JPS6390093U - - Google Patents

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JPS6390093U
JPS6390093U JP18635486U JP18635486U JPS6390093U JP S6390093 U JPS6390093 U JP S6390093U JP 18635486 U JP18635486 U JP 18635486U JP 18635486 U JP18635486 U JP 18635486U JP S6390093 U JPS6390093 U JP S6390093U
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JP
Japan
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oil
bearing
oil supply
supply passage
passage
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JP18635486U
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  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例によるターボ分子ポ
ンプの内部の主要部を示す一部破断断面図、第２
図ａは第１図に示されたモータ・ハウジングの上
カバーを詳細に示す一部拡大断面図、第２図ｂは
第２図ａのＡ矢から見た部分底面図、第３図は従
来のターボ分子ポンプを示す断面図である。 図において、３ｂは油戻し穴、１３はモータ・
ハウジングの上カバー、１３ａはラビリンス部、
１３ｂは貫通穴、１３ｃは空気逃がし溝、１６ａ
は油戻し貫通穴、１６ｂは油戻し溝を示す。なお
、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す
。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 軸受により実質的に垂直に支持された動翼
    駆動用の駆動軸の真下に潤滑油を貯留した油タン
    クを配設し、前記駆動軸の軸心部に油供給通路と
    、この油供給通路から半径方向に延びる送油出口
    とを設け、前記油供給通路の下端を前記油タンク
    内に開口させて形成し、この油タンク内の潤滑油
    を前記駆動軸の回転により前記油供給通路を通し
    て吸み上げ前記送油出口から噴出させて軸受の潤
    滑を行なうようになしたターボ分子ポンプにおい
    て、モータのロータを挾み上下二つ設けられた軸
    受の両方に潤滑余剰分油を前記油タンクに戻す油
    戻し通路を設け、かつ上方の軸受を保持する軸受
    保持器の上部で駆動軸の軸方向の動きを規制する
    役割りをも有するモータ・ハウジングの上カバー
    とオイルランナとの間のラビリンス部に複数の空
    気逃がし溝を設けたことを特徴とするターボ分子
    ポンプ。 (2) 上方の軸受に対する油戻し通路は、この軸
    受の上部空間から下部空間に通じるようにモータ
    ・ハウジングに形成された油戻し貫通穴と、モー
    タの固定子の上部空間から下部空間に通じるよう
    に前記ハウジングの内壁面に形成された油戻し溝
    とからなる実用新案登録請求の範囲第１項記載の
    ターボ分子ポンプ。
JP18635486U 1986-12-02 1986-12-02 Pending JPS6390093U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006125315A (ja) * 2004-10-29 2006-05-18 Shimadzu Corp ターボ形高速回転機器

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006125315A (ja) * 2004-10-29 2006-05-18 Shimadzu Corp ターボ形高速回転機器
JP4613582B2 (ja) * 2004-10-29 2011-01-19 株式会社島津製作所 ターボ形高速回転機器

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