JPS62132253A

JPS62132253A - 光磁気記録媒体

Info

Publication number: JPS62132253A
Application number: JP60271981A
Authority: JP
Inventors: Kunio Nakajima; 邦雄中島; Tadashi Sato; 正佐藤; Katsuhiko Yahagi; 矢萩　勝彦
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 1985-12-03
Filing date: 1985-12-03
Publication date: 1987-06-15

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、膜面と画亘な方向に磁化容易軸を有し、光を
介して反転磁区を作ることによシ情報をして読み出すこ
とのできる光磁気記録媒体に関するものでちる。

〔発明の概要〕

この発明は、膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有するＳ
性薄膜全透明基板上に形成させ、キュリ一点を利用して
光ビームによシ反軸磁区を作ることによって情報を記録
させ、記録させた情報を磁気光学効果（ファラデー効果
）を利用して読み出す光研気記録において、光磁気記録
媒体として、ファラデー回転角が大きく、キュリ一温度
が２００〜８００℃で記録感度が高く、シかも耐酸化。

腐食性にすぐれ、また透光性にすぐれた好適な金属酸化
物ＯｏＸＭｒＦ’＠ｚｏ。

Ｍは、Ｈｂ、Ｍｏ、Ｐｂ、’Ｐｔ、Ｐｄ、Ｄｒ。

ｎｏ、ｙ６の一種以上。

！−）−Ｙ−４−Ｚ　＝４０．５≦Ｘ≦２０．５≦Ｙ≦１．５０．５≦２≦２である組成を有する磁性薄膜を提供することである。

〔従来の技術〕

一般に、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有する磁性薄
膜をガラス、ＦＯ、ＰＭＭＡ基板面上に形成させ、キュ
リ一点あるいは、磁気的補償温度を利用して光ビームに
よる反転犯区を作ることによって情報を記録させ、記録
させた情報を磁気光学効果（ファラデー効果）を利用し
て読み出す光研Ｚ記録が知られている。

従来、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有する光磁気記
録媒体としては、多結晶体であるＭ％Ｂｉ系、ガーふッ
ト系、金属酸化物そして、希土類と鉄族元素との阻み合
せからなる非晶質合金等の研究が進められてきた。

後者の非晶質磁性薄膜材料としては、ＢｈｓｎｓＵＫ＃
　０Ｍａ＋８ｓｈｉ　ｔＧらによるＪ（ＬＰＯｎ。Ｊ　
、ＡｐｐＬ、’Ｉ’ｈｙｓ　、、マｏＬ１５（１９７６
）Ｎｏ、４，７７１８−７１４に示されているＴｂＦ’
−の希土類−鉄族元素の組み合せよ形成る合金などがあ
る。

ＴｂＦ、の非晶質合金は、上記研究でも明らかなように
キュリ一温度が１２０〜１５０℃で書き込みパワーが比
較的小さいこと、保磁力が数千エルステッドでビットの
安定性がよいなどの特徴を有している。

前者の多結晶体のＭｎＢ４系、ガーネット系、金属酸化
物系は、大きなカー回転角あるいはファテデー回転角を
有している。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、’ｒＨｒ１などの非晶質磁性薄膜は、磁気カー
効果が小さく読み出し信号が小さいこと、また酸化され
やすく保＠膜をつけるが、なお信頼性に欠ける。

また多結晶体であるＭ％Ｂ　＜系は、キュリ温度が８６
０℃と高く、書き込み時に必要な光のパワーが大きすぎ
る。また湿気の影響をうけや丁く膜質が変化しやすく信
頼性にかける。

ガーネット系は、均一な組成で大面積のディスクを作製
することがむずかしい。

金属酸化物系においては、特に０ＱＦＩ、Ｏ，では、キ
ュリ一温度が約５２０℃と高く、：！ｔき込み時の光パ
ワーが大きすぎる。

以上のような次点があった。

そこで、本発明は従来のこのような欠点を解決し、均一
な磁気特性をもつ大面積の薄膜形成ができ、記録感度が
高く、シかも耐酸化腐食および透光性に優れた光磁気配
Ｑ材料として特に好適な新規な金属酸化物磁性薄膜を提
供することを目的としている。

〔問題を解決するための手段〕

上記の問題点ｔ−解決するためにこの発明は、膜面に垂
直な方向に磁化容易軸を有する金属酸化物００ｘＭｒＦ
’＃ｚ０４ただし、Ｍは、Ｎｂ＃　”　Ｏ＃　’　”　Ｐ　”　ｊ
　”　＃Ｄ丁、Ｈｏ、Ｙｂの一種以上であシ、！−１−Ｙ＋Ｚ：４０．５≦Ｘ≦２０．５≦Ｙ≦１０゜５≦２≦２にすることにより、耐酸化腐食性および透光性に優れ、
かつ磁気光学性能指数の大きい新規な母性酸化物とする
ことができた。

〔作用〕

通常金属酸化物系であるＣ１ｏＦ’ｓ、Ｏ，は、キュリ
一温度が５００〜６００℃であり、また保磁力も室温で
３０００〜８０００エルステツドと大きいことが知られ
ている。

したがって、ａｔ）ｙｐ、、ｏ、膜のキュリ一温度を適
当な値に制御し、記録感度の高い、しかも耐酸化腐食２
よび透光性に優れた光磁気記録材料とするために本発明
では、コバルトおよび鉄原子のサイトを一部他元素で置
換することを見い出した、ただし、置換する元素として
は、Ｎｂ、Ｍｏ　。

？ｂ、Ｘ’ｔ、Ｐｄ、Ｄｒ、Ｈｏ、Ｙｂのうち一種以上
である。

第１図は、○ＯＦｇｇ　ｏ４ｆｔ基憩にしたときのコバ
ルトおよび鉄原子サイトの一部をＰｂ　、Ｍ。

、Ｐｄでｆ換した場合のキュリ点と置換元素の濃度との
関係を示したものである。　Ｐｂ　、ＭＯ、”ｆ’ｄと
もにキュリ一温度を制御することができ、効果があられ
れていることを示している。

〔実施例〕

以下この発明の実施例にもとすいて説明する。

こｎらの膜は、スパッタリング法によシ作製したが、そ
の他の多くの物理的ペイバーディポジション法によって
も作製することができる。ｔた基板には、ガラス等を用
いる。

スパッタリング法で行なう場合、基板温度は２００℃以
上とし、さらにスパッタ後熱処理ｔ−５００℃以上で行
なう。

第１図に示すように置換する元素の量を調整することに
よシキュリ一温度Ｔ−を制御することができる。Ｐ６．
ＭＯ，’Ｐｄともに原子比率１．５でキュリ一温度は、
２００〜２５０℃であシ適当な記録パワーとすることが
できる０図面は、′Ｐｂ、ＭＱ、Ｆ２Ｏ例で６るがＮｂ
、Ｐｔ、Ｄｙ、Ｔｌｏ、Ｙｂも同様な効果がみらｎる。

さらにとｎらの元素を複合させて置換することも効果が
ある。

第２図は、室温で測定した保磁力■−と置換元素の量と
の関係を示したものである。Ｆｂ、Ｍ。

、Ｆｄの置換は保磁力■−を若干減少させるが、置換量
が原子比率１．５で１０００エルステツドであり直径１
μ那程度の微少ビットが安定に存在することができ光磁
気記録先体としては十分である。

〔発明の効果〕

この発明は以上説明したように、一般式０式％ただしＭは、Ｎｂ　、Ｍ□　、！’ｂ、Ｐｔ、Ｐｄ　。

Ｄｙ、Ｔ１０．Ｙｂの一種以上であシ、Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＝４０．５≦Ｘ≦２０．５≦Ｙ≦１゜５０．５≦２≦２を満たす組成式を有するとき、耐酸化腐食性および透光
性に優れ、かつ記録感度の高い磁気光学性能指数の大き
な新規な磁性酸化物を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明にかかる、ＯｏｘＭτＦｇｉ０６の代
表例を示す。すなわち、Ｍ＝Ｐｂ、ＭＯ、ｐｄ、ｙ＝１
．５１での置換量に対するキュリ一温度の変化を示した
ものでちる。第２図は第１図同様にＭ＝＝Ｐｂ、Ｍｏ、Ｐｄ。Ｙ＝１．５までの置換量に対する保磁力の変化を示した
ものである。以上出願人　セイコー電子工業株式会社・′コ′ 代理人　弁理士　最　上　　　　務　゛（他１名）ＣｏｘＭｒＦｅｚ　０４　　ｉ’）イー１，２イ９１１
ｉン’ｆｆＲ”５ＴＪＺＪ第　１　　図

Claims

【特許請求の範囲】膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する磁性薄膜で一般
式が ▲数式、化学式、表等があります▼ で表わされることを特徴とする光磁気記録媒体。ただしＭは、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｆｂ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｄｒ、Ｈ
ｏ、Ｙｂの一種以上であり、Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＝４０．５≦Ｘ≦２０．６≦Ｙ≦１．５０．５≦Ｚ≦２を満たす組成を有する。