーザ
ヘッドの光軸方向両方向に配置されるミラー及びソリッ
ドエタロン等からなるレーザの共振器に対して分離して
着脱できるようになっているが、このレーザヘッドは上
記レーザの共振器と共に同じ機枠に支持されていた。
シマレーザステッパに用いられる場合のように、レーザ
ヘッドの光軸方向両方向に配置されるミラー及びソリッ
ドエタロン等からなるレーザの共振器に対して分離して
着脱できるようになっているが、このレーザヘッドは上
記レーザの共振器と共に同じ機枠に支持されていた。
発明が解決しようとする間ｍ点
！［エキ・／マレーザで、特にこれをエキ・ンマレーザ
ステツパに用いる場合、レーザヘッドで発生する振動が
共振器や光学系に悪影響を与えるので、レーザヘッドの
振動が他へ伝わらないようにするためにｒｉ機機枠剛性
を高める必要があり、機枠全体の大きさ及び重量が大き
くなってしまうという問題があった。
ステツパに用いる場合、レーザヘッドで発生する振動が
共振器や光学系に悪影響を与えるので、レーザヘッドの
振動が他へ伝わらないようにするためにｒｉ機機枠剛性
を高める必要があり、機枠全体の大きさ及び重量が大き
くなってしまうという問題があった。
またレーザヘッドを装着するときに、レーザヘッドの光
軸が共振器を含む光学系の光軸に対してずれると露光不
足等の問題が生じるが、従来のエキシマレーザのレーザ
ヘッドは光学系と同じ機枠に装着されていた関係で光軸
の調整がむずかしかった。
軸が共振器を含む光学系の光軸に対してずれると露光不
足等の問題が生じるが、従来のエキシマレーザのレーザ
ヘッドは光学系と同じ機枠に装着されていた関係で光軸
の調整がむずかしかった。
さらに上記従来のレーザヘッドは機枠に装着されていた
ので、その着脱がやっかいで時間のかかる作業であった
。
ので、その着脱がやっかいで時間のかかる作業であった
。
問題点を解決するための手段及び作用
本発明は上記のことにかんがみなされたもので、共振器
や光学系を支持する機枠の必要な剛性を低くすることが
できて、これの小型、軽量化を図ることができ、またレ
ーザヘッドの光軸調整を簡単に行なうことができ、さら
にレーザヘッドを機枠に対して容易に着脱することがで
きるようにした縦型エキシマレーザのレーザヘッド支持
装置を提供しようとするものであり、その構成は、レー
ザヘッドを縦状に配置した縦型エキシマレーザにおいて
、レーザヘッドを支持する支持台を共振器及び光学系を
支持する機枠と別体に構成し、この支持台を水平方向に
移動可能にすると共に、支持台に対してレーザヘッドを
傾動調整可能にした構成となっており、支持台を水平方
向に移動し、また支持台に対してレーザヘッドを傾動調
整することにより、レーザヘッドの光軸が調整される。
や光学系を支持する機枠の必要な剛性を低くすることが
できて、これの小型、軽量化を図ることができ、またレ
ーザヘッドの光軸調整を簡単に行なうことができ、さら
にレーザヘッドを機枠に対して容易に着脱することがで
きるようにした縦型エキシマレーザのレーザヘッド支持
装置を提供しようとするものであり、その構成は、レー
ザヘッドを縦状に配置した縦型エキシマレーザにおいて
、レーザヘッドを支持する支持台を共振器及び光学系を
支持する機枠と別体に構成し、この支持台を水平方向に
移動可能にすると共に、支持台に対してレーザヘッドを
傾動調整可能にした構成となっており、支持台を水平方
向に移動し、また支持台に対してレーザヘッドを傾動調
整することにより、レーザヘッドの光軸が調整される。
実施例
本発明の実施例を第１図から第１０図に基づいて説明す
る。
る。
第５図は本発明の一適用例であるエキシマレーザステッ
パを示すもので、レーザヘッド１は機枠２に光軸が縦状
になるようにして着脱可能に装着されるようになってい
る。そしてこのレーザヘッド１０光軸方向両端にはウィ
ンドウ３゜４が装着してあり、レーザヘッド１内で励起
されたレーザ光は上記両ウィンドウ３，４から取り出さ
れるようになっている。一方上記機枠２の下側には上記
レーザヘッド１の下側のウィンドウ３から出たレーザ光
を全反射するりアミラー５とソリッドエタロン６が、ま
た上側には部分反射するフロントミラー７が装着されて
いて、上記レーザヘッド１からのレーザ光を共振するよ
うになっている。そしてこの共振によって得られたレー
ザ光ハミラー８、インチグレーダ９、ミラー１０、コン
デンサレンズ１１、レチクル１２、投影レンズ１３を介
してウェハ１４上に投射されるようになっている。
パを示すもので、レーザヘッド１は機枠２に光軸が縦状
になるようにして着脱可能に装着されるようになってい
る。そしてこのレーザヘッド１０光軸方向両端にはウィ
ンドウ３゜４が装着してあり、レーザヘッド１内で励起
されたレーザ光は上記両ウィンドウ３，４から取り出さ
れるようになっている。一方上記機枠２の下側には上記
レーザヘッド１の下側のウィンドウ３から出たレーザ光
を全反射するりアミラー５とソリッドエタロン６が、ま
た上側には部分反射するフロントミラー７が装着されて
いて、上記レーザヘッド１からのレーザ光を共振するよ
うになっている。そしてこの共振によって得られたレー
ザ光ハミラー８、インチグレーダ９、ミラー１０、コン
デンサレンズ１１、レチクル１２、投影レンズ１３を介
してウェハ１４上に投射されるようになっている。
上記レーザヘッド１は上記したように、また第６図に示
すようにレーザの共振器及び光学系を装着した機枠２に
対して独立して支持されている。このレーザヘッドｌの
支持装置を第１図から第４図を参照して説明する。
すようにレーザの共振器及び光学系を装着した機枠２に
対して独立して支持されている。このレーザヘッドｌの
支持装置を第１図から第４図を参照して説明する。
第１図において、１５は上記機枠２とは別体にした基台
、＋６ｒｉこの基台１５上に載置された水平移動台、１
７けこの水平移動台：６上に固着されたスタンド、１８
はスタンド１７の上部に、第１回転軸装置１９を介して
左右に回動自在に連結したヨークであり、このヨーク１
８の左右のアームに、レーザヘッド１が第２回転軸装置
２０を介して前後に回動自在に連結されている。
、＋６ｒｉこの基台１５上に載置された水平移動台、１
７けこの水平移動台：６上に固着されたスタンド、１８
はスタンド１７の上部に、第１回転軸装置１９を介して
左右に回動自在に連結したヨークであり、このヨーク１
８の左右のアームに、レーザヘッド１が第２回転軸装置
２０を介して前後に回動自在に連結されている。
上記基台１５と水平移動台１６は第２図、第３図に示す
ようになっていて、基台１５上に複数のラック２２α１
２２ｂ１２２ＣＩ・・・・・・が前後及び左右方向に向
けて設けてあり、一方水平移動台１６には上記各ラック
に噛合するビニオン２３Ｇ、２３ｂ、２３Ｃ，・・・・
・・が支持されており、この各ビニオンのうち、前後方
向のラックに噛合したビニオンをモータ２４で駆動する
ことにより水平移動台１６が前後方向に移動し、左右方
向のラックに噛合したビニオンを他のモータ２５で駆動
することにより左右方向に移動するようになっている。
ようになっていて、基台１５上に複数のラック２２α１
２２ｂ１２２ＣＩ・・・・・・が前後及び左右方向に向
けて設けてあり、一方水平移動台１６には上記各ラック
に噛合するビニオン２３Ｇ、２３ｂ、２３Ｃ，・・・・
・・が支持されており、この各ビニオンのうち、前後方
向のラックに噛合したビニオンをモータ２４で駆動する
ことにより水平移動台１６が前後方向に移動し、左右方
向のラックに噛合したビニオンを他のモータ２５で駆動
することにより左右方向に移動するようになっている。
なおこのとき、回転しない方のラックとビニオンは互い
に歯すじ方向に滑べる。
に歯すじ方向に滑べる。
上記第１、第２回転軸装置１９．２０は第４図に示すよ
うになっていて、レーザヘッド１．１ｇに固着された回
転軸２６ｒ！ギヤトレーン２７αを介してモータ２７で
駆動され、またブレーキ２８で固着されるようになって
いる。また上記モータ２７及びブレーキ２８はコントロ
ー之２９にて制御されるようになっている。３０はモー
タドライバである。第６図は上記構成の全体を示すもの
である。２１はガス循環装置である。
うになっていて、レーザヘッド１．１ｇに固着された回
転軸２６ｒ！ギヤトレーン２７αを介してモータ２７で
駆動され、またブレーキ２８で固着されるようになって
いる。また上記モータ２７及びブレーキ２８はコントロ
ー之２９にて制御されるようになっている。３０はモー
タドライバである。第６図は上記構成の全体を示すもの
である。２１はガス循環装置である。
上記構成において、レーザヘッド１はこれの支持装置に
て機枠２とは別体状に支持される。
て機枠２とは別体状に支持される。
そしてこのレーザヘッド１の光軸姿勢は、基台１５に対
して水平移動台１６を前後、左右に水平移動すると共に
、第１、第２回転軸装置１９゜２０を作動してヨーク１
ｇを左右方向に、またレーザヘッド１を前後方向に回動
することにより調整される。またレーザヘッドｌを機枠
２から取りはずすには上記支持装置ごと取りはずす。
して水平移動台１６を前後、左右に水平移動すると共に
、第１、第２回転軸装置１９゜２０を作動してヨーク１
ｇを左右方向に、またレーザヘッド１を前後方向に回動
することにより調整される。またレーザヘッドｌを機枠
２から取りはずすには上記支持装置ごと取りはずす。
第７図から第１０図は上記支持装置の他の実施例を示す
もので、第７図に示すものは、底面が球面状のケース３
１にレーザヘッド１が収められており、このケース３１
が同じ曲率をもった凹球面を有する架台３２に揺動自在
に支持されており、架台３２に対してケース３１は調整
ボルト３３ｃＬにて傾動され、ロックナツト３３ｈにて
固定されるようになっている。なお上記架台３２は機枠
２の下側をまたいで上記水平移動台１６上に固着される
。３４はレーザ光が通る穴である。
もので、第７図に示すものは、底面が球面状のケース３
１にレーザヘッド１が収められており、このケース３１
が同じ曲率をもった凹球面を有する架台３２に揺動自在
に支持されており、架台３２に対してケース３１は調整
ボルト３３ｃＬにて傾動され、ロックナツト３３ｈにて
固定されるようになっている。なお上記架台３２は機枠
２の下側をまたいで上記水平移動台１６上に固着される
。３４はレーザ光が通る穴である。
第８図に示すものは、スタンド１７の上下に２つの支持
具３５．３６を固着し、この両支持Ａ３５，３６にレー
ザヘッドＩを遊嵌し、各支持具３５．３６の各辺部に設
けた前後及び左右の調整ねじ３７で押すことにより固定
し、かつその長さによってその姿勢を調整するようにな
っている。
具３５．３６を固着し、この両支持Ａ３５，３６にレー
ザヘッドＩを遊嵌し、各支持具３５．３６の各辺部に設
けた前後及び左右の調整ねじ３７で押すことにより固定
し、かつその長さによってその姿勢を調整するようにな
っている。
第９図に示す例はレーザヘッド１を支持するケース３８
を架台３９に傾動自在に支持し、ケース３８を調整ねじ
４０にて調整することによシその姿勢が調整されるよう
になっている。なお上記調整ねじ４０とケース３ｇの支
持板４Ｉの係合部は第１０図に示すようになっていて球
面座金４２．４２が間に介装しである。
を架台３９に傾動自在に支持し、ケース３８を調整ねじ
４０にて調整することによシその姿勢が調整されるよう
になっている。なお上記調整ねじ４０とケース３ｇの支
持板４Ｉの係合部は第１０図に示すようになっていて球
面座金４２．４２が間に介装しである。
発明の効果
本発明によれば、レーザヘッド１を支持する支持装置を
レーザの共振器及び光学系を支持する機枠２と別体にし
たことにより、レーザヘッド１の振動が共振器や光学系
に伝わることがなく、従って共振器や光学系を支持する
上記機枠の必要な剛性を低くすることができ、これの小
型、軽量化を図ることができる。またレーザへラドの光
軸調整を簡単に行なうことができる。
レーザの共振器及び光学系を支持する機枠２と別体にし
たことにより、レーザヘッド１の振動が共振器や光学系
に伝わることがなく、従って共振器や光学系を支持する
上記機枠の必要な剛性を低くすることができ、これの小
型、軽量化を図ることができる。またレーザへラドの光
軸調整を簡単に行なうことができる。
さらにレーザヘッド１を支持装置ごと着脱できることに
より、機枠２に対して容易に着脱することができる。
より、機枠２に対して容易に着脱することができる。
図面は本発明の実施例を示すもので、第１図は要部の斜
視図、第２図は水平移動部の一部破断側面図、第３図は
基台の平面図、第４図は回転軸部の構成説明図、第５図
はエキシマレーザステッパの概略的な構成説明図、第６
図はその外観図、第７図、第８図、第９図は本発明の他
の実施例を示す要部の説明図、第１０図は＠９図に示す
実施例の傾動支持部の断面図である。 １はレーザヘッド、２は機枠。
視図、第２図は水平移動部の一部破断側面図、第３図は
基台の平面図、第４図は回転軸部の構成説明図、第５図
はエキシマレーザステッパの概略的な構成説明図、第６
図はその外観図、第７図、第８図、第９図は本発明の他
の実施例を示す要部の説明図、第１０図は＠９図に示す
実施例の傾動支持部の断面図である。 １はレーザヘッド、２は機枠。
Claims (1)
- レーザヘッド１を縦状に配置した縦型エキシマレーザに
おいて、レーザヘッド１を支持する支持台を共振器及び
光学系を支持する機枠２と別体に構成し、この支持台を
水平方向に移動可能にすると共に、支持台に対してレー
ザヘッド１を傾動調整可能にしたことを特徴とする縦型
エキシマレーザのレーザヘッド支持装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15140086A JPS639176A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 縦型エキシマレ−ザのレ−ザヘツド支持装置 |
| PCT/JP1987/000451 WO1988000402A1 (en) | 1986-06-30 | 1987-06-30 | Device for supporting the head of a vertical excimer laser |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15140086A JPS639176A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 縦型エキシマレ−ザのレ−ザヘツド支持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS639176A true JPS639176A (ja) | 1988-01-14 |
Family
ID=15517761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15140086A Pending JPS639176A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 縦型エキシマレ−ザのレ−ザヘツド支持装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS639176A (ja) |
| WO (1) | WO1988000402A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63300938A (ja) * | 1987-05-30 | 1988-12-08 | Juzo Maekawa | 完全複合荷重試験機 |
| US6529245B2 (en) | 1997-09-03 | 2003-03-04 | Hitachi, Ltd. | Display device also compatible with digital broadcasts |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS505342Y2 (ja) * | 1971-07-02 | 1975-02-14 | ||
| JPS503920B2 (ja) * | 1971-12-17 | 1975-02-12 | ||
| JPS5243974Y2 (ja) * | 1972-03-01 | 1977-10-05 | ||
| JPS50145271U (ja) * | 1974-05-17 | 1975-12-01 | ||
| JPS5654589Y2 (ja) * | 1975-09-23 | 1981-12-19 | ||
| JPS5654597Y2 (ja) * | 1976-05-27 | 1981-12-19 | ||
| JPS5346298A (en) * | 1976-10-08 | 1978-04-25 | Toshiba Corp | Laser oscillator |
| JPS55132975U (ja) * | 1979-03-13 | 1980-09-20 | ||
| JPS59184576A (ja) * | 1983-04-05 | 1984-10-19 | Toyama Kogyo Kk | 竪方向出射型レ−ザ発振装置 |
| JPS59158347U (ja) * | 1983-04-07 | 1984-10-24 | 富士ゼロックス株式会社 | レ−ザ管支持装置 |
-
1986
- 1986-06-30 JP JP15140086A patent/JPS639176A/ja active Pending
-
1987
- 1987-06-30 WO PCT/JP1987/000451 patent/WO1988000402A1/ja unknown
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63300938A (ja) * | 1987-05-30 | 1988-12-08 | Juzo Maekawa | 完全複合荷重試験機 |
| US6529245B2 (en) | 1997-09-03 | 2003-03-04 | Hitachi, Ltd. | Display device also compatible with digital broadcasts |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1988000402A1 (en) | 1988-01-14 |
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