JPS6386128A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPS6386128A JPS6386128A JP23074586A JP23074586A JPS6386128A JP S6386128 A JPS6386128 A JP S6386128A JP 23074586 A JP23074586 A JP 23074586A JP 23074586 A JP23074586 A JP 23074586A JP S6386128 A JPS6386128 A JP S6386128A
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- Pending
Links
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Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有し、光を
介して反転磁区を作ることにより情報を記録し、磁気光
学効果（カー効果）を利用して読み出すことのできる光
磁気記録媒体に関するものである。
介して反転磁区を作ることにより情報を記録し、磁気光
学効果（カー効果）を利用して読み出すことのできる光
磁気記録媒体に関するものである。
本発明の光磁気記録媒体においては、膜面に垂直な方向
に磁化容易軸を有する非晶質磁性薄膜で合金の組成が、 （Ｓｍ Ｉ−Ｘ （Ｆｅ ＋−ｖＣｏｖ）ｘ ） ＋−
ｓＭｘＭ＝Ｖ＋Ｔａ＋Ｃｒ＋Ｍｏ＋Ｗ、Ｍｎ＋Ｎｉの１
種の元素で表わされ、合金組成範囲が、 ０．７≦Ｘ≦０．９ ０．０５≦Ｙ≦０．３ ０．０１≦Ｚ≦０．１５ であるとき、耐環境性に優れ、安定性が良いため経時変
化が少なく、長期間安定な光磁気記録媒体が得られる。
に磁化容易軸を有する非晶質磁性薄膜で合金の組成が、 （Ｓｍ Ｉ−Ｘ （Ｆｅ ＋−ｖＣｏｖ）ｘ ） ＋−
ｓＭｘＭ＝Ｖ＋Ｔａ＋Ｃｒ＋Ｍｏ＋Ｗ、Ｍｎ＋Ｎｉの１
種の元素で表わされ、合金組成範囲が、 ０．７≦Ｘ≦０．９ ０．０５≦Ｙ≦０．３ ０．０１≦Ｚ≦０．１５ であるとき、耐環境性に優れ、安定性が良いため経時変
化が少なく、長期間安定な光磁気記録媒体が得られる。
すなわち、Ｓｍ Ｆｅ Ｃｏ ３元系にＶ、 Ｔａ、Ｃ
ｒ＋Ｍｏ＋ Ｗ、 Ｍｎ、 Ｎ ｉの１種の元素を添加
することにより、経時変化の少ない長期間安定な記録媒
体が得られる。
ｒ＋Ｍｏ＋ Ｗ、 Ｍｎ、 Ｎ ｉの１種の元素を添加
することにより、経時変化の少ない長期間安定な記録媒
体が得られる。
〔従来の技術〕゛
希土類元素を鉄族元素との組み合わせからなる非晶質合
金薄膜は、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有し、Ｓ極
あるいはＮ極に一様に磁化された膜面内に、逆向きの小
さなスポット状の反転磁区を作ることができる。この反
転磁区の有無を［１］［０コに対応させることによって
、このような磁性薄膜を高密度の磁気記録媒体として用
いることができる。このような磁性薄膜のうち、室温に
て大きな保磁力を有し、かつキューリー点又は磁気的補
償温度を利用して光ビームにより、任意の位置に反転磁
区を作ることができる。これを利用することによって情
報を記録することが可能であり、ディスク・テープ・シ
ート状の光磁気メモリー媒体として利用することが可能
である０次に読み出す方法は、こうして反転記録した媒
体に対して、磁気カー効果やファラデー効果を利用して
行なうことができる。具体的には、記録媒体に書き込む
時の強文より弱い偏光されたレーザー光を照射して、磁
化の向きに応じて偏向面が回転することを利用し、その
反射光を検光子を通して検出すると、明暗の２値信号と
して検出することが可能である。
金薄膜は、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有し、Ｓ極
あるいはＮ極に一様に磁化された膜面内に、逆向きの小
さなスポット状の反転磁区を作ることができる。この反
転磁区の有無を［１］［０コに対応させることによって
、このような磁性薄膜を高密度の磁気記録媒体として用
いることができる。このような磁性薄膜のうち、室温に
て大きな保磁力を有し、かつキューリー点又は磁気的補
償温度を利用して光ビームにより、任意の位置に反転磁
区を作ることができる。これを利用することによって情
報を記録することが可能であり、ディスク・テープ・シ
ート状の光磁気メモリー媒体として利用することが可能
である０次に読み出す方法は、こうして反転記録した媒
体に対して、磁気カー効果やファラデー効果を利用して
行なうことができる。具体的には、記録媒体に書き込む
時の強文より弱い偏光されたレーザー光を照射して、磁
化の向きに応じて偏向面が回転することを利用し、その
反射光を検光子を通して検出すると、明暗の２値信号と
して検出することが可能である。
従来、公知である膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有し
、かつレーザー光により情報を書き込み読み出せる磁性
薄膜合金としては、ＭｎＢ１に代表される多結晶合金薄
膜、ＧＩＧに代表される単結晶薄膜、そして希土類元素
と鉄族元素による非晶質合金薄膜があるが、この非晶質
合金薄膜が大面積の薄膜を室温付近の温度で製作する膜
作製性、信号を小さな光熱エネルギーで書き込むための
書き込み効率、書き込まれた信号をＳ／Ｎ比よ（読み出
すための読み出し効率等が一番優れており、実用上一番
良い材料として注目されている。
、かつレーザー光により情報を書き込み読み出せる磁性
薄膜合金としては、ＭｎＢ１に代表される多結晶合金薄
膜、ＧＩＧに代表される単結晶薄膜、そして希土類元素
と鉄族元素による非晶質合金薄膜があるが、この非晶質
合金薄膜が大面積の薄膜を室温付近の温度で製作する膜
作製性、信号を小さな光熱エネルギーで書き込むための
書き込み効率、書き込まれた信号をＳ／Ｎ比よ（読み出
すための読み出し効率等が一番優れており、実用上一番
良い材料として注目されている。
しかし、上述した非晶質合金磁性薄膜は、書込感度が高
い・垂直の磁気異方性が大面積で安定に作れる・優れた
磁気特性を有する・１気的に安定である・キューリー点
が低い為少ない光（熱）エネルギーで書き込める・非晶
質のため粒界ノイズが小さく、大きいＳ／Ｎ比が取り出
せる等の多くの利点があるにもかかわらず、希土類元素
及び鉄族元素は、本来耐環境性に対して弱く、酸化、分
解、腐食等が生じやすく、合金においても同様である。
い・垂直の磁気異方性が大面積で安定に作れる・優れた
磁気特性を有する・１気的に安定である・キューリー点
が低い為少ない光（熱）エネルギーで書き込める・非晶
質のため粒界ノイズが小さく、大きいＳ／Ｎ比が取り出
せる等の多くの利点があるにもかかわらず、希土類元素
及び鉄族元素は、本来耐環境性に対して弱く、酸化、分
解、腐食等が生じやすく、合金においても同様である。
さらに長期安定にも問題があり、経時変化（磁気特性の
劣化、カー回転角の劣化等）が住じるため、書き込まれ
た信号の状態が変化しエラーやＳ／Ｎ比の減少が生じる
という欠点を有している。
劣化、カー回転角の劣化等）が住じるため、書き込まれ
た信号の状態が変化しエラーやＳ／Ｎ比の減少が生じる
という欠点を有している。
そこで本発明は、上述した従来の欠点を除去し、耐環境
性に優れ、安定性が良いため経時変化が少なく、長期間
安定な非晶質磁性薄膜合金を記録媒体とした光磁気記録
媒体を提供することにある。
性に優れ、安定性が良いため経時変化が少なく、長期間
安定な非晶質磁性薄膜合金を記録媒体とした光磁気記録
媒体を提供することにある。
上記問題点を解決するために、この発明はＳｍを含む非
晶質磁性薄膜合金に、更に添加元素（Ｖ。
晶質磁性薄膜合金に、更に添加元素（Ｖ。
Ｔａ＋ Ｃ−ｒ、 Ｍｏ＋ Ｗ１Ｍｎ＋ Ｎ ｉの１種
の元素）を加えることによって、経時変化の少ない長期
保存性に優れた光磁気記録媒体を提供することを一可能
とじたものである。
の元素）を加えることによって、経時変化の少ない長期
保存性に優れた光磁気記録媒体を提供することを一可能
とじたものである。
本発明に係る光磁気記録媒体に於いては、次に示された
式、 （Ｓｓ Ｉ−ｘ （Ｆｅ １−ｖｃｏｖ）ｘ ） ＋−
ｍＭｚＭｘＶ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｍｎ＋Ｎ＋の１
種の元素、０．７≦Ｘ≦０，９ ０．０５≦Ｙ≦０．３ ０．０１≦Ｚ≦０．１５ で表わされた組成をもつ非晶式磁性薄膜を形成すること
により、経時変化の少ない長期保存性に優れた光磁気記
録媒体が得られる。
式、 （Ｓｓ Ｉ−ｘ （Ｆｅ １−ｖｃｏｖ）ｘ ） ＋−
ｍＭｚＭｘＶ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｍｎ＋Ｎ＋の１
種の元素、０．７≦Ｘ≦０，９ ０．０５≦Ｙ≦０．３ ０．０１≦Ｚ≦０．１５ で表わされた組成をもつ非晶式磁性薄膜を形成すること
により、経時変化の少ない長期保存性に優れた光磁気記
録媒体が得られる。
また、本発明の上記組成式で示された光磁気記録媒体は
、磁化容易軸が膜面に垂直な方向に向けられるだけの十
分な磁気異方性を持たなければならない、このためには
まず、薄膜を非晶質で構成する必要があり、これには、
スパッタリング法あるいは真空蒸着法などによって薄膜
を作製することにより達成される。そして十分な磁気異
方性及びカー回転角を持たせるための組成としては上記
組成範囲を満たさなければならない。
、磁化容易軸が膜面に垂直な方向に向けられるだけの十
分な磁気異方性を持たなければならない、このためには
まず、薄膜を非晶質で構成する必要があり、これには、
スパッタリング法あるいは真空蒸着法などによって薄膜
を作製することにより達成される。そして十分な磁気異
方性及びカー回転角を持たせるための組成としては上記
組成範囲を満たさなければならない。
以下にこの発明を実施例に基づいて説明する。
これらの磁性膜はスパッタリング法により作製したが、
真空蒸着法・イオンブレーティング法などその他の物理
的ペイバーディポジション法によっても作製することが
できる。
真空蒸着法・イオンブレーティング法などその他の物理
的ペイバーディポジション法によっても作製することが
できる。
基板は、ガラスあるいは有機系透明体を用いる。
ターゲットは、円形状のＦｅターゲット上に１０×１０
×１ｎ角のＣｏ＋３ｍ、Ｃｒ等を載せる複合ターゲット
を使用した。
×１ｎ角のＣｏ＋３ｍ、Ｃｒ等を載せる複合ターゲット
を使用した。
第１図に３１１６． ｚｓ （Ｆ ｅｏ、 ａ Ｃｏｏ
、 ｚ） ｏ、 ｔｓにＣｒあるいはＮｉを添加したと
きの組成とカー回転角の関係を示す。Ｃｒ、Ｎｉ とも
に０．１５モル程度の添加ならばθ、にあまり影響しな
いが、それ以上だと大きく低下し、垂直磁化膜が得られ
な（なくことがわかった。
、 ｚ） ｏ、 ｔｓにＣｒあるいはＮｉを添加したと
きの組成とカー回転角の関係を示す。Ｃｒ、Ｎｉ とも
に０．１５モル程度の添加ならばθ、にあまり影響しな
いが、それ以上だと大きく低下し、垂直磁化膜が得られ
な（なくことがわかった。
第２図には、ＳＮｏ、ｚｓ（Ｆｅｏ、５Ｃｏｅ、ｚ）ｏ
、ｔｓ金合金ＣｒあるいはＮｉを０．０５％程添加し、
８０℃、湿度９５％の環境中に放置した時のθ、経時変
化を示している。これかられかるように、Ｃｒあるいは
Ｎｉを少量添加することにより、経時変化に対して十分
効果を発起し、劣化をおさえている。
、ｔｓ金合金ＣｒあるいはＮｉを０．０５％程添加し、
８０℃、湿度９５％の環境中に放置した時のθ、経時変
化を示している。これかられかるように、Ｃｒあるいは
Ｎｉを少量添加することにより、経時変化に対して十分
効果を発起し、劣化をおさえている。
ここでは、Ｃｒ、Ｎｉ についての効果を示したが、Ｖ
、 Ｔａ＋ Ｍｏ、 Ｗ、 Ｍｎについても同様の効
果がみられる。
、 Ｔａ＋ Ｍｏ、 Ｗ、 Ｍｎについても同様の効
果がみられる。
この発明は、以上説明したように組成式が（３ｍ ｌ−
Ｘ （Ｆｅ ＋−ｖｃＯｙ）ｘ ） ＋−ｘＭｗＭ＝Ｖ
、Ｔａ＋Ｃｒ＋Ｍｏ、Ｗ、Ｍｎ、Ｎｉの１種の元素であ
り、合金の組成範囲が、 ０．７≦Ｘ≦０．９ ０．０５≦Ｙ≦０．３ ０．０１≦Ｚ≦０．１５ であるとき、経時変化の少ない長期保存性に優れた光磁
気記録媒体を提供できるという効果を有する。
Ｘ （Ｆｅ ＋−ｖｃＯｙ）ｘ ） ＋−ｘＭｗＭ＝Ｖ
、Ｔａ＋Ｃｒ＋Ｍｏ、Ｗ、Ｍｎ、Ｎｉの１種の元素であ
り、合金の組成範囲が、 ０．７≦Ｘ≦０．９ ０．０５≦Ｙ≦０．３ ０．０１≦Ｚ≦０．１５ であるとき、経時変化の少ない長期保存性に優れた光磁
気記録媒体を提供できるという効果を有する。
第１図は、Ｓｍｏ、ｚｓ（Ｆｅｏ、５Ｃｏｏ、ｚ）ｏ、
ｔｓ金合金Ｃｒ、Ｎｉを添加したときのそれぞれの添加
量とカー回転角の関係を示した閲であり、第２図は、本
発明に係る経時変化を示した図である。 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 ゛） Ｃｒ、Ｎｉの添加量 Ｃｒ 、 Ｎｉの：心卯量とか一回転角の関イ糸乞示し
た図第１図 時間 か−回転角の７性哨変イこε示しと凹 第２図
ｔｓ金合金Ｃｒ、Ｎｉを添加したときのそれぞれの添加
量とカー回転角の関係を示した閲であり、第２図は、本
発明に係る経時変化を示した図である。 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 ゛） Ｃｒ、Ｎｉの添加量 Ｃｒ 、 Ｎｉの：心卯量とか一回転角の関イ糸乞示し
た図第１図 時間 か−回転角の７性哨変イこε示しと凹 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する非晶質磁性薄
膜で合金の一般式が、 ｛Ｓｍ＿１＿−＿Ｘ（Ｆｅ＿１＿−＿ＹＣｏ＿Ｙ）＿Ｘ
｝＿１＿−＿ＺＭ＿Ｚで示される組成を有することを
特徴とした光磁気記録媒体。 ここでＭは、Ｖ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｍｎ、Ｎｉの
１種の元素であり、合金の組成範囲が、 ０．７≦Ｘ≦０．９ ０．０５≦Ｙ≦０．３ ０．０１≦Ｚ≦０．１５ で示される組成を有することを特徴とした光磁気記録媒
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23074586A JPS6386128A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23074586A JPS6386128A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6386128A true JPS6386128A (ja) | 1988-04-16 |
Family
ID=16912628
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23074586A Pending JPS6386128A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6386128A (ja) |
-
1986
- 1986-09-29 JP JP23074586A patent/JPS6386128A/ja active Pending
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