JPS6360425A - 強誘電性液晶素子およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、液晶表示素子や液晶−光シヤツターアレイ等
の強誘電性液晶素子およびその製造方法に関し、更に詳
しくは、液晶分子の初期配向状態を改善することにより
配向欠陥のない均一なモノドメインの液晶相を得、表示
ならびに駆動特性を改善したカラーフィルターを有する
強誘電性４品素子およびその製造方法に関するものであ
る。

［従来の技術］ 従来の液晶素子としては、例えばエム・シャット（Ｍ、
　５ｃｈａｄｔ）とダブりニー・ヘルフリッヒ（Ｗ、　
Ｈｅ１ｆｒｉｃｈ）著“アプライド・フィジックス・レ
ターズ″　（“Ａｐｐｌｉｅｄ　Ｐｈｙｓｉｃｓ　Ｌｅ
ｔｔｅｒｓ　”　）第１８巻、第４号（１９７１年２月
１５日発行）、第１２７頁〜１２８真の“ボルテージ・
ディベンダント・オプティカル・アクティビティ−・オ
ブ・ア・ツィステッド・ネマチック・リキッド・クリス
タル（“Ｖｏｌｔａｇｅ　Ｄｅｐｅｎｄｅｎｔ　０ｐｔ
ｉｃａｌ　Ａｃｔｉｖｉｔｙｏｆ　ａ　Ｔｗｉｓｔｅｄ
　Ｎｅｍａｔｉｃ　Ｌｉｑｕｉｄ　Ｃｒｙｓｔａ１″）
に示されたツィステッド・ネマチック（ｔｗｉｓｔｅｄ
ｎｅ■ａｔｉｃ）液晶を用いたものが知られている。こ
のＴＮ液晶は、画素密度を高くしたマトリクス電極構造
を用いた時分割駆動の時、クロストークを発生する問題
点があるため、画素数か制限されていた。

また、各画素に薄膜トランジスタによるスイッチング素
子を接続し、各画素毎をスイッチングする方式の表示素
子が知られているが、基板上に薄膜トランジスタを形成
する工程が極めて煩雑な上、大面積の表示素子を作成す
ることが難しい問題点がある。

これらの問題点を解決するものとして、クラーク（Ｃ１
ａｒｋ）等により米国特許第４，３６７．９２４号明細
書で強誘電性液晶素子が提案されている。

第２図は強誘電性液晶の動作説明のために、セルの例を
模式的に描いたものである。２１ａと２１ｂは、Ｉｎ、
０．　、　ＳｎＯ，やＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ　Ｔｉｎ　
０ｘｉｄｅ）等の薄膜からなる透明電極で被覆された基
板（ガラス板）であり、その間に複数の液晶分子層２２
がガラス面に垂直になる様に配向したＳ層ＣＩＩ相また
はＳｍＨ”相の液晶が封入されている。太線で示した線
２３が液晶分子を表わしており、この液晶分子２３は、
その分子に直交した方向に双極子モーメント（Ｐｌ）２
４を有している。基板２１ａと２１ｂ上の電極間に一定
の閾値以上の電圧を印加すると、液晶分子２３のらせん
構造がほどけ、双極子モーメント（Ｐよ）２４はすべて
電界方向に向くよう、液晶分子２コの配向方向を変える
ことができる。液晶分子２３は細長い形状を有しており
、その長袖方向と短軸方向で屈折率異方性を示し、従っ
て例えばガラス面の上下に互いにクロスニコルの位置関
係に配置した偏光子を置けば、電圧印加極性によって光
学特性が変わる液晶光学変調素子となることは容易に理
解される。　　　　− 本発明の強誘電性液晶素子で好ましく用いられる液晶セ
ルは、その厚さを充分に薄く（例えば１０μ以下）する
ことができる、このように液晶相が薄くなるにしたがい
、Ｊ８３図に示すように電界を印加していない状態でも
液晶分子のらせん構造はほどけ、非らせん構造となり、
その双極子モーメントＰａ又はｐｂは上向き（３４ａ）
又は下向き（３４ｂ）のどちらかの状態をとる。このよ
うなセルに、第３図に示す如く一定の閾値以上の極性の
異なる電界ＥａまたはＥｂを付与すると、双極子モーメ
ントは。

電界Ｅａ又はＥｂの電界ベクトルに対応して上向き３４
ａ又は、下向き３４ｂと向きを変え、それに応じて液晶
分子は第一の安定状！３３ａ、あるいは第二の安定状８
３３ｂの何れか一方に配向する。

このような強誘電性液晶を光学変調素子として用いるこ
との利点は、先に述べたが２つある。その第１は、応答
速度が極めて速いことであり、第２は液晶分子の配向が
双安定性を有することである。第２の点を１例えば第３
図によって更に説明すると、電界Ｅａを印加すると液晶
分子は第一の安定状＄３３ａに配向するが、この状態は
電界を切っても安定である。又、逆向きの電界Ｅｂを印
加すると、液晶分子は第二の安定状＄　３３ｂに配向し
て、その分子の向きを変えるが、やはり電界を切っても
この状態に留っている。また、与える電界Ｅａが一定の
閾値を越えない限り、それぞれの配向状態にやはり維持
されている。このような応答速度の速さと、双安定性が
有効に実現されるには、セルとしては出来るだけ薄い方
が好ましくい。

この強誘電性液晶素子が所定の駆動特性を発揮するため
には、一対の平行基板間に配置される強誘電性液晶が、
電界の印加状態とは無関係に、上記２つの安定状態の間
での変換が効果的に起こるような分子配列状態にあるこ
とが必要である。例えばカイラルスメクティック相を有
する強誘電性液晶については、カイラルスメクティック
相の液晶分子層が基板面に対して垂直で、したがって液
晶分子軸が基板面にほぼ平行に配列した領域（モノドメ
イン）が形成される必要がある。しかしながら、これま
での強誘電性液晶素子においては、このようなモノドメ
イン構造を有する液晶の配向状態が、必ずしも満足に形
成されなかったために、充分な特性が得られなかった実
情である。

第４図は従来の強誘電性液晶素子の断面図を表わし、第
５図は従来の強誘電性液晶素子に現われた配向欠陥の状
態を表わす概略説明図である。

すなわち、第４図に示す従来の強誘電性液晶素子４０は
、一対の平行基板４１と４２を有しており、基板４１と
４２にはそれぞれマトリクス電極構造をなすストライプ
状の透明電極４３と４４が設けられている。

一般に、カラーフィルターは赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（
Ｂ）の色素またはこれを含む層からなっているが、各色
素層の膜厚はその形成法にかかわらずそれぞれ異なるの
て、２０００人〜ＩＩＬｍ程度の段差Ａが形成される。

この結果、降温過程を利用して配向側御を行うと、上述
の段差Ａが原因となって、たとえカラーフィルター層上
に有機樹脂層の保護膜４８を１層設けたとしても、その
段差Ａを境にして強誘電性液晶４７に配向欠陥を生じる
ことになる。

また、この段差Ａが存在する基板４１と４２の上にそれ
ぞれ配向制御膜４５と４６を設けると、この配向制御膜
にも段差Ａに応じて形成された段差Ｃが画素のほぼ膜厚
分で生じ、上述の同様に強誘電性液晶４７に配向欠陥を
生じる。

第５図は、上記強誘電性液晶素子をクロスニコルの偏光
顕微鏡で観察した時のスケッチで、図中の白＆ａ５１は
液晶素子に使用したスペーサー（図示せず）のラインに
対応し、線５２及び５３は第４図の基板４１上の段差Ｃ
に対応して観察されている。また、図中の部分５４は対
向電極間にはさまれた強誘電性液晶である。偏光顕微鏡
中に多数現出した刃状線５５は強誘電性液晶の配向欠陥
を表わしている。

この様に強誘電性液晶の接する面で１０００Å以上の段
差が存在すると、その段差から配向欠陥を生じ、強誘電
性液晶のモノドメイン形成は阻害される。

［発明が解決しようとする問題点］ 本発明者等は、この様な基板上の段差が強誘電性液晶に
対する配向欠陥を発生させる原因となっていることを実
験により明らかにした。

本発明の目的は、上記の配向欠陥の発生を防止し、強誘
電性液晶素子が本来もワている高速応答性とメモリー効
果特性を充分に発揮することのできる強誘電性液晶素子
を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 本発明者等は、とくに強誘電性液晶が等吉相（高温状態
）より液晶相（低温状態）へ移行する降温過程における
初期配向性に着目し、強誘電性液晶の双安定性に基づく
素子の作動特性と液晶層のモノドメイン性を両立し得る
構造を有する強誘電性液晶素子を見出したものである。

本発明の液晶素子は、このような知見に基づくものであ
り、より詳しくは、液晶層と接する面に段差かなく、つ
まり液晶層の膜厚に急激な変化を生じさせなくすること
により降温過程における初期配向性を良好な状態とし、
配向欠陥のないモノドメインを形成する点に特徴を有し
ている。

すなわち本発明の第一の発明は透明電極の形成された一
対の平行基板間に強誘電性液晶を挟持し、少なくとも一
方の透明電極と基板間にカラーフィルターを有する強誘
電性液晶素子において、該カラーフィルター層上に低粘
度樹脂から形成される第１の透明樹脂層及び高粘度樹脂
から形成される第２の透明樹脂層を順次積層してなるこ
とを特徴とする強誘電性液晶素子である。

また、第二の発明は透明電極の形成された一対の平行基
板間に強誘電性液晶を挟持し、少なくとも一方の透明電
極と基板間にカラーフィルターを有する強誘電性液晶素
子の製造方法において、カラーフィルター層上に５０ｃ
ｐｓ（センチポイズ）／（室温下）以下の低粘度樹脂を
塗布してフォトリソ工程により第１の透明樹脂層を形成
し、次いで該第１の透明樹脂層上に５０ｃｐｓ（センチ
ポイズ）／（室温下）をこえる高粘度樹脂を塗布してフ
ォトリソ工程により第２の透明樹ＷｔＩ層を形成した後
、該第２の透明樹脂層上に透明電極を設けることを特徴
とする強誘電性液晶素子の製造方法である。

以下、本発明を図面に基ずき説明する。

第１図は本発明に係わる強誘電性液晶素子の基本構成を
示す断面図である。第１図において、強誘電性液晶素子
ｌはガラス板またはプラスチック板などの透明板を用い
た基板２と３を有し、その間には強誘電性液晶４が挟持
されている。各基板２と３にはマトリクス電極構造を形
成するストライブ状のパターン形状の透明電極５と６が
配設され、この透明電極の上には配向制御！Ｉ７及び８
が形成されている。Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各
カラーフィルターは、所望の分光特性により各膜厚が設
定され、ある程度の段差をもって形成されている。

一方、必要に応じては、各カラーフィルター画素間隙に
遮光層１１が形成られる。また、カラーフィルター上に
は、本発明の低粘度樹脂から形成され画素間段差の平坦
化層である第１の透明樹脂層９、および高粘度樹脂から
形成され平坦化層およびカラーフィルターの保護層であ
る第２の透明樹脂層１０が順次積層される。

上記の構成による基板では、カラーフィルターの膜厚及
び画素間の窪みによる段差が補正されているため、画素
上に透明電極、配向面ｍ膜を順に形成しても、基板面を
ほぼ平坦に保つことができる。

本発明では、前述の平坦化により、カラーフィルター基
板の段差を１０００Å以下とすることができるが、好ま
しくは５００Å以下とするのが望ましい。この段差が１
０００人をこえると、特に１２００Å以上で形成された
非平坦化層を用いた液晶素子は、前述の第５図で示した
刃状線の配向欠陥を生じることになる。

本発明で用いられるカラーフィルターとしては、強誘電
性液晶素子を形成する際の工程条件に耐えられる特性を
持ち、かつ所望とする耐久性を持フたものであれば、特
に限定されるものでなく、色素及びこれを含む層をパタ
ーン状に形成して作製される。その層厚は所望とする分
光特性により決定されるが、通常は０．５〜５終菖程度
で、好ましくは０．５〜１．５Ｈ程度で、各色の層厚が
できる限り小さいほうが好適である。

さらに、場合によては表示特性を向上させる目的及び各
画素のカラーフィルターの間隙の段差を小さくするため
に、各画素間に遮光層をクロム、アルミニウム等の遮光
能力をもつ金属薄膜を蒸着法て、あるいは感光性ポリア
ミノ系樹脂中にカーボンブラック、複合酸化物思顔料、
金属粉等の遮光能力をもつ材料を分散させた遮光樹脂膜
を塗布法で形成すればより効果的である。

本発明の第１の透明樹脂層は、−主にカラーフィルター
形成後に生じた基板上の段差を平坦化する目的で形成さ
れる。交って、低粘度化された樹脂が用いられ、通常は
５０ｃｐｓ（センチポイズ）／（室温下）以下、好まし
くは２０〜５０ｃｐｓの粘度が望ましく、カラーフィル
ター表面に低粘度に調整されたポリアミド系、ポリイミ
ド系、ポリウレタン系、アクリル系、ポリカーボネート
系及びシリコン系等の有機樹脂又はこれらの感光性樹脂
をスピンコード、ロールコート、ディッピング等の塗布
法にて塗布してフォトリソ工程により形成する。その層
厚は、カラーフィルターの画素間隙部分を埋めるのに必
要な厚さでよく、最も厚い画素厚さと同じかまたは若干
厚めに設定することが好ましい。

本発明の第２の透明樹脂層は、第１の透明樹脂層にてほ
ぼ平坦化された層上に形成され、カラーフィルターによ
り生じた段差をより平坦化するとともに、主としてカラ
ーフィルターの保護をする目的で形成される。従って、
樹脂分を多くした高粘度の樹脂材を用い、通常は５０ｃ
ｐｓ（センチポイズ）／（室温下）をこえる粘度のもの
を、好ましくは１００ｃｐｓから１２００ｃｐｓ程度の
範囲に調整されたポリアミド系、ポリイミド系、ポリウ
レタン系、アクリル系、ポリカーボネート系及びシリコ
ン系等の有ａ樹脂又はこれらの感光性樹脂をスピンコー
ド、ロールコート等の塗布法にて塗布してフすトリソ工
程により形成する。

樹脂材の選定については、第１の透明樹脂と同等でも、
又異なるものでもよく、強誘電性液晶素子のセル形成工
程にさらされる各環境への耐性及び強誘電性液晶素子の
所望とする信頼性等から任意のものを選定することがで
きる。その層厚も、以上の観点から任意に設定されるが
、通常は０．５〜５勝重程度、好ましくは０．５〜１．
０編■程度で層を形成する。

本発明に用いられる配向制御膜の材料としては、例えば
、ポリビニルアルコール、ポリイミド、ポリアミドイミ
ド、ポリエステル、ポリカーボネート、ピリビニルアセ
タール、ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、ポリアミド
、ポリスチレン、セルロース樹脂、メラミン樹脂、エリ
ア樹脂、アクリル樹脂などの樹脂類、あるいは感光性ポ
リイミド、感光性ポリアミド、環状ゴム系フォトレジス
ト、フェノールノボラック系フォトレジストあるいは電
子線フォトレジスト（ポリメチルメタクリレート、エポ
キシ化−１，４−ポリブタジェンなど）などから選択し
て形成することができる。配向制御膜７は１強誘電性液
晶の膜厚にも依存するが、一般的にはｌＯλ〜１４ｍ、
好適には１００人〜３０００人の範囲に設定する。

本発明で用いる液晶材料として、とくに適したものは双
安定性を有する液晶であって、強誘電性を有するもので
ある。具体的にはカイラルスメクティックＣ相（Ｓ諺Ｃ
”）　、　Ｈ相（Ｓｉ＊Ｈ”）　、　Ｉ相（Ｓ謹■″）
、Ｊ相（Ｓ鳳Ｊ”）　、　Ｋ相（Ｓ鳳Ｋ”）　、　Ｇ相
（ＳｍＧ”）またはＦ相（ＳｓＦ”）の液晶を用いるこ
とができる。

この強誘電性液晶については、“ル・ジュールナル・ド
・フィジーク・ルチール″　（“ＬＥＪＯＵＲＮＡＬ　
ＤＥ　ＰＨＹＳＩＱＵＥ　ＬＥＴＴＲＥＳ”　）　１９
７５年、其（Ｌ−６９）号、「フェロエレクトリック・
リキッド・クリスタルスＪ　（’Ｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔ
ｒｉｃ　ＬｉｑｕｉｄＣｒｙｓｔａｌｓ」）：　　“ア
プライド・フィジックス・レターズ（“Ａｐｐｌｉｅｄ
　Ｐｈｙｓｉｃｓ　Ｌｅｔｔｅｒｓ”）１９８０年、　
３６　（１１）号　、「サブミクロ・セカンド・バイス
ティプル・エレクトロオプチック・スイッチング・イン
・リキッド・クリスタルス」（’５ｕｂｓｉｃｒｏ　５
ｅｃｏｎｄ　Ｂ１５ｔａｂｌｅ　Ｅｌｅｃｔｒｏｏｐｔ
ｉｃＳｗｉｔｃｈｉｎｇ　ｉｎ　Ｌｉｑｕｉｄ　Ｃｒｙ
ｓｔａｌｓ」）　；　“固体物理”１９８１年　１６　
（１４１）号、「液晶」等に記載されており、本発明に
おいては、これらに開示された強誘電性液晶を使用する
ことができる。

強誘電性液晶の具体例としては、例えばデシロキシベン
ジリデン−ｐ′−アミノ−２−メチルブチルシンナメー
ト（ＤＯＢＡＭＢＧ）　、ヘキシルオキシベンジリデン
−ｐ′−アミノ°−２−クロルプロピルシンナメート（
ｌ（ＯＢＡＣＰＣ）、　４−ｏ−（２−メチル）−ブチ
ルレゾルシリダン−４′−オクチルアニリン（ＩＩＩＢ
ＲＡＳ）が挙げられる。

これらの材料を用いて素子を構成する場合、液晶化合物
がカイラルスメクテイック相となるような温度状態に保
持するため、必要に応じて素子をヒーターが埋め込まれ
たブロック等により支持することができる。

［作　用］ 本発明の強誘電性液晶素子はカラーフィルター層上に低
粘度樹脂から形成される第１の透明樹脂層、及び高粘度
樹脂から形成される第２の透明樹脂層を順次ａ層してな
るので、平坦化された第２の樹脂層の上に透明電極およ
び配向制御膜がａ層され、基板の平面性が良好となるた
めに液晶相と接する面に段差がなく、該平面性のよい基
板に挟持された液晶相は等吉相より、液晶相に移行する
降温過程において、徐冷することにより、液晶相領域が
次第に広がり均一なモノドメインの液晶相を形成するよ
うになる。

例えば、液晶として強誘電性液晶相を示す前述のＤＯＲ
ＡＭＢＣを例にあげて説明すると、　　ＤＯＢＡＭＢＧ
の等吉相より徐冷していくとき、約ｔｔＳ℃でスメクテ
ィックＡ相（Ｓ■Ａ相）に相転移する。このとき、基板
にラビングあるいはＳｉＯ□斜め蒸着などの配向処理が
施されていると、液晶分子の分子軸が基板に、平行で、
かつ一方向に配向したモノドメインが形成される。さら
に、冷却を進めていくと、液晶層の厚みに依存する約９
０〜７５℃の間の特定温度でカイラルスメクティックＣ
相（Ｓａｃ”相）に相転移する。また、液晶層の厚みを
約２勝鳳以下とした場合は、　Ｓａｃ”相のらせんが解
け、双安定性を示す。

［実施例］ 以下、実施例を示し本発明をさらに具体的に説明する。

実施例１ 第６図（ａ）〜（ｇ）は、Ｒ，Ｇ、８３色のカラーフィ
ルターの色画素の形成工程例を示す工程図である。

本実施例では着色材の濃度をあらかしめ設定して各色画
素の膜厚をほぼ一定にすることができ、かつ簡便な製造
プロセスにより微細パターンを形成することができ、さ
らに機械的特性をはじめ。

耐熱性、耐光性、耐溶剤性等の緒特性の優れた方式であ
る、感光性基を分子内に有するポリアミド樹脂中に着色
材料を分散してなる着色樹脂のフォトリソ工程を繰り返
すことにより形成されるカラーフィルターを用いた場合
を説明する。

まず、コーニング社の＠　７０５９ガラス基板６１上に
、所望の分光特性を得ることのできる青色着色樹脂材［
ヘリオゲン　ブルー　（）ｌｅｌｉｏｇｅｎ　Ｂｌｕｅ
）Ｌ７０８Ｇ　　（商品名、　ＢＡＳＦ社製、　Ｃ，１
，Ｎｏ、　７４１６０）をＰＡ−１０００Ｃ（商品名、
宇部興産社製、ポリマー分＝１０％、溶剤：Ｎ−メチル
−２−ピロリドン、顔料：ボリマー＝ｌ：２配合）に分
散させ作製した感光性の着色樹脂材］をスピンナー塗布
法により、１．５μ園の膜厚に塗布して着色樹脂層６２
を形成した。（第６図（ａ）参照） 次に該着色樹脂層６２に８０°Ｃ１３０分間のプリベー
クを行なった後、形成しようとするパターン形状に対応
したフォトマスク６３を介して高圧水銀灯にて露光した
。（第６図（ｂ）参照） 露光終了後、第６図（ｃ）のごとく、光硬化部分６２ａ
を有する着色樹脂層６２の未露光部のみを溶解する専用
現像液（Ｎ−メチル−２−ピロリドンを主成分とする現
像液）にて超音波を使用して現像し、専用リンス液（例
えば、イソプロピルアルコールを主成分とするリンス液
）で処理した後。

１５０℃、３０分間のボストベークを行ない、パターン
形状を有する青色のパターン状着色樹脂層６４を形成し
た。（第６図（ｄ）参照） 続いて、青色着色パターンの形成されたガラス基板上に
５第２色目として緑色着色樹脂材［リオノール　グリー
ン（口ｏｎｏｌ　Ｇｒｅｅｎ）　６ＹＫ　（商品名。

東洋インキ社製、　Ｃ，１，Ｎｏ、　７４２６５）をＰ
Ａ−１０００Ｃ（商品名、宇部興産社製、ポリマー分＝
ｌＯ％、溶剤：Ｎ−メチル−２−ピロリドン、顔料：ポ
リマー−ｌ：２配合）に分散させ作製した感光性の着色
樹脂材］を用いる以外は、上記と同様にして、緑色のパ
ターン状着色樹脂層６５を基板上の所定の位置に形成し
た。

さらに、この様にして青色及び緑色パターンの形成され
ている基板上に、第３色目として、赤色着色樹脂材［イ
ルガジン　レッド　（ｒｒｇａｚｉｎ　Ｒｅｄ）ＢＰＴ
　（商品名、チバガイギー（Ｃｉｂａ−Ｇｅｉｇｙ）社
製。

Ｃ，ｌ　Ｎｏ、　７１１２７）をＰＡ−１０００Ｃ（商
品名、宇部興産社製、ポリマー分＝ｌＯ％、溶剤：Ｎ−
メチル−２−ピロリドン、顔料：ボリマー＝１＝２配合
）に分散させ作製した感光性の着色樹脂材］を用いる以
外は、上記と同様にして、赤色のパターン状着色樹脂層
６６を基板上の所定の位置に形成し、Ｒ（赤）、Ｇ（緑
）、Ｂ（青）の３色ストライブの着色パターンを得た。

（第６図（ｅ）参照）次に、３色着色パターンの形成さ
れたガラス基板上に、遮光層として、黒色着色樹脂材［
カーボンブラック（Ｃ，１，Ｎｏ、７７２６６）をＰＡ
−１０００Ｃ（ポリマー分＝ｌＯ％、顔料：ボリマー＝
１＝４配合）に分散させて作製した感光性の着色樹脂材
］を用い、上記と同様の方法にて各画素間の間隙に合致
させて遮光パターンの遮光層６７を形成した。

この様にして得られたカラーフィルターパターン上に、
第１の透明樹脂層６８として、あらかじめ粘度を５０ｃ
ｐｓに調整した感光性ポリアミド樹脂液［ＰＡ−１００
０Ｃ（商品名、宇部興産社製、溶剤：Ｎ−メチル−２−
ピロリドン）］をスピンナー塗布法により約０．５１の
膜厚にて形成した。（第６図（ｆ）参照） プリベーク（７０°Ｃ×２０分）、露光、現像、リンス
、ボストベーク（１５０℃×３０分）処理を行ない、平
坦化層を形成した後、該第１の透明樹脂層６８上に、第
２の透明樹脂層６９として、あらかじめ粘度を１００ｃ
ｐｓに調整した感光性ポリアミド樹脂液［ＰＡ−１００
０Ｃ（商品名、宇部興産社製、溶剤二Ｎ−メチルー２−
ピロリドン）］をスピンナー塗布法により約ＩＨの膜厚
にて形成した。（第６図（ｇ）参照） プリベーク（７０℃Ｘ２０分）、露光、現像、リンス、
ボストベーク（１５０℃×３０分）処理を行ない、保護
膜とした。

以上により、同一平面化されたカラーフィルター基板を
形成することができた。

次に第１図に示す様に、ＩＴＯを５００への厚さにスパ
ッタリング法によりＸＩｔＪｇｉｔ、、透明電極５とし
た。この上に配向制御１１５１７として、ポリイミド形
成溶液（日立化成工業ｒＰＩＧＬＪ）を３００Ｏｒｐｍ
で回転するスピンナーで塗布し、１５０℃で３０分間加
熱を行って２００ＯＡのポリイミド被膜を形成した。し
かる後、このポリイミド被膜表面をラビング処理した。

このようにして形成したカラーフィルター基板と、対向
する基板３を貼り合せてセル組し、強誘電性液晶を注入
、封口して液晶素子を得た。この液晶素子をクロスニコ
ルの偏光顕微鏡で観察したところ５内部の液晶分子は配
向欠陥を生じていないことが確認された。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば基板上のカラーフ
ィルター層の膜厚の差がある場合でも、該カラーフィル
ター層上に平坦化をもたらす低粘度樹脂から形成される
第１の透明樹脂層、及び平坦化と保護化をもたらす高粘
度樹脂から形成される第２の透明樹脂層を順次積層する
ことにより、カラーフィルターの各画素間に生じる膜厚
差上の微小な段差や、各画素間隙より生ずる段差をなく
すことが可能となり、配向欠陥の発生を防止することが
でき、強誘電性液晶の特性を十分に発揮し得る強誘電性
液晶素子を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係わる強誘電性液晶素子の基本構成を
示す示す断面図、第２図及び第３図は本発明で用いる強
誘電性液晶を模式的に表わした斜視図、第４図は従来の
強誘電性液晶素子の断面図、第５図は従来の強誘電性液
晶素子に現われた配向欠陥の状態を表わす概略説明図お
よび第６図（ａ）〜（ｇ）は本発明の色画素の形成工程
を示す工程図である。 １　、４０−・・強誘電性液晶素子 ２　、３　、４１．４２．６１−軸系板４　、４７−・
・強誘電性液晶 ５　、６　、４３．４４−・・透明電極７　、８　、４
５．４６−・・配向制御膜１１、６７−−・遮光層

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）透明電極の形成された一対の平行基板間に強誘電
   性液晶を挟持し、少なくとも一方の透明電極と基板間に
   カラーフィルターを有する強誘電性液晶素子において、
   該カラーフィルター層上に低粘度樹脂から形成される第
   １の透明樹脂層及び高粘度樹脂から形成される第２の透
   明樹脂層を順次積層してなることを特徴とする強誘電性
   液晶素子。
2. （２）透明電極の形成された一対の平行基板間に強誘電
   性液晶を挟持し、少なくとも一方の透明電極と基板間に
   カラーフィルターを有する強誘電性液晶素子の製造方法
   において、カラーフィルター層上に５０ｃｐｓ（センチ
   ポイズ）／（室温下）以下の低粘度樹脂を塗布してフォ
   トリソ工程により第１の透明樹脂層を形成し、次いで該
   第１の透明樹脂層上に５０ｃｐｓ（センチポイズ）／（
   室温下）をこえる高粘度樹脂を塗布してフォトリソ工程
   により第２の透明樹脂層を形成した後、該第２の透明樹
   脂層上に透明電極を設けることを特徴とする強誘電性液
   晶素子の製造方法。