JPS63191339A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPS63191339A JPS63191339A JP2425287A JP2425287A JPS63191339A JP S63191339 A JPS63191339 A JP S63191339A JP 2425287 A JP2425287 A JP 2425287A JP 2425287 A JP2425287 A JP 2425287A JP S63191339 A JPS63191339 A JP S63191339A
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Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有し、光を
介して反転磁区を作ることにより情報を記録し、磁気光
学効果（カー効果）を利用して読みだすことのできる光
磁気記録媒体に関するものである。
介して反転磁区を作ることにより情報を記録し、磁気光
学効果（カー効果）を利用して読みだすことのできる光
磁気記録媒体に関するものである。
本発明の光磁気記録媒体においては、膜面に垂直な方向
に磁化容易軸を有する非晶質磁性薄膜で、合金の組成が
、ＭをＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉの１種以上の元素とし、ＲをＡ
ｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄの１種以上の元素としたときに、 ＰｒｃｔＭβＲｒ で表され、合金組成範囲が５． １４≦α≦３０． ６０≦β≦８５゜０．１≦Ｔ≦１
０．α＋β＋ｒ ＝ １００ （ａｔ％）であるとき、
カー回転角が大きく、反射率も高いため、特に再生特性
にすぐれ、かつ、耐環境性の良い光磁気記録媒体が得ら
れる。
に磁化容易軸を有する非晶質磁性薄膜で、合金の組成が
、ＭをＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉの１種以上の元素とし、ＲをＡ
ｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄの１種以上の元素としたときに、 ＰｒｃｔＭβＲｒ で表され、合金組成範囲が５． １４≦α≦３０． ６０≦β≦８５゜０．１≦Ｔ≦１
０．α＋β＋ｒ ＝ １００ （ａｔ％）であるとき、
カー回転角が大きく、反射率も高いため、特に再生特性
にすぐれ、かつ、耐環境性の良い光磁気記録媒体が得ら
れる。
従来、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有し、かつレー
ザー光により情報を書き込み・読み出せる磁性１１牌合
金としては、ＭｎＢ１に代表される多結、高合金！膜、
ＧＩＧに代表される単結晶薄膜、そして希土類元素と鉄
族元素による非晶質合金薄膜があるが、この非晶質合金
薄膜が大面積の薄膜と室温付近の温度で製作する膜作製
性、信号を小さな光熱エネルギーで書き込むための書き
込み効率、読み出し効率等が一番すぐれており、実用上
置も良い材料として注目されている。たとえば、特開昭
５８−１９６６３９号公報には、このような非晶質合金
薄膜のうち、Ｇｄ−Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃ０の４元系非晶質磁
性合金薄膜が開示されている。
ザー光により情報を書き込み・読み出せる磁性１１牌合
金としては、ＭｎＢ１に代表される多結、高合金！膜、
ＧＩＧに代表される単結晶薄膜、そして希土類元素と鉄
族元素による非晶質合金薄膜があるが、この非晶質合金
薄膜が大面積の薄膜と室温付近の温度で製作する膜作製
性、信号を小さな光熱エネルギーで書き込むための書き
込み効率、読み出し効率等が一番すぐれており、実用上
置も良い材料として注目されている。たとえば、特開昭
５８−１９６６３９号公報には、このような非晶質合金
薄膜のうち、Ｇｄ−Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃ０の４元系非晶質磁
性合金薄膜が開示されている。
希土類元素とＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉの鉄族元素の組み合わせ
から成る非晶質合金薄膜は、膜面と垂直な方向に磁化容
易軸を存し、Ｓ極あるいはＮ極に一様に磁化された膜面
内に逆向きの小さなスポット状の反転磁区を作ることが
できる。この反転磁区の有無を（１）、 （０）に対
応させることにより、このような磁性薄膜を高密度の磁
気記録媒体として用いることができる。このような磁性
薄膜のうち、室温にて大きな保磁力ををし、かつ、キュ
リ一点または磁気的補償温度が比較的室温に近い薄膜は
、キュリ一点または磁気的補償温度を利用して光ビーム
により、任意の位置に反転磁区を作ることができる。こ
れを利用することによって情報を記録することが可能で
あり、ディスク・テープ・シート状の光磁気記録媒体と
して利用することが可能である。次に読みだす方法は、
こうして反転記録した媒体に対して、磁気カー効果やフ
ァラデー効果を利用して行う。具体的には、記録媒体に
書き込む時の強度よりも弱い偏光されたレーザー光を照
射して、磁化の向きに応じて偏向面が回転することを利
用し、その反射光を検光子を通して検出すると、明暗の
２植体号として検出することができる。
から成る非晶質合金薄膜は、膜面と垂直な方向に磁化容
易軸を存し、Ｓ極あるいはＮ極に一様に磁化された膜面
内に逆向きの小さなスポット状の反転磁区を作ることが
できる。この反転磁区の有無を（１）、 （０）に対
応させることにより、このような磁性薄膜を高密度の磁
気記録媒体として用いることができる。このような磁性
薄膜のうち、室温にて大きな保磁力ををし、かつ、キュ
リ一点または磁気的補償温度が比較的室温に近い薄膜は
、キュリ一点または磁気的補償温度を利用して光ビーム
により、任意の位置に反転磁区を作ることができる。こ
れを利用することによって情報を記録することが可能で
あり、ディスク・テープ・シート状の光磁気記録媒体と
して利用することが可能である。次に読みだす方法は、
こうして反転記録した媒体に対して、磁気カー効果やフ
ァラデー効果を利用して行う。具体的には、記録媒体に
書き込む時の強度よりも弱い偏光されたレーザー光を照
射して、磁化の向きに応じて偏向面が回転することを利
用し、その反射光を検光子を通して検出すると、明暗の
２植体号として検出することができる。
しかし、上述した非晶質合金磁性薄膜は、書き込み感度
が高い・垂直の磁気異方性が大面積で安定して作れる・
優れた磁気特性を有する・磁気的に安定である・キュリ
一点が低いため少ない光（熱）エネルギーで書き込める
等の多くの利点があるにもかかわらず、Ｓ／Ｎ比は充分
な値が得られないという欠点があった０反射光による読
み出しＳ／Ｎは、反射率Ｒｅ、カー回転角をθ、とする
と、Ｒｅ、 θ、に比例する。従って、Ｓ／Ｎ比良く読
み出すためには、反射率を大きくし、カー回転角を大き
くすればよい。
が高い・垂直の磁気異方性が大面積で安定して作れる・
優れた磁気特性を有する・磁気的に安定である・キュリ
一点が低いため少ない光（熱）エネルギーで書き込める
等の多くの利点があるにもかかわらず、Ｓ／Ｎ比は充分
な値が得られないという欠点があった０反射光による読
み出しＳ／Ｎは、反射率Ｒｅ、カー回転角をθ、とする
と、Ｒｅ、 θ、に比例する。従って、Ｓ／Ｎ比良く読
み出すためには、反射率を大きくし、カー回転角を大き
くすればよい。
さらに、従来の非晶質合金磁性薄膜に於いて、希土類元
素およびＦ ａ ＋ Ｃｏ ＋ Ｎ ｉ等は、本来耐
環境性に対して弱く、酸化１分解、腐食等が生じやすく
、合金についても同様である。長期安定性にも問題があ
り、経時変化（反射率の低下、カー回転角の減少等）が
生じるため、書き込まれた信号の状態が変化し、エラー
を生じやすいという欠点があった。
素およびＦ ａ ＋ Ｃｏ ＋ Ｎ ｉ等は、本来耐
環境性に対して弱く、酸化１分解、腐食等が生じやすく
、合金についても同様である。長期安定性にも問題があ
り、経時変化（反射率の低下、カー回転角の減少等）が
生じるため、書き込まれた信号の状態が変化し、エラー
を生じやすいという欠点があった。
上記問題点を解決するために、本発明はＰｒを含む非晶
質磁性薄膜合金に、さらにＡｕ、Ａｇ。
質磁性薄膜合金に、さらにＡｕ、Ａｇ。
Ｐｔ、Ｐｄ等の貴金属を添加することによって、Ｓ／Ｎ
比が良く再生特性に優れ、経時変化の少ない光磁気記録
媒体を提供することを可能にしたものである。
比が良く再生特性に優れ、経時変化の少ない光磁気記録
媒体を提供することを可能にしたものである。
（作用〕
本発明に係わる光磁気記録媒体に於いては、次に示す式
％式％
Ｍ：Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉの１種以上の元素。
Ｒ：Ａｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄの１種以上の元素。
１４≦α≦３０゜
６０≦β≦８５゜
０ 、 １ ≦ γ ≦ ＩＱ、 α ＋ β ＋
ｙ＝１００（ａｔχ）で表された組成を持つ非晶質磁
性薄膜を形成することにより、反射率やカー回転角が大
きく、耐環境性にすぐれた光磁気記録媒体を得ることが
できる。
ｙ＝１００（ａｔχ）で表された組成を持つ非晶質磁
性薄膜を形成することにより、反射率やカー回転角が大
きく、耐環境性にすぐれた光磁気記録媒体を得ることが
できる。
また、本発明の上記組成法で示された光磁気記録媒体は
、磁化容易軸が膜面に垂直な方向に向けられるだけの十
分な磁気異方性を持たなければいけない。このためには
まず、薄膜を非晶質で構成する必要があり、これは、ス
パッタリング法あるいは真空蒸着法などによって薄膜を
作製することにより達成される。また、本発明の合金薄
膜のアモルファス形成範囲は合金組成によっても制限さ
れる。すなわち、Ｐｒｌが１４〜３０ａｔ％のとき、ア
モルファス構造をとり得る。Ｐｒ１ｌがこの範囲にない
ものは、アモルファス構造を持たないので光磁気媒体と
しては不適当である。Ｆｅ、Ｃｏ。
、磁化容易軸が膜面に垂直な方向に向けられるだけの十
分な磁気異方性を持たなければいけない。このためには
まず、薄膜を非晶質で構成する必要があり、これは、ス
パッタリング法あるいは真空蒸着法などによって薄膜を
作製することにより達成される。また、本発明の合金薄
膜のアモルファス形成範囲は合金組成によっても制限さ
れる。すなわち、Ｐｒｌが１４〜３０ａｔ％のとき、ア
モルファス構造をとり得る。Ｐｒ１ｌがこの範囲にない
ものは、アモルファス構造を持たないので光磁気媒体と
しては不適当である。Ｆｅ、Ｃｏ。
Ｎｉを合わせた組成範囲を６０〜８５ａｔ％としたのは
、同様に、この組成範囲で垂直磁気異方性とアモルファ
ス構造を合わせ持つことができ、光磁気特性が得られる
からである。さらに添加元素であるＡｕ、Ａｇ、Ｐｄ、
Ｐｔの量を０．１〜１０ａｔ％としたのは、Ｏ，ｌａｔ
％以下であると、添加効果がみられなくなり、１０ａｔ
％を超えると、磁気特性が低下するためである。
、同様に、この組成範囲で垂直磁気異方性とアモルファ
ス構造を合わせ持つことができ、光磁気特性が得られる
からである。さらに添加元素であるＡｕ、Ａｇ、Ｐｄ、
Ｐｔの量を０．１〜１０ａｔ％としたのは、Ｏ，ｌａｔ
％以下であると、添加効果がみられなくなり、１０ａｔ
％を超えると、磁気特性が低下するためである。
以下にこの発明を実施例にもとづいて説明する。
これらの磁性膜はスパッタリング法により作製したが、
真空蒸着法・イオンブレーティング法などその他の物理
的ペイバーディポジション法によっても作製することが
できる。
真空蒸着法・イオンブレーティング法などその他の物理
的ペイバーディポジション法によっても作製することが
できる。
基板は、ガラスあるいは有機系透明体を用いる。
ターゲットは、円板上のＦｅターゲット上に１０ＸＩＯ
ＸＩ龍角のＣｏ、Ｐｒ、ＰＬ等を載せる複合ターゲット
を使用した。
ＸＩ龍角のＣｏ、Ｐｒ、ＰＬ等を載せる複合ターゲット
を使用した。
第１図にＰ ｒｏ、ｇｓ （Ｆ ｅｏ、＊ Ｃｏｏ、ｚ
） ｏ、ｔｓニＡｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄを添加したと
きの組成とカー回転角の関係を示す。いずれの場合もほ
ぼ数％でピークを持ち、ｐｔでは１０％はどのθえの向
上が認められた。Ａｕ、Ａｇはややθヤが向上し、Ｐｄ
ではピークを過ぎてからθ、が減少している。
） ｏ、ｔｓニＡｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄを添加したと
きの組成とカー回転角の関係を示す。いずれの場合もほ
ぼ数％でピークを持ち、ｐｔでは１０％はどのθえの向
上が認められた。Ａｕ、Ａｇはややθヤが向上し、Ｐｄ
ではピークを過ぎてからθ、が減少している。
第２図にＰ ｒｏ、ｔｓ （Ｆ ｅ、 Ｃｏ、 Ｎ
ｉ） ｏ、ｒｓにＰｔを添加したときの反射率Ｒと添加
量との関係を示す。Ｆ ｅ ＋ Ｃｏ ｒ Ｎ ｉの
組成を変化させたときのデータを４種顕示しである。こ
の図かられかるように、いずれの場合も多少の違いはあ
るが、反射率が向上している。
ｉ） ｏ、ｒｓにＰｔを添加したときの反射率Ｒと添加
量との関係を示す。Ｆ ｅ ＋ Ｃｏ ｒ Ｎ ｉの
組成を変化させたときのデータを４種顕示しである。こ
の図かられかるように、いずれの場合も多少の違いはあ
るが、反射率が向上している。
第３図に、Ｐｒの組成率を変えた場合の、貴金属添加量
とカー回転角の関係を示す。Ｐｒ１ｌにかかわらず、カ
ー回転角が向上していることがわか第４図に、Ｐ ｒｏ
、ｚ （Ｆ ｅｏ、ａ Ｃｏｏ、ｚ）ｏ、ｓ合金に、
Ａｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄの貴金属元素を添加した時の反
射率Ｒと添加量の関係を示す、各元素添加の場合とも反
射率が上昇し、特にｐｔとＡｇを添加したときに反射率
の向上が大きい。
とカー回転角の関係を示す。Ｐｒ１ｌにかかわらず、カ
ー回転角が向上していることがわか第４図に、Ｐ ｒｏ
、ｚ （Ｆ ｅｏ、ａ Ｃｏｏ、ｚ）ｏ、ｓ合金に、
Ａｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄの貴金属元素を添加した時の反
射率Ｒと添加量の関係を示す、各元素添加の場合とも反
射率が上昇し、特にｐｔとＡｇを添加したときに反射率
の向上が大きい。
第５図に、Ｐ ｒｏ、ｚ （Ｆ ｅａ、ｓ ＣＯ＋、
ｚ）ｏ、ｓ合金に、Ａｕ、Ａｇ、ＰＬ、Ｐｄのいずれか
を０．０５％程添加し、８０℃、湿度９５％の環境中に
放置したときのθ、の経時変化を示す、この図から、Ａ
ｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄの貴金属元素を少量添加すること
により、経時変化に対して十分効果を発揮し、劣化をお
さえられることがわかる。
ｚ）ｏ、ｓ合金に、Ａｕ、Ａｇ、ＰＬ、Ｐｄのいずれか
を０．０５％程添加し、８０℃、湿度９５％の環境中に
放置したときのθ、の経時変化を示す、この図から、Ａ
ｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄの貴金属元素を少量添加すること
により、経時変化に対して十分効果を発揮し、劣化をお
さえられることがわかる。
この発明は以上に説明したように、ＲをＡｕ。
Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄの１種以上の元素とし、ＭをＦｅ、Ｃ
ｏ、Ｎｉの１種以上の元素としたときに、組成式がＰｒ
αＭβＲｒで表され、合金の組成範囲が、１４≦α≦３
０．６０≦β≦８５． ０． ０１≦γ≦１０．α＋β
十ｒ−１００（ａｔχ）であるような合金により、光磁
気記録の再生Ｓ／Ｎ比が良く、経時変化の少ない長期保
存性に優れた光磁気記録媒体を提供することができる。
ｏ、Ｎｉの１種以上の元素としたときに、組成式がＰｒ
αＭβＲｒで表され、合金の組成範囲が、１４≦α≦３
０．６０≦β≦８５． ０． ０１≦γ≦１０．α＋β
十ｒ−１００（ａｔχ）であるような合金により、光磁
気記録の再生Ｓ／Ｎ比が良く、経時変化の少ない長期保
存性に優れた光磁気記録媒体を提供することができる。
第１図は、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄの貴金属元素を添加
した場合の添加量とカー回転角の関係を示す図、 第２図は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉの組成を変化させた場合の
、ｐｔの添加量と反射率との関係を示す図、 第３図は、Ｐｒの組成量を変えた場合の、貴金属元素の
添加量と反射率との関係を示す図、第４図は、Ａｕ、Ａ
ｇ、Ｐｔ、Ｐｄの貴金属元素を添加した場合の、添加量
と反射率の関係を示す図、 第５図は、本発明にかかる合金のカー回転角の経時変化
を示す図である。 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 ＜ ６ ０ＩｅＫ（潰全崗
参７７ｒ：’ ）／ｅｙ ｌ′５Ｉｒ！−１と〃−ロ令
１町ψＭ腎朱１示Ｔ図第３図 第４囚
した場合の添加量とカー回転角の関係を示す図、 第２図は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉの組成を変化させた場合の
、ｐｔの添加量と反射率との関係を示す図、 第３図は、Ｐｒの組成量を変えた場合の、貴金属元素の
添加量と反射率との関係を示す図、第４図は、Ａｕ、Ａ
ｇ、Ｐｔ、Ｐｄの貴金属元素を添加した場合の、添加量
と反射率の関係を示す図、 第５図は、本発明にかかる合金のカー回転角の経時変化
を示す図である。 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 ＜ ６ ０ＩｅＫ（潰全崗
参７７ｒ：’ ）／ｅｙ ｌ′５Ｉｒ！−１と〃−ロ令
１町ψＭ腎朱１示Ｔ図第３図 第４囚
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する非晶質合金で、
一般式が、ＭをＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉの１種以上の元素とし
、ＲをＡｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄの１種以上の元素とした
ときに、 Ｐｒ＿αＭ＿βＲ＿γ で示され、合金の組成範囲が、 １４≦α≦３０、６０≦β≦８５、 ０．１≦γ≦１０、α＋β＋γ＝１００（ａｔ％）にて
示される組成を有することを特徴とした光磁気記録媒体
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2425287A JPS63191339A (ja) | 1987-02-04 | 1987-02-04 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2425287A JPS63191339A (ja) | 1987-02-04 | 1987-02-04 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63191339A true JPS63191339A (ja) | 1988-08-08 |
Family
ID=12133055
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2425287A Pending JPS63191339A (ja) | 1987-02-04 | 1987-02-04 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63191339A (ja) |
-
1987
- 1987-02-04 JP JP2425287A patent/JPS63191339A/ja active Pending
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