JPS6384866U - - Google Patents

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JPS6384866U
JPS6384866U JP17990486U JP17990486U JPS6384866U JP S6384866 U JPS6384866 U JP S6384866U JP 17990486 U JP17990486 U JP 17990486U JP 17990486 U JP17990486 U JP 17990486U JP S6384866 U JPS6384866 U JP S6384866U
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JP
Japan
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sem
electron gun
electron microscope
mirror body
inspection device
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JP17990486U
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  • Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図は
本考案の第二の実施例の構成図である。 １……鏡体（チヤンバー）、２……基板ステー
ジ、３……第１電子銃鏡筒、４……第２電子銃鏡
筒、５……ＬＯＡＤ用ロードロツク室、６……カ
セツトステージ、７……ウエーハ、８……カセツ
ト、９……真空ポンプ、１０……仕切りバルブ、
１１……ウエーハプツシヤー、１２……搬送ベル
ト、１３……ウエーハストツパ、１４……主バル
ブ、１５……ステージ回転上下機構、１６……二
次電子検出器、１７……ＵＮ ＬＯＡＤ用ロード
ロツク室、１８……搬送ベルト。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 走査電子顕微鏡と、前記電子顕微鏡の鏡体
    に隣接して設けられた、前記鏡体内に送り出すウ
    エーハの多数をセツトしたカセツトを収容するロ
    ードロツク室とを備えたことを特徴とするＳＥＭ
    型の外観検査装置。 (2) 上記電子顕微鏡の鏡体には複数の電子銃鏡
    筒を備えていることを特徴とする実用新案登録請
    求の範囲第１項に記載のＳＥＭ型の外観検査装置
    。 (3) 上記複数の電子銃鏡筒のうちの一つが測長
    用の電子銃鏡筒であることを特徴とする実用新案
    登録請求の範囲第２項に記載のＳＥＭ型の外観検
    査装置。
JP17990486U 1986-11-21 1986-11-21 Pending JPS6384866U (ja)

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JP17990486U JPS6384866U (ja) 1986-11-21 1986-11-21

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JPS6384866U true JPS6384866U (ja) 1988-06-03

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JP17990486U Pending JPS6384866U (ja) 1986-11-21 1986-11-21

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000040485A (ja) * 1991-05-30 2000-02-08 Kla Instr Corp 電子ビ―ム検査方法
WO2018020649A1 (ja) * 2016-07-29 2018-02-01 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5495189A (en) * 1978-01-13 1979-07-27 Toshiba Corp Electron beam light-exposure unit
JPS58123649A (ja) * 1982-01-18 1983-07-22 Toshiba Corp カセツト・ツ−・カセツト型走査電子顕微鏡
JPS61232545A (ja) * 1985-04-08 1986-10-16 Hitachi Ltd 走査電子顕微鏡を用いた半導体のパタ−ン面の観察装置

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