JPS6153703A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、膜面と垂直な方向に磁化容易軸？有し、元を
介して反転磁区を作ることにより情報を記録し、磁気光
学効果（カー効果）全利用して読み出すことのできる光
磁気記録媒体に関するものである。

〔従来の技術〕

一般に、膜面と垂直な方向に磁化容易軸？有する磁性薄
膜をガラス、ＰＯ１ＰＭＭＡ基板面上に形成させ、キュ
リ一点あるいは、磁気的補償温度を利用して元ビームに
よシ反転出区全作ることに工って情報で記録させ、記録
させた情報を磁気光学効果を利用して読み出す光磁気記
録が知られている。

従来、膜面と垂直な方向に０６化容易＠を有する非晶質
磁性薄膜材料は、希土類と鉄族元素との組み合せ力・ら
なシ光破気記碌媒体として進められている。

上記の非晶質磁性薄膜材料とじてに、Ｐ。

ＣｈａｕａｈａｒｌらによるＡｐｐｌＰｈｙｅ、Ｌｅｔ
ｔ、　。

ＶｏＬ　２２（１９７３）Ｎα７，９５５７−５５９に
示されているＧ　６０　ｏ　、　Ｓ’ｈｕｎｓｕｋｅ、
ＭａｔｓｕｈＬｔａらによるＪａｐａｎ、Ｊ、Ａｐｐｌ
、Ｐｈｙｓ、、ＶｏＬ１５（１９７６）Ｎα４．Ｐ７１
３−７１４に示されているＴｂＦｅなどの希土類−鉄族
金属の組み合せより成る合金である。

これらの研究で明らかなように、ＴｂＦｅ等のＦｅ系合
金薄膜は、キュリ一温度？利用した記録方法であり；　
ＧｄＣｏ等のＣｏ系合金薄膜は、補償温度を利用した記
録方法で記録の原理が異なっている。

この中で補償温度記録を行なうＧｄＣｏ非晶質磁性薄膜
は、 （１）補償温度以上での保磁力の急激な減少全利用して
いるので書き込み感度が高い。

（２）耐酸化性にすぐれている。

（３）反射率がよい。

（４）　　キュＩＪ−ｉ度が高いため磁気カー効果によ
る読み出し信号が太きい。

などの実用上優れ７ｃ％徴に有している。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、室温にかける保磁力が小さく（３００〜５００
エルステツド）、記録されたビットがＦｅ系合金に比べ
て不安定であるという欠点に有している。

しかも、３００〜５００エルステツドの保持力を有する
非晶質磁性薄膜全作製するために砿組成全約１原子パー
セント以内に制御する必要があり作製の面でもかなυ困
難である。

また大きな保磁力に持つことができないので書き込みビ
ットが安定に存在する温度範囲すなわち使用温度範囲が
狭いという欠点があった。

そこで１本発明は従来のこのような欠点全解決し、小さ
なビット径が広い温度範囲にわたり安定に存在し、〃λ
つ均一な磁気特性をｔつ大面積の溝膜を提供すること２
目的としている。

〔問題を解決するための手段〕

上記の問題全解決する窺めにこの発明は、従来ＯＣｏ系
合金膜が補償温度以上での保持力の急激な減少を利用し
た情報の記録方式を膜面に垂直な　　　　１方向に磁化
容易ａＩＩｋ有する磁性薄膜で合金の組成式ｆ　（Ｔ　
”ｂ　ｘ　Ｏｏ　１−　ｘ）　】−Ｙ　Ｍ　ｘとしたと
き、ＭｌｄＲｅ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ。

Ｎｂ、Ｔａの一種以上で、かつ合金の組成範囲が０．１
≦Ｘ≦０．４　、０．０１≦Ｙ≦Ｑ、２５とすることに
より、キュリ一温度を利用しｔ情報の記録方式とし使用
することを可能とした。

〔作用〕

Ｔｂ０ｏ膜ＵＴ　ｂ’ａ度が１８〜２５原子バー−（＝
ントのとき室温での保磁力が１０００エルステッド以上
であり、かつ補償温度が１００℃以下にあり膜面に垂Ｍ
な方向に磁化容易軸をもつがキュリａ　、’ｉｘは、こ
の膜が結晶化する温度（３５０〜４５０℃）よシも高く
迎常の方法では測定できないことが知られている。

従って、Ｔｂ０ｏ膜のキュリ一温度全適当な値Ｋ　＃ｌ
Ｊ御するために本発明では、第三元素としてＲｅ、Ｒｕ
、Ｒｈ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂのうち一種以上に
添加することを見いだした。

第６図は従来がら知られているＴｂ０ｏ膜におけるキュ
リ一温度、補償温度、結晶化温度のＴｂＡ匿との関係を
示している。第１図は、Ｔｂ２５原子パーセントのとき
、ＴＬ’ｚ添加した場合のものである。ＴＬｋｉ加する
ことにょ）キュリ一温度が制御でき、効果が現われてい
ることｔ示している。

〔実薙例〕

以下、この発明の実晦例にもとすいて説明する。

これらの膜は、スパッタリング法により作製したが真空
蒸着法、イオンブレーティング法などのその他の多くの
物理的ペイバーディポジション法によっても作製するこ
とができる。また基鈑には、ガラス、透明プラスチック
などに用いる。

第１図に示す二うに添加元素の量を調整することにより
キュリーτ島度Ｔｃを制御できる。まｔ添加量とともに
結晶化温度が上昇するｔめの熱的な膜の安定性も向上す
る。図面は、Ｔ１の例であるがＲｅ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｚｒ
、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂも同様の効果がみられる。さらにこれ
らの元素老複合させて添加することも効果がある。

第２図は室温で測定した補償組成付近の保−力ＨｃとＴ
ｂ纜度との関ｇ−を示したものである。

Ｔ１の添加は検出力Ｈｃｔ若干減少させるが、比取的広
い組成範囲にわたり保持力Ｈｃの大きな部分が存在し、
厘径１μｍ程度の微少ビットが安定に存在することがで
き光磁気記録媒体として優れてｂる。

〔発明の効果〕

この発明は以上説明したように、合金の組成式％式％ Ｎｂ、Ｔａのうち一種以上で、組成範囲が０．ｉ≦Ｘ≦
Ｑ、４０，０．０１≦Ｙ≦１２５のとき、キュリ一温度
？利用し７Ｃ記録が可能とな）小さなビット径が広い温
度範囲に２−）たり安定に存在し、均一な磁気特注ｔも
つ大面積の磁性薄膜老提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に刀）かる（ＴｂＸＣ０１−ｘ）１−
ＹＭＹの代表例を示す。すなわち、Ｍ＝Ｔ　Ｌ　。 Ｘ＝［１２５のときの添加量に対するキュリ一温度。 補償湯度、結晶ｆヒ温度との関係を示す。 第２図は’ｒｂｃｏとＴｂｃ！ＯＴ１とのＴｂ濃度と保
Ｓ力の関係？示す。 第５図はＴｌ）Ｃｏの場合のＴｋ）濃度とキュリ一温度
、補償温度、結晶化温度の関係士示す図である。 以上 出願人　セイコー電子工業株式会社 第１図 丁ｂ２５こＣ７５−Ｘ　ＴＬＸ ＴＬのＪ＞ｊｎ量Ｘ（ｑｔＶｏ） 第２図 袖′償組仄　（αｔｏ１０）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する磁性導膜で合金
   の組成が、 （ＴｂｘＣｏ＿１＿−＿ｘ）＿１＿−＿Ｙ＿Ｍ＿Ｙで表
   わされることを特徴とする光磁気記録媒体。 ここでＭは、Ｒｅ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ
   、Ｎｂ、Ｔａの一種以上であり、合金組成範囲は ０．１≦Ｘ≦０．４ ０．０１≦Ｙ≦０．２５ である。