JPS63191340A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPS63191340A JPS63191340A JP2425387A JP2425387A JPS63191340A JP S63191340 A JPS63191340 A JP S63191340A JP 2425387 A JP2425387 A JP 2425387A JP 2425387 A JP2425387 A JP 2425387A JP S63191340 A JPS63191340 A JP S63191340A
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Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光メモリーに用いる光磁気記録方式、即ち、
ディスク基板上の垂直磁化容易軸を有するアモルファス
合金薄膜に光に介して情報の記録・再生を行う記録方式
における光磁気記録媒体に関するものである。
ディスク基板上の垂直磁化容易軸を有するアモルファス
合金薄膜に光に介して情報の記録・再生を行う記録方式
における光磁気記録媒体に関するものである。
本発明の光磁気記録媒体は、膜面に垂直な方向に磁化容
易軸を有するアモルファス合金薄膜で合金の組成式が ＮｄｃｘＭβＮＴ ＭはＦｅ、Ｃｏの一種又は二種であり、ＮはＡｕ、Ａｇ
、Ｐｔ、Ｐｄが一種又は二種以上の元素を表し、合金の
組成範囲が １６≦α≦３０ ６０≦β≦８４ ０．５≦γ≦１０ α十β＋γ−１００ である時、耐環境性に優れ安定性が良いために経時変化
が少なく長期間安定で、且つ記録再生特性に優れた光磁
気記録媒体が得られる。
易軸を有するアモルファス合金薄膜で合金の組成式が ＮｄｃｘＭβＮＴ ＭはＦｅ、Ｃｏの一種又は二種であり、ＮはＡｕ、Ａｇ
、Ｐｔ、Ｐｄが一種又は二種以上の元素を表し、合金の
組成範囲が １６≦α≦３０ ６０≦β≦８４ ０．５≦γ≦１０ α十β＋γ−１００ である時、耐環境性に優れ安定性が良いために経時変化
が少なく長期間安定で、且つ記録再生特性に優れた光磁
気記録媒体が得られる。
即ち、Ｎｄと鉄族元素との合金にＡｕ、Ａｇ。
Ｐｔ、Ｐｄの一種又は二種以上の元素を添加することに
より、長期間安定で且つ記録再生特性に優れた記録媒体
が得られる。
より、長期間安定で且つ記録再生特性に優れた記録媒体
が得られる。
従来、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有し、レーザ光
により情報を書込み、読出しできる磁性合金薄膜として
は、ＭｎＢ＋に代表される多結晶合金薄膜、ガリウム鉄
ガーネッ）（ＧＩＧ）に代表される単結晶薄膜、希土類
元素と鉄族元素とによるアモルファス合金薄膜などがあ
り、ＧｄＴｂＦｅの３元系、ＧｄＴｂＦｅＣｏの４元系
アー１−／Ｉ／ファス合金薄膜は、例えば特開昭５６−
１２６９０７、特開昭５８−１９６６３９号公報等に記
載されている。
により情報を書込み、読出しできる磁性合金薄膜として
は、ＭｎＢ＋に代表される多結晶合金薄膜、ガリウム鉄
ガーネッ）（ＧＩＧ）に代表される単結晶薄膜、希土類
元素と鉄族元素とによるアモルファス合金薄膜などがあ
り、ＧｄＴｂＦｅの３元系、ＧｄＴｂＦｅＣｏの４元系
アー１−／Ｉ／ファス合金薄膜は、例えば特開昭５６−
１２６９０７、特開昭５８−１９６６３９号公報等に記
載されている。
希土類元素と鉄族元素との組合せからなるアモルファス
合金薄膜は、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有し、一
様に磁化された膜面内に逆向きの小さなスポット状の反
転磁区を作ることができる。
合金薄膜は、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有し、一
様に磁化された膜面内に逆向きの小さなスポット状の反
転磁区を作ることができる。
このようなアモルファス合金薄膜のうち、室温にて大き
な保磁力を有し、且つ適当なキュリ一温度又は補償温度
を有するものは、レーザ光などの適当な光ビームにより
任意の位置にスポット状の反転磁区を作ることができる
。この反転磁区の有無を“０”と１１”に対応させるこ
とによって、アモルファス合金薄膜は高密度の記録媒体
として用いることができる。
な保磁力を有し、且つ適当なキュリ一温度又は補償温度
を有するものは、レーザ光などの適当な光ビームにより
任意の位置にスポット状の反転磁区を作ることができる
。この反転磁区の有無を“０”と１１”に対応させるこ
とによって、アモルファス合金薄膜は高密度の記録媒体
として用いることができる。
次に読出し方法は、こうして反転記録した記録媒体に対
して、磁性体と光との相互作用である磁気カー効果やフ
ァラデー効果を利用して行うことができる。具体的には
、記録媒体に書込む時の強度より弱い偏光されたレーザ
光を照射して、磁化の反転の有無に応じた偏向面の回転
を利用し、その反射光を検光子を通して検出すると、明
暗の２植体号として検出することができる。
して、磁性体と光との相互作用である磁気カー効果やフ
ァラデー効果を利用して行うことができる。具体的には
、記録媒体に書込む時の強度より弱い偏光されたレーザ
光を照射して、磁化の反転の有無に応じた偏向面の回転
を利用し、その反射光を検光子を通して検出すると、明
暗の２植体号として検出することができる。
以上のように、アモルファス合金薄膜は大面積の薄膜を
室温付近の温度で作製できる膜作製性、信号を小さな光
熱エネルギーで書込みできる書込み効率、さらに続出し
効率に優れている等の理由から、実用上現在量も良い材
料として注目されている。
室温付近の温度で作製できる膜作製性、信号を小さな光
熱エネルギーで書込みできる書込み効率、さらに続出し
効率に優れている等の理由から、実用上現在量も良い材
料として注目されている。
しかし、上述した希土類元素と鉄族元素とからなるアモ
ルファス合金薄膜は、書込み感度が高い、垂直磁気異方
性が大面積に安定に作れる、優れた磁気特性を有する、
磁気的に安定である、アモルファス構造のため粒界ノイ
ズがない等の多くの利点があるにもかかわらず、希土類
元素および鉄族元素は本来耐環境性について問題があり
、酸化。
ルファス合金薄膜は、書込み感度が高い、垂直磁気異方
性が大面積に安定に作れる、優れた磁気特性を有する、
磁気的に安定である、アモルファス構造のため粒界ノイ
ズがない等の多くの利点があるにもかかわらず、希土類
元素および鉄族元素は本来耐環境性について問題があり
、酸化。
腐食１分解等が生じやすく、それらの合金においても同
様である。さらに、長期安定性にも問題があり、経時変
化（磁気特性の劣化、カー回転角の減少等）が生じるた
め、書込まれた信号の状態が変化し、エラーやＳＮ比が
減少するという欠点を有している。
様である。さらに、長期安定性にも問題があり、経時変
化（磁気特性の劣化、カー回転角の減少等）が生じるた
め、書込まれた信号の状態が変化し、エラーやＳＮ比が
減少するという欠点を有している。
又、従来の希土類元素と鉄族元素とからなるアモルファ
ス合金薄膜は、読出し特性であるＳＮ比が実用上十分と
は言えず、記録媒体の利用範囲を制約するという欠点も
有していた。
ス合金薄膜は、読出し特性であるＳＮ比が実用上十分と
は言えず、記録媒体の利用範囲を制約するという欠点も
有していた。
そこで本発明は、このような従来の欠点を除去し、耐環
境性に優れ安定性が良いために経時変化が少なく長期間
安定で、且つ記録再生特性に優れた光磁気記録媒体を提
供する。
境性に優れ安定性が良いために経時変化が少なく長期間
安定で、且つ記録再生特性に優れた光磁気記録媒体を提
供する。
上記問題点を解決するために本発明は、希土類元素であ
るＮｄと鉄族元素とを含むアモルファス合金薄膜に、添
加元素としてＡｕ、Ａｇ、Ｐｔ。
るＮｄと鉄族元素とを含むアモルファス合金薄膜に、添
加元素としてＡｕ、Ａｇ、Ｐｔ。
Ｐｄの一種又は二種以上の元素を加えることによって、
経時変化が少なく長期安定性に優れ、且つ記録再生特性
を向上させた光磁気記録媒体を提供することを可能とし
たものである。
経時変化が少なく長期安定性に優れ、且つ記録再生特性
を向上させた光磁気記録媒体を提供することを可能とし
たものである。
本発明における光磁気記録媒体は、次式に示される合金
の組成式において、 ＮｄαＭβＮγ ＭはＦｅ、Ｃｏが一種又は二種であり、ＮはＡｕ、Ａｇ
、Ｐｔ、Ｐｄが一種又は二種以上の元素であり １６≦α≦３０ ６０≦β≦８４ ０．５ ≦γ≦１０ α＋β十Ｔ＝１００ で表される組成範囲をもつアモルファス合金薄膜を形成
することにより、経時変化の少ない長期安定性に優れ、
且つ記録再生特性に優れた光磁気記録媒体が得られる。
の組成式において、 ＮｄαＭβＮγ ＭはＦｅ、Ｃｏが一種又は二種であり、ＮはＡｕ、Ａｇ
、Ｐｔ、Ｐｄが一種又は二種以上の元素であり １６≦α≦３０ ６０≦β≦８４ ０．５ ≦γ≦１０ α＋β十Ｔ＝１００ で表される組成範囲をもつアモルファス合金薄膜を形成
することにより、経時変化の少ない長期安定性に優れ、
且つ記録再生特性に優れた光磁気記録媒体が得られる。
上記組成式で示される本発明の光磁気記録媒体は、磁化
容易軸が膜面に垂直な方向に向くだけの十分な垂直磁気
異方性を持たなければならない。
容易軸が膜面に垂直な方向に向くだけの十分な垂直磁気
異方性を持たなければならない。
このためにはまず、薄膜をアモルファス構造で構成する
必要があるが、これにはスパッタリング法、真空蒸着法
１分子線エピタキシー法、メッキ法などのｆ！膜作製法
によって達成することができる。
必要があるが、これにはスパッタリング法、真空蒸着法
１分子線エピタキシー法、メッキ法などのｆ！膜作製法
によって達成することができる。
又、本発明の合金薄膜のアモルファス形成範囲は合金組
成によっても制限され、ＮｄＩが１６〜３０原子パーセ
ントの組成範囲にあるときにアモルファス構造をとる。
成によっても制限され、ＮｄＩが１６〜３０原子パーセ
ントの組成範囲にあるときにアモルファス構造をとる。
ＦｅあるいはＣＯの組成範囲を６０〜８４原子パーセン
トとしたのは、同様にこの組成範囲内において垂直磁気
異方性とアモルファス構造を合わせ持つことができる。
トとしたのは、同様にこの組成範囲内において垂直磁気
異方性とアモルファス構造を合わせ持つことができる。
添加元素であるＡｕ、Ａｇ、Ｐｔ、ＰｄＯ量を０．５〜
１０原子パーセン・トとしたのは、０．５原子パーセン
トより少ないと添加効果、・特に耐食性と磁気特性に効
果が見られなくなる。又、１０原子パーセントより多い
量の添加は磁気特性が低下するので望ましくない。
１０原子パーセン・トとしたのは、０．５原子パーセン
トより少ないと添加効果、・特に耐食性と磁気特性に効
果が見られなくなる。又、１０原子パーセントより多い
量の添加は磁気特性が低下するので望ましくない。
（実施例〕
以下に本発明を実施例に基づいて説明する。
これらの磁性膜は、スパンタ法により作製したが、真空
蒸着法、イオンブレーティング、ＭＢＥなどその他の物
理的気相成長法によっても作製することができる。基板
には、ガラスあるいはポリカーボネイトなどの有機系透
明体を用いた。
蒸着法、イオンブレーティング、ＭＢＥなどその他の物
理的気相成長法によっても作製することができる。基板
には、ガラスあるいはポリカーボネイトなどの有機系透
明体を用いた。
〔実施例１〕
第１図はＮｄＦｅ合金にＡｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄを添加
した時の添加量とカー回転角との関係を示したものであ
る。横軸は各添加元素の添加量を示し、縦軸はカー回転
角の相対値で、添加元素を加えないＮｄ２゜Ｆｅ、。合
金のカー回転角θｋを基準としてこれに添加元素を加え
た時のカー回転角θｋ （Ｎ）を比較したものである。
した時の添加量とカー回転角との関係を示したものであ
る。横軸は各添加元素の添加量を示し、縦軸はカー回転
角の相対値で、添加元素を加えないＮｄ２゜Ｆｅ、。合
金のカー回転角θｋを基準としてこれに添加元素を加え
た時のカー回転角θｋ （Ｎ）を比較したものである。
図より明らかなようにＡｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄを添加す
るとカー回転角が上昇する。この効果は添加量が１０パ
一セント程度まで現れる。又、Ｐ ｔとＡｕを添加した
時に効果が著しいことがわかった。
るとカー回転角が上昇する。この効果は添加量が１０パ
一セント程度まで現れる。又、Ｐ ｔとＡｕを添加した
時に効果が著しいことがわかった。
第１図ではＮｄ１ｌが２０パーセントの時の結果を示し
ているが、Ｎｄ量が１６パーセントから３０パーセント
の範囲では第１図と同様にＡｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄの各
添加元素の効果によりカー回転角が大きくなるという結
果も得られている。
ているが、Ｎｄ量が１６パーセントから３０パーセント
の範囲では第１図と同様にＡｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄの各
添加元素の効果によりカー回転角が大きくなるという結
果も得られている。
〔実施例２〕
第２図はＮｄｔ＊ （Ｆｅｓｓｃｏ＋５）ｂａＮｓ合金
を８０℃、湿度９５％の環境中に放置した時のカー回転
角の経時変化を示したものである。比較のためＡｕ、Ａ
ｇ、Ｐｔ、ｐｄを添加しないＮｄ、、（ＦｅｓｓＣｏ
＋ｓ） ｑｔ金合金結果も示しである。
を８０℃、湿度９５％の環境中に放置した時のカー回転
角の経時変化を示したものである。比較のためＡｕ、Ａ
ｇ、Ｐｔ、ｐｄを添加しないＮｄ、、（ＦｅｓｓＣｏ
＋ｓ） ｑｔ金合金結果も示しである。
図より各元素の添加により経時変化に対して十分効果を
発揮して劣化をおさえていることがわかる。ここではＮ
ｄＦｅＣｏ合金についての結果を示したが、ＮｄＦｅ合
金についても同様の効果が確認された。又、ＮｄＦｅＣ
ｏ合金に添加する場合には各元素について１０パーセン
トまでの添加量では、添加量が増大するほど経時変化に
対して効果があることがわかった。さらに１０パーセン
ト以上の添加の場合にも同様に経時変化に対する効果は
増大するが、他の特性例えば光磁気効果は減少するので
添加量には限度がある。
発揮して劣化をおさえていることがわかる。ここではＮ
ｄＦｅＣｏ合金についての結果を示したが、ＮｄＦｅ合
金についても同様の効果が確認された。又、ＮｄＦｅＣ
ｏ合金に添加する場合には各元素について１０パーセン
トまでの添加量では、添加量が増大するほど経時変化に
対して効果があることがわかった。さらに１０パーセン
ト以上の添加の場合にも同様に経時変化に対する効果は
増大するが、他の特性例えば光磁気効果は減少するので
添加量には限度がある。
〔実施例３〕
第３図は本発明のＮｄ （ＦｓＣｏ）Ｐｔ合金と従来の
Ｎｄ （ＦｅＣｏ）合金について、性能指数とＮｄ量と
の関係を示したものである。Ｎｄ （ＦｅＣｏ）合金に
比べてｐｔを４パーセント添加した合金では性能指数が
Ｎｄ量１６バーセントから３０パーセントの全範囲で向
上していることがわかる。
Ｎｄ （ＦｅＣｏ）合金について、性能指数とＮｄ量と
の関係を示したものである。Ｎｄ （ＦｅＣｏ）合金に
比べてｐｔを４パーセント添加した合金では性能指数が
Ｎｄ量１６バーセントから３０パーセントの全範囲で向
上していることがわかる。
以上説明したように、本発明は次式で示される組成式に
おいて、 ＮｄαＭβＮγ ＭはＦｅ、Ｃｏの一種又は二種であり、ＮはＡｕ、Ａｇ
、ＰＬ、Ｐｄが一種又は二種以上の元素である時 １６≦α≦３０ ６０≦β≦８４ ０．５≦γ≦１０ α＋β＋γ−１００ で表されるアモルファス合金薄膜は、経時変化の少ない
長期安定性に優れ、且つ記録再生特性に優れた光磁気記
録媒体を提供できる。
おいて、 ＮｄαＭβＮγ ＭはＦｅ、Ｃｏの一種又は二種であり、ＮはＡｕ、Ａｇ
、ＰＬ、Ｐｄが一種又は二種以上の元素である時 １６≦α≦３０ ６０≦β≦８４ ０．５≦γ≦１０ α＋β＋γ−１００ で表されるアモルファス合金薄膜は、経時変化の少ない
長期安定性に優れ、且つ記録再生特性に優れた光磁気記
録媒体を提供できる。
第１図はＮｄＦｅ合金にＡｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄを添加
した時の添加量とカー回転角との関係を示した図、第２
図はＮｄＦｅＣｏにＡｕ、 Ａｇ。 Ｐｔ、Ｐｄを添加した合金を８０℃、湿度９５％の環境
中に放置した時の放置時間とカー回転角との関係を示し
た図、第３図は本発明のＮｄＦｅＣｏ。 Ｐｔ合金と従来のＮｄＦｅＣｏ合金とについて、性能指
数とＮｄ量との関係を示した図である。 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 ｔ’Ｊ’ｌ”７０ｔＸ （ａｔｏｌｏ）Ｎｄ２０Ｆｅ
ｄ□Ａｆｔ＝Ｎ”ｉ重加ＩＴ＝ヒさの重加ｔとカー回＄
内ヒの閘イネをホ（ｎ国 策１図 −Ｎｄ２Ｂ（Ｆｅ８５ｃＯ１５）６４Ｎ８放置時間 （
時間） 〃−回重乙轡とか畳ｔｖｔ−閣との関イ系Σホ（゛斥図
第２図 Ｎｄ ｔ ｘ （ａｔ’／ａ） ４壇籠指壇欠とＮｄ量との関イ禾１示しぽ図第３図
した時の添加量とカー回転角との関係を示した図、第２
図はＮｄＦｅＣｏにＡｕ、 Ａｇ。 Ｐｔ、Ｐｄを添加した合金を８０℃、湿度９５％の環境
中に放置した時の放置時間とカー回転角との関係を示し
た図、第３図は本発明のＮｄＦｅＣｏ。 Ｐｔ合金と従来のＮｄＦｅＣｏ合金とについて、性能指
数とＮｄ量との関係を示した図である。 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 ｔ’Ｊ’ｌ”７０ｔＸ （ａｔｏｌｏ）Ｎｄ２０Ｆｅ
ｄ□Ａｆｔ＝Ｎ”ｉ重加ＩＴ＝ヒさの重加ｔとカー回＄
内ヒの閘イネをホ（ｎ国 策１図 −Ｎｄ２Ｂ（Ｆｅ８５ｃＯ１５）６４Ｎ８放置時間 （
時間） 〃−回重乙轡とか畳ｔｖｔ−閣との関イ系Σホ（゛斥図
第２図 Ｎｄ ｔ ｘ （ａｔ’／ａ） ４壇籠指壇欠とＮｄ量との関イ禾１示しぽ図第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有するアモルファス合
金薄膜において、合金の組成式が原子分率で Ｎｄ＿αＭ＿βＮ＿γ １６≦α≦３０ ６０≦β≦８４ ０．５≦γ≦１０ α＋β＋γ＝１００ のように表される時、ＭはＦｅ、Ｃｏが一種又は二種で
あり、ＮはＡｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄが一種又は二種以上
であることを特徴とする光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2425387A JPS63191340A (ja) | 1987-02-04 | 1987-02-04 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2425387A JPS63191340A (ja) | 1987-02-04 | 1987-02-04 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63191340A true JPS63191340A (ja) | 1988-08-08 |
Family
ID=12133083
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2425387A Pending JPS63191340A (ja) | 1987-02-04 | 1987-02-04 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63191340A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100445083B1 (ko) * | 2000-12-26 | 2004-08-21 | 가부시키가이샤 고베 세이코쇼 | 광정보 기록매체용 반사층 또는 반투명 반사층, 광정보기록매체 및 광정보 기록매체용 스퍼터링 타겟 |
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1987
- 1987-02-04 JP JP2425387A patent/JPS63191340A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100445083B1 (ko) * | 2000-12-26 | 2004-08-21 | 가부시키가이샤 고베 세이코쇼 | 광정보 기록매체용 반사층 또는 반투명 반사층, 광정보기록매체 및 광정보 기록매체용 스퍼터링 타겟 |
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