JPS6360091A - レ−ザ加工機用集光装置 - Google Patents
レ−ザ加工機用集光装置Info
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- JPS6360091A JPS6360091A JP61203089A JP20308986A JPS6360091A JP S6360091 A JPS6360091 A JP S6360091A JP 61203089 A JP61203089 A JP 61203089A JP 20308986 A JP20308986 A JP 20308986A JP S6360091 A JPS6360091 A JP S6360091A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- duct
- laser light
- optical path
- heating
- laser beam
- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 17
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 abstract 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 abstract 1
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000012768 molten material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明はレーザ加工機に関し、特にレーザ光の集光装
置の改良に関するものである。
置の改良に関するものである。
[従来の技術]
第2図はレーザ加工機における、従来の加工ヘッドの一
例であり、レーザ発振器(1)から出たレーザ光(la
)は光路ダクト(2)を通してベンドミラ(3)へ伝送
され、ベンドミラ(3)によりレーザ光(1a)は集光
レンズ(4)側へ偏向される。集光レンズ(4)は偏向
されて照射されて来るレーザ光(Ia)を集光し、該レ
ーザ光(1d)を被加工物(5)Lの一点にレーザ加工
に必要なエネルギー密度の得られる微少スポットに収束
する。このように、微少スポットに収束された高エネル
ギー密度のレーザ光を被加工物上に照射するので、被加
工物にの照射点は溶融されレーザ加1がなされる。
例であり、レーザ発振器(1)から出たレーザ光(la
)は光路ダクト(2)を通してベンドミラ(3)へ伝送
され、ベンドミラ(3)によりレーザ光(1a)は集光
レンズ(4)側へ偏向される。集光レンズ(4)は偏向
されて照射されて来るレーザ光(Ia)を集光し、該レ
ーザ光(1d)を被加工物(5)Lの一点にレーザ加工
に必要なエネルギー密度の得られる微少スポットに収束
する。このように、微少スポットに収束された高エネル
ギー密度のレーザ光を被加工物上に照射するので、被加
工物にの照射点は溶融されレーザ加1がなされる。
[発明が解決しようとする問題点]
従来の加工ヘッドにおけるレーザ光の集光系はガラスレ
ンズを使用している為、機械的強度に問題を有している
上、高価であり、更にレーザ加工時には溶融物がレンズ
表面に飛散して汚染されたりしてレーザ光の集光性の劣
化、レンズの破損を招きかねない問題点があった。
ンズを使用している為、機械的強度に問題を有している
上、高価であり、更にレーザ加工時には溶融物がレンズ
表面に飛散して汚染されたりしてレーザ光の集光性の劣
化、レンズの破損を招きかねない問題点があった。
この発明は従来のレーザ光集光系の問題点を解決するた
めになされたもので、ガラスレンズを使用しないレーザ
光集光装置を提供することを目的とする。
めになされたもので、ガラスレンズを使用しないレーザ
光集光装置を提供することを目的とする。
[問題点を解決するためのf段]
この発明に係るレーザ加工機用集光装置は、レーザ光路
ダクトにおける集光系近傍にタクト内の気体を・部加熱
する発熱手段を設けたものである。
ダクトにおける集光系近傍にタクト内の気体を・部加熱
する発熱手段を設けたものである。
[作用]−
この発明における加8手段によれば、加熱手段設置近傍
の光路タクト内の気体は熱せられ、その分子は、非加8
部位の気体分子と比較して密状態となって光路タクト内
には気体の疎密部が生じ、空間的なレーザ光屈折率分布
が生じることで、等価的なレーザ光集光用レンズが加熱
気体により形成される。
の光路タクト内の気体は熱せられ、その分子は、非加8
部位の気体分子と比較して密状態となって光路タクト内
には気体の疎密部が生じ、空間的なレーザ光屈折率分布
が生じることで、等価的なレーザ光集光用レンズが加熱
気体により形成される。
[実施例]
第1図はこの発明によるレーザ加工機用集光装置の一実
施例の構成図である。なお、第2図と同符号は同一また
は相当部分を示す6図中(4a)は光路ダクト(2)に
おいて集光作用を行なわせる部位に周設した加熱部であ
り電熱コイル(4b)を内蔵している。今、加熱部(4
a)の電熱コイル(4b)に通電を行うと、電熱コイル
(4b)の発熱により、加熱部(4a)近傍の光路ダク
ト(2)内の気体は加熱され膨張する。この気体の膨張
により、光路ダクト(2)の気体分子密度は、光路ダク
ト(2)内の他の部位の密度より密状ymとなり、加熱
部(4b)近傍の光路ダクト(2)内に気体の疎密状態
が生じ、空間的にはレーザ光(la)の屈折率分布を生
じさせることになる。
施例の構成図である。なお、第2図と同符号は同一また
は相当部分を示す6図中(4a)は光路ダクト(2)に
おいて集光作用を行なわせる部位に周設した加熱部であ
り電熱コイル(4b)を内蔵している。今、加熱部(4
a)の電熱コイル(4b)に通電を行うと、電熱コイル
(4b)の発熱により、加熱部(4a)近傍の光路ダク
ト(2)内の気体は加熱され膨張する。この気体の膨張
により、光路ダクト(2)の気体分子密度は、光路ダク
ト(2)内の他の部位の密度より密状ymとなり、加熱
部(4b)近傍の光路ダクト(2)内に気体の疎密状態
が生じ、空間的にはレーザ光(la)の屈折率分布を生
じさせることになる。
上記のように光路ダクト(2)内の−・部の空間に屈折
率分布を生じさせた後、レーザ発振器(1)から射出さ
れたレーザ光(la)が光路ダクト(2)を通してベン
ドミラ(3)に伝送されると、レーザ光(la)はベン
ドミラ(3)により空間的な屈折分布域に偏向される。
率分布を生じさせた後、レーザ発振器(1)から射出さ
れたレーザ光(la)が光路ダクト(2)を通してベン
ドミラ(3)に伝送されると、レーザ光(la)はベン
ドミラ(3)により空間的な屈折分布域に偏向される。
その結果、レーザ光(1a)は屈折率分布域で集光され
、被加工物(5)上に加工に必要なエネルギ密度の作ら
れるスポットに収束される。
、被加工物(5)上に加工に必要なエネルギ密度の作ら
れるスポットに収束される。
なお、上記実施例では、加熱部をダクト外周面に周設し
たが、ダクト内周面に周設してもよく。
たが、ダクト内周面に周設してもよく。
また気体の膨張率を高める為、タクト内に揮発性ガス(
例えばニーデル)を封入しても良い。
例えばニーデル)を封入しても良い。
[発明の効果]
以上のように、この発明によれば、加熱手段を設けて光
路ダクト内の一部気体を加熱し、気体の疎密状態を生じ
させることで、光路タクト内に空間的なレーザ光屈折率
分布域を形成し得る為、光学的集光レンズを使用せずと
もレーザ光集光系を形成できるので、集光系の保守作業
も容易となり、更に集光装置全体が安価となり、また機
械強度が向Eする効果がある。
路ダクト内の一部気体を加熱し、気体の疎密状態を生じ
させることで、光路タクト内に空間的なレーザ光屈折率
分布域を形成し得る為、光学的集光レンズを使用せずと
もレーザ光集光系を形成できるので、集光系の保守作業
も容易となり、更に集光装置全体が安価となり、また機
械強度が向Eする効果がある。
第1図はこの発明によるレーザ加工機用集光装置の一実
施例の構成図、第2図は従来のレーザ加工ヘッドの構成
図である。 図において (1)はレーザ発振器、 (la)はレーザ光。 (2)は光路ダクト、 (4a)は加熱部、(4b
)は電熱コイル、 (5)は被加工物。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 代 理 人 大 岩 増 雄第1図
施例の構成図、第2図は従来のレーザ加工ヘッドの構成
図である。 図において (1)はレーザ発振器、 (la)はレーザ光。 (2)は光路ダクト、 (4a)は加熱部、(4b
)は電熱コイル、 (5)は被加工物。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 代 理 人 大 岩 増 雄第1図
Claims (1)
- レーザ発振器より射出されたレーザ光を光路ダクトを通
して被加工物上へ導出し、該被加工物をレーザ照射によ
り加工するレーザ加工装置において、被加工物に対する
光路ダクトの対向面直上部の一部全周域に発熱手段を設
け、発熱手段設定域の光路ダクト内の気体を加熱するこ
とを特徴とするレーザ加工機用集光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61203089A JPS6360091A (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | レ−ザ加工機用集光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61203089A JPS6360091A (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | レ−ザ加工機用集光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6360091A true JPS6360091A (ja) | 1988-03-16 |
JPH0446676B2 JPH0446676B2 (ja) | 1992-07-30 |
Family
ID=16468184
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61203089A Granted JPS6360091A (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | レ−ザ加工機用集光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6360091A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7435065B2 (en) | 2004-04-23 | 2008-10-14 | Daikin Industries, Ltd. | Rotary fluid machine having a swinging bushing with a swing center disposed radially inwardly of an annular midline of an annular piston |
US7789641B2 (en) | 2004-05-14 | 2010-09-07 | Daikin Industries, Ltd. | Rotary blade compressor with eccentric axial biasing |
JP2021105693A (ja) * | 2019-12-27 | 2021-07-26 | 国立大学法人電気通信大学 | レーザー光の回折集光方法及び回折集光光学素子装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5970486A (ja) * | 1982-10-13 | 1984-04-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザエネルギ−分布変換方法 |
-
1986
- 1986-08-29 JP JP61203089A patent/JPS6360091A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5970486A (ja) * | 1982-10-13 | 1984-04-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザエネルギ−分布変換方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7435065B2 (en) | 2004-04-23 | 2008-10-14 | Daikin Industries, Ltd. | Rotary fluid machine having a swinging bushing with a swing center disposed radially inwardly of an annular midline of an annular piston |
US7789641B2 (en) | 2004-05-14 | 2010-09-07 | Daikin Industries, Ltd. | Rotary blade compressor with eccentric axial biasing |
JP2021105693A (ja) * | 2019-12-27 | 2021-07-26 | 国立大学法人電気通信大学 | レーザー光の回折集光方法及び回折集光光学素子装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0446676B2 (ja) | 1992-07-30 |
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