JPS6369471A - 振動波モ−タ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は振動体に発生させた進行性振動波によシ該振動
体に接する移動体を摩擦駆動する振動波モータの改良に
関するものである。

〔発明の背景〕

最近実用化されつつある、進行性振動波によって駆動す
る振動波モータの振動子の部分について公知の例を第３
図〜第６図の概略図とより説明する。

１はリング状の振動体であり、金属々どの弾性物質で出
来ている。２はリング板状の電歪素子、圧電素子、磁歪
素子など電気−機械エネルギー変換素子、例えばＰＺＴ
　（チタン酸ゾルコン酸鉛）であシ、以下電気−機械エ
ネルギー変換素子をＰＺＴで代表する。３３は下記に説
明する例えば、Ｃｕ　、　Ｎｉ　ｒ　Ａｇなどで出来て
いる電極膜であシ、印刷・蒸着などでリング状のＰＺＴ
板２の両面に着けられており、この場合、電極膜３はＰ
ＺＴ板のＪＡ面（振動板と接合されていない面）では図
示のように切れ目３′を有する′イ極ハターンを形成し
ておシ、表面（振動板と接合されている方の面）では切
れ目の力い全面電極３″を形成しているっ さらにＰＺＴ板２の上記表面の電極パターン３について
、第４図で説明する。図示の例は全周で６波の定在波を
二組合成して進行波を作ろうとするものであって、電極
３”　１１３　ｍ　ｓは駆動用の第１電極群を、また電
極３ｂ＋　＋　３ｂ、は駆動用の第２電極群を構成し、
第１電極群３”　ｉ　＋　３　ａ　ｚさを有し且つ丁波
長のピッチで配列されておシ、そして第１電極群と第２
２極群との間には一波長の奇数倍だけずれがあるように
配列されている。

３Ｇはアース用電極、３Ｓは共振点を検知するためのセ
ンサ用電極である。全周長は波長の整数倍であるように
構成されている。駆動用電極３　ａ　ｌ　ｌ　３１　ｍ
　ｇ　３　ｂ　ｌ　＋　３ｂ２に夫々対応する区画にお
いてＰＺＴ板２は厚み方向に分極されており、この場合
、３ａ１と３ｍ、との区画では互に逆向きに、また同様
に３ｂｌと３ｂ、との区画では互に逆向きに分極されて
いる。すなわち、第１電極群に同じ極性の電圧を印加し
たときＰＺＴ板２は電極３　ｍｌと３ａｆｆの区画では
伸縮が互に逆になるように分極処理が施されており、ま
た、第２を極群３ｂｘと３ｂ、の区画についても同様で
ある。

そして、これらの電極は第５図のように第１群電極を並
列にまとめて％また第２群電極を並列にまとめて接続し
、モータ駆動時にアース電極３Ｇと第１電極郭との間に
Ｖ、）ｓｉｎωｔ、またアース電極３Ｇと第２電極群と
の間にｖｏｃｏｓωｔ　又は−ｖＱｃＯ３ωｔなる電圧
を印加する。アース電極３Ｇは第６図に示すように側面
を通じ表面全面電極３“と導電性樹脂４などで接続され
ている。これによシ、公知のように、第１電極群および
第２電極群によって励起された二組の定在波の合成とし
て進行波を振動体１に生ぜしめ、これに押圧された移動
体（不図示）を摩擦駆動するものである。

ところで、このように構成された摂動波モータでは、＠
シ合う電極区画での分極処理の方向が逆向きなので、Ｐ
ＺＴ板のｉ極境界部には太きな分極歪が残り、分極作業
時やモータ駆動中にＰＺＴの破壊などが生ずることがあ
った。また、駆動用配線の容易化のためアースをＰＺＴ
裏面にもってくるためには表面電極とアース電極３Ｇを
側面において導電性樹脂でつなぐ必要があった。

〔発明の目的〕

本発明の目的は電極境界部の分極歪によるＰＺＴの破壊
の恐れを解消し且つ配線の簡単化を図った振動波七−夕
を提供するにある。

〔発明の概要〕

本発明の振動波七−夕は、ＰＺＴ板に各駆動電極群に対
応する領域に亘って同一方向の分極処理を施し、該各′
ｃＬ極群中の−っ置さの駆動電極が互に並列に接続され
た組をなし、これら組間に駆動用交流電圧を印加するこ
とを特徴とするものである。

〔発明の実施例〕

以下本発明を第１図および第２図に示した実施例にした
がって説明をする。振動体１、ＰＺＴ板２および電極パ
ターンは第３図および第４図で説明したのと同様である
が、本発明実施例においては、ＰＺＴ板の分極処理の方
向は、第１電極群３１Ｌ１および３ａ２の各区画に関し
同一方向であり、第２電極群３ｂ工および３ｂ２の各区
画に関しても同一方向である。また、第１電極群および
第２電概群の全て、つまり、全ての駆動電極３ａｌｊ　
３ａｚ　ｌ　３ｂ１１３ｂ２の各区画について分極処理
の方向は全て同一方向であってもよい。配線は第１図の
ように行ない、電極３ａ１および３ｍ２間にｖ０８Ｉ　
ｎ　”　ｔｓ電極３ｂ、　オよび３ｂ２間に■、ωＳω
を又は−Ｖ。ｃｏｓωｔの電圧を印加する。すると第２
図に示すように、電極３ｍｌと電極３１２０区画、電極
３ｂｌと３ｂ、の区画では電界方向が逆になシ、分極処
理の方向は同じでも、その区画でのＰＺＴ板２の伸縮は
逆になり、共振周波数に合わせた電界を印加すれば定在
波の合成としての進行波が発生する。また、アース電極
３Ｇと表置の全面１毬３“との間の側面配線も不要とな
る。したがってその分、作業工程が減り製品の信頼性も
増す。

本構成によれば、全電極に亘る領域においてＰＺＴ板は
同一方向に分極処理されているために、従来行っていた
ように、電極・ヂターンを形成した後、隣′ｗＬ極同志
逆向きの電界をかけて分極処理を行う必要はなく、全面
に電極が着いている状態で全面均一に分極処理を行い、
後からエツチングなどにより電極をパターンニングすれ
ばよいため、治具も含めて分極作業工程は容易になる。

また従来のように、電極間に太きｉ分極歪は残らない。

第７図は他の実施例であシ、・ヤターニングで電極を形
成する際、あらかじめ複数の電極３ｍｌ同志、電極３＆
−同志、電極３ｂｌ同志、電極３ｂ、同志を各々・４タ
一ン形成時につなげてしまうものである。このようなノ
ｆターンにすることによシ、・中ターニング後に電極間
の配線を行う必要がなくなる。またさらに第８図のよう
に電極群３杓とａｂｘをつなぎ、そこを共通グランドと
することにより、電気入力用端子およびセンサー出力用
端子が近接箇所に集中でき、製品実装上有利になる。

以上述べたリング状の回転駆動の振動波そ一部の他に、
最近同様の原理に基づくリニア駆動用の撮動波モータが
あるが、それらも本発明は適用できる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、隣接する電極区間におけるＰＺＴ　ａ
の分極処理の方向は同じであるので、電極境界部におい
てＰＺＴ板に大きな分価歪が残ることがなく、ＰＺＴ板
破壊の恐れがないばかりでなく、分極処理を施す作業が
楽になシ、また、表面全面電極とアース電極とを側面で
接続する必要がないので、製作工程がそれだけ簡素化さ
れ、製品の信頼性も向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における電極パターンおよび
配線図、第２図は本発明の駆動原理図、第３図は従来の
振動波モータの振動子の構成を示す斜視図、第４図は振
動波モータの電極・９ターンを示すための平面図、第５
図は従来の振動波のモータの電極配線図、第６図は従来
の振動波モータの側面配線を示すための一部断面図、第
７図は本発明の他の実施例を示す電極・臂ターンおよび
配線図、第８図は本発明の更忙他の実施例を示す電極・
ダターンおよび配線図である。 １は振動体、２はＰＺＴ板、３　ｒ　３ＪＬｌ　１３１
Ｌ２１３ｂｉｔ３ｂｚ＋３Ｇ、３Ｓは電極。 第１図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図 第８図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　表面には一続きの全面電極を有し、裏面には切れ目に
   より互に区画された第１駆動電極群および第２駆動電極
   群を有する電気−機械エネルギー変換素子板と、該電気
   −機械エネルギー変換素子板に貼着された振動体と、該
   振動体に押圧され該振動体に生じた進行波により摩擦駆
   動される移動体とを備えた振動波モータにおいて、上記
   電気−機械エネルギー変換素子板には上記各駆動電極群
   に対応する領域に亘って同一方向の分極処理が施されて
   おり、各駆動電極群中の一つ置きの駆動電極が互に並列
   に接続された組をなし、これら駆動電極の組間に駆動用
   交流電圧を印加することを特徴とする振動波モータ。